JPH1095673A - 黒色ＡｌＮ系セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
黒色ＡｌＮ系セラミックス及びその製造方法Info
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- JPH1095673A JPH1095673A JP8251392A JP25139296A JPH1095673A JP H1095673 A JPH1095673 A JP H1095673A JP 8251392 A JP8251392 A JP 8251392A JP 25139296 A JP25139296 A JP 25139296A JP H1095673 A JPH1095673 A JP H1095673A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ＡｌＮ系セラミックスの色ムラを
解消し、耐食性と機械的特性を改善させた、黒色を呈す
る高純度ＡｌＮ系セラミックスを提供するものである。 【解決手段】 本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスは、
０．１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が実質的
に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、
焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応
により生じるＡｌＯＮ相を含有する。また、この黒色Ａ
ｌＮ系セラミックスは、０．１〜３０重量％の酸化アル
ミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混
合粉体を成形した後、１６００〜１９００℃の温度で加
圧焼結することにより製造する。
解消し、耐食性と機械的特性を改善させた、黒色を呈す
る高純度ＡｌＮ系セラミックスを提供するものである。 【解決手段】 本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスは、
０．１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が実質的
に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形・焼結し、
焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミニウムとの反応
により生じるＡｌＯＮ相を含有する。また、この黒色Ａ
ｌＮ系セラミックスは、０．１〜３０重量％の酸化アル
ミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混
合粉体を成形した後、１６００〜１９００℃の温度で加
圧焼結することにより製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置用
部材、産業機械用部材、耐熱耐食性部材、等に用いられ
る高純度でかつ黒色を呈するＡｌＮ系セラミックス及び
その製造方法に関するものである。
部材、産業機械用部材、耐熱耐食性部材、等に用いられ
る高純度でかつ黒色を呈するＡｌＮ系セラミックス及び
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＡｌＮ系セラミックスはその優れた熱伝
導特性、適度な機械的特性のため、ＬＳＩの放熱基板、
各種耐摩耗・機械構造部材として用いられ、近年、ＬＳ
Ｉ製造装置用部材への適用が検討されている。ＡｌＮは
難焼結性のため、その焼結時においては通常、焼結助剤
としてＹ2 Ｏ3 に代表されるイットリウム化合物かある
いはＣａＯ、Ｃａ2 Ｃに代表されるカルシウム化合物を
１〜５重量％添加して製造するのが普通である。
導特性、適度な機械的特性のため、ＬＳＩの放熱基板、
各種耐摩耗・機械構造部材として用いられ、近年、ＬＳ
Ｉ製造装置用部材への適用が検討されている。ＡｌＮは
難焼結性のため、その焼結時においては通常、焼結助剤
としてＹ2 Ｏ3 に代表されるイットリウム化合物かある
いはＣａＯ、Ｃａ2 Ｃに代表されるカルシウム化合物を
１〜５重量％添加して製造するのが普通である。
【０００３】焼結後のＡｌＮ系セラミックスの色調は、
使用する原料粉末中の不純物、添加する焼結助剤の種類
・量によって変化するが、特に遷移金属不純物が少ない
高純度ＡｌＮ原料を使用した場合、白色あるいはアイボ
リー色（灰色）を呈し、かつ透光性を有することが多
い。
使用する原料粉末中の不純物、添加する焼結助剤の種類
・量によって変化するが、特に遷移金属不純物が少ない
高純度ＡｌＮ原料を使用した場合、白色あるいはアイボ
リー色（灰色）を呈し、かつ透光性を有することが多
い。
【０００４】また、ＡｌＮ系セラミックスの製造時には
イットリウム化合物、カルシウム化合物、等を用いる
が、これらの化合物は焼結中にＡｌＮと反応し、生成物
が第２相として焼結後のＡｌＮセラミックスの粒界や三
重点に残存する。例えば、イットリウム化合物を使用し
た場合、ＹＡＧ（Ａｌ5 Ｙ3 Ｏ12）等がＡｌＮセラミッ
クスの粒界や三重点に生成することが知られている。
イットリウム化合物、カルシウム化合物、等を用いる
が、これらの化合物は焼結中にＡｌＮと反応し、生成物
が第２相として焼結後のＡｌＮセラミックスの粒界や三
重点に残存する。例えば、イットリウム化合物を使用し
た場合、ＹＡＧ（Ａｌ5 Ｙ3 Ｏ12）等がＡｌＮセラミッ
クスの粒界や三重点に生成することが知られている。
【０００５】これらの第２相は焼結体中で必ずしも均一
・微細に分散しているわけではなく、また、ＡｌＮが白
色、透光性なため、特にセラミックスの形状が大きい場
合、色ムラ、斑点、等の欠陥として検出される。色ム
ラ、斑点、等の欠陥発生を抑制する一つの手法として、
イットリウム化合物あるいはカルシウム化合物、等の焼
結助剤を使用しない方法が考えられるが、焼結助剤を添
加せずにＡｌＮの高密度の焼結体を得るのは困難であ
る。そこで、ＡｌＮ系セラミックスを黒色に発色させ、
色ムラ、斑点、等の欠陥発生を抑制することが望まれて
いる。また、ＡｌＮ系セラミックスを赤外線加熱、等に
よる受光発熱媒体として用いる場合も、赤外線吸収効率
の点より、黒色化が望まれるものである。
・微細に分散しているわけではなく、また、ＡｌＮが白
色、透光性なため、特にセラミックスの形状が大きい場
合、色ムラ、斑点、等の欠陥として検出される。色ム
ラ、斑点、等の欠陥発生を抑制する一つの手法として、
イットリウム化合物あるいはカルシウム化合物、等の焼
結助剤を使用しない方法が考えられるが、焼結助剤を添
加せずにＡｌＮの高密度の焼結体を得るのは困難であ
る。そこで、ＡｌＮ系セラミックスを黒色に発色させ、
色ムラ、斑点、等の欠陥発生を抑制することが望まれて
いる。また、ＡｌＮ系セラミックスを赤外線加熱、等に
よる受光発熱媒体として用いる場合も、赤外線吸収効率
の点より、黒色化が望まれるものである。
【０００６】ＡｌＮを含め、一般にセラミックスの着色
方法としては、チタニウム、コバルト、亜鉛、鉄、ニッ
ケル、等の遷移金属あるいはこれらの化合物を添加する
方法が知られており、遷移金属元素を１００ppm 程度以
上添加することによって、ＡｌＮセラミックスは黒色化
する。しかしながら、遷移金属元素はＬＳＩ製造プロセ
ス上、最もデバイスに悪影響を与えるものであり、遷移
金属元素添加による黒色化は、ＡｌＮセラミックスの半
導体製造装置用部材への適用を阻害するものである。
方法としては、チタニウム、コバルト、亜鉛、鉄、ニッ
ケル、等の遷移金属あるいはこれらの化合物を添加する
方法が知られており、遷移金属元素を１００ppm 程度以
上添加することによって、ＡｌＮセラミックスは黒色化
する。しかしながら、遷移金属元素はＬＳＩ製造プロセ
ス上、最もデバイスに悪影響を与えるものであり、遷移
金属元素添加による黒色化は、ＡｌＮセラミックスの半
導体製造装置用部材への適用を阻害するものである。
【０００７】特開平６−１１６０３９号公報では、窒化
アルミニウムに対してＥｒ（エルビウム）を金属換算で
５重量％以上添加し、シミや色ムラの発生を抑制したＡ
ｌＮセラミックス焼結体について開示しているが、Ｅｒ
（エルビウム）等のランタノイド元素、あるいはアクチ
ノイド元素、その他、周期律表シリコン元素（原子番号
１４）より上の重金属及びアルカリ金属、アルカリ土類
金属は基本的に遷移金属元素と同様にＬＳＩデバイスに
とって有害であり、ＡｌＮセラミックスの半導体製造装
置用部材への適用を阻害するものである。
アルミニウムに対してＥｒ（エルビウム）を金属換算で
５重量％以上添加し、シミや色ムラの発生を抑制したＡ
ｌＮセラミックス焼結体について開示しているが、Ｅｒ
（エルビウム）等のランタノイド元素、あるいはアクチ
ノイド元素、その他、周期律表シリコン元素（原子番号
１４）より上の重金属及びアルカリ金属、アルカリ土類
金属は基本的に遷移金属元素と同様にＬＳＩデバイスに
とって有害であり、ＡｌＮセラミックスの半導体製造装
置用部材への適用を阻害するものである。
【０００８】一方、Ａｌ2 Ｏ3 、ＡｌＮ、ＡｌＯＮ等の
アルミニウム化合物系のセラミックスは、塩素ガス、フ
ッ素ガス、等のハロゲンガスに対して、表面に安定なハ
ロゲン化アルミニウムを形成することによって耐食性に
優れることが知られている。しかしながら、通常の、イ
ットリウム化合物あるいはカルシウム化合物を含有する
ＡｌＮ系セラミックスでは、ＡｌＮが耐食性に優れても
第２相として存在する反応生成物が耐食性に劣るため、
セラミックスとしては良好な耐食性を維持できない問題
がある。
アルミニウム化合物系のセラミックスは、塩素ガス、フ
ッ素ガス、等のハロゲンガスに対して、表面に安定なハ
ロゲン化アルミニウムを形成することによって耐食性に
優れることが知られている。しかしながら、通常の、イ
ットリウム化合物あるいはカルシウム化合物を含有する
ＡｌＮ系セラミックスでは、ＡｌＮが耐食性に優れても
第２相として存在する反応生成物が耐食性に劣るため、
セラミックスとしては良好な耐食性を維持できない問題
がある。
【０００９】また、ＡｌＮセラミックスは、セラミック
スの中でも炭化ケイ素（ＳｉＣ）並に破壊靭性値が低
く、極めて脆い。このため、ＡｌＮセラミックス焼結体
の研削加工時には、チッピング等の欠損が入りやすく加
工条件に注意が必要であり、さらに、ＡｌＮセラミック
スを部材として使用するときにも機械的衝撃、熱的衝撃
を低減するよう注意を払わねばならない。ＡｌＮセラミ
ックスの信頼性の向上、製造効率の改善のためには、Ａ
ｌＮの機械的特性、特に破壊靭性の向上が強く望まれて
いる。
スの中でも炭化ケイ素（ＳｉＣ）並に破壊靭性値が低
く、極めて脆い。このため、ＡｌＮセラミックス焼結体
の研削加工時には、チッピング等の欠損が入りやすく加
工条件に注意が必要であり、さらに、ＡｌＮセラミック
スを部材として使用するときにも機械的衝撃、熱的衝撃
を低減するよう注意を払わねばならない。ＡｌＮセラミ
ックスの信頼性の向上、製造効率の改善のためには、Ａ
ｌＮの機械的特性、特に破壊靭性の向上が強く望まれて
いる。
【００１０】また、特開昭６１−１１７１６２号公報で
は、平均粒径が８μｍ以下のＡｌＮを８０〜９８重量
％、平均粒径が５μｍ以下のＡｌＯＮを２〜２０重量％
含有してなる耐摩耗材料について開示しているが、本公
開明細書ではＡｌＮ原料粉に対して平均粒径０．５〜１
μｍのＡｌＯＮ原料粉を添加し、１６５０〜２０００℃
で焼結することによって耐摩耗材料を製造している。し
かしながら、ＡｌＯＮ原料粉は極めて高価でありかつ不
純物の少ない高純度原料を入手するのが困難であるばか
りか、ＡｌＯＮそれ自体も難焼結性であるため、焼結助
剤を添加しない本公報の場合、緻密な焼結体を得るのは
困難で、従ってＡｌＮセラミックスの機械的特性、特に
破壊靭性を改善するのは困難である。また、本公報には
焼結体の色調に関する記載はないが、ＡｌＮに白色のＡ
ｌＯＮを添加しても焼結体が黒色に発色することはな
く、従って、色ムラ、等の欠陥発生を抑制することはで
きない。
は、平均粒径が８μｍ以下のＡｌＮを８０〜９８重量
％、平均粒径が５μｍ以下のＡｌＯＮを２〜２０重量％
含有してなる耐摩耗材料について開示しているが、本公
開明細書ではＡｌＮ原料粉に対して平均粒径０．５〜１
μｍのＡｌＯＮ原料粉を添加し、１６５０〜２０００℃
で焼結することによって耐摩耗材料を製造している。し
かしながら、ＡｌＯＮ原料粉は極めて高価でありかつ不
純物の少ない高純度原料を入手するのが困難であるばか
りか、ＡｌＯＮそれ自体も難焼結性であるため、焼結助
剤を添加しない本公報の場合、緻密な焼結体を得るのは
困難で、従ってＡｌＮセラミックスの機械的特性、特に
破壊靭性を改善するのは困難である。また、本公報には
焼結体の色調に関する記載はないが、ＡｌＮに白色のＡ
ｌＯＮを添加しても焼結体が黒色に発色することはな
く、従って、色ムラ、等の欠陥発生を抑制することはで
きない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来のＡｌＮ系セラミックスは焼結助剤としてイットリウ
ム化合物あるいはカルシウム化合物を用いるため、アル
ミニウム以外の元素を含有し純度が低下するばかりでな
く、白色あるいは灰色透光性で色ムラ等の欠陥が発生し
やすく、耐食性も低下しやすい。また機械的特性、特に
破壊靭性に劣るという問題点があった。
来のＡｌＮ系セラミックスは焼結助剤としてイットリウ
ム化合物あるいはカルシウム化合物を用いるため、アル
ミニウム以外の元素を含有し純度が低下するばかりでな
く、白色あるいは灰色透光性で色ムラ等の欠陥が発生し
やすく、耐食性も低下しやすい。また機械的特性、特に
破壊靭性に劣るという問題点があった。
【００１２】本発明は、これらの課題を解決し、高純度
でかつ耐食性、機械的特性に優れた黒色のＡｌＮ系セラ
ミックス及びその製造方法を提供することを目的とする
ものである。
でかつ耐食性、機械的特性に優れた黒色のＡｌＮ系セラ
ミックス及びその製造方法を提供することを目的とする
ものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、難焼結性
のＡｌＮに酸化アルミニウムを添加することにより緻密
な焼結体が得られ、その焼結時に格子欠陥を有するＡｌ
ＯＮ相が生成することによって、焼結体が黒色に発色し
ＡｌＮの色ムラの問題が解決され、かつ、ＡｌＮ粒子と
ＡｌＯＮ粒子との分散強化によって焼結体の機械的特性
が向上することを新たに発見したものである。
のＡｌＮに酸化アルミニウムを添加することにより緻密
な焼結体が得られ、その焼結時に格子欠陥を有するＡｌ
ＯＮ相が生成することによって、焼結体が黒色に発色し
ＡｌＮの色ムラの問題が解決され、かつ、ＡｌＮ粒子と
ＡｌＯＮ粒子との分散強化によって焼結体の機械的特性
が向上することを新たに発見したものである。
【００１４】本発明の要件は、０．１〜３０重量％の酸
化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより
成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウ
ムと窒化アルミニウムとの反応により生じるＡｌＯＮ相
を含有することを特徴とする密度が理論値の９０％以上
であり、かつ、アルカリ金属、アルカリ土類金属、元素
周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら金属元素
の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、実質ＡｌＮと
ＡｌＯＮの２相とからなる高純度な黒色ＡｌＮ系セラミ
ックスである。また、本発明の黒色ＡｌＮ系セラミック
スは、０．１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が
実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形した
後、１６００〜１９００℃の温度で加圧焼結することに
より製造できるものである。
化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムより
成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウ
ムと窒化アルミニウムとの反応により生じるＡｌＯＮ相
を含有することを特徴とする密度が理論値の９０％以上
であり、かつ、アルカリ金属、アルカリ土類金属、元素
周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら金属元素
の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、実質ＡｌＮと
ＡｌＯＮの２相とからなる高純度な黒色ＡｌＮ系セラミ
ックスである。また、本発明の黒色ＡｌＮ系セラミック
スは、０．１〜３０重量％の酸化アルミニウムと残部が
実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を成形した
後、１６００〜１９００℃の温度で加圧焼結することに
より製造できるものである。
【００１５】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスは、ア
ルカリ金属、アルカリ土類金属、元素周期律表第１９番
以降の金属元素、及びこれら金属元素の化合物の含有量
が全て３０ppm 以下で、実質ＡｌＮとＡｌＯＮの２相と
からなる高純度な焼結体である。周期律表シリコン元素
（原子番号１４）より上の重金属元素及びアルカリ金属
元素、アルカリ土類金属元素はＬＳＩデバイスにとって
有害でありＡｌＮセラミックスの半導体製造装置用部材
の適用を阻害するものであるため、その含有量は可能な
限り低レベルでなければならない。また、これら不純物
としての非アルミニウム元素は、塩素ガス、フッ素ガス
等のハロゲン含有ガスに対する耐食性に劣るため、Ａｌ
Ｎセラミックスの耐食性の観点からもその含有量は可能
な限り低レベルでなければならない。これら不純物金属
元素の含有量としては、各々が３０ppm 以下であり、か
つ、総量として１００ppm 以下であることが望ましい。
本発明のＡｌＮ系セラミックスは、これら不純物金属元
素の含有量が全て３０ppm以下で総量も１００ppm 以下
と高純度なため、半導体製造装置用部材への適用性に優
れ、また、耐食性にも優れるものである。
ルカリ金属、アルカリ土類金属、元素周期律表第１９番
以降の金属元素、及びこれら金属元素の化合物の含有量
が全て３０ppm 以下で、実質ＡｌＮとＡｌＯＮの２相と
からなる高純度な焼結体である。周期律表シリコン元素
（原子番号１４）より上の重金属元素及びアルカリ金属
元素、アルカリ土類金属元素はＬＳＩデバイスにとって
有害でありＡｌＮセラミックスの半導体製造装置用部材
の適用を阻害するものであるため、その含有量は可能な
限り低レベルでなければならない。また、これら不純物
としての非アルミニウム元素は、塩素ガス、フッ素ガス
等のハロゲン含有ガスに対する耐食性に劣るため、Ａｌ
Ｎセラミックスの耐食性の観点からもその含有量は可能
な限り低レベルでなければならない。これら不純物金属
元素の含有量としては、各々が３０ppm 以下であり、か
つ、総量として１００ppm 以下であることが望ましい。
本発明のＡｌＮ系セラミックスは、これら不純物金属元
素の含有量が全て３０ppm以下で総量も１００ppm 以下
と高純度なため、半導体製造装置用部材への適用性に優
れ、また、耐食性にも優れるものである。
【００１６】また、本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックス
では、従来ＡｌＮセラミックスの製造時に焼結助剤とし
て用いられているイットリウム化合物、カルシウム化合
物、等を添加しない。これらイットリウム化合物、カル
シウム化合物は、焼結中にＡｌＮと反応し生成物が第２
相として焼結後のＡｌＮセラミックスに残存し、色ム
ラ、斑点、等の欠陥の原因となるばかりでなく、アルカ
リ土類金属、元素周期律表第１９番以降の重金属元素で
あるため、半導体製造装置用部材への適用性を阻害し、
また耐食性を劣化させるものである。
では、従来ＡｌＮセラミックスの製造時に焼結助剤とし
て用いられているイットリウム化合物、カルシウム化合
物、等を添加しない。これらイットリウム化合物、カル
シウム化合物は、焼結中にＡｌＮと反応し生成物が第２
相として焼結後のＡｌＮセラミックスに残存し、色ム
ラ、斑点、等の欠陥の原因となるばかりでなく、アルカ
リ土類金属、元素周期律表第１９番以降の重金属元素で
あるため、半導体製造装置用部材への適用性を阻害し、
また耐食性を劣化させるものである。
【００１７】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスでは、
従来のイットリウム化合物、カルシウム化合物に替わっ
て、添加する酸化アルミニウム（アルミナ）が焼結助剤
の働きをする。ＡｌＮは非酸化物系セラミックスで難焼
結性を示すものの、アルミナは易焼結性なため、ＡｌＮ
に酸化アルミニウムを添加することによって容易に高密
度の焼結体が得られるものである。
従来のイットリウム化合物、カルシウム化合物に替わっ
て、添加する酸化アルミニウム（アルミナ）が焼結助剤
の働きをする。ＡｌＮは非酸化物系セラミックスで難焼
結性を示すものの、アルミナは易焼結性なため、ＡｌＮ
に酸化アルミニウムを添加することによって容易に高密
度の焼結体が得られるものである。
【００１８】また、ＡｌＮに酸化アルミニウムを添加す
ることによって、焼結中に酸化アルミニウムとＡｌＮと
の反応によりＡｌＯＮ（酸素化アルミニウム）が生成す
るが、ＡｌＯＮは非定比化合物なためその結晶中に格子
欠陥を生成し易い。ＡｌＯＮ結晶中に生成した格子欠陥
は色中心となり、セラミックスを黒色に発色させ、か
つ、この格子欠陥は高温まで比較的安定である。一方、
ＡｌＮに直接ＡｌＯＮを添加した場合は、このような格
子欠陥が生成することはなく、従って、ＡｌＮセラミッ
クスが黒色に発色する事もない。このようにして本発明
のＡｌＮ系セラミックスは黒色を呈するが、イットリウ
ム化合物、カルシウム化合物、等の焼結助剤を含有しな
いので、色ムラ、斑点、等の欠陥発生は完全に抑制さ
れ、かつアルミニウウム元素以外の不純物金属元素が極
めて低レベルなため、半導体製造装置用部材への適用性
に優れ、かつ極めて良好な耐食性を示すものである。さ
らに、ＡｌＮセラミックスを赤外線吸収率が高く、優れ
た特性を示すものである。
ることによって、焼結中に酸化アルミニウムとＡｌＮと
の反応によりＡｌＯＮ（酸素化アルミニウム）が生成す
るが、ＡｌＯＮは非定比化合物なためその結晶中に格子
欠陥を生成し易い。ＡｌＯＮ結晶中に生成した格子欠陥
は色中心となり、セラミックスを黒色に発色させ、か
つ、この格子欠陥は高温まで比較的安定である。一方、
ＡｌＮに直接ＡｌＯＮを添加した場合は、このような格
子欠陥が生成することはなく、従って、ＡｌＮセラミッ
クスが黒色に発色する事もない。このようにして本発明
のＡｌＮ系セラミックスは黒色を呈するが、イットリウ
ム化合物、カルシウム化合物、等の焼結助剤を含有しな
いので、色ムラ、斑点、等の欠陥発生は完全に抑制さ
れ、かつアルミニウウム元素以外の不純物金属元素が極
めて低レベルなため、半導体製造装置用部材への適用性
に優れ、かつ極めて良好な耐食性を示すものである。さ
らに、ＡｌＮセラミックスを赤外線吸収率が高く、優れ
た特性を示すものである。
【００１９】本発明において、焼結体の黒色度を定量的
に表現するのは困難であるが、例えば、ＪＩＳ Ｚ８７
２９にて規定されるＬ* ａ* ｂ* 表示（ＣＩＥＬＡＢ表
示系）において、明度指数：Ｌ* 値が０〜５０の範囲で
あり、かつ彩度：Ｃ* （＝（ａ* ）2 ＋（ｂ* ）2 ）
1/2 ）が０〜１０の範囲であること、さらに望ましく
は、明度指数：Ｌ* 値が０〜４０の範囲であることが好
ましい。あるいは、可視光領域である４００〜８００ｎ
ｍの波長領域における焼結体表面の光の反射率が２０％
以下、さらに望ましくは、１５％以下であることが好ま
しい。
に表現するのは困難であるが、例えば、ＪＩＳ Ｚ８７
２９にて規定されるＬ* ａ* ｂ* 表示（ＣＩＥＬＡＢ表
示系）において、明度指数：Ｌ* 値が０〜５０の範囲で
あり、かつ彩度：Ｃ* （＝（ａ* ）2 ＋（ｂ* ）2 ）
1/2 ）が０〜１０の範囲であること、さらに望ましく
は、明度指数：Ｌ* 値が０〜４０の範囲であることが好
ましい。あるいは、可視光領域である４００〜８００ｎ
ｍの波長領域における焼結体表面の光の反射率が２０％
以下、さらに望ましくは、１５％以下であることが好ま
しい。
【００２０】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックス焼結体
は、酸化アルミニウムとＡｌＮとの反応により生じるＡ
ｌＯＮ相と、残部がＡｌＮの２相から成る組織を呈し、
各々の粒子は互いに分散した微構造となっており、この
ため、いわゆる粒子分散効果により破壊源からのクラッ
ク進展が偏向し、機械的特性、特に、破壊靭性及び破壊
強度が向上している。
は、酸化アルミニウムとＡｌＮとの反応により生じるＡ
ｌＯＮ相と、残部がＡｌＮの２相から成る組織を呈し、
各々の粒子は互いに分散した微構造となっており、この
ため、いわゆる粒子分散効果により破壊源からのクラッ
ク進展が偏向し、機械的特性、特に、破壊靭性及び破壊
強度が向上している。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の内容について詳細
に説明する。使用するＡｌＮ粉体としては、平均粒径１
０μｍ以下、望ましくは平均粒径１μｍ以下（サブミク
ロン）の微粒子であり、アルカリ金属、アルカリ土類金
属、元素周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら
金属元素の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、アル
ミニウム以外の不純物金属元素の総量が１００ppm 以下
の化学的に高純度なものである。
に説明する。使用するＡｌＮ粉体としては、平均粒径１
０μｍ以下、望ましくは平均粒径１μｍ以下（サブミク
ロン）の微粒子であり、アルカリ金属、アルカリ土類金
属、元素周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら
金属元素の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、アル
ミニウム以外の不純物金属元素の総量が１００ppm 以下
の化学的に高純度なものである。
【００２２】ＡｌＮ粉体に添加する酸化アルミニウム粉
体は、通常はα型アルミナ（Ａｌ2Ｏ3 ）であるが、そ
の他β型、γ型、θ型、κ型等の結晶でも構わず、ある
いは加熱中にα型アルミナを生成する水酸化アルミニウ
ム（Ａｌ（ＯＨ）3 ）、ＡｌＯＯＨ等でも良い。酸化ア
ルミニウム粉体の粒径として、通常は焼結性の優れる１
０μｍ以下のものが好ましく、１μｍ以下（サブミクロ
ン）の微細なものはさらに望ましい。また、酸化アルミ
ニウム粉体は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、元素
周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら金属元素
の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、アルミニウム
以外の不純物金属元素の総量が１００ppm 以下の高純度
なものである。
体は、通常はα型アルミナ（Ａｌ2Ｏ3 ）であるが、そ
の他β型、γ型、θ型、κ型等の結晶でも構わず、ある
いは加熱中にα型アルミナを生成する水酸化アルミニウ
ム（Ａｌ（ＯＨ）3 ）、ＡｌＯＯＨ等でも良い。酸化ア
ルミニウム粉体の粒径として、通常は焼結性の優れる１
０μｍ以下のものが好ましく、１μｍ以下（サブミクロ
ン）の微細なものはさらに望ましい。また、酸化アルミ
ニウム粉体は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、元素
周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら金属元素
の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、アルミニウム
以外の不純物金属元素の総量が１００ppm 以下の高純度
なものである。
【００２３】ＡｌＮに添加する酸化アルミニウムの量
は、０．１〜３０重量％である。ＡｌＮ原料はその粉体
表層部に通常、０．２重量％程度の酸化層を有するが、
この酸化層は不均一に存在するため、焼結体を均質に黒
色化させるためには酸化アルミニウムの添加が必要であ
る。添加する酸化アルミニウムの量が０．１重量％未満
では、粉体混合時にＡｌＮと酸化アルミニウムとが必ず
しも均一には分散せず、格子欠陥生成による黒色化が不
十分で、部分的に色ムラが発生する場合があり、かつ、
ＡｌＮとＡｌＯＮとの粒子分散の効果が見られず、破壊
靭性の向上は期待できない。酸化アルミニウムの量が３
０重量％超では、生成するＡｌＯＮ相が過剰となり、焼
結阻害が発生し不都合である。
は、０．１〜３０重量％である。ＡｌＮ原料はその粉体
表層部に通常、０．２重量％程度の酸化層を有するが、
この酸化層は不均一に存在するため、焼結体を均質に黒
色化させるためには酸化アルミニウムの添加が必要であ
る。添加する酸化アルミニウムの量が０．１重量％未満
では、粉体混合時にＡｌＮと酸化アルミニウムとが必ず
しも均一には分散せず、格子欠陥生成による黒色化が不
十分で、部分的に色ムラが発生する場合があり、かつ、
ＡｌＮとＡｌＯＮとの粒子分散の効果が見られず、破壊
靭性の向上は期待できない。酸化アルミニウムの量が３
０重量％超では、生成するＡｌＯＮ相が過剰となり、焼
結阻害が発生し不都合である。
【００２４】ＡｌＮに酸化アルミニウムを添加し、焼結
中に両者の反応で生じる格子欠陥を有するＡｌＯＮ相を
含有することにより、黒色を呈し、機械的特性に優れる
ＡｌＮ系セラミックスが作製可能となる。焼結体中の格
子欠陥の定量的測定は、通常極めて困難であるが、例え
ば、ＥＳＲ（Electron Spin Resonance ）を用いた解析
により格子欠陥発生の有無、大小が確認される。
中に両者の反応で生じる格子欠陥を有するＡｌＯＮ相を
含有することにより、黒色を呈し、機械的特性に優れる
ＡｌＮ系セラミックスが作製可能となる。焼結体中の格
子欠陥の定量的測定は、通常極めて困難であるが、例え
ば、ＥＳＲ（Electron Spin Resonance ）を用いた解析
により格子欠陥発生の有無、大小が確認される。
【００２５】本発明の黒色ＡｌＮ系セラミックスの焼結
方法としては常圧焼結法、ホットプレス焼結法、ガス圧
焼結法、熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）焼結法等、公知の焼
結法のいづれも用いることができるが、機械的特性に優
れた緻密質の焼結体を得るには、加圧焼結法を用いるの
が有利である。加圧焼結の温度としては、１６００〜１
９００℃が好ましい。１６００℃未満では黒色ＡｌＮ系
セラミックスは十分には緻密化せず、従って得られる焼
結体の特性も劣ってしまう。１９００℃超の焼成温度で
は、ＡｌＮあるいはＡｌＯＮ粒子の粒成長が顕著にな
り、やはり特性が劣化するため、１９００℃を上限とす
るのが望ましい。また、焼成中の雰囲気としては、不活
性ガス雰囲気、特に窒化物の焼成に有利な窒素ガス含有
不活性雰囲気が望ましい。また、加圧焼結の圧力として
は、通常、１０MPa 以上、望ましくは２０MPa 以上が好
ましく、焼成時間としては、焼結が充分完了するよう
に、１時間以上が望ましい。
方法としては常圧焼結法、ホットプレス焼結法、ガス圧
焼結法、熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）焼結法等、公知の焼
結法のいづれも用いることができるが、機械的特性に優
れた緻密質の焼結体を得るには、加圧焼結法を用いるの
が有利である。加圧焼結の温度としては、１６００〜１
９００℃が好ましい。１６００℃未満では黒色ＡｌＮ系
セラミックスは十分には緻密化せず、従って得られる焼
結体の特性も劣ってしまう。１９００℃超の焼成温度で
は、ＡｌＮあるいはＡｌＯＮ粒子の粒成長が顕著にな
り、やはり特性が劣化するため、１９００℃を上限とす
るのが望ましい。また、焼成中の雰囲気としては、不活
性ガス雰囲気、特に窒化物の焼成に有利な窒素ガス含有
不活性雰囲気が望ましい。また、加圧焼結の圧力として
は、通常、１０MPa 以上、望ましくは２０MPa 以上が好
ましく、焼成時間としては、焼結が充分完了するよう
に、１時間以上が望ましい。
【００２６】ＡｌＮと酸化アルミニウムとの反応により
生成するＡｌＯＮは不定比化合物であるため本発明の様
な複合セラミックスの理論密度を正確に求めることは容
易ではないが、例えば、Ａｌ2 Ｏ3 ・ＡｌＮ（比重：
３．８３７）結晶相が主たる生成物の場合、複合則によ
り理論値を算出可能である。焼結体の相対密度として
は、少なくとも理論値の９０％以上でなければ前述の好
ましい特性は損なわれ、望ましいものではない。以下、
実施例を用いてより具体的に説明するが、本発明は実施
例の範囲に限定されるものではない。
生成するＡｌＯＮは不定比化合物であるため本発明の様
な複合セラミックスの理論密度を正確に求めることは容
易ではないが、例えば、Ａｌ2 Ｏ3 ・ＡｌＮ（比重：
３．８３７）結晶相が主たる生成物の場合、複合則によ
り理論値を算出可能である。焼結体の相対密度として
は、少なくとも理論値の９０％以上でなければ前述の好
ましい特性は損なわれ、望ましいものではない。以下、
実施例を用いてより具体的に説明するが、本発明は実施
例の範囲に限定されるものではない。
【００２７】
（実施例１〜７）平均粒径０．２μｍ、アルカリ金属、
アルカリ土類金属、元素周期律表第１９番以降の金属元
素、及びこれら金属元素の化合物の含有量が全て２０pp
m 以下で、かつこれら不純物の総量が５０ppm 以下の高
純度ＡｌＮ粉末に、表１中実施例１〜７に示す重量比で
平均粒径０．２μｍ、アルカリ金属、アルカリ土類金
属、元素周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら
金属元素の化合物の含有量が全て２０ppm 以下で、かつ
これら不純物の総量が１００ppm 以下の高純度アルミナ
粉末を添加し、ボールミルを用いて充分混合した後、混
合粉体をφ１００mmのグラファイト製ダイスに充填し、
１７５０℃の温度で２時間、窒素ガス気流中で４０MPa
の圧力でホットプレス焼結を行った。
アルカリ土類金属、元素周期律表第１９番以降の金属元
素、及びこれら金属元素の化合物の含有量が全て２０pp
m 以下で、かつこれら不純物の総量が５０ppm 以下の高
純度ＡｌＮ粉末に、表１中実施例１〜７に示す重量比で
平均粒径０．２μｍ、アルカリ金属、アルカリ土類金
属、元素周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら
金属元素の化合物の含有量が全て２０ppm 以下で、かつ
これら不純物の総量が１００ppm 以下の高純度アルミナ
粉末を添加し、ボールミルを用いて充分混合した後、混
合粉体をφ１００mmのグラファイト製ダイスに充填し、
１７５０℃の温度で２時間、窒素ガス気流中で４０MPa
の圧力でホットプレス焼結を行った。
【００２８】焼結体は＃１４０、＃４００、＃１０００
のダイヤモンド砥石にて順次平面研削した後、片面をラ
ップ仕上げして、焼結体の色調及び色ムラ・斑点の有無
を検査した。尚、色調については、色差色度計を用い
て、Ｌ* ａ* ｂ* 表示（ＣＩＥＬＡＢ表示系）にて定量
的測定も行った。また、焼結体をＪＩＳ Ｒ１６０１に
準拠し、３×４×３８mmの試験片に加工し、アルキメデ
ス法により密度を測定した後、常温にて３点曲げ試験を
行った。尚、焼結体の相対密度は、生成したＡｌＯＮを
Ａｌ2 Ｏ3 ・ＡｌＮ（比重：３．８３７）として算出し
た。また、焼結体の靭性についてはＪＩＳ Ｒ１６０８
に準拠しＳＥＰＢ法にて破壊磁性値ＫICを測定した。
のダイヤモンド砥石にて順次平面研削した後、片面をラ
ップ仕上げして、焼結体の色調及び色ムラ・斑点の有無
を検査した。尚、色調については、色差色度計を用い
て、Ｌ* ａ* ｂ* 表示（ＣＩＥＬＡＢ表示系）にて定量
的測定も行った。また、焼結体をＪＩＳ Ｒ１６０１に
準拠し、３×４×３８mmの試験片に加工し、アルキメデ
ス法により密度を測定した後、常温にて３点曲げ試験を
行った。尚、焼結体の相対密度は、生成したＡｌＯＮを
Ａｌ2 Ｏ3 ・ＡｌＮ（比重：３．８３７）として算出し
た。また、焼結体の靭性についてはＪＩＳ Ｒ１６０８
に準拠しＳＥＰＢ法にて破壊磁性値ＫICを測定した。
【００２９】Ｘ線回析による分析の結果、実施例１〜７
の全てのサンプルからはＡｌＮとＡｌＯＮ（Ａｌ2 Ｏ3
・ＡｌＮ）のピークのみが検出され、焼結体は実質、Ａ
ｌＮとＡｌＯＮの２相から構成されることが判明した。
表１に実施例１〜７の各々の組成に対する焼結体の相対
密度（理論値に対して百分率で示す）、３点曲げ強さ、
破壊靭性値、色調（色及びＬ* ａ* ｂ* 値）、色ムラ・
斑点の有無、及びＸ線回折でのＡｌＮの（１００）ピー
クとＡｌＯＮの（４００）ピークとから算出したＡｌＯ
Ｎ相の含有量を示す。
の全てのサンプルからはＡｌＮとＡｌＯＮ（Ａｌ2 Ｏ3
・ＡｌＮ）のピークのみが検出され、焼結体は実質、Ａ
ｌＮとＡｌＯＮの２相から構成されることが判明した。
表１に実施例１〜７の各々の組成に対する焼結体の相対
密度（理論値に対して百分率で示す）、３点曲げ強さ、
破壊靭性値、色調（色及びＬ* ａ* ｂ* 値）、色ムラ・
斑点の有無、及びＸ線回折でのＡｌＮの（１００）ピー
クとＡｌＯＮの（４００）ピークとから算出したＡｌＯ
Ｎ相の含有量を示す。
【００３０】また、表１中には比較例１、２として、ア
ルミナを添加しないＡｌＮ単体の焼結体、及びアルミナ
を４０重量％と過剰に添加した焼結体について、実施例
１〜７と同様に特性を比較している。
ルミナを添加しないＡｌＮ単体の焼結体、及びアルミナ
を４０重量％と過剰に添加した焼結体について、実施例
１〜７と同様に特性を比較している。
【００３１】実施例１〜７と比較例１より、ＡｌＮにア
ルミナを添加しＡｌＯＮ相を生成させることにより、焼
結体は黒色化し、かつ色ムラ・斑点の発生を抑制できる
ことが明らかである。また、ＡｌＮ中にＡｌＯＮ相を分
散させることにより、破壊靭性、曲げ強さ、等の機械的
特性を向上させることが可能である。また、実施例１〜
７と比較例２より、アルミナを過剰に添加すると焼結体
の密度が低下し、従って機械的特性が劣化することが明
らかである。
ルミナを添加しＡｌＯＮ相を生成させることにより、焼
結体は黒色化し、かつ色ムラ・斑点の発生を抑制できる
ことが明らかである。また、ＡｌＮ中にＡｌＯＮ相を分
散させることにより、破壊靭性、曲げ強さ、等の機械的
特性を向上させることが可能である。また、実施例１〜
７と比較例２より、アルミナを過剰に添加すると焼結体
の密度が低下し、従って機械的特性が劣化することが明
らかである。
【００３２】
【表１】
【００３３】（実施例８〜１２）実施例１〜７で用いた
と同様の高純度ＡｌＮ粉体と高純度アルミナ粉体を、Ａ
ｌＮ−１重量％アルミナ組成に秤量し、ボールミルを用
いて充分混合した後、混合粉体をφ１００mmのグラファ
イト製ダイスに充填し、１６００〜１９００℃の温度で
２時間、窒素ガス気流中で４０MPa の圧力でホットプレ
ス焼結を行った。得られた焼結体について、実施例１〜
７と同様に各種特性を評価した。表２に実施例８〜１
２、及び比較例３、４の各々の焼結体の相対密度、３点
曲げ強さ、破壊靭性値を示す。
と同様の高純度ＡｌＮ粉体と高純度アルミナ粉体を、Ａ
ｌＮ−１重量％アルミナ組成に秤量し、ボールミルを用
いて充分混合した後、混合粉体をφ１００mmのグラファ
イト製ダイスに充填し、１６００〜１９００℃の温度で
２時間、窒素ガス気流中で４０MPa の圧力でホットプレ
ス焼結を行った。得られた焼結体について、実施例１〜
７と同様に各種特性を評価した。表２に実施例８〜１
２、及び比較例３、４の各々の焼結体の相対密度、３点
曲げ強さ、破壊靭性値を示す。
【００３４】実施例８〜１２と比較例３、４より、１５
００℃以下の焼成温度では焼成不十分で焼結体の密度が
低く、また２０００℃超の焼成温度では過焼成による異
常粒成長のため密度が低下し、共に機械的特性が著しく
劣化するため、１６００〜１９００℃が適正焼成温度で
あることが明白である。
００℃以下の焼成温度では焼成不十分で焼結体の密度が
低く、また２０００℃超の焼成温度では過焼成による異
常粒成長のため密度が低下し、共に機械的特性が著しく
劣化するため、１６００〜１９００℃が適正焼成温度で
あることが明白である。
【００３５】
【表２】
【００３６】（実施例１３）実施例３の焼結体（ＡｌＮ
−２重量％アルミナ組成、１７５０℃焼成）と、比較と
してアルミナの代わりに焼結助剤として２重量％のイッ
トリアを添加し１７５０℃でホットプレス焼成した焼結
体（比較例５）との耐食性評価を行った。ＥＳＲ（Elec
tron Spin Resonance)を用いた解析により、実施例３の
焼結体からは格子欠陥発生に対応するピークが極めて強
く検出されたのに対し、比較例５の焼結体からは極めて
弱いピークのみが観察され、本発明の焼結体中には多数
の格子欠陥が存在することが確認された。
−２重量％アルミナ組成、１７５０℃焼成）と、比較と
してアルミナの代わりに焼結助剤として２重量％のイッ
トリアを添加し１７５０℃でホットプレス焼成した焼結
体（比較例５）との耐食性評価を行った。ＥＳＲ（Elec
tron Spin Resonance)を用いた解析により、実施例３の
焼結体からは格子欠陥発生に対応するピークが極めて強
く検出されたのに対し、比較例５の焼結体からは極めて
弱いピークのみが観察され、本発明の焼結体中には多数
の格子欠陥が存在することが確認された。
【００３７】次に、実施例３と比較例５の焼結体を３０
×３０×１０mmに切断し片面をラップ仕上げしたものを
サンプルとし、１０％ＨＦ水溶液に５０時間浸漬する実
験と、５％フッ素を含むアルゴンガス中で５００℃に加
熱し５０時間放置する実験とを行った。
×３０×１０mmに切断し片面をラップ仕上げしたものを
サンプルとし、１０％ＨＦ水溶液に５０時間浸漬する実
験と、５％フッ素を含むアルゴンガス中で５００℃に加
熱し５０時間放置する実験とを行った。
【００３８】実施例３の焼結体では、耐食性評価実験
後、重量減少もなく、サンプル表面にも変化がなかった
のに対し、比較例５の焼結体では、どちらの腐食条件に
おいても２〜３％の重量減少が測定され、サンプル表面
は白色の粉を吹いていた。
後、重量減少もなく、サンプル表面にも変化がなかった
のに対し、比較例５の焼結体では、どちらの腐食条件に
おいても２〜３％の重量減少が測定され、サンプル表面
は白色の粉を吹いていた。
【００３９】
【発明の効果】本発明のように、０．１〜３０重量％の
酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムよ
り成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニ
ウムと窒化アルミニウムとの反応により生じるＡｌＯＮ
相を含有させることにより、高純度で黒色を呈するＡｌ
Ｎ系セラミックスが得られる。本高純度黒色ＡｌＮ系セ
ラミックスは、従来のＡｌＮ系セラミックスが有してい
た、色ムラ、低耐食性、低機械的特性、等の課題を解決
するものである。
酸化アルミニウムと残部が実質的に窒化アルミニウムよ
り成る混合粉体を成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニ
ウムと窒化アルミニウムとの反応により生じるＡｌＯＮ
相を含有させることにより、高純度で黒色を呈するＡｌ
Ｎ系セラミックスが得られる。本高純度黒色ＡｌＮ系セ
ラミックスは、従来のＡｌＮ系セラミックスが有してい
た、色ムラ、低耐食性、低機械的特性、等の課題を解決
するものである。
Claims (5)
- 【請求項１】 ０．１〜３０重量％の酸化アルミニウム
と残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を
成形・焼結し、焼結中に酸化アルミニウムと窒化アルミ
ニウムとの反応により生じるＡｌＯＮ相を含有し、実質
ＡｌＮとＡｌＯＮの２相とから成り、密度が理論値の９
０％以上で黒色を呈することを特徴とするＡｌＮ系セラ
ミックス。 - 【請求項２】 アルカリ金属、アルカリ土類金属、元素
周期律表第１９番以降の金属元素、及びこれら金属元素
の化合物の含有量が全て３０ppm 以下で、実質ＡｌＮと
ＡｌＯＮの２相とからなる請求項１記載の高純度な黒色
ＡｌＮ系セラミックス。 - 【請求項３】 焼結体の黒色度が、Ｌ* ａ* ｂ* 表示
（ＣＩＥＬＡＢ表示系）において、明度指数：Ｌ* 値が
０〜５０、かつ彩度：Ｃ* 値が０〜１０の範囲であるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の黒色ＡｌＮ系セラ
ミックス。 - 【請求項４】 ４００〜８００ｎｍの波長領域における
焼結体表面の光の反射率が２０％以下であることを特徴
とする請求項１〜３のいずれか１項記載の黒色ＡｌＮ系
セラミックス。 - 【請求項５】 ０．１〜３０重量％の酸化アルミニウム
と残部が実質的に窒化アルミニウムより成る混合粉体を
成形した後、１６００〜１９００℃の温度で加圧焼結す
ることを特徴とする黒色ＡｌＮ系セラミックスの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25139296A JP3769081B2 (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 黒色ＡｌＮ系セラミックスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25139296A JP3769081B2 (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 黒色ＡｌＮ系セラミックスの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006000499A Division JP4223043B2 (ja) | 2006-01-05 | 2006-01-05 | 黒色ＡｌＮ系セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1095673A true JPH1095673A (ja) | 1998-04-14 |
| JP3769081B2 JP3769081B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=17222169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25139296A Expired - Fee Related JP3769081B2 (ja) | 1996-09-24 | 1996-09-24 | 黒色ＡｌＮ系セラミックスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3769081B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001261444A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-09-26 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム基板およびその製造方法 |
| JP2006044980A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム焼結体 |
| US7091146B2 (en) | 2002-09-12 | 2006-08-15 | Sodick Co., Ltd. | Enhanced ceramic material for precision alignment mechanism |
| JP2015030634A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびそれを使用した半導体製造用または検査用ウェハ載置台 |
| JP2016522142A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-28 | エレメント シックス リミテッド | 複合材料、これを含む物品、およびこれを作製する方法 |
| CN114538931A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-05-27 | 北京理工大学 | 一种高性能AlON透明陶瓷及其低温快速制备方法 |
-
1996
- 1996-09-24 JP JP25139296A patent/JP3769081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001261444A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-09-26 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム基板およびその製造方法 |
| US7091146B2 (en) | 2002-09-12 | 2006-08-15 | Sodick Co., Ltd. | Enhanced ceramic material for precision alignment mechanism |
| JP2006044980A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化アルミニウム焼結体 |
| JP2016522142A (ja) * | 2013-04-30 | 2016-07-28 | エレメント シックス リミテッド | 複合材料、これを含む物品、およびこれを作製する方法 |
| US10202308B2 (en) | 2013-04-30 | 2019-02-12 | Element Six Limited | Composite material, articles comprising same and method for making same |
| JP2015030634A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびそれを使用した半導体製造用または検査用ウェハ載置台 |
| CN114538931A (zh) * | 2022-03-11 | 2022-05-27 | 北京理工大学 | 一种高性能AlON透明陶瓷及其低温快速制备方法 |
| CN114538931B (zh) * | 2022-03-11 | 2022-11-29 | 北京理工大学 | 一种高性能AlON透明陶瓷及其低温快速制备方法 |
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|---|---|
| JP3769081B2 (ja) | 2006-04-19 |
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