JP2005236093A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 気相成長処理を行う成膜室11に、該成膜室内に配置されるサセプタ14やフローチャンネル15等の成膜構成部材に付着した付着物を除去するためのブローノズル21のような付着物除去手段と、パージガス導入管17や排気管18のようなパージ手段とを有するグローブボックス12を前記成膜室との間を仕切る仕切扉13のような仕切手段を介して連設する。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 気相成長処理を行う成膜室に、該成膜室内に配置される成膜構成部材に付着した付着物を除去するための付着物除去手段とパージ手段とを有するグローブボックスを前記成膜室との間を仕切る仕切手段を介して連設したことを特徴とする気相成長装置。
- 気相成長処理を行う成膜室に基板の搬送及び交換を行うためのグローブボックスを連設した気相成長装置において、前記グローブボックス内に、前記成膜室内に配置される成膜構成部材に付着した付着物を除去するための付着物除去手段を設置したことを特徴とする気相成長装置。
- 気相成長処理を行う成膜室に基板交換用の基板搬送室を連設した気相成長装置において、前記成膜室内に配置される成膜構成部材に付着した付着物を除去するための付着物除去手段とパージ手段とを有する清掃用のグローブボックスを、前記成膜室との間を気密に仕切る仕切手段を介して着脱可能に連設したことを特徴とする気相成長装置。
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