JP2007127818A - カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 - Google Patents
カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007127818A JP2007127818A JP2005320123A JP2005320123A JP2007127818A JP 2007127818 A JP2007127818 A JP 2007127818A JP 2005320123 A JP2005320123 A JP 2005320123A JP 2005320123 A JP2005320123 A JP 2005320123A JP 2007127818 A JP2007127818 A JP 2007127818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- exposure
- photosensitive
- group
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Abstract
【解決手段】少なくともバインダー、モノマーまたはオリゴマー、及び光重合開始剤または光重合開始系を含み、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して露光することで2次元画像の形成を行う露光に用いられるカラーフィルタ用感光性組成物であって、露光、現像したときの、現像後の膜厚が、前記露光後現像前の膜厚に対して±10%以内となるときの露光量が3mJ/cm2以上50mJ/cm2以下であることを特徴とするカラーフィルタ用感光性組成物、それを用いたカラーフィルタの製造方法、及び該製造方法により製造されたカラーフィルタ。
【選択図】なし
Description
液晶ディスプレイのカラー画像の形成は、カラーフィルタを通過した光がそのままカラーフィルタを構成する各画素の色に着色されて、それらの色の光が合成されてカラー画像を形成する。そして、現在はRGBの三色の画素でカラー画像を形成している。
このコストダウンの方向としては、単に材料のコストダウンにとどまらず、工程の簡素化が進行中である。例えば、(1)露光のためのフォトマスクをなくすこと、(2)平坦化のためのオーバーコート(OC)をなくすこと、(3)平坦化のための研磨工程をなくすこと、などによるコストダウンが検討されている。
前記フォトリソグラフィー法を行う露光装置として、フォトマスクを用いる方法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)
しかしながら、フォトマスクを用いる方法は、フォトマスクを使うが故に露光焦点が十分でなかったりして、より鮮明な画像形成が得られにくかったり、またマスクパターンの変更には新たなフォトマスクを作り替えなくてはならなく時間と費用に欠点を有していた。
しかしながら、フォトマスクを用いないで行うレーザー露光の場合は高照度露光なので、従来のカラーフィルタ用感光性組成物を用いて作製された感度が低い塗布膜を用いた露光した場合、形成されたパターン形状は欠損し、欠損しないようにするためには露光時間(タクト時間)が長く掛かってしまい問題であった。
また、描画タクト時間が短く、描画パターンの形状に優れるカラーフィルタの製造方法、及びそれに用いるカラーフィルタ用感光性組成物を提供することを目的とする。
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
<2> 少なくともバインダー、モノマーまたはオリゴマー、及び光重合開始剤または光重合開始系を含む感光性組成物を基板上に塗布、乾燥、あるいはラミネートして感光性組成物層を形成し、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して前記組成物層を露光することで2次元画像の形成を行うカラーフィルタの製造方法において、露光量を3mJ/cm2以上50mJ/cm2以下として露光し、現像したときに、前記組成物層の露光後現像前の膜厚に対して、現像後の膜厚が±10%以内であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
<3> 上記<2>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
<4> 上記<3>に記載のカラーフィルタを含むことを特徴とする液晶表示装置。
前記カラーフィルタ用感光性組成物を露光し、現像したときの、現像後の膜厚が露光後現像前の膜厚に対して膜厚±10%以内となるときの露光量(感度)を3mJ/cm2以上50mj/cm2以下とすることにより、描画タクト時間(露光時間)の短縮を図ることができ、かつ、露光現像後のパターン形状に優れたカラーフィルタの製造に好適なカラーフィルタ用感光性組成物を得ることができる。
上記範囲の中でも、生産効率、作業効率の観点から、4mJ/cm2以上20mj/cm2以下であることが好ましく、5mJ/cm2以上10mj/cm2以下であることが特に好ましい。
4mJ/cm2未満であると露光ムラが生じ均一な画像を得られない場合があり、20mJ/cm2を超えるとタクト時間が長くなり作業効率を低下させる場合がある。
厚み計(製品名:MINICOM ELECTRONIC GAGE 東京精密(株)製等)にて基板(例えば、PET)上に塗布し、熱風100℃以下の条件で乾燥された感光性樹脂層(感光材料)を適性露光量以上の過剰な露光量で感光材料を完全硬膜化するように露光する。次いで、基板込みの膜厚を測定する。
次に、該基板上の形成された感光性樹脂層を完全に除去して基板の膜厚を測定し、その差を露光後現像前の膜厚とする。
前記適正露光量とは、目標とするパターン線幅設定値におけるパターン形成後の細線幅が±10%以内に入る露光量を意味する。
本発明のカラーフィルタ用感光性組成物は、少なくとも(1)バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、を含むカラーフィルタ用の組成物であり、必要に応じて着色剤を含有することができる。
まず、上記(1)〜(3)の必須成分について説明する。
本発明におけるバインダーは、特に限定されるものではないが、アルカリ可溶性であることが好ましい。
本発明におけるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、カラーフィルタ用感光性組成物の全固形分に対する含有量は20〜50質量%が一般的であり、25〜45質量%が好ましい。
本発明におけるモノマー又はオリゴマーとしては、特に限定されるものではないが、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
更に特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報及び特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報及び特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。
これらのモノマー又はオリゴマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、カラーフィルタ用感光性組成物の全固形分に対する含有量は5〜50質量%が一般的であり、10〜40質量%が好ましい。
本発明における光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、特に限定されるものでないが、芳香族ケトン、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等、アクリジン誘導体を挙げることができる。中でも、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体、アクリジン誘導体が好ましい。また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとしてあげることができる。
以上の中でも、特に好ましくは、アクリジン誘導体である。
アクリジン誘導体は、下記一般式(I)で表される化合物であることが好ましい。
アクリドン化合物は、下記一般式(II)で表される化合物であることが好ましい。
R9は、アルキル基を表す。アルキル基は置換基を有していてもよい。アルキル基の炭素原子数は1〜12が好ましく、1〜6がより好ましい。
一般式(I)のAが酸素原子のアクリジン誘導体(アクリドン化合物)の具体例は次の通りである。
さらに、ロフィンダイマー系開始剤も好適に用いることができる。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、2種類以上を混合して用いてもよいが、特に2種類以上を用いることが好ましい。少なくとも2種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
カラーフィルタ用感光性組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、0.5〜20質量%が一般的であり、1〜15質量%が好ましい。
カラーフィルタ用感光性組成物の前記(1)〜(3)の組合わせとしては、それぞれの好ましい例の組合わせが好ましく、それぞれのより好ましい例の組み合わせがより好ましく、それぞれの特に好ましい例の組み合わせが特に好ましい。更に、それぞれの好ましい量についても同様である。
前記着色剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、有機顔料、無機顔料、染料などが挙げられる。
これら着色剤と別に又は併用して、着色剤として金属イオンを配位した樹状分岐分子、並びに金属粒子及び合金粒子の少なくともいずれかの金属系粒子を含有する樹状分岐分子から選ばれるいずれかの樹状分岐分子を含有することも可能である。
−溶媒−
本発明のカラーフィルタ用感光性組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
従来用いられてきたカラーフィルタにおいては、高い色純度を実現するために各画素の色が濃くなり、画素の膜厚のムラが、そのまま色ムラとして認識されるという問題があった。そのため、画素の膜厚に直接影響する、感光性樹脂層の形成(塗布)時の、膜厚変動の良化が求められていた。
本発明のカラーフィルタ又は本発明の感光性樹脂転写材料においては、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラ(膜厚変動による色ムラ)を効果的に防止するという観点から、該カラーフィルタ用感光性組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
本発明のカラーフィルタ用感光性組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−フェニルメルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
本発明のカラーフィルタ用感光性組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
本発明におけるカラーフィルタ用感光性組成物の塗布膜は、前記カラーフィルタ用感光性組成物を塗布することにより塗布膜を形成することができる。
尚、上記塗布膜は、本発明のカラーフィルタ用感光性組成物を、公知の塗布方法により塗布し乾燥することによって形成することができるが、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコータが好適に用いられる。
次に、本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料について説明する。
本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料は、特開平5−72724号公報に記載されている感光性樹脂転写材料、すなわち一体型となったフイルムを用いて形成することが好ましい。該一体型フイルムの構成の例としては、仮支持体/熱可塑性樹脂層/中間層/感光性樹脂層/保護フイルムを、この順に積層した構成が挙げられる。
尚、本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料は、前述の本発明のカラーフィルタ用感光性組成物を用いることによって形成される感光性樹脂層を設けることが必須である。
本発明において仮支持体としては、可撓性を有し、加圧、若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
感光性樹脂層は、前記カラーフィルタ用感光性樹脂組成物を用いて、仮支持体上に塗布乾燥して形成することができる。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、既に<カラーフィルタ用感光性樹脂組成物の塗布膜>の項において説明した、スリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。スリットコータの好ましい具体例等は、前記と同様である。
熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
本発明の感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層及び中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
尚、本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料において、感光性樹脂層の膜厚としては、1.0〜5.0μmが好ましく、1.0〜4.0μmがより好ましく、1.0〜3.0μmが特に好ましい。
また、特に限定されるわけではないが、その他の各層の好ましい膜厚としては、仮支持体は15〜100μm、熱可塑性樹脂層は2〜30μm、中間層は0.5〜3.0μm、保護フイルムは4〜40μmが、一般的に好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記カラーフィルタ用感光性樹脂組成物を用いて、或いは前記カラーフィルタ用感光性樹脂組成物を用いて作製した前記カラーフィルタ用感光性樹脂転写材料を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、露光、現像してカラーフィルタを形成することを特徴とする。
また、本発明のカラーフィルタは、前記カラーフィルタの製造方法を用いて製造されたものである。
即ち、本発明のカラーフィルタは、基板上に感光性樹脂層を形成し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法など、公知の方法によって製造することができる。更に、必要に応じて、その境界をブラックマトリックスで区分した構造とすることもできる。
本発明のカラーフィルタの製造方法における、カラーフィルタ用感光性組成物の塗布には、公知の塗布装置を用いることができるが、中でも特に、既に<カラーフィルタ用感光性組成物の塗布膜>の項において説明した、スリットコータが好適に用いることができる。尚、スリットコータの好ましい具体例等は、前記と同様である。感光性樹脂層を塗布により形成する場合、その膜厚としては、1.0〜3.0μmが好ましく、1.0〜2.5μmがより好ましく、1.0〜2.0μmが特に好ましい。
前記本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料を用い、フイルム状に形成した感光性樹脂層を、後述する基板上に、加熱及び/又は加圧した、ローラー又は平板で、圧着又は加熱圧着することによって、貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。尚、感光性樹脂層を前記本発明のカラーフィルタ用感光性転写材料により形成する場合の、その好ましい膜厚は、<カラーフィルタ用感光性転写材料>の項において記載した好ましい膜厚と同様である。
本発明において、カラーフィルタが形成される基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、カラーフィルタ用感光性組成物、又はカラーフィルタ用感光性転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、700〜1200μmが一般的に好ましい。
本発明のカラーフィルタは、感光性樹脂層を、カラーフィルタ用感光性組成物の塗布によって形成する場合において、該感光性樹脂層上に更に酸素遮断膜を設けることができ、これにより、露光感度をアップすることができる。該酸素遮断膜としては、既に<カラーフィルタ用感光性転写材料>の(中間層)の項において説明したものと同様のものが挙げられる。尚、特に限定されるわけではないが、酸素遮断膜の膜厚としては、0.5〜3.0μmが一般的に好ましい。
上記基板上に形成された感光性樹脂層に、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して露光することで2次元画像の形成し、次いで現像液による現像を行う、という工程を色の数だけ繰り返すことにより、本発明のカラーフィルタを得ることができる。
本発明における露光は、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査することで2次元画像の形成を行う露光(マスクレス露光)である。以下、露光について、説明する。
本発明における露光は、マスクを用いずに行う露光であり、該マスクレス露光は、マスクレスパターン露光とも呼ばれることがある。露光光を透過させない、または、弱めて透過させる材質で画像(露光パターン、パターンとも言う)を形成した「マスク」と呼ばれる物体を露光光の光路に配置し、感光層を、該画像に対応したパターン状に露光する従来の露光方式(マスク露光と言う)に対し、前記の「マスク」を使用せずに感光層をパターン状に露光する露光方式の事である。
本発明のマスクレス露光は、より詳しくは、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査する事で二次元画像の形成を行う露光ということができる。
本発明のマスクレス露光では、光源として超高圧水銀灯や、レーザーが用いられる。
超高圧水銀灯とは、石英ガラスチューブなどに水銀を封入した放電灯であり水銀の蒸気圧を高く設定して発光効率を高めたものである(点灯時の水銀の蒸気圧はおよそ5MPaになるものもある W. Elenbaas : Light Sources 、Philips Technical Library 148-150。)である。輝線スペクトルのうち、i線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)が、中でも365nmが主として用いられる。
レーザーの波長は、特に限定されないが、中でも解像度とレーザー装置のコスト、入手のしやすさの観点から、半導体レーザーでは、300〜500nmの波長域から選択するのが好ましいが、340〜450nmがより好ましく、350〜450nmが更に好ましく、特に405nmは好ましい。
また固体レーザーでは、YAG-SHG固体レーザー の 532nmが挙げられる。更に、半導体励起固体レーザーでは 532・355・266nmが挙げられ、従来のレジスト用光重合開始剤が感度を有すという点では355nmが好ましく選ばれる。
気体レーザーでは、KrFレーザーの249nm ArFレーザーの193nmが用いられる。
これらの光源の中で、表示装置の製造工程で、感光性材料を露光する場合を考えると、露光波長が、410nmとなる光源を選択することが、表示領域の透過率を高くする観点で好ましい。
そのひとつの代表的な方法は、DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス、例えば、1987年、米国テキサス・インスツルメンツの ラリー・ホーンベック博士他が開発した光半導体)のような、微小なミラーが二次元に並んだ空間変調素子を用いる方法である。
この場合、光源からの光は、適切な光学系によってDMD上に照射され、DMDに二次元に並んだ各ミラーからの反射光が、別の光学系などを経て、感光層上に、二次元に並んだ光点の像を形成する。このままでは光点と光点の間は露光されないが、前記二次元に並んだ光点の像を、二次元の並び方向に対して、やや傾いた方向に移動させると、最初の列の光点と光点の間を、後方の列の光点が露光する、という形で、感光層の全面を露光することができる。DMDの各ミラーの角度を制御し、前記光点をON-OFFする事で、画像パターンを形成することができる。このようなDMDを有す露光ヘッドを並べて用いることで色々な幅の基板に対応することができる。
前記DMDでは、前記光点の輝度は、ONかOFFの2階調しかないが、ミラー階調型空間変調素子を用いると、256階調の露光を行うことができる。
特開平5−150175に記載のポリゴンミラーを用いて描画する例、特表2004−523101(WO2002/039793)に記載の下部レイヤの画像の一部を視覚的に取得し、ポリゴンミラーを用いた装置で上部レイヤの位置を下部レイヤ位置に揃えて露光する例、特開2004−56080に記載のDMD有する露光する例、特表2002−523905に記載のポリゴンミラー備えた露光装置、特開2001−255661に記載のポリゴンミラー備えた露光装置、特開2003−50469に記載のDMD、LD、多重露光の組み合わせ例、特開2003−156853に記載の基板の部位により露光量を変える露光方法の例、特開2005−43576に記載の位置ずれ調整を行う露光方法の例等である。
(相対走査露光)
本発明の露光方法としては超高圧水銀灯を用いる方法とレーザーを用いる方法があるが、好ましいのは後者である。
本発明で用いられるレーザーとしてはアルゴンレーザー、He−Neレーザー、半導体レーザー、炭酸ガスレーザー、YAGレーザーなどの公知のレーザーを用いることができる。
レーザーの波長は、特に限定されないが、中でも、感光材料(本発明におけるカラーフィルタ)の解像度とレーザー装置のコスト、入手のしやすさの観点から、300〜500nmの波長域から選択するのが好ましいが、340〜450nmがより好ましく、特に405nmは好ましい。
レーザーのビーム径は、特に限定されないが、中でも、感光材料(本発明におけるカラーフィルタ)の解像度の観点から、ガウシアンビームの1/e2値で5〜30μmが好ましく、7〜20μmがより好ましい。
レーザービームのエネルギー量としては、特に限定されないが、中でも、露光時間と解像度の観点から、1〜100mJ/cm2が好ましく、5〜20mJ/cm2がより好ましい。
本発明ではレーザー光を画像データに応じて空間光変調することが必要である。この目的のため空間光変調素子であるデジタル・マイクロ・デバイスを用いることが好ましい。
露光ユニットは、図1に示すように、ガラス基板150を表面に吸着して保持する平板状のステージ152を備えている。4本の脚部154に支持された厚い板状の設置台156の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた2本のガイド158が設置されている。ステージ152は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド158によって往復移動可能に支持されている。なお、この露光装置には、ステージ152をガイド158に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられている。
スキャナ162の各露光ヘッド166において、ファイバアレイ光源66の合波レーザー光源を構成するGaN系半導体レーザーLD1〜LD7の各々から発散光状態で出射したレーザビームB1,B2,B3,B4,B5,B6,及びB7の各々は、対応するコリメータレンズ11〜17によって平行光化される。平行光化されたレーザービームB1〜B7は、集光レンズ20によって集光され、マルチモード光ファイバ30のコア30aの入射端面に収束する。
また、前記現像液としては、特に制約はなく、特開平5−72724号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は感光性樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、pKa=7〜13の化合物を0.05〜5mol/Lの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。
カラーフィルタ用感光性組成物を順次塗布して重ねる場合は、塗布液のレベリングのため重ねるごとに膜厚が薄くなってしまう。このため、K(ブラック)・R・G・Bの4色を重ね、更に分割配向用突起を重ねることが好ましい。一方、熱可塑性樹脂層を有する転写材料を用いる場合は、厚みが一定に保たれるため、重ねる色は3又は2色とすることが好ましい。
また上記土台のサイズは、転写材料を重ねてラミネートする際の感光性樹脂層の変形を防止し一定の厚みを保持する観点から、25μm×25μm以上が好ましく、30μm×30μm以上が特に好ましい。
本発明の液晶表示装置は、前記で得られたカラーフィルタ用感光性組成物又はカラーフィルタ用感光性転写材料を用いて形成された前記カラーフィルタを用いたことを特徴とする。
前記カラーフィルタを用いて作製した液晶表示装置とすることにより、描画パターンの形状に優れるカラーフィルタを用いることにより、画素欠け等の欠陥を効果的に防止でき、表示特性に優れた液晶表示装置とすることができる。
本発明の液晶表示装置は、上記効果を奏することよりパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の液晶表示装置等としても好適に用いることができる。
[カラーフィルタの作製(転写材料のラミネートよる作製)]
(カラーフィルタ用感光性転写材料の作製)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記カラーフィルタ用感光性組成物K1を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が14.6μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、乾燥膜厚が2.4μmの感光性樹脂層を設け、保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)とブラック(K)の感光性樹脂層とが一体となったカラーフィルタ用感光性転写材料を作製し、サンプル名をカラーフィルタ用感光性転写材料K1とした。
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.36部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=9万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリートを2当量脱水縮合した化合物(新中村化学工業(株)製、商品名:2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン) 9.1部
・下記界面活性剤1 0.54部
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン(株)製、K−30)
14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
カラーフィルタ用感光性組成物K1は、まず表1に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー1、DPHA液、NBCA(黒金化成社製、10−n−ブチル−2−クロロアクリドン)、ハイドロキノンモノメチルエーテル、B−CIM(2,2−ビス(2-クロロフェニル)-4,5,4’,5’-テトラフェニル-1,2’−ビイミダゾール)、N−フェニルメルカプトベンズイミダゾール、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
K顔料分散物1の組成は、
・カーボンブラック(商品名:Nipex35、デグサ ジャパン(株)製) 13.1部
・分散剤(下記化合物1) 0.65部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸
=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
DPHA液の組成は、
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24部
界面活性剤1の組成は、
・下記構造物1 30部
・メチルエチルケトン 70部
R顔料分散物1の組成は、
・C.I.P.R.254(商品名:Irgaphor Red B−CF、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 8部
・分散剤(前記化合物1) 0.8部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 8部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 83部
R顔料分散物2の組成は、
・C.I.P.R.177(商品名:Cromophtal Red A2B、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製) 18部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3万) 12部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 70部
バインダー2の組成は、
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート=38/25/37モル比のランダム共重合物、分子量4万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
添加剤1は、燐酸エステル系特殊活性剤(楠本化成(株)製、商品名:HIPLAAD ED152)を用いた。
G顔料分散物1は、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製の「商品名:GT−2」を用いた。
Y顔料分散物1は、御国色素(株)製の「商品名:CFエローEX3393」を用いた。
B顔料分散物1は、御国色素(株)製の「商品名:CFブルーEX3357」を用いた。
B顔料分散物2は、御国色素(株)製の「商品名:CFブルーEX3383」を用いた。
バインダー3の組成は、
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート=36/22/42モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
−ブラック(K)画像の形成−
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
前記カラーフィルタ用感光性転写材料K1の保護フイルムを剥離後、ラミネーター((株)日立インダストリイズ社製(LamicII型))を用い、前記100℃に加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
基材上の前記感光層K1上の熱可塑性樹脂層に対し、大気雰囲気下で、下記のパターン形成装置を用い、前記感光層K1と露光ヘッドとを相対移動させながら、波長405nm、10mJ/cm2の露光量で露光し、130μmの開口部を有する線幅13μmのブラックストライプパターンと額縁部の黒(K)画像を形成した。
前記光照射手段として図9〜14に示す合波レーザ光源と、前記光変調手段として図16に示す主走査方向にマイクロミラーが800個配列されたマイクロミラー列が、副走査方向に600組配列された前記光変調手段の内、800個×使用領域の列のみを駆動するように制御されたDMD50と、図13に示したマイクロレンズをアレイ状に配列したマイクロレンズアレイ472及び該マイクロレンズアレイを通した光を前記感光層に結像する光学系480、482とを有するパターン形成装置を用いた。
また、マイクロレンズアレイ55の集光位置近傍に配置されるアパーチャアレイ59は、その各アパーチャ59aに、それと対応するマイクロレンズ55aを経た光のみが入射するように配置されている。
引き続き炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、(商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製を純水で5倍に希釈した液))を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名:T−SD1 富士写真フイルム株式会社製)を純水で10倍に希釈して用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーで吹きかけ、更にナイロン毛を有す回転ブラシにより形成された画像を擦って残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。
その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で500mJ/cm2の露光量でポスト露光後、220℃、15分間熱処理した。
このKの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記カラーフィルタ用感光性転写材料R1を用い、前記カラーフィルタ用感光性転写材料K1と同様の工程で、熱処理済みのレッド(R)画素を得た。但し、露光量は5mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は35℃35秒とした。
該感光性樹脂層R1膜厚を表2に示す。
このKの画像、及びRの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記カラーフィルタ用感光性転写材料G1を用い、前記カラーフィルタ用感光性転写材料R1と同様の工程で、熱処理済みのグリーン(G)の画素を得た。但し露光量は10mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は34℃45秒とした。
該感光性樹脂層G1膜厚を表2に示す。
このKの画像、RとGの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置に送った。
前記カラーフィルタ用感光性転写材料B1を用い、前記カラーフィルタ用感光性転写材料R1と同様の工程で、熱処理済みのブルー(B)の画素を得た。但し露光量は8mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は36℃40秒とした。
該感光性樹脂層B1膜厚を表2に示す。
このR、G、Bの画素及びKの画像を形成した基板を240℃で50分ベークして、目的のカラーフィルタを得た。
実施例1において用いたカラーフィルタ用感光性転写材料R1をカラーフィルタ用感光性転写材料R2に変更し、露光後現像前の膜厚2.0μmを1.5μmに変更し、表2の露光量に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
実施例1において、G画素形成での露光量を表2に記載の露光量に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
実施例1において、B画素形成での露光量を表2に記載の露光量に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
実施例4において用いたカラーフィルタ用感光性転写材料B1をカラーフィルタ用転写材料B2に変更し、露光後現像前の膜厚2.0μmを0.7μmに変更し、表2の露光量に変更した以外は、実施例4と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
[カラーフィルタの作製(スリット状ノズルを用いた塗布による作製)]
−ブラック(K)画像の形成−
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
該基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(平田機工株式会社製)にて、上記表1に記載の組成よりなる前記カラーフィルタ用感光性組成物K1を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置;東京応化工業(株)製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、120℃3分間プリベークして膜厚2.4μmの感光性樹脂層を得た。
前記Kの画像を形成した基板に、上記表1に記載の組成よりなる上記カラーフィルタ用感光性組成物R2を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みR画素(厚み2.0μm)を形成した。
前記Kの画像とRの画素を形成した基板に、上記表1に記載の組成よりなる上記カラーフィルタ用感光性組成物G1を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みG画素(厚み2.5μm)を形成した。
前記Kの画像、R及びGの画素を形成した基板に、上記表1に記載の組成よりなる上記カラーフィルタ用感光性組成物B1を用い、前記ブラック(K)画像の形成と同様の工程で、熱処理済みB画素(厚み2μm)を形成し、目的のカラーフィルタを得た。
実施例1において用いたカラーフィルタ用感光性転写材料R1をカラーフィルタ用感光性転写材料R3に変更し、露光後現像前の膜厚2.0μmを5.0μmに変更し、表2の露光量に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
実施例1において用いたカラーフィルタ用感光性転写材料R1をカラーフィルタ用感光性転写材料R4に変更し、露光後現像前の膜厚2.0μmを8.2μmに変更し、表2の露光量に変更した以外は、実施例1と同様の方法にて目的のカラーフィルタを得た。
−タクト時間(露光時間)評価−
表2に記載の顔料を有するカラー画素の形成において、上記実施例及び比較例における該カラー画素のタクト時間(露光時間:秒)を測定し、評価した。タクト時間が500秒以内であれば、生産性を満足すると判断した。結果を表2に示す。
ここで、タクト時間とは、感光性樹脂層が形成された基板を露光装置にセットし、露光工程のうち露光時間をいう。タクト時間は500秒以内が好ましく、100秒以内がより好ましい。
カラス基板と感光性樹脂層とが接する領域での形状を、ダイナスコープ ホーク(日本Vision Engineering(株)製)を用いて目視観察し、下記基準で評価した。結果を表2に示した。
<評価基準>
○:形状の変化が10%未満で、殆んど認められないレベル。
△:形状の変化が10%以上〜20%未満で、許容範囲のレベル。
×:形状の変化が20%以上で、許容範囲外のレベル。
一方、本発明の露光量と膜厚(%)を満たさない比較例はいずれもパターン形状が不良で、比較例1においては更にタクト時間も長く生産性が好ましくないことが分かる。
実施例1〜6のカラーフィルタ、及び比較例1〜2のカラーフィルタを用いて液晶表示装置を形成した。比較例のカラーフィルタを用いた液晶表示装置と比較して、実施例のカラーフィルタを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。
54…レンズ系
66…ファイバアレイ光源
166…露光ヘッド(本発明に係る露光ユニット)
Claims (4)
- 少なくともバインダー、モノマーまたはオリゴマー、及び光重合開始剤または光重合開始系を含み、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して露光することで2次元画像の形成を行う露光に用いられるカラーフィルタ用感光性組成物であって、露光、現像したときの、現像後の膜厚が、前記露光後現像前の膜厚に対して±10%以内となるときの露光量が3mJ/cm2以上50mJ/cm2以下であることを特徴とするカラーフィルタ用感光性組成物。
- 少なくともバインダー、モノマーまたはオリゴマー、及び光重合開始剤または光重合開始系を含む感光性組成物を基板上に塗布、乾燥、あるいはラミネートして感光性組成物層を形成し、画像データに基づいて光を変調しながら相対走査して前記組成物層を露光することで2次元画像の形成を行うカラーフィルタの製造方法において、露光量を3mJ/cm2以上50mJ/cm2以下として露光し、現像したときに、前記組成物層の露光後現像前の膜厚に対して、現像後の膜厚が±10%以内であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
- 請求項2に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
- 請求項3に記載のカラーフィルタを含むことを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005320123A JP2007127818A (ja) | 2005-11-02 | 2005-11-02 | カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005320123A JP2007127818A (ja) | 2005-11-02 | 2005-11-02 | カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007127818A true JP2007127818A (ja) | 2007-05-24 |
Family
ID=38150526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005320123A Abandoned JP2007127818A (ja) | 2005-11-02 | 2005-11-02 | カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007127818A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013534326A (ja) * | 2010-08-03 | 2013-09-02 | 東進セミケム株式会社 | ネガティブ感光性樹脂組成物 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004137152A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Showa Denko Kk | ヘキサアリールビイミダゾール化合物およびそれを含む光重合開始剤組成物 |
JP2004163917A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-06-10 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2005249970A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
-
2005
- 2005-11-02 JP JP2005320123A patent/JP2007127818A/ja not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004137152A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Showa Denko Kk | ヘキサアリールビイミダゾール化合物およびそれを含む光重合開始剤組成物 |
JP2004163917A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-06-10 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
JP2005249970A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | パターン形成材料、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013534326A (ja) * | 2010-08-03 | 2013-09-02 | 東進セミケム株式会社 | ネガティブ感光性樹脂組成物 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2005116775A1 (ja) | パターン形成方法及びカラーフィルタの製造方法、並びにカラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
JP2007011231A (ja) | パターン形成方法、カラーフィルター付基板及び表示素子 | |
JP2007024969A (ja) | セル内構造の製造方法及びセル内構造並びに表示装置 | |
JP2007156011A (ja) | フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、スペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置 | |
JP2008233112A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
JP2007041082A (ja) | 液晶表示素子用感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ並びにその製造方法、及び、lcd表示素子 | |
JP2007101742A (ja) | パターン形成方法、カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
JPWO2007074694A1 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
JP2007178932A (ja) | カラーフィルタ用隔壁の製造方法、隔壁付基板、カラーフィルタ及びその製造方法並びに液晶表示装置 | |
JP2007101607A (ja) | 表示装置用部材及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2007041308A (ja) | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び画像表示装置 | |
JP2007114602A (ja) | カラーフィルタ用感光性樹脂組成物、カラーフィルタ用感光性樹脂転写材料、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、及び画像形成方法 | |
JP2007127818A (ja) | カラーフィルタ用感光性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置 | |
JP2007071957A (ja) | カラーフィルタ及びパターン形成方法、並びに液晶表示装置 | |
JPWO2007013233A1 (ja) | 液晶表示素子用感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルター並びにその製造方法、及び、液晶表示素子 | |
JP2007041158A (ja) | カラーフィルタ作成用の光硬化性樹脂着色組成物、光硬化性樹脂転写フィルム、及びそれらを用いて製造するカラーフィルタの製造方法 | |
JP2007057717A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
JP4897270B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
JP2007025003A (ja) | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
JP2007108498A (ja) | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
JP2006330690A (ja) | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及びそれを有する表示装置 | |
JP2007041236A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置 | |
JP4916141B2 (ja) | カラーフィルタ形成材料及びカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、並びに液晶表示装置 | |
KR20070017039A (ko) | 감광성 조성물, 및 컬러필터 및 그 제조방법, 액정표시장치 | |
JP2006018221A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070207 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20110218 |