JP2007103425A - 化合物半導体からなる電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダブルリセス構造を有する電界効果トランジスタにおいて、アウターリセス部表面のオーミックコンタクト層を厚くして、当該オーミックコンタクト層を完全に空乏化させる。
【選択図】図1
Description
即ち、ダブルリセス構造の化合物半導体FETでは、アウターリセス部の表面は化合物半導体である。そして、一般に化合物半導体の表面には1011〜1013cm-2程度の高密度の表面準位が存在し、その表面準位密度は塵埃の付着や表面の磨耗・処理状態などによって大きく変化する。ダブルリセス構造の化合物半導体FETにおいては、アウターリセス部の下方には空乏層が広がっており、アウターリセス部の表面準位密度が変化するとその空乏層の幅も変化する。空乏層の幅が拡大した場合、空乏層の下のチャネル層が狭窄されるので、ドレイン電流が小さくなる。逆に空乏層の幅が縮小すると、チャネル層は拡大するので、ドレイン電流が大きくなる。
12:バッファ層
13:チャネル層
14:スペーサ層
15:キャリア供給層
16:ショットキーコンタクト層
17:オーミックコンタクト層
18:オーミック電極
19:ゲート電極
21:アウターリセス部
22:インナーリセス部
Claims (6)
- バッファ層と、
前記バッファ層上のチャネル層と、
前記チャネル層上のスペーサ層と、
前記スペーサ層上のキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上のショットキーコンタクト層と、
前記ショットキーコンタクト層上の、第1及び第2オーミックコンタクト層、並びに前記第1及び第2オーミックコンタクト層に挟まれて配置されたゲート電極からなり、
前記第1及び第2オーミックコンタクト層は、前記ゲート電極に近接する部分がリセス部となっており、
前記リセス部の前記第1及び第2オーミックコンタクト層は、完全に空乏する厚さを有することを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記第1及び第2オーミックコンタクト層は、前記リセス部が他の部分よりも薄いことを特徴とする請求項1記載の電界効果トランジスタ。
- バッファ層と、
前記バッファ層上のチャネル層と、
前記チャネル層上のスペーサ層と、
前記スペーサ層上のキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上のショットキーコンタクト層と、
前記ショットキーコンタクト層上の、第1及び第2下部オーミックコンタクト層、並びに前記第1及び第2下部オーミックコンタクト層に挟まれて配置されたゲート電極と、
前記第1下部オーミックコンタクト層上の第1上部オーミックコンタクト層及び前記第2下部オーミックコンタクト層上の第2上部オーミックコンタクト層からなり、
前記第1及び第2上部オーミックコンタクト層は前記ゲート電極から離間して配置され、
前記第1及び第2下部オーミックコンタクト層は、完全に空乏する厚さを有することを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記第1及び第2下部オーミックコンタクト層は、前記第1及び第2上部オーミックコンタクト層とは異なる材質であることを特徴とする請求項3記載の電界効果トランジスタ。
- 半導体基板上に、バッファ層、チャネル層、スペーサ層、キャリア供給層、ショットキーコンタクト層、下部オーミックコンタクト層、上部オーミックコンタクト層を順次積層する工程であって、前記下部オーミックコンタクト層は完全に空乏する厚さを有するように形成する工程と、
前記上部オーミックコンタクト層を一部取り除くことによって前記下部オーミックコンタクト層を露出させ、アウターリセス部を形成する工程と、
前記アウターリセス部内の下部オーミックコンタクト層を一部取り除くことによって前記ショットキーコンタクト層を露出させ、インナーリセス部を形成する工程と、
前記インナーリセス部に露出した前記ショットキーコンタクト層上にゲート電極を形成する工程とを有することを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。 - 前記下部オーミックコンタクト層には、前記上部オーミックコンタクト層とは異なる材質を選択することを特徴とする請求項5記載の電界効果トランジスタの製造方法。
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