JPH0650661A

JPH0650661A - 真空乾燥装置

Info

Publication number: JPH0650661A
Application number: JP20500292A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Tsukada; 哲夫塚田; Sadao Oguchi; 貞雄小口
Original assignee: TSUKADA FUAINESU KK
Current assignee: TSUKADA FUAINESU KK
Priority date: 1992-07-31
Filing date: 1992-07-31
Publication date: 1994-02-25

Abstract

(57)【要約】【目的】真空乾燥室を大気圧まで戻すことなく、そこ
からワークを搬出入可能な構造を採用して、乾燥工程を
高効率化可能な真空乾燥装置を実現すること。【構成】真空乾燥装置２０の真空乾燥室１２の両側に
は、給材予備室１１と除材予備室１３とを有し、いずれ
のワーク受渡し口などの開口部にもゲート機構１４〜１
７を有する。また、給材予備室１１の側には、ノズル３
０１として開口する空気流供給経路３０２と、この空気
流供給経路３０２に接続されたコンプレッサー３０３
と、空気流供給経路３０２を開閉する第１の電磁バルブ
３０５とを有し、その底面側には、空気排出部３０６と
して開口する空気排出経路３０７と、この空気排出経路
３０７を開閉する第２の電磁バルブ３０８を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄後のワークから洗
浄液を乾燥、除去するための真空乾燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】機械部品や回路基板などのワークに対す
る洗浄には、塩素系溶剤やフッ素系溶剤が使用されてき
たが、環境に対する影響から、それらの使用が規制され
つつある。この代替として、水系洗浄剤、アルコール系
または石油系溶剤などが考えられる。これらの洗浄剤や
溶剤を使用して洗浄した後の乾燥工程においては、最終
の洗浄工程でワークに付着する水、アルコールまたは石
油系溶剤などが、いずれも塩素系溶剤やフッ素系溶剤に
比して乾燥性において劣ることから、たとえば、図５に
示す真空乾燥装置などを用いて、ワークに真空乾燥工程
を施し、効率的な乾燥工程を行う方法が考えられてい
る。ここで、図５に示す真空乾燥装置には、その真空乾
燥室５１のワーク給除材口５２を開閉可能なシャッター
板５３が設けてあり、シャッター板５３によってワーク
給除材口５２を閉鎖した状態で空気吸引源５４を作動さ
せると、真空乾燥室５１に連通する空気吸引経路５６を
介して、真空乾燥室５１の空気が吸引されて、真空乾燥
室５１の内部が真空状態になり、ワークＷに付着してい
た洗浄液が乾燥、除去される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示す従来の真空乾燥装置においては、ワークＷに対する
真空乾燥が終了した後に、シャッター板５３を点線で示
す位置にスライド移動させて、ワーク給除材口５２を開
放状態にしてからワークＷを搬出するため、真空乾燥室
５１は大気圧に戻されるので、つぎのワークを真空乾燥
するのに、真空乾燥室５１の内部を真空状態にするまで
長いロスタイムが発生する。従って、真空乾燥工程を採
用して、洗浄液の乾燥速度が低いことを補っても、前述
のロスタイムによって、乾燥工程の全体的な効率を向上
できないという問題点がある。

【０００４】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
真空乾燥室を大気圧まで戻すことなく、そこからワーク
を搬出可能な構造を採用して、乾燥工程の効率を向上可
能な真空乾燥装置を実現することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る真空乾燥装置において講じた手段は、
ワーク給材口を備える給材予備室と、ワーク給材口を開
閉可能な給材口ゲート機構と、給材予備室に第１のワー
ク受渡し口を介して接続する真空乾燥室と、この真空乾
燥室内からそこが真空状態になるまで空気を吸引可能な
空気吸引手段と、第１のワーク受渡し口を開閉可能な第
１の受渡し口ゲート機構と、真空乾燥室に第２のワーク
受渡し口を介して接続し、ワーク除材口を備える除材予
備室と、第２のワーク受渡し口を開閉可能な第２の受渡
し口ゲート機構と、ワーク除材口を開閉可能な除材口ゲ
ート機構と、給材予備室内のワークを第１のワーク受渡
し口から真空乾燥室内に搬送可能な第１のワーク搬送手
段と、真空乾燥室内のワークを除材予備室内に搬送可能
な第２のワーク搬送手段とを設けることである。すなわ
ち、真空乾燥室との間でワークを直接的には搬出入せ
ず、ゲート機構によって密閉可能な給材予備室または除
材予備室を介してワークを受渡し可能にすることであ
る。

【０００６】これに対して、真空乾燥室へのワークの搬
入および真空乾燥室からのワークの搬出を同じワーク受
渡し口から行う真空乾燥装置においては、ワーク給除材
口を備える予備室と、ワーク給除材口を開閉可能な給除
材口ゲート機構と、予備室にワーク受渡し口を介して接
続する真空乾燥室と、この真空乾燥室内からそこが真空
状態になるまで空気を吸引可能な空気吸引手段と、ワー
ク受渡し口を開閉可能な受渡し口ゲート機構と、予備室
内のワークを少なくともワーク受渡し口を介して真空乾
燥室内に搬送可能な第１のワーク搬送手段と、真空乾燥
室内のワークをワーク受渡し口を介して予備室内に搬送
可能な第２のワーク搬送手段とを設けることである。

【０００７】本発明においては、給材予備室および予備
室に対して、そこに搬入されたワークを液切りする液切
り手段を設けることが好ましく、この液切り手段として
は、その内部に搬入されたワークに向けて空気流を吹き
つけ可能な空気流吹きつけ部として開口する空気流供給
経路と、この空気流供給経路に接続された空気流供給源
と、空気流供給経路を閉鎖状態と開放状態とに切換する
空気流供給経路開閉手段と、空気流吹きつけ部に対して
予備室内のワークを介して対峙する位置で空気排出部と
して開口する空気排出経路と、この空気排出経路を閉鎖
状態と開放状態とに切換する空気流経路開閉手段とを有
する送風液切り手段などを採用することができる。

【０００８】

【作用】上記手段を講じた本発明に係る真空乾燥装置に
おいては、真空乾燥室に対して給材予備室、除材予備室
（予備室）を設けるとともに、それらの間のワーク受渡
し口，各予備室のワーク給材口およびワーク除材口のい
ずれにもゲート機構を設けてあるため、たとえば、真空
乾燥室を真空状態にしてワークから洗浄液を真空乾燥し
た後に、乾燥済みのワークを搬出するときには、まず、
ワーク除材口側をゲート機構によって閉鎖状態にして、
真空乾燥室からワークを除材予備室に搬送する。そし
て、真空乾燥室のワーク受渡し口をゲート機構によって
閉鎖状態にした後に、除材予備室を大気開放し、ワーク
を除材予備室からワーク除材口を介して搬送する。従っ
て、ワークを搬出する過程で、真空乾燥室が大気に開放
されることがない。同様に、ワークを真空乾燥室に搬送
する場合も、給材予備室を利用して、真空乾燥室が大気
に対して開放状態になることを防止できる。それ故、つ
ぎのワークを乾燥するために真空乾燥室の真空度を高め
るまでに要する時間が短いので、乾燥工程を高効率化で
きる。

【０００９】

【実施例】つぎに、添付図面を参照して、本発明の実施
例について説明する。

【００１０】〔実施例１〕図１は本発明の実施例１に係
る真空乾燥装置の構成を示す概略構成図であり、本例の
真空乾燥装置は、真空乾燥室とのワークの受渡しをそれ
ぞれ別のワーク搬出入口で行うタイプのものである。

【００１１】図１において、本例の真空乾燥装置１０に
は、ワーク給材口１１１を備える給材予備室１１と、給
材予備室１１に第１のワーク受渡し口１２１を介して接
続する真空乾燥室１２と、この真空乾燥室１２に第２の
ワーク受渡し口１２２を介して接続し、ワーク除材口１
３１を備える除材予備室１３とを有する。そのうち、給
材予備室１１および除材予備室１３は、いずれも、真空
乾燥室１２に比して小さく設計されている。また、真空
乾燥室１２には、そこが真空状態になるまで空気を吸引
可能な空気吸引機構１９（空気吸引手段）が設けられて
おり、この空気吸引機構１９は、真空乾燥室１２の下面
側に空気吸引口１９１として開口する空気吸引経路１９
２と、この空気吸引経路１９２に接続された空気吸引源
としてのメカニカルブースターポンプ１９３およびロー
タリポンプ１９４とを備える。

【００１２】また、本例の真空乾燥装置１０には、ワー
ク給材口１１１を開閉可能なシャッター板１４１を備え
る給材口ゲート機構１４と、第１のワーク受渡し口１２
１を開閉可能なシャッター板１５１を備える第１の受渡
し口ゲート機構１５と、第２のワーク受渡し口１２２を
開閉可能なシャッター板１６１を備える第２の受渡し口
ゲート機構１６と、ワーク除材口１３１を開閉可能なシ
ャッター板１７１を備える除材口ゲート機構１７を有す
る。ここで、給材口ゲート機構１４，第１の受渡し口ゲ
ート機構１５，第２の受渡し口ゲート機構１６および除
材口ゲート機構１７のいずれのゲート機構も、シーケン
サ制御部（図示せず。）によって制御されて、シャッタ
ー板１４１，１５１，１６１，１７１は実線で示す位置
と点線で示す位置との間にスライド移動し、それぞれの
開口部を開閉自在になっている。

【００１３】そのうち、第１の受渡し口ゲート機構１５
のシャッター板１５１は点線で示す位置に移動したとき
には、そのシャッター板収納部１５２に退避した状態に
なり、第２の受渡し口ゲート機構１６のシャッター板１
６１は、点線で示す位置に移動したときには、そのシャ
ッター板収納部１６２に退避した状態になる。さらに、
本例の真空乾燥装置１０には、ワーク給材口１１１を介
して給材予備室１１にワークを搬入するワーク給材用ベ
ルト機構１８１と、ワーク給材用ベルト機構１８１の搬
送ベルトから受け取ったワークＷを給材予備室１１の内
部に保持可能、かつ、この保持した状態からワークＷを
第１のワーク受渡し口１２１から真空乾燥室１２に搬出
可能な給材予備室側ワーク搬送ベルト機構１８２（第１
のワーク搬送機構）と、給材予備室側ワーク搬送ベルト
機構１８２の搬送ベルトから受け取ったワークＷを真空
乾燥室１２の内部に保持可能、かつ、この保持した状態
からワークＷを第２のワーク受渡し口１２２から除材室
１３に搬出可能な乾燥室側ワーク搬送ベルト機構１８３
（第２のワーク搬送機構）と、乾燥室側ワーク搬送ベル
ト機構１８３の搬送ベルトから受け取ったワークＷを除
材予備室１３の内部に保持可能、かつ、この保持した状
態からワークＷをワーク除材口１３１から搬出可能な除
材予備室側ワーク搬送ベルト機構１８４と、除材予備室
側ワーク搬送ベルト機構１８４から受け取ったワークＷ
を所定の位置にまで搬送可能なワーク除材用ベルト機構
１８５とを有する。

【００１４】このような構成の真空乾燥装置１０の使用
態様について、図２を参照して説明する。

【００１５】まず、図２（ａ）においては、給材口ゲー
ト機構１４のシャッター板１４１がワーク給材口１１１
を開放状態にあって、洗浄されたワークＷをワーク給材
用ベルト機構１８１によって給材予備室１１に搬入可能
な状態にある一方、真空乾燥室１２の側では、第１の受
渡し口ゲート機構１５および第２の受渡し口ゲート機構
１６のシャッター板１５１，１６１のいずれもが閉鎖状
態にあって、真空乾燥室１２は気密状態にされ、その内
部は空気吸引機構１９によって真空状態にある。すなわ
ち、真空乾燥室１２では、ワークＷに対して真空乾燥中
である。一方、除材口ゲート機構１７のシャッター板１
７１はワーク除材口１３１を開放状態にあって、乾燥済
みのワークＷを除材予備室側ワーク搬送ベルト機構１８
４からワーク除材口１３１を介してワーク除材用ベルト
機構１８５に受け渡し可能な状態にある。

【００１６】つぎに、図２（ｂ）に示す状態では、ま
ず、ワーク給材用ベルト機構１８１の搬送ベルトが矢印
の方向に移動して、洗浄直後のワークＷは、洗浄液が付
着したまま、ワーク給材口１１１を介して給材予備室１
１に搬入される一方、同時に、除材予備室側ワーク搬送
ベルト機構１８４およびワーク除材用ベルト機構１８５
の搬送ベルトが矢印の方向に移動して、ワークＷはワー
ク除材口１３１を介してワーク除材用ベルト機構１８５
に受け渡される。この間、真空乾燥室１２の内部は真空
状態に保持され、ワークＷには真空乾燥が継続される。

【００１７】つぎに、図１に示すように、第１の受渡し
口ゲート機構１５および第２の受渡し口ゲート機構１６
のシャッター板１５１およびシャッター板１６１のいず
れもが閉鎖状態にされたまま、給材口ゲート機構１４お
よび除材口ゲート機構１７のシャッター板１４１，１７
１が閉鎖状態にされる。

【００１８】つぎに、真空乾燥室１２においてワークＷ
に対する真空乾燥が終了すると、図２（ｃ）に示すよう
に、第１の受渡し口ゲート機構１５および第２の受渡し
口ゲート機構１６のシャッター板１５１，１６１のいず
れもが開放状態にされる。この間、ワーク除材用ベルト
機構１８５の搬送ベルトは、矢印の方向に移動し続け
て、ワークＷは所定の位置にまで搬送される。

【００１９】つぎに、図２（ｄ）に示すように、給材予
備室側ワーク搬送ベルト機構１８２，乾燥室側ワーク搬
送ベルト機構１８３および除材予備室側ワーク搬送ベル
ト機構１８４のいずれの搬送ベルトも矢印の方向に移動
して、給材予備室１１において給材予備室側ワーク搬送
ベルト機構１８２の搬送ベルト上にあったワークＷは、
真空乾燥室１２に搬入される一方、真空乾燥室１２にお
いて乾燥室側ワーク搬送ベルト機構１８３の搬送ベルト
上にあったワークＷは、除材予備室１３に搬出される。
そして、図１に示す状態を経て、つぎに、図２（ａ）に
示す状態に戻って、ワークＷは、順次、真空乾燥室１２
において真空乾燥される。

【００２０】以上のとおり、本例の真空乾燥装置１０に
おいては、真空乾燥室１２の両側に給材予備室１１と除
材予備室１３とを有し、真空乾燥室１２とのワークＷの
受渡しは、給材予備室１１および除材予備室１３を介し
て行われる。ここで、真空乾燥室１２の第１のワーク受
渡し口１２１および第２のワーク受渡し口１２２が開放
状態にあるときには、給材予備室１１のワーク給材口１
１１は、給材口ゲート機構１４のシャッター板１４１に
よって閉鎖されているとともに、除材予備室１３のワー
ク除材口１３１は、除材口ゲート機構１７のシャッター
板１７１によって閉鎖された状態にあるため、真空状態
にあった真空乾燥室１２の内部は、この真空乾燥室１２
の容積と給材予備室１１および除材予備室１３の容積と
の比によって規定される真空度にまで低下するのみであ
って、大気圧まで戻ることがない。このため、真空乾燥
室１２につぎのワークＷを搬入した後に、真空乾燥室１
２の第１のワーク受渡し口１２１および第２のワーク受
渡し口１２２を閉鎖し、この状態から、空気吸引機構１
９によって真空乾燥室１２の内部を真空状態にするまで
の真空引き時間が著しく短縮される。このため、短いロ
スタイムでワークＷを連続的に真空乾燥できるので、乾
燥工程の効率を向上することができる。

【００２１】また、本例の真空乾燥装置１０において
は、給材予備室１１と除材予備室１３とを真空乾燥室１
２に隣接して設け、つぎに真空乾燥が施されるワークＷ
を給材予備室１１から搬入し、真空乾燥の終了したワー
クＷを除材予備室１３に搬出するだけでよいので、ワー
クＷの搬入、搬出時間の短いので、ワークＷは１サイク
ルの真空乾燥処理時間のうちの大部分の時間、真空中に
晒されるため、乾燥効率も高い。さらに、真空乾燥室１
２には、ワークＷの搬入、搬出を別の受渡し口から行う
ため、ワークＷの搬入動作と搬出動作を同時に並行して
行うことができるので、給材および除材に要する時間も
短縮される。

【００２２】〔実施例２〕図３は本発明の実施例２に係
る真空乾燥装置の構成を示す概略構成図であり、本例の
真空乾燥装置は、実施例１に係る真空乾燥装置と同様
に、真空乾燥室とのワークの受渡しをそれぞれ別のワー
ク搬出入口で行うタイプのものである。また、本例の真
空乾燥装置は、実施例１に係る真空乾燥装置に対して、
その給材予備室に液切り手段を設けたことに特徴を有
し、その他の構成は実施例１に係る真空乾燥装置と略同
様であるため、以下の説明および図３においては、対応
する部分同士に同符号をつけて、それらの詳細な説明を
省略する。

【００２３】図３において、本例の真空乾燥装置２０に
は、ワーク給材口１１１を備える給材予備室１１と、給
材予備室１１に第１のワーク受渡し口１２１を介して接
続する真空乾燥室１２と、この真空乾燥室１２に第２の
ワーク受渡し口１２２を介して接続し、ワーク除材口１
３１を備える除材予備室１３とを有する。そのうち、真
空乾燥室１２には、そこが真空状態になるまで空気を吸
引可能な真空ポンプ１９５を備える空気吸引機構１９
（空気吸引手段）が設けられている。また、真空乾燥装
置２０には、ワーク給材口１１１を開閉可能な給材口ゲ
ート機構１４と、第１のワーク受渡し口１２１を開閉可
能な第１の受渡し口ゲート機構１５と、第２のワーク受
渡し口１２２を開閉可能な第２の受渡し口ゲート機構１
６と、ワーク除材口１３１を開閉可能な除材口ゲート機
構１７とを有し、いずれのゲート機構も、その動作がシ
ーケンサ制御部によって制御されている。さらに、真空
乾燥装置２０には、給材予備室１１にワークを搬入する
ワーク給材用ベルト機構１８１と、給材予備室１１の内
部のワークＷを第１のワーク受渡し口１２１から搬出可
能な給材予備室側ワーク搬送ベルト機構１８２（第１の
ワーク搬送機構）と、真空乾燥室１２の内部のワークＷ
を第２のワーク受渡し口１２２から搬出可能な乾燥室側
ワーク搬送ベルト機構１８３（第２のワーク搬送機構）
と、除材予備室１３のワークＷをワーク除材口１３１か
ら搬出可能な除材予備室側ワーク搬送ベルト機構１８４
と、ワークＷを所定の位置にまで搬送するワーク除材用
ベルト機構１８５とを有する。

【００２４】さらに、本例の真空乾燥装置２０において
は、その給材予備室１１の内部において、給材予備室側
ワーク搬送ベルト機構１８２の搬送ベルト上にあるワー
クに対して空気流を吹きつけて液切りする送風液切り機
構たる液切り機構３０を有する。この液切り機構３０
は、給材予備室１１に搬入されたワークＷに向けて空気
流を吹きつけ可能なノズル３０１（空気流吹きつけ部）
として給材予備室１１の上部内壁面側で開口する空気流
供給経路３０２と、この空気流供給経路３０２に接続さ
れたコンプレッサー３０３（空気流供給源）と、空気流
供給経路３０２を閉鎖状態と開放状態とに切換する第１
の電磁バルブ３０５（空気流供給経路開閉手段）とを有
する。ここで、コンプレッサー３０３の下流側におい
て、空気流供給経路３０２には空気加熱装置３２０が介
挿されており、コンプレッサー３０３によって圧送され
た空気流は、空気加熱装置３２０によって加熱されて加
熱空気としてノズル３０１から吹き出し可能になってい
る。また、液切り機構３０は、ノズル３０１に対して対
峙する給材予備室１１の底面に空気排出部３０６として
開口する空気排出経路３０７と、この空気排出経路３０
７を閉鎖状態と開放状態とに切換する第２の電磁バルブ
３０８（空気排出経路開閉手段）を有し、空気排出経路
３０７の下流端には、ミストコレクター３０９が接続さ
れている。このミストコレクター３０９は、その上部に
排気ダクト３１０を有する一方、その下部にはバルブ付
きドレイン３１１を有しており、給材予備室１１におい
てワークＷから液切りされて、空気とともに空気排出経
路３０７を介して排出された洗浄液ミストなどは、この
ミストコレクター３０９よって回収容器３１２に回収さ
れる一方、清浄化された空気のみが排気ダクト３１０か
ら排出されるようになっている。なお、空気吸引機構１
９の真空ポンプ１９５の排気口は、逆止弁１９６が介挿
された経路１９７を介して空気排出経路３０７に接続さ
れており、真空ポンプ１９５によって真空乾燥室１２か
ら排出された空気もミストコレクター３０９に送出され
て洗浄液ミストなどが分離されるようになっている。

【００２５】このような構成の真空乾燥装置２０の使用
態様については、その基本的な動作は実施例１に係る真
空乾燥装置と同様であるため、同じく、図２を参照して
説明する。

【００２６】まず、図２（ａ）に示すように、シャッタ
ー板１５１，１６１のいずれもが閉鎖状態にあって、真
空乾燥室１２は気密状態にされるとともに、その内部は
空気吸引機構１９によって真空状態にされて、真空乾燥
室１２の内部においては、ワークＷを真空乾燥中であ
る。

【００２７】つぎに、図２（ｂ）に示す状態では、ワー
ク給材用ベルト機構１８１によって、洗浄直後のワーク
Ｗは、洗浄液が付着したままワーク給材口１１１を介し
て給材予備室１１に搬入される一方、除材予備室側ワー
ク搬送ベルト機構１８４およびワーク除材用ベルト機構
１８５によって、乾燥済みのワークＷはワーク除材口１
３１から搬出される。この間、真空乾燥室１２の内部は
真空状態に保持され、ワークＷには真空乾燥が継続され
る。

【００２８】つぎに、図３に示すように、シャッター板
１５１，１６１のいずれもが閉鎖状態にされたまま、シ
ャッター板１４１，１７１が閉鎖状態にされる。この状
態において、本例の真空乾燥装置２０においては、制御
部からの指令に基づいて、第１の電磁バルブ３０５およ
び第２の電磁バルブ３０８が開放状態に切り換えられ
て、コンプレッサー３０３によって圧送された空気流
は、空気加熱装置３２０によって加熱された加熱空気流
として、給材予備室１１の給材予備室側ワーク搬送ベル
ト機構１８２の搬送ベルト上にあるワークＷに向けて、
ノズル３０１から吹きつけられる。このため、ワークＷ
の付着している洗浄液の大部分は、この給材予備室１１
で除かれた状態になる。そして、ノズル３０１から吹き
出された空気は、給材予備室１１の底面側から排出され
る。

【００２９】つぎに、真空乾燥室１２においてワークＷ
に対する真空乾燥が終了すると、図２（ｃ）に示すよう
に、シャッター板１５１，１６１のいずれもが開放状態
にされる。この間、ワーク除材用ベルト機構１８５の搬
送ベルトは、矢印の方向に移動し続けて、ワークＷは所
定の位置にまで搬送される。

【００３０】つぎに、図２（ｄ）に示すように、給材予
備室側ワーク搬送ベルト機構１８２，乾燥室側ワーク搬
送ベルト機構１８３および除材予備室側ワーク搬送ベル
ト機構１８４のいずれの搬送ベルトも移動して、給材予
備室１１において給材予備室側ワーク搬送ベルト機構１
８２の搬送ベルト上にあったワークＷは、加熱空気によ
って加熱された状態のまま真空乾燥室１２に搬入される
一方、真空乾燥室１２において乾燥室側ワーク搬送ベル
ト機構１８３の搬送ベルト上にあったワークＷは除材予
備室１３に搬出される。そして、図３に示す状態を経
て、つぎに、図２（ａ）に示す状態に戻って、ワークＷ
は、順次、真空乾燥室１２において真空乾燥される。

【００３１】以上のとおり、本例の真空乾燥装置２０に
おいては、真空乾燥室１２の第１のワーク受渡し口１２
１および第２のワーク受渡し口１２２が開放状態にある
ときには、給材予備室１１のワーク給材口１１１は給材
口ゲート機構１４のシャッター板１４１によって閉鎖さ
れているとともに、除材予備室１３のワーク除材口１３
１は、除材口ゲート機構１７のシャッター板１７１によ
って閉鎖された状態にある。また、空気流供給経路３０
２は第１の電磁バルブ３０５によって閉鎖され、空気排
出経路３０７は第２の電磁バルブ３０８によって閉鎖さ
れた状態にある。このため、真空状態にあった真空乾燥
室１２の内部は大気圧にまで戻ることがない。従って、
つぎのワークＷを乾燥するにあたって、真空乾燥室１２
の内部を真空状態にするまでの真空引き時間が著しく短
縮されるため、短いロスタイムでワークＷを真空乾燥で
きるので、乾燥工程の効率を向上することができる。ま
た、つぎに真空乾燥が施されるワークＷを給材予備室１
１から搬入し、真空乾燥の終了したワークＷを除材予備
室１３に搬出するだけでよいので、ワークＷの搬入、搬
出時間を短くでき、ワークＷは処理時間のうちの大部分
の時間、真空中に晒されるため、乾燥効率も高い。さら
に、真空乾燥室１２には、ワークＷの搬入、搬出を別の
受渡し口から行うため、ワークＷの搬入動作と搬出動作
を並行して行うことができるので、給材および除材に要
する時間も短縮される。

【００３２】さらに、本例の真空乾燥装置２０において
は、真空乾燥室１２において真空乾燥工程が施される前
に、ワークＷの洗浄液は液切りされる。このため、乾燥
に要する時間が著しく短縮され、乾燥工程の効率はさら
に向上している。すなわち、真空乾燥においては、ワー
クＷに付着している液量が多過ぎると、液の蒸発に伴っ
て、ワークＷから潜熱が奪われて、ワークＷの温度が低
下し、その乾燥速度が低下する傾向があるが、本例の真
空乾燥装置２０においては、真空乾燥に先立って、ワー
クＷを液切りしておくため、ワークＷの温度が低下する
前に乾燥が終了する。しかも、ワークＷは、加熱空気に
よって加熱された状態のまま真空乾燥室１２に搬入され
る。このため、真空乾燥の欠点が発現せず、乾燥開始に
おける乾燥速度が高いという真空乾燥の利点を最大限活
かすことができる。

【００３３】〔実施例３〕図４は本発明の実施例３に係
る真空乾燥装置の構成を示す概略構成図であり、本例の
真空乾燥装置は、真空乾燥室とのワークの受渡しを１つ
のワーク受渡し口で行うタイプのものである。

【００３４】図４において、本例の真空乾燥装置４０に
は、ワーク給除材口４１１を備える予備室４１と、予備
室４１にワーク受渡し口４２１を介して接続する真空乾
燥室４２とを有し、この真空乾燥室４２は、予備室４１
に比して大きく設計されている。また、真空乾燥室４２
には、そこが真空状態になるまで空気を吸引可能な空気
吸引機構４９（空気吸引手段）が設けられており、この
空気吸引機構４９は、真空乾燥室４２の下面側に空気吸
引口４９１として開口する空気吸引経路４９２に介挿さ
れた真空ポンプ４９３を備える。

【００３５】また、真空乾燥装置４０には、ワーク給除
材口４１１を開閉可能な給除材口ゲート機構４４と、ワ
ーク受渡し口４２１を開閉可能な受渡し口ゲート機構４
５とを有する。ここで、給除材口ゲート機構４４および
受渡し口ゲート機構４５のいずれのゲート機構のシャッ
ター板４４１，４５１も、シーケンサ制御装置（図示せ
ず。）によってその位置が制御されて、実線で示す位置
と点線で示す位置との間にスライド移動し、それぞれの
開口部を開閉自在になっている。さらに、真空乾燥装置
４０には、ワーク給除材口４１１を介して予備室４１の
ワークを搬入するワーク給材用ベルト機構４８１と、ワ
ーク給材用ベルト機構４８１の搬送ベルトから受け取っ
たワークＷを予備室４１の内部に保持可能、かつ、この
保持した状態からワークＷをワーク受渡し口４２１から
真空乾燥室４２に搬出可能な予備室側ワーク搬送ベルト
機構４８２（第１のワーク搬送機構）と、予備室側ワー
ク搬送ベルト機構４８２の搬送ベルトから受け取ったワ
ークＷを真空乾燥室４２の内部に保持可能、かつ、この
保持した状態からワークＷをワーク受渡し口４２１から
予備室４１に搬出可能な乾燥室側ワーク搬送ベルト機構
４８３（第２のワーク搬送機構）とを有する。ここで、
予備室側ワーク搬送ベルト機構４８２は、そのワーク搬
送ベルトを正回転させてワークＷを真空乾燥室４２に搬
出可能であるとともに、そのワーク搬送ベルトを逆回転
させてワークＷをワーク給除材口４１１を介してワーク
給材用ベルト機構４８１の搬送ベルトに向かって受渡し
可能になっている。

【００３６】さらに、本例の真空乾燥装置４０において
は、実施例２に係る真空乾燥装置と同様に、その予備室
４１の内部において、予備室側ワーク搬送ベルト機構４
８２の搬送ベルト上のワークに対して液切りを行う液切
り機構３０を有する。ここで、液切り機構３０の構成
は、実施例２に係る真空乾燥装置の液切り機構と同じ構
成になっているため、対応する部分には同符号を付して
ある。すなわち、液切り機構３０は、予備室４１に搬入
されたワークＷに向けて空気流を吹きつけ可能なノズル
３０１（空気流吹きつけ部）として予備室４１の上部内
壁面側で開口する空気流供給経路３０２と、この空気流
供給経路３０２に接続された空気加熱装置３２０および
コンプレッサー３０３（空気流供給源）と、空気流供給
経路３０２を閉鎖状態と開放状態とに切換する第１の電
磁バルブ３０５（空気流供給経路開閉手段）とを有す
る。また、液切り機構３０は、ノズル３０１に対峙して
空気排出部３０６として開口する空気排出経路３０７
と、この空気排出経路３０７を閉鎖状態と開放状態とに
切換する第２の電磁バルブ３０８（空気排出経路開閉手
段）を有し、さらに、空気排出経路３０７の下流端に
は、ミストコレクター３０９が接続されて、空気排出経
路３０７を介して排出された空気から洗浄液ミストなど
を回収容器３１２に回収して、清浄化された空気のみを
排気ダクト３１０から排出可能になっている。なお、空
気吸引機構４９の真空ポンプ４９３の排気口は、逆止弁
４９６が介挿された経路４９７を介して空気排出経路３
０７に接続されており、真空ポンプ４９３によって真空
乾燥室４２から排出された空気もミストコレクター３０
９に送出されて、洗浄液ミストなどが分離されるように
なっている。

【００３７】このような構成の真空乾燥装置４０の使用
態様について、図４を参照して説明する。

【００３８】ここで、図４に示す状態になるまでの動作
は、以下のとおりである。

【００３９】まず、給除材口ゲート機構４４のシャッタ
ー板４４１が開放状態にされて、洗浄直後のワークＷ
は、洗浄液が付着したまま、ワーク給材用ベルト機構４
８１によって予備室４１に搬入される。ここで、受渡し
口ゲート機構４５のシャッター板４５１は閉鎖状態にあ
って真空乾燥室４２の真空度が保たれた状態にある。

【００４０】つぎに、給除材口ゲート機構４４のシャッ
ター板４４１が閉鎖される。この状態が図４に示す状態
である。

【００４１】この状態において、真空乾燥装置４０にお
いては、制御部からの指令に基づいて、第１の電磁バル
ブ３０５および第２の電磁バルブ３０８が開放状態に切
り換えられて、ノズル３０１からの加熱空気流が、予備
室４１の予備室側ワーク搬送ベルト機構４８２の搬送ベ
ルト上にあるワークＷに向けて吹きつけられる。このた
め、ワークＷに付着している洗浄液の大部分は、この予
備室４１で除かれた状態になる。そして、ノズル３０１
から吹き出された空気は、予備室４１の底面側から排出
される。

【００４２】つぎに、受渡し口ゲート機構４５のシャッ
ター板４５１が開放状態にされ、予備室側ワーク搬送ベ
ルト機構４８２によって、ワークＷは真空乾燥室４２に
搬入される。この間、給除材口ゲート機構４４のシャッ
ター板４４１は閉鎖状態のままであるため、真空乾燥室
４２の真空度の大幅な低下が防止される。

【００４３】つぎに、受渡し口ゲート機構４５のシャッ
ター板４５１が閉鎖された後、真空乾燥室４２の内部
は、空気吸引機構４９によって真空状態にされて、ワー
クＷは真空乾燥される。

【００４４】つぎに、真空乾燥室４２においてワークＷ
に対する真空乾燥が終了すると、受渡し口ゲート機構４
５のシャッター板４５１が開放されて、乾燥済みのワー
クＷは、乾燥室側ワーク搬送ベルト機構４８３によって
予備室４１に搬出された後に、シャッター板４５１は閉
鎖される。この間、予備室４１のワーク給除材口４１１
は閉鎖状態のままであるため、真空乾燥室４２の真空度
の大幅な低下が防止される。そして、給除材口ゲート機
構４４のシャッター板４４１が開放されて、乾燥済みの
ワークＷは、第１のワーク搬送ベルト機構４８２によっ
て予備室４１から搬出される。この間、真空乾燥室４２
のワーク受渡し口４２１は閉鎖状態のままであるため、
真空乾燥室４２の真空度は低下しない。そして、再び、
洗浄直後のワークＷが、洗浄液の付着した状態のままワ
ーク給材用ベルト機構４８１によって予備室４１に搬入
されて、ワークＷに対する真空乾燥が繰り返される。

【００４５】以上のとおり、本例の真空乾燥装置４０に
おいては、真空乾燥室４２のワーク受渡し口４２１が開
放状態にあるときには、予備室４１のワーク給除材口４
１１が閉鎖されているため、真空状態にあった真空乾燥
室４２の内部は大気圧にまで戻ることがない。従って、
つぎのワークＷを乾燥するにあたって、真空乾燥室４２
の内部を真空状態にするまでの真空引き時間が著しく短
縮されるため、短いロスタイムでワークＷを真空乾燥で
きるので、乾燥工程の効率を向上することができる。ま
た、真空乾燥室４２において真空乾燥工程が施される前
に、ワークＷから洗浄液を液切り可能になっているた
め、真空乾燥においては、乾燥開始時における乾燥速度
が高いという性質を最大限活かすことができる。

【００４６】なお、液切り機構３０については、いずれ
の実施例においても、送風液切り機構を採用したが、そ
の構成には限定がない。すなわち、本実施例では、コン
プレッサー（空気流供給源）からの空気流をワークに吹
きつけて送風液切りを行っているが、この空気流吹きつ
け部に対して、予備室内のワークを介して対峙する位置
で空気排出部として開口する空気排出経路にブロアーや
真空ポンプなどの空気排出源を介挿させた構成を採用す
ることもできる。この場合は、空気流吹きつけのみの場
合に比して、風量および圧力がともに増大するため、液
切り性能が向上する。また、上記の構成のうち、コンプ
レッサー（空気流供給源）を使わずに、ブロアや真空ポ
ンプなどの空気排出源のみを設けた構成を採用してもよ
い。さらに、空気排出源の下流側と空気流供給源の上流
側とを連通させ、空気流を循環させるような構成を採用
してもよく、この場合には、空気排出源が空気流供給源
を兼ねることもできる。

【００４７】また、真空乾燥室の数や大きさなども、真
空乾燥装置の用途などに応じて、最適なものに設計され
るべき性質のものであって、それらには限定がない。

【００４８】

【発明の効果】以上のとおり、本発明に係る真空乾燥装
置においては、真空乾燥室に対して予備室（給材予備
室、除材予備室）を設けるとともに、それらの間のワー
ク受渡し口，予備室のワーク給材口およびワーク除材口
には、ゲート機構を設けてあることに特徴を有する。従
って、本発明によれば、真空乾燥室が開放状態にあって
も、予備室のワーク給材口およびワーク除材口をゲート
機構によって閉鎖状態にしておくことによって、真空乾
燥室が大気に完全開放状態になることを避けながら、ワ
ークの搬出入ができるので、真空状態にあった真空乾燥
室の内部は大気圧にまで戻ることがない。従って、つぎ
のワークを乾燥するにあたって、真空乾燥室の内部を真
空状態にするまでの時間が短縮されるため、乾燥工程の
効率を向上することができる。

【００４９】また、真空乾燥室において真空乾燥工程が
施される前に、ワークに対する液切りが可能になってい
る場合には、付着液の少ない乾燥に適した真空乾燥の利
点、すなわち、乾燥開始時における乾燥速度が高いとい
う性質を最大限活かすことができ、乾燥工程の効率をさ
らに向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１に係る真空乾燥装置の構成を
示す断面図である。

【図２】（ａ）ないし（ｄ）のいずれも、図１に示す真
空乾燥装置における各真空乾燥工程の状態を示す工程断
面図である。

【図３】本発明の実施例２に係る真空乾燥装置の構成を
示す断面図である。

【図４】本発明の実施例３に係る真空乾燥装置の構成を
示す断面図である。

【図５】従来の真空乾燥装置の構成を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１０，２０，４０・・・真空乾燥装置１１・・・給材予備室１２，４２・・・真空乾燥室１３・・・除材予備室１４・・・給材口ゲート機構１５・・・第１の受渡し口ゲート機構１６・・・第２の受渡し口ゲート機構１７・・・除材口ゲート機構１９，４９・・・空気吸引機構（空気吸引手段）３０・・・液切り機構４１・・・予備室４４・・・給除材口ゲート機構４５・・・受渡し口ゲート機構１１１・・・ワーク給材口１２１・・・第１のワーク受渡し口１２２・・・第２のワーク受渡し口１３１・・・ワーク除材口１９２，４９２・・・空気吸引経路１９３・・・メカニカルブースターポンプ１９４・・・ロータリポンプ３０２・・・空気流供給経路３０３・・・コンプレッサー（空気流供給源）３０７・・・空気排出経路４１１・・・ワーク給除材口４２１・・・ワーク受渡し口４９３・・・真空ポンプ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワーク給材口を備える給材予備室と、前
記ワーク給材口を開閉可能な給材口ゲート機構と、前記
給材予備室に第１のワーク受渡し口を介して接続する真
空乾燥室と、この真空乾燥室内からそこが真空状態にな
るまで空気を吸引可能な空気吸引手段と、前記第１のワ
ーク受渡し口を開閉可能な第１の受渡し口ゲート機構
と、前記真空乾燥室に第２のワーク受渡し口を介して接
続し、ワーク除材口を備える除材予備室と、前記第２の
ワーク受渡し口を開閉可能な第２の受渡し口ゲート機構
と、前記ワーク除材口を開閉可能な除材口ゲート機構
と、前記給材予備室のワークを前記第１のワーク受渡し
口を介して前記真空乾燥室内に搬送可能な第１のワーク
搬送手段と、前記真空乾燥室内のワークを前記第２のワ
ーク受渡し口を介して前記除材予備室内に搬送可能な第
２のワーク搬送手段と、を有することを特徴とする真空
乾燥装置。
【請求項２】請求項１において、前記給材予備室内の
ワークを液切り可能な液切り手段を有することを特徴と
する真空乾燥装置。
【請求項３】ワーク給除材口を備える予備室と、前記
ワーク給除材口を開閉可能な給除材口ゲート機構と、前
記予備室にワーク受渡し口を介して接続する真空乾燥室
と、この真空乾燥室内からそこが真空状態になるまで空
気を吸引可能な空気吸引手段と、前記ワーク受渡し口を
開閉可能な受渡し口ゲート機構と、前記予備室内のワー
クを少なくとも前記ワーク受渡し口を介して前記真空乾
燥室内に搬送可能な第１のワーク搬送手段と、前記真空
乾燥室内のワークを前記ワーク受渡し口を介して前記予
備室内に搬送可能な第２のワーク搬送手段と、を有する
ことを特徴とする真空乾燥装置。
【請求項４】請求項３において、前記予備室内のワー
クを液切り可能な液切り手段を有することを特徴とする
真空乾燥装置。
【請求項５】請求項２または請求項４において、前記
液切り手段は、搬入されたワークに向けて空気流を吹き
つけ可能な空気流吹きつけ部として開口する空気流供給
経路と、この空気流供給経路に接続された空気流供給源
と、空気流供給経路を閉鎖状態と開放状態とに切換する
空気流供給経路開閉手段と、前記空気流吹きつけ部に対
して対峙する位置で空気排出部として開口する空気排出
経路と、この空気排出経路を閉鎖状態と開放状態とに切
換する空気排出経路開閉手段とを備える送風液切り手段
であることを特徴とする真空乾燥装置。