JP2007112694A - 黒色系セラミック焼結体およびこれを用いた光学分析用セル並びに半導体・液晶製造装置用部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コーディエライトを主成分とし、Fe、Niを酸化物換算で10重量%を超え30重量%以下の範囲で含有してなり、−30〜60℃における熱膨張係数が0.1×10−6以上、且つ0.6×10−6/℃以下であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
また、気孔率が0.1%以下であることを特徴とする。
機械的特性に優れる黒色系セラミック焼結体を得ることができる。
以下の手順により評価用の試料を作製した。
続いて、母材となるコーディエライト、酸化鉄(Fe2O3)、酸化ニッケル(NiO)、を表2に示す調合組成にしたがって調合した。なお、以下の試料の製造方法については、実施例1と同様に行った。
続いて、母材となるコーディエライト、酸化鉄(Fe2O3)、酸化ニッケル(NiO)、を表3に示す調合組成にしたがって調合した。なお、以下の試料の製造方法については、実施例1と同様に行った。
続いて、表4に示す調合組成にしたがって、母材となるコーディエライト、酸化鉄(Fe2O3)、酸化ニッケル(NiO)および酸化マンガン(Mn2O3)を調合した。なお、以下の試料の製造方法については、実施例1と同様に行った。
続いて、表4に示す調合組成母材にしたがって、母材となるコーディエライト、酸化鉄(Fe2O3)、酸化ニッケル(NiO)を調合した。さらに、原料の混合・粉砕から成形までは実施例1と同様に行い、焼成方法については降温速度を、130、140、145℃/時間の各条件で行い試料を作製した。
2:ガラス質
3:複合酸化物
4:石英ガラス
5:黒色系セラミック焼結体
6:接合面
7:試料
10:試料セル
Claims (8)
- コーディエライトを主成分とし、FeおよびNiを酸化物換算で10.7重量%以上、15.0重量%以下の範囲で含有してなり、−30〜60℃における熱膨張係数が0.1×10−6/℃以上、且つ0.6×10−6/℃以下であることを特徴とする黒色系セラミック焼結体。
- L*a*b*表示系の明度L*が30以下、且つ波長350nm〜750nmにおける全反射率が7%以下であることを特徴とする請求項1に記載の黒色系セラミック焼結体。
- L*a*b*表示系の彩度b*の絶対値が5以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の黒色系セラミック焼結体。
- 焼結体におけるMnの含有量が酸化物換算で0.1重量%以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の黒色系セラミック焼結体。
- 上記Feの含有量が酸化物換算で7.0重量%以上、且つ12.0重量%以下の範囲であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の黒色系セラミック焼結体。
- 気孔率が0.1%以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の黒色系セラミック焼結体。
- 請求項乃至6のいずれかに記載の黒色系セラミック焼結体からなる板状体の上面に試料を保持するための空間を有する容器状の石英ガラスを接合してなることを特徴とする光学分析用セル。
- 請求項乃至7のいずれかに記載の黒色系セラミック焼結体を用いてなる半導体・液晶製造装置用部材。
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