JP2007084266A - 物体搬送機 - Google Patents
物体搬送機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007084266A JP2007084266A JP2005274777A JP2005274777A JP2007084266A JP 2007084266 A JP2007084266 A JP 2007084266A JP 2005274777 A JP2005274777 A JP 2005274777A JP 2005274777 A JP2005274777 A JP 2005274777A JP 2007084266 A JP2007084266 A JP 2007084266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- fluid
- box
- divided
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Abstract
【目的】 本発明は、圧縮空気を主とする流体圧力によって台上の物体を搬送する搬送機に関するものである。
【構成】 密閉式箱体(1)の流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、且つ成形枠(3)でセットし、そのプレート(2)を複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設けた物体搬送機の構成。
【選択図】 図２
【構成】 密閉式箱体(1)の流体供給室(8)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、且つ成形枠(3)でセットし、そのプレート(2)を複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設けた物体搬送機の構成。
【選択図】 図２
Description
本発明は、圧縮空気を主とする流体圧力によって吐出孔付きプレート上の物体を搬送する搬送機に関するものである。
一般に台上の物体を流体圧力で搬送することは知られている。そして、最も本願に関連するものとして、ウエハ搬送機構の公開実用新案が存在する。その内容は、「所定の間隔でガス導入手段が配設されたアルミニウム板を可とする金属製台座の上面に所定の厚さのフッ素樹脂板を配設し、該フッ素樹脂板には前記ガス導入手段と同じ間隔で、該ガス導入手段に連通する貫通斜孔有する金属製の部材が埋設されていることを特徴とする構成」である。
実開昭６４−５２３公報記載の考案
ところが、特許文献１の考案は、台座はアルミニウム板であり、その上面にフッ素樹脂を配設し、これに４５度位の斜孔をあけた金属製部材を埋設してあるが、当該金属製部材に４５度位の角度で孔明けするのは技術的に難しい。
また、その斜孔は０．４〜０．１ｍｍのきわめて小径であることにより、この考案を実施することは実際には技術的に不可能に近く現実的ではない。そして、仮に孔明け加工が可能であっても、小径孔が詰まったときの洗浄やメンテナンスが困難である。さらに、空気供給室内には遮蔽板がないため、斜孔からの均一な吐出ができないため、一部の小径孔から空気が多く吐出してスムーズな搬送ができない結果になる恐れがあった。
また、その斜孔は０．４〜０．１ｍｍのきわめて小径であることにより、この考案を実施することは実際には技術的に不可能に近く現実的ではない。そして、仮に孔明け加工が可能であっても、小径孔が詰まったときの洗浄やメンテナンスが困難である。さらに、空気供給室内には遮蔽板がないため、斜孔からの均一な吐出ができないため、一部の小径孔から空気が多く吐出してスムーズな搬送ができない結果になる恐れがあった。
そこで、本発明は従来の課題を解決し、且つ発明の目的を達成するために提供するものである。
本発明の第１は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面(11)に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設けたものである.
本発明の第２は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート片に傾斜凹条溝を成形し、且つ当該傾斜凹条溝を前進方向と後退方向に交互に向けて分割プレートを密着し、前記の箱体の内部を仕切体で仕切って前進用分室と後退用分室を形成し、各分室に流体供給口を設けたものである。
本発明の第３は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、その搬送物の搬送方向に直交する方向に沿って複数枚に傾斜して分割した分割プレートを密着して形成し、その密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設けたものである。
本発明の第４は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝又は垂直凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔又は流体吐出用垂直小孔を形成し、上記の搬送物載置用プレートの両側にガイド体を設け、そのガイド体に流体吐出用傾斜孔を設けたものである。
本発明の第５は、上記第１の発明又は第２の発明又は第３の発明又は第４の発明に係る物体搬送機において、流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材にプレート状の無孔遮蔽板を用い、又は小孔をあけた遮蔽板とし、又は水平方向に噴出孔を有する噴出キャップとしたものである。
本発明は上記の構成であるから次のような効果がある。すなわち、プレート及びそのプレートに設けた流体吐出用傾斜孔は隣接する分割プレートを密着したことによって、その直径が最小０．１ｍｍから最大数１．０ｍｍ程度まで設定することができ、且つ流体導路なるを流体吐出用傾斜孔を直線・円形・波形等の導入路線形状に加工できると共に、円形・楕円・多角形等の断面形状、孔加工の間隔（ピッチ）を１．５〜３．０ｍｍ程度の範囲で容易確実に加工できる。
次いで、流体吐出用傾斜孔が詰まった場合には、プレートを形成する分割プレートの密着を分離することによって清掃や洗浄が容易になる。続いて、プレートを形成する分割プレートをプラスチック成形で加工することにより、流体導入路を直線のほか、曲線や波形等自由に加工することができる。
さらに、箱体内に遮蔽板を設けたことによって、箱体内に供給された流体は遮蔽板にぶつかってから当該箱体内に均等の圧力で充満し、各傾斜細孔から均一の圧力で吐出させることができる。
なお、プレートに設ける流体吐出用傾斜孔の向きを、前進方向と後退方向に組み合わせ、且つ箱体の流体供給室を空気導入口を複数の分室に仕切って空気の供給を往動又は復動に切替えられるようにすることによって、搬送物の往復搬送させることが可能となる。
なお、プレートに設ける流体吐出用傾斜孔の向きを、前進方向と後退方向に組み合わせ、且つ箱体の流体供給室を空気導入口を複数の分室に仕切って空気の供給を往動又は復動に切替えられるようにすることによって、搬送物の往復搬送させることが可能となる。
本発明は、物体搬送機において、箱体を密閉式に製作し、その箱体の上部開口面に搬送物を載置するプレートを設けてある。そのプレートは搬送物の搬送方向に沿って複数枚に分割した分割プレートを密着して形成するようにしてある。そして、プレートを形成するための分割プレートを密着する前に各分割プレートの側面に傾斜凹条溝を成形する。この場合、分割プレートをプラスチック樹脂で製作するときは、成形時に凹条溝を同時に加工する。
また、分割プレートを金属材料で製作する場合は放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で行う。
また、分割プレートを金属材料で製作する場合は放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で行う。
そして、その凹条溝側の分割プレートの側面に隣接する分割プレートを密接することによって、流体吐出用傾斜孔が形成される。
箱体の流体供給室は、その底部に圧縮空気を可とする流体供給口を設けると共にその供給口の直上に流体均等供給部材を配置してある。
箱体の流体供給室は、その底部に圧縮空気を可とする流体供給口を設けると共にその供給口の直上に流体均等供給部材を配置してある。
次に本発明の実施例を説明する。図において、１は密閉式箱体、２は密閉式箱体の開口面11に載置するプレート、２1〜２nはプレート２を形成する分割プレートであり、図１・図９にあっては、搬送方向に方向に沿って分割してある。また、図６・図１０にあっては、搬送方向と直交する方向で且つ傾斜して分割してある。３はプレート２の開口面１1の周囲に設けたプレート成形枠である。
４はプレート２にあけた複数の流体吐出用傾斜孔であり、上記分割プレート２1〜２nの側面に凹条溝５を設け、隣接する分割プレートを密着することによって、形成する。
図９及び図１０において、プラスチック樹脂で分割板２1〜２n又は２1′〜２n′を成形するときに同時に直線形の傾斜凹条溝５を成形する。また、図８のように曲線又は波形の凹条溝５を成形する。そして、その凹条溝の断面形状は、図１５に示すように円形・半円・長円や四角・三角その他の多角形等任意に加工できる。なお円形の場合は、２枚一対の分割プレートに半円形凹条溝５を成形し、これを対面させることによって形成してある（図１５(a)）。
また、図９及び図１０において、金属材料で分割プレート２1〜２n又は２1′〜２n′を成形するときに、放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で凹条溝５を設ける。
上記の凹条溝５を搬送方向に分割した分割プレート２1〜２nに設ける場合は、搬送物や流体供給旧圧力との関係で適正になるように所定の角度で傾斜させる。
また、搬送方向と直交する方向に分割した分割プレート２1′〜２n′に凹条溝５を設ける場合は、当該分割プレートを所定角度で傾斜して隣接する分割プレートを密着してプレート２を形成するから、凹条溝５は分割プレートの板面の上下方向に沿って加工する。
６は流体均等供給部材であり、その一例とするのが無孔板状の遮蔽板であり、箱体１の内部において流体供給口７の直上に配置して圧縮流体を均等にして、流体吐出用傾斜孔４から均一に吐出するように構成してある。また、図４における遮蔽板６1は、その板面に複数の小孔６nがあけられている。６′は流体噴出キャップであり、圧縮流体は当該キャップの水平方向の噴出口６1′から噴出するようになっている。
７は箱体１の流体供給室８に流体を送り込むための供給口、８は前記箱体１の流体供給室、８1・８2は流体供給室８を仕切体で仕切った分室である。
７は箱体１の流体供給室８に流体を送り込むための供給口、８は前記箱体１の流体供給室、８1・８2は流体供給室８を仕切体で仕切った分室である。
図中９はプレート２における搬送方向の両側に設けたガイド体、１０はそのガイド体９に設けた流体吐出用傾斜孔であり、その吐出口は搬送方向に向けてあけられている。
１２は箱体１の流体供給室８を複数に分割した仕切体であり、その半分の分室８1を搬送物体の前進用、他の半分の分室８2を後退用とする圧縮空気の供給口７を設けてある。この場合は図１１・図１２に示すように分割プレートに設けた流体吐出傾斜孔４の吐出口の向きを搬送物Ｗの前進用と後退用を適宜に組合わせてプレート２を形成する。
「具体的作業例（１）（図１〜図３及び図４・図５）」
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nを密着してプレート２を形成する。
（２） 分割プレート２1〜２nを箱体の開口面１1に配置し、且つこれを成形枠３で密着して１枚のプレート２にセットする。
（３） 図２において、プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（４） 箱体１の流体供給口７から箱体１の流体供給室８に圧縮空気を供給する。
（５） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６又は小孔付き遮蔽板６1に当たってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。又は図５にあっては、流体噴出キャップ６′に当たって水平方向の噴出孔６1′から外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（６） 箱体１の流体供給室８において上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から搬送方向に吐出する。
（７） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって当該プレート面から浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。この場合、プレート平面の両側のガイド体９によって搬送物Ｗが経路から外れないようになっている。
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nを密着してプレート２を形成する。
（２） 分割プレート２1〜２nを箱体の開口面１1に配置し、且つこれを成形枠３で密着して１枚のプレート２にセットする。
（３） 図２において、プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（４） 箱体１の流体供給口７から箱体１の流体供給室８に圧縮空気を供給する。
（５） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６又は小孔付き遮蔽板６1に当たってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。又は図５にあっては、流体噴出キャップ６′に当たって水平方向の噴出孔６1′から外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（６） 箱体１の流体供給室８において上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から搬送方向に吐出する。
（７） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって当該プレート面から浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。この場合、プレート平面の両側のガイド体９によって搬送物Ｗが経路から外れないようになっている。
「具体的作業例（２）（図６・図７）」
（１） 搬送方向と直交する方向に沿って複数に分割された分割プレート２1′・２2′〜２n′を張設してプレート２を形成する。
（２） 上記の段落「００２４」の（２）〜（７）の工程と同じ。
（１） 搬送方向と直交する方向に沿って複数に分割された分割プレート２1′・２2′〜２n′を張設してプレート２を形成する。
（２） 上記の段落「００２４」の（２）〜（７）の工程と同じ。
「具体的作業例（３）：流体吐出用傾斜細孔を前進用と後退用に組合せた構造（図１３・図１４）」
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２4・２5・２6・２nに設けた傾斜凹条溝５が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される.
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにのセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（13） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２4・２5・２6・２nに設けた傾斜凹条溝５が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される.
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにのセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（13） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
「具体的作業例（４）：プレート両側のガイド体９に流体吐出用傾斜孔４を設けた構造（図１１・図１２）」
（１） 上記の段落「００２４」の（１）〜（７）の工程は同じである。
（８） プレート２の平面における両側のガイド体９の室にノズルＮ等の噴射機構から噴射された圧縮空気が送られ、流体吐出用傾斜孔１０から吐出される。これによって、搬送物Ｗをプレート２から浮上させるような状態にすると共に、左右両側の圧縮空気で当該搬送物Ｗを前方に搬送する。なお、この場合は、プレート２に設ける流体吐出用の孔は傾斜孔４のほか垂直孔４′でも可能である（図１１・図１２）。
（１） 上記の段落「００２４」の（１）〜（７）の工程は同じである。
（８） プレート２の平面における両側のガイド体９の室にノズルＮ等の噴射機構から噴射された圧縮空気が送られ、流体吐出用傾斜孔１０から吐出される。これによって、搬送物Ｗをプレート２から浮上させるような状態にすると共に、左右両側の圧縮空気で当該搬送物Ｗを前方に搬送する。なお、この場合は、プレート２に設ける流体吐出用の孔は傾斜孔４のほか垂直孔４′でも可能である（図１１・図１２）。
本発明は、搬送物としてウエハのような極く軽量のものから小荷物程度の立体物まで必要に応じて流体吐出用傾斜孔の口径を変え、また、圧縮空気の圧力を調節することによって実現できる。
１…箱体
２…プレート
２1〜２n…分割プレート
３…プレート成形枠
４…流体吐出用傾斜孔
５…凹条溝
６…遮蔽板等の流体均等供給部材
６1…小孔(6n)付き遮蔽板
６′…流体噴出キャップ
７…流体供給口
８…流体供給室
８1・８2…流体供給室の分室
９…ガイド体
１０…ガイド体の流体吐出傾斜孔
２…プレート
２1〜２n…分割プレート
３…プレート成形枠
４…流体吐出用傾斜孔
５…凹条溝
６…遮蔽板等の流体均等供給部材
６1…小孔(6n)付き遮蔽板
６′…流体噴出キャップ
７…流体供給口
８…流体供給室
８1・８2…流体供給室の分室
９…ガイド体
１０…ガイド体の流体吐出傾斜孔
本発明は、圧縮空気を主とする流体圧力によって吐出孔付きプレート上の物体を搬送する搬送機に関するものである。
一般に台上の物体を流体圧力で搬送することは知られている。そして、最も本願に関連するものとして、下記特許文献に係るウエハ搬送機構の公開実用新案が存在する。その内容は、「所定の間隔でガス導入手段が配設されたアルミニウム板を可とする金属製台座の上面に所定の厚さのフッ素樹脂板を配設し、該フッ素樹脂板には前記ガス導入手段と同じ間隔で、該ガス導入手段に連通する貫通斜孔有する金属製の部材が埋設されていることを特徴とする構成」である。
実開昭６４−５２３公報記載の考案
ところが、上記特許文献１の考案は、台座はアルミニウム板であり、その上面にフッ素樹脂を配設し、これに４５度位の斜孔をあけた金属製部材を埋設してあるが、当該金属製部材に４５度位の角度で孔明けするのは技術的に難しい。
また、その斜孔は０．４〜０．１ｍｍのきわめて小径であることにより、この考案を実施することは実際には技術的に不可能に近く現実的ではない。そして、仮に孔明け加工が可能であっても、小径孔が詰まったときの洗浄やメンテナンスが困難である。さらに、空気供給室内には遮蔽板がないため、斜孔からの均一な吐出ができないため、一部の小径孔から空気が多く吐出してスムーズな搬送ができない結果になる恐れがあった。
また、その斜孔は０．４〜０．１ｍｍのきわめて小径であることにより、この考案を実施することは実際には技術的に不可能に近く現実的ではない。そして、仮に孔明け加工が可能であっても、小径孔が詰まったときの洗浄やメンテナンスが困難である。さらに、空気供給室内には遮蔽板がないため、斜孔からの均一な吐出ができないため、一部の小径孔から空気が多く吐出してスムーズな搬送ができない結果になる恐れがあった。
そこで、本発明は従来の課題を解決し、且つ発明の目的を達成するために提供するものである。
本発明の第１は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設けたものである.
本発明の第２は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート片に傾斜凹条溝を成形し、且つ当該傾斜凹条溝を前進方向と後退方向に交互に向けて分割プレートを密着し、前記箱体の内部を仕切体で仕切って前進用分室と後退用分室を形成し、各分室に流体供給口を設けたものである。
本発明の第３は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、その搬送物の搬送方向に直交する方向に沿って複数枚に傾斜して分割した分割プレートを密着して形成し、その密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔を形成し、前記箱体に流体供給口を設けたものである。
本発明の第４は、物体搬送機において、密閉式箱体の上部開口面に搬送物載置用プレートを配置し、そのプレートを複数枚の分割プレートを密着して成形し、且つその密着前の各分割プレートに傾斜凹条溝又は垂直凹条溝を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔又は流体吐出用垂直小孔を形成し、上記の搬送物載置用プレートの両側にガイド体を設け、そのガイド体に流体吐出用傾斜孔を設けたものである。
本発明の第５は、上記第１の発明又は第２の発明又は第３の発明又は第４の発明に係る物体搬送機において、流体を各流体吐出用傾斜孔に均等に送り込むための均等供給部材にプレート状の無孔遮蔽板を用い、又は小孔をあけた遮蔽板とし、又は水平方向に噴出孔を有する噴出キャップとしたものである。
本発明は上記の構成であるから次のような効果がある。すなわち、プレート及びそのプレートに設けた流体吐出用傾斜孔は隣接する分割プレートを密着したことによって、その直径が最小０．１ｍｍから最大１．０ｍｍ程度まで設定することができ、且つ流体導路なるを流体吐出用傾斜孔を直線・円形・波形等の導入路線形状に加工できると共に、円形・楕円・多角形等の断面形状、孔加工の間隔（ピッチ）を１．５〜３．０ｍｍ程度の範囲で容易確実に加工できる。
次いで、流体吐出用傾斜孔が詰まった場合には、プレートを形成する分割プレートの密着を分離することによって清掃や洗浄が容易になる。続いて、プレートを形成する分割プレートをプラスチック成形で加工することにより、流体導入路を直線のほか、曲線や波形等自由に加工することができる。
さらに、箱体内に遮蔽板を設けたことによって、箱体内に供給された流体は遮蔽板にぶつかってから当該箱体内に均等の圧力で充満し、各傾斜細孔から均一の圧力で吐出させることができる。
なお、プレートに設ける流体吐出用傾斜孔の向きを、前進方向と後退方向に組み合わせ、且つ箱体の流体供給室を空気導入口を複数の分室に仕切って空気の供給を往動又は復動に切替えられるようにすることによって、搬送物の往復搬送させることが可能となる。
なお、プレートに設ける流体吐出用傾斜孔の向きを、前進方向と後退方向に組み合わせ、且つ箱体の流体供給室を空気導入口を複数の分室に仕切って空気の供給を往動又は復動に切替えられるようにすることによって、搬送物の往復搬送させることが可能となる。
本発明は、物体搬送機において、箱体を密閉式に製作し、その箱体の上部開口面に搬送物を載置するプレートを設けてある。そのプレートは搬送物の搬送方向に沿って複数枚に分割した分割プレートを密着して形成するようにしてある。そして、プレートを形成するための分割プレートを密着する前に各分割プレートの側面に傾斜凹条溝を成形する。この場合、分割プレートをプラスチック樹脂で製作するときは、成形時に凹条溝を同時に加工する。
また、分割プレートを金属材料で製作する場合は放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で行う。
また、分割プレートを金属材料で製作する場合は放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で行う。
そして、その凹条溝側の分割プレートの側面に隣接する分割プレートを密接することによって、流体吐出用傾斜孔が形成される。
箱体の流体供給室は、その底部に圧縮空気を可とする流体供給口を設けると共にその供給口の直上に流体均等供給部材を配置してある。
箱体の流体供給室は、その底部に圧縮空気を可とする流体供給口を設けると共にその供給口の直上に流体均等供給部材を配置してある。
次に本発明の実施例を説明する。図において、１は密閉式箱体、２は密閉式箱体の開口面１1に載置するプレート、２1〜２nはプレート２を形成する分割プレートであり、図１・図９にあっては、搬送方向（同図の矢印）に方向に沿って分割してある。また、図６・図７・図１０にあっては、搬送方向（図１０の矢印方向）と直交する方向で且つ傾斜して分割してある。３はプレート２の開口面１1の周囲に設けたプレート成形枠である。
４はプレート２にあけた複数の流体吐出用傾斜孔であり、上記分割プレート２1〜２nの側面に凹条溝５を設け、隣接する分割プレートを密着することによって、形成する。
図９及び図１０において、プラスチック樹脂で分割板２1〜２n又は２1′〜２n′を成形するときに同時に直線形の傾斜凹条溝５を成形する。また、図８のように曲線又は波形の凹条溝５を成形する。そして、その凹条溝の断面形状は、図１５に示すように円形・半円・長円や四角・三角その他の多角形等任意に加工できる。なお円形の場合は、２枚一対の分割プレートに半円形凹条溝５を成形し、これを対面させることによって形成してある（図１５(a)）。
また、図９及び図１０において、金属材料で分割プレート２1〜２nを成形するときに、放電加工、打刻、エッチング（腐食）加工で搬送方向（矢印方向）凹条溝５を設ける。
上記の凹条溝５を搬送方向に分割した分割プレート２1〜２nに設ける場合は、搬送物Ｗや流体供給圧力との関係で適正になるように所定の角度で傾斜させる。
また、図６・図７・図１０のように搬送方向（図１０の矢印方向）と直交する方向に分割した分割プレート２1′〜２n′に凹条溝５を設ける場合は、当該分割プレートを所定角度で傾斜して隣接する分割プレートを密着してプレート２を形成するから、凹条溝５は分割プレートの板面の上下方向に沿って加工する。
６は流体均等供給部材であり、その一例とするのが無孔板状の遮蔽板であり、箱体１の内部において流体供給口７の直上に配置して圧縮流体を均等にして、流体吐出用傾斜孔４から均一に吐出するように構成してある。また、図４における遮蔽板６1は、その板面に複数の小孔６nがあけられている。図５において、６′は流体噴出キャップであり、圧縮流体は当該キャップの水平方向の噴出口６1′から噴出するようになっている。
図２〜５及び図１２〜１４において、７は密閉式箱体１の流体供給室に流体を送り込むための供給口であり、箱体１の底部に設けてある。８は前記箱体１の流体供給室、８1・８2は流体供給室８を仕切体で仕切った分室である。
図２〜５及び図１２〜１４において、７は密閉式箱体１の流体供給室に流体を送り込むための供給口であり、箱体１の底部に設けてある。８は前記箱体１の流体供給室、８1・８2は流体供給室８を仕切体で仕切った分室である。
図中９はプレート２における搬送方向の両側に設けたガイド体、１０はそのガイド体９に設けた流体吐出用傾斜孔であり、その吐出口は搬送方向に向けてあけられている。
１２は箱体１の流体供給室８を複数に分割した仕切体であり、その半分の分室８1を搬送物体の前進用、他の半分の分室８2を後退用とする圧縮空気の供給口７を設けてある。
この場合は図１１・図１２に示すように分割プレートに設けた流体吐出傾斜孔４の吐出口の向きを搬送物Ｗの前進用と後退用を適宜に組合わせてプレート２を形成する。
この場合は図１１・図１２に示すように分割プレートに設けた流体吐出傾斜孔４の吐出口の向きを搬送物Ｗの前進用と後退用を適宜に組合わせてプレート２を形成する。
「具体的作業例（１）（図１〜図３及び図４・図５）」
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nを密着してプレート２を形成する。
（２） 分割プレート２1〜２nを箱体の開口面１1に配置し、且つこれを成形枠３で密着して１枚のプレート２にセットする。
（３） 図２において、プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（４） 箱体１の流体供給口７から箱体１の流体供給室８に圧縮空気を供給する。
（５） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６又は小孔付き遮蔽板６1に当たってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。又は図５にあっては、流体噴出キャップ６′に当たって水平方向の噴出孔６1から外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（６） 箱体１の流体供給室８において上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から搬送方向に吐出する。
（７） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって当該プレート面から浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。この場合、プレート平面の両側のガイド体９によって搬送物Ｗが経路から外れないようになっている。
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nを密着してプレート２を形成する。
（２） 分割プレート２1〜２nを箱体の開口面１1に配置し、且つこれを成形枠３で密着して１枚のプレート２にセットする。
（３） 図２において、プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（４） 箱体１の流体供給口７から箱体１の流体供給室８に圧縮空気を供給する。
（５） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６又は小孔付き遮蔽板６1に当たってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。又は図５にあっては、流体噴出キャップ６′に当たって水平方向の噴出孔６1から外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（６） 箱体１の流体供給室８において上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から搬送方向に吐出する。
（７） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって当該プレート面から浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。この場合、プレート平面の両側のガイド体９によって搬送物Ｗが経路から外れないようになっている。
「具体的作業例（２）（図６・図７・図１０）」
（１） 搬送方向（長手方向）と直交する方向に沿って複数に分割された分割プレート２1′・２2′〜２n′を張設してプレート２を形成する。
（２） 上記の段落「００２４」の（２）〜（７）の工程と同じ。
（１） 搬送方向（長手方向）と直交する方向に沿って複数に分割された分割プレート２1′・２2′〜２n′を張設してプレート２を形成する。
（２） 上記の段落「００２４」の（２）〜（７）の工程と同じ。
「具体的作業例（３）：流体吐出用傾斜細孔を前進用と後退用に組合せた構造（図１３・図１４）」
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２4・２5・２6・２nに設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される。
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（13） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２4・２5・２6・２nに設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される。
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（13） プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
「具体的作業例（４）：プレート両側のガイド体９に流体吐出用傾斜孔４を設けた構造（図１１・図１２）」
（１） 上記の段落「００２４」の（１）〜（７）の工程は同じである。
（８） プレート２の平面における両側のガイド体９の室にノズルＮ等の噴射機構から噴射された圧縮空気が送られ、流体吐出用傾斜孔１０から吐出される。これによって、搬送物Ｗをプレート２から浮上させるような状態にすると共に、左右両側の圧縮空気で当該搬送物Ｗを前方に搬送する。なお、この場合は、プレート２に設ける流体吐出用の孔は傾斜孔４のほか垂直孔４′でも可能である（図１１・図１２）。
（１） 上記の段落「００２４」の（１）〜（７）の工程は同じである。
（８） プレート２の平面における両側のガイド体９の室にノズルＮ等の噴射機構から噴射された圧縮空気が送られ、流体吐出用傾斜孔１０から吐出される。これによって、搬送物Ｗをプレート２から浮上させるような状態にすると共に、左右両側の圧縮空気で当該搬送物Ｗを前方に搬送する。なお、この場合は、プレート２に設ける流体吐出用の孔は傾斜孔４のほか垂直孔４′でも可能である（図１１・図１２）。
本発明は、搬送物としてウエハのような極く軽量のものから小荷物程度の立体物まで必要に応じて流体吐出用傾斜孔の口径を変え、また、圧縮空気の圧力を調節することによって実現できる。
１…箱体
２…プレート
２1〜２n…分割プレート
３…プレート成形枠
４…流体吐出用傾斜孔
５…凹条溝
６…遮蔽板等の流体均等供給部材
６1…小孔(6n)付き遮蔽板
６′…流体噴出キャップ
７…流体供給口
８…流体供給室
８1・８2…流体供給室の分室
９…ガイド体
１０…ガイド体の流体吐出傾斜孔
２…プレート
２1〜２n…分割プレート
３…プレート成形枠
４…流体吐出用傾斜孔
５…凹条溝
６…遮蔽板等の流体均等供給部材
６1…小孔(6n)付き遮蔽板
６′…流体噴出キャップ
７…流体供給口
８…流体供給室
８1・８2…流体供給室の分室
９…ガイド体
１０…ガイド体の流体吐出傾斜孔
「具体的作業例（３）：流体吐出用傾斜細孔を前進用と後退用に組合せた構造（図１３・図１４）」
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おき又は２枚ないし３枚の複数おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に交互に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２ 4 ・２ 6 ・２nに設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される。
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
(13) プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
（１） 搬送方向に沿って分割された分割プレート２1〜２nに設けた凹条溝５が１枚おき又は２枚ないし３枚の複数おきに搬送物Ｗの前進方向と後退方向に交互に向くように密接してプレート２を形成する。すなわち、分割プレートの２1・２3・２5・２7に設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が前進用として分室８1に連通している。また、分割プレート２2・２ 4 ・２ 6 ・２nに設けた傾斜凹条溝５（傾斜凹条溝５の配置は図１の平面図を参照）が後退用として分室８2に連通している。前記の凹条孔溝５は各分割プレート２1〜２nを密着させることによって圧縮流体の吐出用傾斜孔４が形成される。
（２） 箱体１内の流体供給室８を仕切体１２で仕切った搬送物Ｗの前進用分室８1と後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（３） その一方の分室８1に搬送物前進流体吐出用傾斜孔４を配置し、他の分室８2に搬送物後退流体吐出用傾斜孔４を配置する。
（４） 分割プレート２を箱体の開口面１1に配置し、成形枠３で単一枚プレートにセットする。
（５） プレート２の上に搬送物Ｗを乗せる。
（６） 箱体１の流体供給口７から前進用の分室８1に圧縮空気を供給する。
（７） 箱体１内に供給された圧縮空気は均等供給部材６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１の流体供給室８内を上昇する。
（８） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
（９） プレート２上の搬送物体Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら前方に搬送される。
（10） 上記（６）において、公知の切換機構（図示省略）によって、箱体１の流体供給口７から後退用の分室８2に圧縮空気を供給する。
（11） 箱体１の流体供給室８に供給された圧縮空気は遮蔽板６にあたってその遮蔽板の下面に沿って外方に流動しながら箱体１内を上昇する。
（12） 箱体１内を上昇した圧縮空気は、複数の流体吐出用傾斜孔４を通じて均一な圧力でプレート２上から吐出する。
(13) プレート２上の搬送物Ｗは、上記流体吐出用傾斜孔４からの圧縮空気によって浮上させるような圧力を与えながら後退方向に搬送される。
Claims (5)
- 密閉式箱体(1)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)は複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設けたことを特徴とする物体搬送機。
- 密閉式箱体(1)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)を複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその
密着前の各分割プレート片に傾斜凹条溝(5)を成形し、且つ当該傾斜凹条溝を前進方向と後退方向に交互に向けて分割プレート(21)〜(2n)を密着し、前記の箱体(1)の内部を仕切体(12)で仕切って前進用分室(81)と後退用分室(82)を形成し、各分室に流体供給口(7)を設けたことを特徴とする流体搬送機。 - 密閉式箱体(1)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、その搬送物の搬送方向に直交する方向に沿って複数枚に傾斜して分割した分割プレート(21′)〜(2n′)を密着して形成し、その密着前の各分割プレート(21′)〜(2n′)に傾斜凹条溝(5)を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)を形成し、前記箱体に流体供給口(7)を設けたことを特徴とする物体搬送機。
- 密閉式箱体(1)の上部開口面(11)に搬送物載置用プレート(2)を配置し、そのプレート(2)は複数枚の分割プレート(21)〜(2n)を密着して成形し、且つその密着前の各分割プレート(21)〜(2n)に傾斜凹条溝(5)又は垂直凹条溝(5′)を成形し、当該各分割プレートを蜜着して同一方向に向く流体吐出用傾斜孔(4)又は流体吐出用垂直小孔(4′)を形成し、上記の搬送物載置用プレート(2)の両側にガイド体(9)を設け、そのガイド体に流体吐出用傾斜孔(10)を設けたことを特徴とする物体搬送機。
- 流体を各流体吐出用傾斜孔(4)に均等に送り込むための均等供給部材(6)を無孔の遮蔽板とし、又は複数の小孔付きの遮蔽板(6′)とし、又は水平方向に噴出孔を有する噴出キャップ(6")とした請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４記載の物体搬送機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005274777A JP4736035B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 物体搬送機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005274777A JP4736035B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 物体搬送機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007084266A true JP2007084266A (ja) | 2007-04-05 |
| JP4736035B2 JP4736035B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=37971657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005274777A Expired - Fee Related JP4736035B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 物体搬送機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4736035B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59121226A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-13 | Fujitsu Ltd | エアベアリング |
| JPH11118357A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 対象物体の加熱処理方法およびそのための装置 |
| JP2000128346A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置 |
| JP2005200174A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Mitsubishi Materials Techno Corp | エアフロー整列キャップ供給器 |
-
2005
- 2005-09-21 JP JP2005274777A patent/JP4736035B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59121226A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-13 | Fujitsu Ltd | エアベアリング |
| JPH11118357A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 対象物体の加熱処理方法およびそのための装置 |
| JP2000128346A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浮揚装置、浮揚搬送装置および熱処理装置 |
| JP2005200174A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Mitsubishi Materials Techno Corp | エアフロー整列キャップ供給器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4736035B2 (ja) | 2011-07-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5998086B2 (ja) | 浮上用エアプレート | |
| KR101588440B1 (ko) | 선회류 형성체 및 비접촉 반송 장치 | |
| JP5110480B2 (ja) | 非接触搬送装置 | |
| KR101663257B1 (ko) | 비접촉 반송 장치 | |
| JP2002512555A (ja) | 流体移送装置及び方法 | |
| JP2014118634A5 (ja) | ||
| JP3299725B2 (ja) | メッキ方法とその装置 | |
| JP3116923U (ja) | 物体搬送機 | |
| KR20200087069A (ko) | 표면 처리 장치 | |
| JP4736035B2 (ja) | 物体搬送機 | |
| WO2007088614A1 (ja) | ノズル板及び該ノズル板を用いた気流浮上装置 | |
| US20110061688A1 (en) | Device and method for cleaning wafers | |
| JP5764575B2 (ja) | 通気性搬送用テーブル | |
| JP5805055B2 (ja) | 水平搬送式電解メッキ装置 | |
| JP3115047U (ja) | 噴流浮遊式めっき槽 | |
| TWM468525U (zh) | 電鍍裝置 | |
| CN110892518B (zh) | 干燥基片的干燥装置和方法 | |
| JP3173836U (ja) | 板状被処理物に付着する酸素ガス泡の除去手段を備えた水平電解メッキ装置 | |
| TWM511495U (zh) | 用來運送平板構件之輸送載具 | |
| JP2009287098A (ja) | メッキ処理装置 | |
| WO2013024741A1 (ja) | ウェハ分離装置及びこれを用いたウェハの製造方法 | |
| JP2006327715A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JP2005169479A5 (ja) | ||
| JP2004238690A (ja) | メッキ液噴出ノズル装置を設けた液中搬送式のメッキ処理装置 | |
| CN2538743Y (zh) | 直立式电路板输送及吹风装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070118 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070118 |
|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20070119 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070207 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100324 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100705 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101028 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110125 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110330 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110330 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110414 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110414 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |