JP2005150404A - 化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 - Google Patents
化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005150404A JP2005150404A JP2003386033A JP2003386033A JP2005150404A JP 2005150404 A JP2005150404 A JP 2005150404A JP 2003386033 A JP2003386033 A JP 2003386033A JP 2003386033 A JP2003386033 A JP 2003386033A JP 2005150404 A JP2005150404 A JP 2005150404A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry etching
- gas
- etching
- etching method
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】
GaAs、InP、GaN等の化合物半導体から構成される多層膜をドライエッチングする際に、それぞれの膜をエッチングガスを切り替えることなく、平滑に一括でドライエッチングでき得る好適なガスを提供することにある。
【解決手段】
Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてドライエッチングする。
【選択図】 図1
GaAs、InP、GaN等の化合物半導体から構成される多層膜をドライエッチングする際に、それぞれの膜をエッチングガスを切り替えることなく、平滑に一括でドライエッチングでき得る好適なガスを提供することにある。
【解決手段】
Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてドライエッチングする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ドライエッチング方法に関する。更に詳しくは、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いて、Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜、例えばGaAs、InP、GaN等の層から構成される多層膜を平滑性よく一括でエッチング除去する方法に関する。
GaN、GaAsならびにInP等の化合物半導体は、近年紫外から可視までの発光領域をもつ発光デバイスや超高速デバイスとして注目されており、素子の作製プロセス中のエッチングには、均一性、再現性の良いドライエッチング技術が必要となっている。
ドライエッチングガスとしては、一般に塩素系のガスやCnH2n+2(n=1〜3)から選ばれる炭化水素系ガスが用いられる。例えば特許文献1には、塩素、四塩化炭素、四塩化ケイ素、三塩化ホウ素で窒化ガリウム系化合物半導体をエッチングすることが記述されており、また、非特許文献1にはInPをヨウ化水素とHeの混合ガスならびにメタン・エタン系のガスでエッチングすることが記述されている。
ヨウ化水素ガスを用いたドライエッチング法としては、特許文献2にインジウムとスズとの酸化物(ITO)からなる薄膜、特許文献3にInPをエッチングする記述があり、また非特許文献2にはヨウ化水素と塩素の混合ガスを用いてInPをエッチングすることが記述されている。
即ち、GaAs、InP、GaN等のAl、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜をエッチングしようとする際には、塩素系のガスやCnH2n+2(n=1〜3)から選ばれる炭化水素系ガスを用いて、各層をそれぞれエッチングする技術は存在するが、一括で、かつ平滑性よくエッチングできる技術についての検討は不十分であり、この技術の開発が望まれている。
特開2003−229413号公報
特開2000−150466号公報
特開2000−200770号公報
2003年春季応用物理学会講演予稿集28p−P9−5
2003年秋季応用物理学会講演予稿集30p−C−10
本発明の目的は、GaAs、InP、GaN等のAl、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、一括で且つ平滑性に優れたドライエッチング方法を提供することである。
上記課題を解決するため、本発明者らが鋭意検討した結果、上記GaAs、InP、GaN等のAl、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガス用いることにより、平滑性よく、一括でドライエッチングが可能であることを見出し、本発明を完成した。
即ち本発明は、下記で示すものである。
(1) Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
(2) 該Al、Ga、As、N、In、及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物が、GaAs、InP、GaNから選ばれた化合物である(1)に記載のドライエッチング方法。
(3) ヨウ化水素を含む混合ガスが、希ガス、塩素原子をその分子構造に含むガス、又はCnH2n+2(n=1〜3の整数)から選ばれる炭化水素系ガスを一種又は二種以上含有するものである(1)又は(2)に記載のドライエッチング方法。
(4) 該希ガスが、キセノンである(3)に記載のドライエッチング方法。
(5) 該混合ガスに占めるヨウ化水素ガスの割合が、標準状態での体積換算で5vol%以上60vol%以下である(1)乃至(4)に記載のドライエッチング方法。
(6) プラズマの発生とイオンの入射エネルギーとを独立して制御できるエッチング装置を用いるものである(1)乃至(5)に記載のドライエッチング方法。
(1) Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
(2) 該Al、Ga、As、N、In、及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物が、GaAs、InP、GaNから選ばれた化合物である(1)に記載のドライエッチング方法。
(3) ヨウ化水素を含む混合ガスが、希ガス、塩素原子をその分子構造に含むガス、又はCnH2n+2(n=1〜3の整数)から選ばれる炭化水素系ガスを一種又は二種以上含有するものである(1)又は(2)に記載のドライエッチング方法。
(4) 該希ガスが、キセノンである(3)に記載のドライエッチング方法。
(5) 該混合ガスに占めるヨウ化水素ガスの割合が、標準状態での体積換算で5vol%以上60vol%以下である(1)乃至(4)に記載のドライエッチング方法。
(6) プラズマの発生とイオンの入射エネルギーとを独立して制御できるエッチング装置を用いるものである(1)乃至(5)に記載のドライエッチング方法。
本発明によって、GaAs、InP、GaN等のAl、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスで、平滑性よく一括でエッチングできるため、これまで加工の困難であったInP、InGaAsなどの化合物半導体多層膜デバイスの製造が容易になり、高歩留まり化を実現することが可能となった。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のドライエッチング方法は、金属薄膜多層膜のドライエッチング加工において、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いて行われることを特徴とするものである。この金属薄膜多層膜は、Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜であり、例えば、各層はGaAs、GaN、InP、InGaAs、InAlAs、AlGaAs、InGaAsP、AlGaN、InGaN、InAlGaN、GaInNAs、GaInNAsP等がある。また、多層膜の積層方法は特に限定されないが、例としてGaAs/AlGaAs/InGaAsの3層膜をMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;有機金属化学蒸着)法により積層されたものがある。積層数は複数層であれば特に制限はなく、好ましくは2〜5層程度である。各層の膜厚に関しても特に制限があるわけではないが、100Åから20000Åが好ましい。より好ましくは1000から10000Åである。
本発明のドライエッチング方法は、金属薄膜多層膜のドライエッチング加工において、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いて行われることを特徴とするものである。この金属薄膜多層膜は、Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜であり、例えば、各層はGaAs、GaN、InP、InGaAs、InAlAs、AlGaAs、InGaAsP、AlGaN、InGaN、InAlGaN、GaInNAs、GaInNAsP等がある。また、多層膜の積層方法は特に限定されないが、例としてGaAs/AlGaAs/InGaAsの3層膜をMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition;有機金属化学蒸着)法により積層されたものがある。積層数は複数層であれば特に制限はなく、好ましくは2〜5層程度である。各層の膜厚に関しても特に制限があるわけではないが、100Åから20000Åが好ましい。より好ましくは1000から10000Åである。
ヨウ化水素を含む混合ガスとしては、ヨウ化水素に、希ガス、塩素原子をその分子構造に含むガス、又はCnH2n+2(n=1〜3)から選ばれる炭化水素系ガスを一種以上含有するものが好ましい。希ガスとしては、例としてHe、Ne、Ar、Kr、Xe等が挙げられ、好ましくは、ヨウ化水素と分子量が近いXeである。
塩素原子をその分子構造に含むガスの例としては塩素Cl2、塩化水素HCl、四塩化炭素CCl4、四塩化珪素SiCl4、三塩化ホウ素BCl3等が挙げられ、好ましくはCl2である。
CnH2n+2(n=1〜3)から選ばれる炭化水素系ガスの例としてはメタンCH4、エタンC2H6、プロパンC3H8が挙げられ、好ましくはCH4である。
これら三者のガスはヨウ化水素ガスと単独で混合して使用することもできるが、数種を混合して使用することもできる。好ましくはヨウ化水素と塩素原子をその分子構造に含むガスの混合ガス、ヨウ化水素と希ガスを含む混合ガスであり、より好ましくはヨウ化水素と希ガスを含む混合ガスである。
これらのヨウ化水素ガスを含む混合ガスの全流量は10sccm以下が好ましく、より好ましくは1sccm以下である。また、混合ガスに占めるヨウ化水素ガスの割合が、標準状態での体積換算で5vol%以上60vol%以下であることが好ましい。より好ましくは10vol%以上40vol%である。この範囲にある場合、エッチング速度が過度に減少することがなく、またレジストダメージが起きにくく好ましい。
本発明のドライエッチング方法の具体的な態様の一例を示すと、Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜が積層された基板を反応室のカソード電極上に導入し、カソード電極に電圧を印加することにより、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてプラズマガスを発生させ、ドライエッチングをおこなう方法を挙げることができる。
本発明のドライエッチング方法において、基板温度としては好ましくは50℃〜130℃であり、より好ましくはレジスト剥離することなく、かつ高速エッチング可能な70℃〜100℃である。エッチングの際の圧力には特に制限があるわけではないが、好ましくは低圧であり、さらに好ましくは5Pa以下である。また、印加電力に関しても同様に特に制限があるわけではないが、好ましくは30W〜250Wであり、さらに好ましくは50W〜150Wである。また、周波数は1MHz以上、150MHz以下であることが好ましい。さらに好ましくは、5MHz以上、80MHz以下であり、より更に好ましくは13.56MHz以上、50MHz以下である。
化合物半導体を堆積させる基板に関しては特に制限はないが、好ましくはサファイア、炭化珪素、Al、Si等であり、さらに好ましくはサファイアである。電極間距離に関しても特に制限はないが、好ましくは40〜120mmである。
ドライエッチング装置としては特に制限されるわけでなく、例えばバレルタイプ、RIE(Reactive Ion Etching;反応性イオンエッチング)、MERIE(Magnetron Reactive Ion Etching;マグネトロン反応性イオンエッチング)、ICP(Inductively Coupled Plasma;誘導結合プラズマ)、NLD(Neutral Loop Discharge;中性線放電)、またはECR(Electron Cyclotron Resonance;電子サイクロトロン共鳴)等の各種方式を応用した装置が用いられるが、好ましくはプラズマの発生とイオンの入射エネルギーとを独立して制御できるエッチング装置であるICP方式もしくはECR方式である。
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明する。
尚、エッチング面の底面荒れについては、10μm×10μmのエッチング面を、日立建機ファインテック社製の原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;以下、AFMと省略)WA−1300で観察し、AFM像から求めた、表面荒れを表す値である自乗平均面荒さ(Root−Mean−Square;以下、RMSと省略)値で比較した。
尚、エッチング面の底面荒れについては、10μm×10μmのエッチング面を、日立建機ファインテック社製の原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope;以下、AFMと省略)WA−1300で観察し、AFM像から求めた、表面荒れを表す値である自乗平均面荒さ(Root−Mean−Square;以下、RMSと省略)値で比較した。
また、エッチングの進行を確認するために、あらかじめエッチングを行う前にレジストであるOFTR5000にて多層膜上にパターンを描き、エッチング多層膜薄膜部分と残存させる多層膜薄膜部分とに区分けした。エッチング終了後、レジスト剥離液でレジストを除去した後、断面SEMで観察することによりエッチング深さを測定して、一括エッチングができたかどうかを確認した。
実施例1
図1に示すような多層構造を有する多層膜をドライエッチングした。図1中、1は5mm角のサファイア基板、2は膜厚0.5μmのGaN、3は膜厚0.3μmのInP、4は膜厚0.3μmのGaAsであり、レジスト5はマスクである。サファイア/GaN/InP/GaAs多層膜を容量結合型の高周波電極を備えた装置の印加電極上に設置し、真空引きを行った。1×10-2Pa以下の真空度が得られた後に、基板を90℃に加熱し、ドライエッチングガスとしてヨウ化水素ガス;0.4sccmと塩素ガス0.6sccm(標準状態での堆積換算で60%)の混合ガスを用い、この混合ガスを1sccm流し、13.56MHzの高周波電源より150Wの電力を基板設置電極に印加してプラズマを発生させ、高周波プラズマ雰囲気中でドライエッチングを5分間行った(装置内圧力1.5Pa)。
図1に示すような多層構造を有する多層膜をドライエッチングした。図1中、1は5mm角のサファイア基板、2は膜厚0.5μmのGaN、3は膜厚0.3μmのInP、4は膜厚0.3μmのGaAsであり、レジスト5はマスクである。サファイア/GaN/InP/GaAs多層膜を容量結合型の高周波電極を備えた装置の印加電極上に設置し、真空引きを行った。1×10-2Pa以下の真空度が得られた後に、基板を90℃に加熱し、ドライエッチングガスとしてヨウ化水素ガス;0.4sccmと塩素ガス0.6sccm(標準状態での堆積換算で60%)の混合ガスを用い、この混合ガスを1sccm流し、13.56MHzの高周波電源より150Wの電力を基板設置電極に印加してプラズマを発生させ、高周波プラズマ雰囲気中でドライエッチングを5分間行った(装置内圧力1.5Pa)。
化合物半導体多層膜のドライエッチングは完全に進行しており、エッチング面の平滑性は、RMS値で3.3であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
実施例2
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガス;0.4sccmとキセノンガス0.6sccm(標準状態での体積換算で60%)の混合ガスを用いた以外は実施例1と同様にして化合物半導体多層膜のエッチングを5分間行った。化合物半導体多層膜のドライエッチングが完全に進行しており、RMS値は、1.6であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガス;0.4sccmとキセノンガス0.6sccm(標準状態での体積換算で60%)の混合ガスを用いた以外は実施例1と同様にして化合物半導体多層膜のエッチングを5分間行った。化合物半導体多層膜のドライエッチングが完全に進行しており、RMS値は、1.6であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
実施例3
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガス;0.4sccm、CH4;0.3sccmならびにCl2;0.3sccmの3種類のガスを使用した以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチングは完全に進行しており、RMS値は5.4であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガス;0.4sccm、CH4;0.3sccmならびにCl2;0.3sccmの3種類のガスを使用した以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチングは完全に進行しており、RMS値は5.4であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
比較例1
ドライエッチングガスとして、Cl2ガスのみを用いた以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチング時間5分ではエッチングは完全には進行しなかった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
ドライエッチングガスとして、Cl2ガスのみを用いた以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチング時間5分ではエッチングは完全には進行しなかった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
比較例2
ドライエッチングガスとして、CH4ガスのみを使用した以外は、実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。比較例1と同様、エッチングは完全には進行しなかった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
ドライエッチングガスとして、CH4ガスのみを使用した以外は、実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。比較例1と同様、エッチングは完全には進行しなかった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
比較例3
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガスのみを使用した以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチングは進行したが、RMS値は7.3であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
ドライエッチングガスとして、ヨウ化水素ガスのみを使用した以外は実施例1と同様の方法にてエッチングをおこなった。エッチングは進行したが、RMS値は7.3であった。尚、90℃という基板温度では、180℃以上の高温エッチング時に問題となるレジスト剥離は発生しなかった。
実施例で示したように、本発明のエッチング方法ではGaAs、InP、GaNなどの化合物半導体から構成される多層膜を、ヨウ化水素と添加ガスを含む混合ガスで、極めて平滑性よく、またエッチングガスを変更することなく、一括でエッチングできた。
本発明のドライエッチング方法により、GaAs、InP、GaNの化合物半導体から構成される多層膜を、平滑性よく一括でエッチングでき、半導体レーザーや光導波路などの光デバイス、または超高速デバイスのドライエッチングに有用である。
Claims (6)
- Al、Ga、As、N、In及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物(但し、Alは単体の場合もある)よりなる膜で、組成の異なるものが複数形成された金属多層膜を、ヨウ化水素を含む混合ガスを用いてエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
- 該Al、Ga、As、N、In、及びPより選ばれる二種以上の元素からなる化合物が、GaAs、InP、GaNから選ばれた化合物である請求項1に記載のドライエッチング方法。
- ヨウ化水素を含む混合ガスが、希ガス、塩素原子をその分子構造に含むガス、及びCnH2n+2(n=1〜3の整数)から選ばれる炭化水素系ガスを一種又は二種以上含有するものである請求項1又は2に記載のドライエッチング方法。
- 該希ガスが、キセノンである請求項3に記載のドライエッチング方法。
- 該混合ガスに占めるヨウ化水素ガスの割合が、標準状態での体積換算で5vol%以上60vol%以下である請求項1乃至4に記載のドライエッチング方法。
- プラズマの発生とイオンの入射エネルギーとを独立して制御できるエッチング装置を用いるものである請求項1乃至5に記載のドライエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386033A JP2005150404A (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386033A JP2005150404A (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150404A true JP2005150404A (ja) | 2005-06-09 |
Family
ID=34693826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003386033A Withdrawn JP2005150404A (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005150404A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006073552A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Kyoto Univ | プラズマによる半導体加工方法 |
JP2008010539A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Ulvac Japan Ltd | ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 |
JP2010040780A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法、並びにプラズマエッチング装置 |
JP2010040766A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010040777A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法およびプラズマエッチング装置 |
JP2013026609A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Ulvac Japan Ltd | ドライエッチング方法 |
-
2003
- 2003-11-17 JP JP2003386033A patent/JP2005150404A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006073552A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Kyoto Univ | プラズマによる半導体加工方法 |
JP2008010539A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Ulvac Japan Ltd | ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 |
JP2010040780A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法、並びにプラズマエッチング装置 |
JP2010040766A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Ulvac Japan Ltd | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2010040777A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法およびプラズマエッチング装置 |
JP2013026609A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Ulvac Japan Ltd | ドライエッチング方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101160102B1 (ko) | 가스 화학물 및 탄화 수소 첨가의 주기적 조절을 이용하는 플라즈마 스트리핑 방법 | |
CN113140503A (zh) | 形成高纵横比特征的方法 | |
Zhou et al. | Dry etching characteristics of GaN using Cl2/BCl3 inductively coupled plasmas | |
JP5260356B2 (ja) | 基板処理方法 | |
CN109690735B (zh) | 用于高纵横比结构的剥离方法 | |
KR20080093392A (ko) | 제어된 임계 치수 수축의 에칭 처리 | |
KR102429615B1 (ko) | 에칭 방법 | |
TW201611096A (zh) | 利用共形碳薄膜減低臨界尺寸之方法 | |
KR101465107B1 (ko) | 플라즈마 에칭 방법 | |
JP2008198659A (ja) | プラズマエッチング方法 | |
JP2008021791A (ja) | プラズマエッチング方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
KR20200018897A (ko) | 플라즈마 식각 방법 | |
CN112470258A (zh) | 用于纳米线的选择性蚀刻 | |
JP5458920B2 (ja) | 半導体光デバイスの製造方法 | |
KR102070350B1 (ko) | 헤테로원자-도핑된 탄소 막들의 증착 | |
JP2005150404A (ja) | 化合物半導体から構成される多層膜のドライエッチング方法 | |
US9484215B2 (en) | Sulfur and fluorine containing etch chemistry for improvement of distortion and bow control for har etch | |
JP5642427B2 (ja) | プラズマ処理方法 | |
JP2013165262A (ja) | 光半導体素子の製造方法 | |
KR101207447B1 (ko) | 저진공 축전 결합형 플라즈마를 이용한 건식 식각 공정 | |
KR100484502B1 (ko) | Bci3 플라즈마 가스를 근간으로 하는 광소자용 산화아연 반도체의 이등방성 건식식각방법 | |
CN109997212B (zh) | 在有机层蚀刻中生成竖直轮廓的方法 | |
US11495454B2 (en) | Deposition of low-stress boron-containing layers | |
KR20230044309A (ko) | 저-응력 탄소-함유 층들의 증착 | |
JP2005302795A (ja) | ドライエッチング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061013 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080404 |