JP2007106663A - シリカガラスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本シリカガラスの製造方法は、モールドの中空部内にシリカガラスを収容し、モールドとシリカガラスを加熱し、シリカガラスが加圧または自重により変形する前に、モールドとシリカガラスを気相純化処理し、その後さらに加熱し、シリカガラスを加圧または自重により変形させて成形する。
【選択図】 図2
Description
好適には、前記モールドに多孔質カーボン材を用いる。
合成されたシリカガラスを最初の加熱前に予めHFによりエッチング処理すること以外は、上記実施例1と同様にして試験を行なった。
1a 中空部
2 加熱手段
3 加熱炉
G シリカガラス
Claims (3)
- シリカガラスを収容する中空部を設けたモールドと、前記中空部に収容したシリカガラスを加熱する加熱手段を用い、前記中空部内のシリカガラスを前記加熱手段で加熱しつつ加圧またはシリカガラスの自重により所定形状に成形するシリカガラスの製造方法において、前記モールドとシリカガラスを加熱し、シリカガラスが加圧または自重により変形する前に、前記モールドとシリカガラスを気相純化処理し、その後さらに加熱し、シリカガラスを加圧または自重により変形させて成形することを特徴とするシリカガラスの製造方法。
- 前記シリカガラスを最初の加熱前に予めHFによりエッチング処理することを特徴とする請求項1に記載のシリカガラスの製造方法。
- 前記モールドに多孔質カーボン材を用いることを特徴とする請求項1または2に記載のシリカガラスの製造方法。
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