JP2007115752A - 窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ケイ素含有ガスおよびケイ素片を用いること無く窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングして、窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、ケイ素およびケイ素窒化物の少なくともいずれかからなる層を含むマスク膜を窒化ガリウム系半導体領域13上に形成した後に、マスク膜をエッチングしてマスク27を形成する工程と、マスク27を用い窒化ガリウム系半導体領域13をドライエッチングして、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域33を形成する工程を備え、マスク膜のエッチングはフッ素系ガスを用いて行われる。窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチングは、エッチャントとして、塩素系ガス、臭素系ガス、または塩素系ガスおよび臭素系ガスを用いて行われる。
【選択図】図2
【解決手段】この方法は、ケイ素およびケイ素窒化物の少なくともいずれかからなる層を含むマスク膜を窒化ガリウム系半導体領域13上に形成した後に、マスク膜をエッチングしてマスク27を形成する工程と、マスク27を用い窒化ガリウム系半導体領域13をドライエッチングして、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域33を形成する工程を備え、マスク膜のエッチングはフッ素系ガスを用いて行われる。窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチングは、エッチャントとして、塩素系ガス、臭素系ガス、または塩素系ガスおよび臭素系ガスを用いて行われる。
【選択図】図2
Description
本発明は、窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法に関する。
特許文献1には、窒化ガリウム系化合物半導体をドライエッチングする方法が記載されている。この方法によれば、窒化ガリウム系化合物半導体を塩素ガスとケイ素含有ガスとの2種類のガスから発生されたプラズマガスでエッチングする。或いは、エッチング室内の電極上に、ケイ素片と窒化ガリウム系化合物半導体とを設置し、塩素ガスのプラズマガスで上記エッチングを行う。これらのエッチングによれば、エッチング面のエッチング残渣およびエッチピット等を無くし平滑な面を得ることができる。また、エッチング結果が常時安定する。さらに、複数の窒化ガリウム系化合物半導体に対しても同時に同一結果でエッチングできる。
特開平8−17803号公報
特許文献1に記載された技術によれば、塩素ガスとケイ素含有ガスとの2種類のガスを用いるか、或いは、電極上に置かれたケイ素片と塩素ガスとを用いる。電極上に置かれたケイ素片と塩素ガスとを用いる方法では、ケイ素片はエッチングにより消耗するので、ケイ素の供給量の管理が容易ではない。また、塩素ガスとケイ素含有ガスとの2種類のガスを用いる方法では、ケイ素含有ガスをエッチャントと共に供給するので、チャンバ内における各ガス成分の流れを調整することは容易ではない。2種類のガスの供給の条件等を決定することが煩雑である。
本発明は、上記の事情を鑑みてなされたものであり、ケイ素含有ガスおよびケイ素片を用いずに窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングして、窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法を提供することを目的とする。
本発明の一側面は、窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法である。この方法は、(a)ケイ素およびケイ素窒化物の少なくともいずれかからなる層を含むマスクを用いて前記窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングして、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域を形成する工程を備える。
この方法によれば、エッチング中にマスクからケイ素ラジカルが発生され、該ケイ素ラジカルがエッチングに寄与する。また、ケイ素ラジカルが、エッチングされる窒化ガリウム系半導体領域上のマスクから供給されるので、ケイ素ラジカルは確実に供給される。さらに、マスクは、酸素を構成元素に含む材料から形成されていないので、エッチング中に酸素ラジカルがマスクから供給されることはない。これ故に、エッチングされる窒化ガリウム系半導体領域には、酸素ラジカルに起因して窒素欠損が生じない。
本発明に係る方法は、(b)前記マスクのためのマスク膜を前記窒化ガリウム系半導体領域上に形成する工程と、(c)パターンを有するレジストマスクをマスク膜上に形成する工程と、(d)前記レジストマスクを用いて前記マスク膜をエッチングして前記マスクを形成する工程と、(e)前記レジストマスクを除去する工程とを更に備え、前記マスク膜のエッチングはフッ素系ガスを用いて行われることができる。
この方法によれば、フッ素系ガスを用いると、マスク膜のエッチングレートは前記窒化ガリウム系半導体領域のエッチングレートよりも大きくなる。マスク膜のエッチング中にエッチングされる窒化ガリウム系半導体の量を少なくできる。
本発明に係る方法の好適な実施例では、前記フッ素系ガスはSF6、NF3 、CF4 、C2F6 、C3F8、C4 F8 、C5F8 、F2の少なくともいずれかのガスを含むことが好ましい。
本発明に係る方法では、前記窒化ガリウム系半導体領域のドライエッチングは、エッチャントとして、塩素系ガス、臭素系ガス、または塩素系ガスおよび臭素系ガスを用いて行われることができる。
本発明に係る方法は、(f)前記窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングした後に、前記パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域上に前記マスクを用いて窒化ガリウム系半導体を選択成長する工程を更に備えることができる。
この方法によれば、マスクは、エッチング用だけではなく、選択成長のためにも利用される。
本発明の上記の目的および他の目的、特徴、並びに利点は、添付図面を参照して進められる本発明の好適な実施の形態の以下の詳細な記述から、より容易に明らかになる。
以上説明したように、本発明によれば、ケイ素含有ガスおよびケイ素片を用いること無く窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングして、窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法が提供される。
本発明の知見は、例示として示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解できる。引き続いて、添付図面を参照しながら、本発明の窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法に係る実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付する。
図1および図2は、本発明の実施の形態に係る窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法の主要な工程を示す図面である。図1(A)に示されるように、基板11上に窒化ガリウム系半導体領域13を形成する。窒化ガリウム系半導体領域13は、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、InAlGaNであり、主要なV族構成元素として窒素を含むと共に主要なIII族構成元素としてガリウム、インジウムおよびアルミニウムの少なくともいずれかを含むものを示す。必要な場合には、p型ドーパントおよび/またはn型ドーパントを含むことができる。基板11として、例えばサファイア基板、GaN基板、Si基板、SiC基板等を用いることができる。
続いて、窒化ガリウム系半導体領域13上にマスク膜15を形成する。マスク膜15は、ケイ素およびケイ素窒化物の少なくともいずれかからなる層を含む。マスク膜15の材料は、実質的に酸素を含まない。本実施の形態では、例えばケイ素膜を用いる。マスク膜15は、例えばCVD法、スパッタ法、蒸着法等を用いて堆積される。
次いで、マスク膜15上にフォトレジスト17を塗布する。図1(B)に示されるように、塗布されたフォトレジスト17を石英マスク19を用いて露光した後に、このフォトレジストを現像してパターンを有するレジストマスク21を形成する。
この後に、図1(C)に示されるように、エッチング装置23において、レジストマスク21を用いてマスク膜15のエッチング25を行って、マスク27を形成する。
マスク膜15のエッチング25はフッ素系ガスを用いて行われることができる。この方法によれば、フッ素系ガスを用いると、マスク膜15のエッチングレートは窒化ガリウム系半導体領域13のエッチングレートよりも大きくなる。マスク膜のエッチング中にエッチングされる窒化ガリウム系半導体の量を少なくできる。好適な実施例では、フッ素系ガスはSF6、NF3 、CF4 、C2F6 、C3F8、C4 F8 、C5F8 、F2の少なくともいずれかのガスを含むことが好ましい。好適には、フッ素系ガスはCF4である。
マスク膜15のエッチング25の一条件は、例えば
ガス流量:20〜40sccm
圧力:2〜10Pa
プラズマパワー:3m以上10mW/mm2以下
である。
ガス流量:20〜40sccm
圧力:2〜10Pa
プラズマパワー:3m以上10mW/mm2以下
である。
フッ素系ガスを用いたエッチングの後には、窒化ガリウム半導体領域13の表面13aは、図2(A)に示されるように、フッ素原子29によって終端される。これ故に、窒化ガリウム半導体領域13の表面13aはフッ素によって保護される。したがって、窒化ガリウム半導体領域13の表面13aからの窒素空孔の発生が低減される。
この後に、エッチングの後に、レジストマスク21を除去する。レジストマスク21の除去は、フッ素系ガスを用いてプラズマアッシングすることができる。窒化ガリウム半導体領域13の表面13aはフッ素によって保護される。したがって、窒化ガリウム半導体領域13の表面13aからの窒素空孔の発生が低減される。
図2(B)に示されるように、マスク27を用いて窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチング31を行う。このエッチング中にマスク27からケイ素ラジカル31aが発生され、該ケイ素ラジカル31aがエッチングに寄与する。また、ケイ素ラジカル31aが、エッチングされる窒化ガリウム系半導体領域13上のマスク27から供給されるので、ケイ素ラジカル31は確実に供給される。さらに、マスク27は、酸素を構成元素に含む材料から形成されていないので、エッチング中に酸素ラジカルがマスクから供給されることはない。これ故に、エッチングされる窒化ガリウム系半導体領域33には、エッチング中に酸素ラジカルに起因して窒素欠損が生じない。
このドライエッチングは、エッチャントとして、塩素系ガスを用いて行われることができる。塩素系ガスは、例えば、Cl2、BCl3、HCl等であることができる。好適には、エッチャントはCl2である。この理由は、ハロゲンのみを含むため、反応生成物は気化あるいは昇華しやすいためである。
また、このドライエッチングは、エッチャントとして、臭素系ガスを用いて行われることができる。臭素系ガスは、例えば、Br2、HBr等であることができる。好適には、エッチャントはBr2である。この理由は、ハロゲンのみを含むため、反応生成物は気化あるいは昇華しやすいためである。
さらに、このドライエッチングは、エッチャントとして、塩素系ガスおよび臭素系ガスを用いて行われることができる。好適には、エッチャントはCl2+BCl3の組み合わせである。この理由は、窒化ガリウム半導体に対して反応性が高いためである。
窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチング31の一条件は、例えば
ガス流量:20〜40sccm
圧力:2〜5Pa
プラズマパワー:5m以上10mW/mm2以下
である。
ガス流量:20〜40sccm
圧力:2〜5Pa
プラズマパワー:5m以上10mW/mm2以下
である。
エッチングの結果、図2(C)に示されるように、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域33が形成される。また、このエッチングによれば、エッチングされた窒化ガリウム系半導体領域33の表面33aは平坦にできる。表面33aをフッ素で保護するようにしてもよい。エッチングの後に、必要な場合には、マスク27を除去する。
(第2の実施の形態)
図3は、本発明の実施の形態に係る窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法の主要な工程を示す図面である。図1および図2に示された工程に引き続いて、図2(B)に示されるように窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチング31をした後に、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域33上にマスク27を用いて窒化ガリウム系半導体を選択成長することができる。この方法によれば、マスク27は、エッチングのためだけではなく、選択成長のためにも利用される。
図3は、本発明の実施の形態に係る窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法の主要な工程を示す図面である。図1および図2に示された工程に引き続いて、図2(B)に示されるように窒化ガリウム系半導体領域13のドライエッチング31をした後に、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域33上にマスク27を用いて窒化ガリウム系半導体を選択成長することができる。この方法によれば、マスク27は、エッチングのためだけではなく、選択成長のためにも利用される。
窒化ガリウム系半導体35の選択成長は、図3(A)に示されるように、原料Gを供給して、例えば有機金属気相成長装置37を用いて行われることができる。
図3(B)に示されるように、窒化ガリウム系半導体領域33上に窒化ガリウム系半導体35が成長される。窒化ガリウム系半導体35は、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、InAlGaNであり、主要なV族構成元素として窒素を含むと共に主要なIII族構成元素としてガリウム、インジウムおよびアルミニウムの少なくともいずれかを含むものを示す。必要な場合には、p型ドーパントおよび/またはn型ドーパントを含むことができる。
図3(B)に示されるように、窒化ガリウム系半導体領域33上に窒化ガリウム系半導体35が成長される。窒化ガリウム系半導体35は、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、InAlGaNであり、主要なV族構成元素として窒素を含むと共に主要なIII族構成元素としてガリウム、インジウムおよびアルミニウムの少なくともいずれかを含むものを示す。必要な場合には、p型ドーパントおよび/またはn型ドーパントを含むことができる。
選択成長が完了した後に、マスク27を除去する。この結果、図3(C)に示されるように、窒化ガリウム系半導体装置39が提供される。窒化ガリウム系半導体装置39は、ホモ接合或いはヘテロ接合を有することができる。
好適な実施の形態において本発明の原理を図示し説明してきたが、本発明は、そのような原理から逸脱することなく配置および詳細において変更され得ることは、当業者によって認識される。本実施の形態では、例えば、基板上に形成された窒化ガリウム系半導体領域のエッチングを説明したけれども、本発明は、本実施の形態に開示された特定の構成に限定されるものではなく、例えば窒化ガリウム系半導体基板のエッチングを行うこともできる。したがって、特許請求の範囲およびその精神の範囲から来る全ての修正および変更に権利を請求する。
11…基板、13…窒化ガリウム系半導体領域、13a…窒化ガリウム半導体領域表面、15…マスク膜、17…フォトレジスト、19…石英マスク、21…レジストマスク、23…エッチング装置、25…エッチング、27…マスク、29…フッ素原子、31…ドライエッチング、31a…ケイ素ラジカル、33…エッチングされる窒化ガリウム系半導体領域、35…窒化ガリウム系半導体、37…有機金属気相成長装置、39…窒化ガリウム系半導体装置
Claims (6)
- 窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法であって、
ケイ素およびケイ素窒化物の少なくともいずれかからなる層を含むマスクを用い前記窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングして、パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域を形成する工程を備える、ことを特徴とする方法。 - 前記マスクのためのマスク膜を前記窒化ガリウム系半導体領域上に形成する工程と、
パターンを有するレジストマスクをマスク膜上に形成する工程と、
前記レジストマスクを用いて前記マスク膜をエッチングして前記マスクを形成する工程と、
前記レジストマスクを除去する工程と
を更に備え、
前記マスク膜のエッチングはフッ素系ガスを用いて行われる、ことを特徴とする請求項1に記載された方法。 - 前記フッ素系ガスはSF6、NF3、CF4 、C2 F6、C3F8、C4F8 、C5 F8、F2の少なくともいずれかのガスを含む、ことを特徴とする請求項2に記載された方法。
- 前記窒化ガリウム系半導体領域のドライエッチングのためのガスは、少なくとも塩素系ガスを含む、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載された方法。
- 前記窒化ガリウム系半導体領域のドライエッチングのためのガスは、少なくとも臭素系ガスを含む、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載された方法。
- 前記窒化ガリウム系半導体領域をドライエッチングした後に、前記パターン形成された窒化ガリウム系半導体領域上に前記マスクを用いて窒化ガリウム系半導体を選択成長する工程を更に備える、ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載された方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005303031A JP2007115752A (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 窒化ガリウム系半導体領域にパターンを形成する方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012102011A1 (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-02 | 次世代パワーデバイス技術研究組合 | 窒化ガリウム系半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-10-18 JP JP2005303031A patent/JP2007115752A/ja active Pending
Cited By (3)
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WO2012102011A1 (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-02 | 次世代パワーデバイス技術研究組合 | 窒化ガリウム系半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012156263A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Advanced Power Device Research Association | 窒化ガリウム系半導体装置および半導体装置の製造方法 |
EP2669933A4 (en) * | 2011-01-25 | 2015-05-13 | Univ Tohoku Nat Univ Corp | SEMICONDUCTOR DEVICE ON GALLIUM NITRIDE BASE AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
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