JP2007117838A - ワーク洗浄方法及びワーク洗浄システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず、洗浄室1及び後室3の室内を、真空ポンプ12及び炭酸ガス注入装置13により水分の少ない炭酸ガスに置換して低露点環境にしておく。次に、前室2内にワーク20を投入した後、前室2も低露点環境にする(洗浄前工程)。次に、前室2のワーク20を洗浄室1へ移動させ、洗浄ノズル16から噴出される粉末状のドライアイスによりワーク20を洗浄する(洗浄工程)。このとき、前室2では次のワーク20に対する洗浄前工程を行なっておく。次に、洗浄後のワーク20を後室3へ移動させ、ここでヒータ22によりワーク20を加温した後、搬出し、後室3を再び低露点環境にする(洗浄後工程)。このとき、洗浄室1では、次のワーク20に対する洗浄工程を行なっておく。
【選択図】図1
Description
そこで、ドライアイスにより洗浄する際に、結露の発生を防止するために、次のような方法が考えられる。すなわち、洗浄室(チャンバー)内にワークを投入した後、洗浄室内に水分を含まない不活性ガス(例えば窒素ガス)またはドライエア(乾燥空気)を注入することにより低露点化を図り(露点が−40℃以下となるようにする)、この雰囲気中で、ドライアイスによる洗浄を行なう方法、あるいは、洗浄室内にワークを投入した後、まず洗浄室内を真空ポンプにより真空引きして水分を含む空気をできるだけ取り除き、この後、水分を含まない不活性ガスまたはドライエアを注入することにより低露点化を図り、この雰囲気中で、ドライアイスによる洗浄を行なう方法である。
前記ワーク投入口から前記前室内にワークを投入し、前記ワーク投入口及び前記第1の接続口を閉鎖した状態で前記前室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄前工程と、
予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した前記洗浄室内に、前記前室のワークを前記第1の接続口を通して移動させ、前記第1の接続口及び第2の接続口を閉鎖した状態で前記洗浄室内において前記洗浄手段により前記ワークを洗浄する洗浄工程と、
予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した前記後室内に、前記洗浄室の洗浄後のワークを前記第2の接続口を通して移動させ、前記第2の接続口及び前記ワーク搬出口を閉鎖した状態で前記後室内において前記加温手段により前記ワークを所定温度まで加温した後、前記ワーク搬出口から外部へ搬出し、前記ワーク搬出口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で前記後室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄後工程とを順に実行するようにし、
前記洗浄室にて前記洗浄行程を実行している間に、前記前室においては次のワークに対する前記洗浄前工程を実行し、前記後室にて前記洗浄後工程を実行している間に、前記洗浄室においては次のワークに対する前記洗浄行程を実行するようにしたことを特徴とする。
前記前室においては、前記ワーク投入口からワークを投入し、前記ワーク投入口及び第1の接続口を閉鎖した状態で室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄前工程を行い、
前記洗浄室においては、予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した状態で、前記前室のワークを前記第1の接続口を通して移動させ、前記第1の接続口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で前記洗浄手段により前記ワークを洗浄する洗浄工程を行ない、
前記後室においては、予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した状態で、前記洗浄室の洗浄後のワークを前記第2の接続口を通して移動させ、前記第2の接続口及び前記ワーク搬出口を閉鎖した状態で前記加温手段により前記ワークを所定温度まで加温した後、前記ワーク搬出口から外部へ搬出し、前記ワーク搬出口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄後工程を行なう構成とし、
前記洗浄室にて前記洗浄行程を実行している間に、前記前室においては次のワークに対する前記洗浄前工程を実行し、前記後室にて前記洗浄後工程を実行している間に、前記洗浄室においては次のワークに対する前記洗浄行程を実行する構成としたことを特徴とする。
図1には、ワーク洗浄システム(ワーク洗浄装置)の概略的な構成が示されている。この図1において、中央部に洗浄室1が配置され、この洗浄室1の左隣に前室2が配置され、そして洗浄室1の右隣に後室3が配置されている。この場合、洗浄室1は、前室2及び後室3よりも大きく形成されている。前室2の左側にはワーク投入口4が形成されていると共に、このワーク投入口4を開閉する投入口用扉5が設けられている。前室2と洗浄室1との間には、これらを接続する第1の接続口6が形成されていると共に、この第1の接続口6を開閉する第1の接続口用扉7が設けられている。洗浄室1と後室3との間には、これらを接続する第2の接続口8が形成されていると共に、この第2の接続口8を開閉する第2の接続口用扉9が設けられている。後室3の右側にはワーク搬出口10が形成されていると共に、このワーク搬出口10を開閉する搬出口用扉11が設けられている。
[ステップ1](運転準備工程)
ステップ1では、運転準備として、まず洗浄室1及び後室3を低露点環境にする。具体的には、第1及び第2の接続口6,8、並びにワーク搬出口10をそれぞれ閉鎖した状態で、洗浄室1及び後室3内の空気を、対応する真空ポンプ12により吸引して真空引きし(約10Paまで減圧する)、その後、対応する炭酸ガス注入装置13によりそれら洗浄室1及び後室3内に炭酸ガスを注入することによって、洗浄室1及び後室3内の空気を水分の少ないガスに置換する。これにより、洗浄室1及び後室3は露点が−40℃以下となる低露点環境となる。この後、この状態を保持しておく。各室1,3内は炭酸ガスの注入により、大気圧とほぼ同じ圧力まで高くなる。
ステップ2では、まず前室2のワーク投入口4を開放し、そこから前室2内に洗浄対象のワーク20を投入する。ワーク20は、例えば液晶パネルである。そして、ワーク投入口4を閉鎖した状態で、前室2内の空気を真空ポンプ12により吸引して真空引きし、その後、対応する炭酸ガス注入装置13により前室2内に炭酸ガスを注入し、前室2内を水分の少ないガスに置換する。これにより、前室2は、洗浄室1及び後室3と同じように、露点が−40℃以下となる低露点環境となる。この後、この状態を保持しておく。このステップ2が、本発明における洗浄前工程に相当する。
ステップ3では、前室2と洗浄室1との間の第1の接続口6を開放し、前室2内のワーク20を移送手段(図示せず)により洗浄室1内へ移動させ、第1の接続口6及び第2の接続口8を閉鎖した状態で、洗浄ノズル16を用いてドライアイスによりワーク20の洗浄を行なう。このとき、ワーク20を前室2から洗浄室1へ移動させるために第1の接続口6を開放しても、前室2と洗浄室1とはほぼ同じ低露点環境であるため、洗浄室1は低露点環境のままである。このため、ワーク20を洗浄室1へ移動後、第1の接続口6を閉鎖することで、直ぐに洗浄ノズル16によりワーク20の洗浄を行なうことができる。このステップ3が、本発明における洗浄工程に相当する。
[ステップ4](洗浄後工程)
洗浄室1でのワーク20に対する洗浄が終了したら、洗浄室1と後室3との間の第2の接続口8を開放し、洗浄室1内のワーク20を移送手段(図示せず)により後室3内へ移動させる。このときも、ワーク20を洗浄室1から後室3へ移動させるために第2の接続口8を開放しても、洗浄室1と後室3とはほぼ同じ低露点環境であるため、後室3は低露点環境のままである。そして、後室3において、第2の接続口8及びワーク搬出口10を閉鎖した状態で、ヒータ22によりワーク20を所定の温度(後室3の外部の温度とほぼ同じ温度)になるまで加温し、この後、ワーク搬出口10を開放して後室3内のワーク20を外部へ搬出する。このとき、洗浄室1でのドライアイスの洗浄に伴いワーク20が低温度になっていても、そのワーク20を後室3において外部の温度とほぼ同じ温度まで加温した後、外部へ搬出することで、後室3の外部においてワーク20に結露が発生することを防止できる。
これ以降は、ステップ2〜4を繰り返し行なう。
前室2、洗浄室1、後室3の各室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段としては、真空ポンプ12を用いずに、炭酸ガス注入装置13のみを用いるようにすることも可能である。また、注入するガスとしては、炭酸ガス以外の不活性ガス、例えば窒素ガスでも良く、また、乾燥空気でも良い。
Claims (3)
- 開閉可能なワーク投入口を有すると共に、室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段を有する前室と、
開閉可能な第1の接続口を介して前記前室と接続され、室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段を有すると共に、粉末状のドライアイスによりワークを洗浄する洗浄手段を有する洗浄室と、
開閉可能な第2の接続口を介して前記洗浄室と接続され、開閉可能なワーク搬出口、及び室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段、並びにワークを加温する加温手段を有する後室とを備え、
前記ワーク投入口から前記前室内にワークを投入し、前記ワーク投入口及び前記第1の接続口を閉鎖した状態で前記前室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄前工程と、
予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した前記洗浄室内に、前記前室のワークを前記第1の接続口を通して移動させ、前記第1の接続口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で前記洗浄室内において前記洗浄手段により前記ワークを洗浄する洗浄工程と、
予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した前記後室内に、前記洗浄室の洗浄後のワークを前記第2の接続口を通して移動させ、前記第2の接続口及び前記ワーク搬出口を閉鎖した状態で前記後室内において前記加温手段により前記ワークを所定温度まで加温した後、前記ワーク搬出口から外部へ搬出し、前記ワーク搬出口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で前記後室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄後工程とを順に実行するようにし、
前記洗浄室にて前記洗浄行程を実行している間に、前記前室においては次のワークに対する前記洗浄前工程を実行し、前記後室にて前記洗浄後工程を実行している間に、前記洗浄室においては次のワークに対する前記洗浄行程を実行するようにしたことを特徴とするワーク洗浄方法。 - 開閉可能なワーク投入口を有すると共に、室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段を有する前室と、
開閉可能な第1の接続口を介して前記前室と接続され、室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段を有すると共に、粉末状のドライアイスによりワークを洗浄する洗浄手段を有する洗浄室と、
開閉可能な第2の接続口を介して前記洗浄室と接続され、開閉可能なワーク搬出口、及び室内の空気を水分の少ないガスと置換するガス置換手段、並びにワークを加温する加温手段を有する後室とを備え、
前記前室においては、前記ワーク投入口からワークを投入し、前記ワーク投入口及び前記第1の接続口を閉鎖した状態で室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄前工程を行い、
前記洗浄室においては、予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した状態で、前記前室のワークを前記第1の接続口を通して移動させ、前記第1の接続口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で前記洗浄手段により前記ワークを洗浄する洗浄工程を行ない、
前記後室においては、予め室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換した状態で、前記洗浄室の洗浄後のワークを前記第2の接続口を通して移動させ、前記第2の接続口及び前記ワーク搬出口を閉鎖した状態で前記加温手段により前記ワークを所定温度まで加温した後、前記ワーク搬出口から外部へ搬出し、前記ワーク搬出口及び前記第2の接続口を閉鎖した状態で室内を前記ガス置換手段により水分の少ないガスに置換する洗浄後工程を行なう構成とし、
前記洗浄室にて前記洗浄行程を実行している間に、前記前室においては次のワークに対する前記洗浄前工程を実行し、前記後室にて前記洗浄後工程を実行している間に、前記洗浄室においては次のワークに対する前記洗浄行程を実行する構成としたことを特徴とするワーク洗浄システム。 - 前記前室、洗浄室、及び後室の各ガス置換手段は、対応する室内の空気を引いて真空引きする真空引き手段と、真空引きした室内に水分の少ないガスを注入するガス注入手段とを備えていることを特徴とする請求項2記載のワーク洗浄システム。
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