JP2007123450A - 光学部品の製造方法及び発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光学部品を構成する被処理体1において光が入射又は出射する被処理面1a上に、例えば金からなる直径200nm程度の金属ナノ粒子2を複数個設ける。次に、被処理面1aに例えば波長800nmのレーザ光L1を照射して、金属ナノ粒子2の位置にそれぞれ凹部1bを形成することにより被処理面1aを粗面化する。金属ナノ粒子2が凹部1bの形成とともに除去されることにより、金属ナノ粒子2をマスクとして用いた反応性イオンエッチングによって粗面化する従来の方法に比べ、エッチング後に金属ナノ粒子2を除去する工程が不要となるから容易である。また、研磨による粗面化と違って被処理体1に残留応力やクラックが発生しない。
【選択図】図1
Description
2 金属ナノ粒子
3 溶媒
4 薄膜
10 LEDチップ
11 結晶成長用基板
L1,L2 レーザ光
Claims (8)
- 光が入射又は出射する被処理面上に金属ナノ粒子を複数個設ける工程と、被処理面上に設けられた金属ナノ粒子の直径よりも波長が長いレーザ光を透光体に照射し、表面プラズモン共鳴によって被処理面の金属ナノ粒子近傍に凹部を形成することで被処理面を粗面化する工程とを備えることを特徴とする光学部品の製造方法。
- 金属ナノ粒子として表面が有機物でコーティングされたものを用いることを特徴とする請求項1記載の光学部品の製造方法。
- 被処理面を粗面化する工程で用いるレーザ光のパルス幅を1fs〜10000fsとしたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の光学部品の製造方法。
- 被処理面を粗面化する工程で直線偏光のレーザ光を用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載の光学部品の製造方法。
- 被処理面上に金属ナノ粒子を設ける工程において、金属ナノ粒子を分散させた液体媒質中に光学部品を浸漬した後、被処理面が媒質の液面に対して交差する向きで光学部品を引き上げることにより被処理面上に複数個の金属ナノ粒子を設けることを特徴とする請求項1〜4のいずれか記載の光学部品の製造方法。
- 被処理面上に金属ナノ粒子を設ける工程として、被処理面上に金属の薄膜を形成する工程と、金属の薄膜を加熱溶融後に凝固させることにより被処理面上に複数個の金属ナノ粒子を形成する工程とを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか記載の光学部品の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかの製造方法によって光の出射面が粗面化されていることを特徴とする発光素子。
- 発生する光の波長を変換する物質を含む蛍光体が、請求項1〜6のいずれかの製造方法によって形成された粗面に含浸されていることを特徴とする請求項7記載の発光素子。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009206510A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Ind Technol Res Inst | 光熱作用を利用した基板の表面構造の製造方法 |
JP2011258947A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-22 | Saint Gobain Cristo & Detecteurs | テクスチャー化単結晶 |
KR101097888B1 (ko) | 2009-11-16 | 2011-12-23 | 전북대학교산학협력단 | 질화물계 반도체 발광 소자 및 기판 제조 방법 |
US20120024505A1 (en) * | 2007-09-07 | 2012-02-02 | Samsung Electtronics Co., Ltd. | Heat transfer medium and heat transfer method using the same |
WO2012119286A1 (zh) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | 山东大学 | 一种光辅助红光led磷化镓窗口层的湿法粗化方法 |
WO2013112200A1 (en) * | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Bridgelux. Inc. | Gold micromask for roughening to promote light extraction in an led |
US8557707B2 (en) * | 2007-04-30 | 2013-10-15 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Focused ion beam deep nano-patterning apparatus and method |
CN105720144A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-06-29 | 晶能光电(常州)有限公司 | 一种硅衬底氮化物紫外led芯片结构及其实现方法 |
CN111913337A (zh) * | 2019-05-09 | 2020-11-10 | 中强光电股份有限公司 | 波长转换元件及其制作方法 |
WO2021153833A1 (ko) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0778807A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Sony Corp | マスク及びその形成方法及びこれを用いたエッチング方法 |
JP2001229568A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-24 | Fuji Xerox Co Ltd | 光読取装置および光記録読取装置 |
JP2003046124A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
WO2005059952A2 (en) * | 2003-07-28 | 2005-06-30 | The Regents Of The University Of California | Langmuir-blodgett nanostructure monolayers |
JP2005260178A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Sharp Corp | パターン形成方法、近接場光発生素子および露光装置 |
-
2005
- 2005-10-26 JP JP2005312001A patent/JP4852973B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0778807A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-03-20 | Sony Corp | マスク及びその形成方法及びこれを用いたエッチング方法 |
JP2001229568A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-24 | Fuji Xerox Co Ltd | 光読取装置および光記録読取装置 |
JP2003046124A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-14 | Matsushita Electric Works Ltd | 発光素子及びその製造方法 |
WO2005059952A2 (en) * | 2003-07-28 | 2005-06-30 | The Regents Of The University Of California | Langmuir-blodgett nanostructure monolayers |
JP2007500606A (ja) * | 2003-07-28 | 2007-01-18 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティー オブ カリフォルニア | ラングミュア−ブロジェットナノ構造体単層 |
JP2005260178A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Sharp Corp | パターン形成方法、近接場光発生素子および露光装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8557707B2 (en) * | 2007-04-30 | 2013-10-15 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Focused ion beam deep nano-patterning apparatus and method |
US8945687B2 (en) * | 2007-09-07 | 2015-02-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Heat transfer medium and heat transfer method using the same |
US20120024505A1 (en) * | 2007-09-07 | 2012-02-02 | Samsung Electtronics Co., Ltd. | Heat transfer medium and heat transfer method using the same |
US8323553B2 (en) | 2008-01-31 | 2012-12-04 | Industrial Technology Research Institute | Method for manufacturing a substrate with surface structure by employing photothermal effect |
JP2009206510A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Ind Technol Res Inst | 光熱作用を利用した基板の表面構造の製造方法 |
KR101097888B1 (ko) | 2009-11-16 | 2011-12-23 | 전북대학교산학협력단 | 질화물계 반도체 발광 소자 및 기판 제조 방법 |
JP2011258947A (ja) * | 2010-05-31 | 2011-12-22 | Saint Gobain Cristo & Detecteurs | テクスチャー化単結晶 |
TWI511323B (zh) * | 2010-05-31 | 2015-12-01 | Saint Gobain Cristaux Et Detecteurs | 紋理化之單晶 |
WO2012119286A1 (zh) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | 山东大学 | 一种光辅助红光led磷化镓窗口层的湿法粗化方法 |
US8759127B2 (en) | 2011-08-31 | 2014-06-24 | Toshiba Techno Center Inc. | Gold micromask for roughening to promote light extraction in an LED |
WO2013112200A1 (en) * | 2012-01-26 | 2013-08-01 | Bridgelux. Inc. | Gold micromask for roughening to promote light extraction in an led |
CN105720144A (zh) * | 2016-03-24 | 2016-06-29 | 晶能光电(常州)有限公司 | 一种硅衬底氮化物紫外led芯片结构及其实现方法 |
CN105720144B (zh) * | 2016-03-24 | 2021-09-24 | 晶能光电(江西)有限公司 | 一种硅衬底氮化物紫外led芯片结构及其实现方法 |
CN111913337A (zh) * | 2019-05-09 | 2020-11-10 | 中强光电股份有限公司 | 波长转换元件及其制作方法 |
WO2021153833A1 (ko) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 |
EP4099388A4 (en) * | 2020-01-30 | 2024-02-28 | Lg Electronics Inc | DISPLAY DEVICE USING A LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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