JP2005169479A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. プレス工具と雌型によって微細穴を形成する穴開け加工方法であって、
   被加工材料を雌型上に支持し、水平方向の位置決めをする位置決め工程と、
   雌型上の被加工材料を水平方向にのみ拘束した状態でプレス工具を移動させて微細穴を形成するプレス加工工程と、
   を有することを特徴とする穴開け加工方法。
2. 前記位置決め工程は、少なくとも一対の位置決めピンを被加工材料の位置決め穴に嵌合させることで、雌型上に水平位置決めし、水平方向に拘束することを特徴とする請求項１に記載の穴開け加工方法。
3. 雌型が、プレス工具を嵌挿させる開口を持たない非開口型の雌型であることを特徴とする請求項１または２に記載の穴開け加工方法。
4. 非開口型の雌型が、ビッカース硬度Ｈｖが１００以上５００以下の雌型材料で作られていることを特徴とする請求項３に記載の穴開け加工方法。
5. 吸引手段によって被加工材料を雌型に吸引保持した状態でプレス工具を下降させて微細穴を形成することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の穴開け加工方法。
6. 被加工材料の下面に溶解可能なレジストフィルムを密着させた状態でプレス工具を下降させて微細穴を形成することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の穴開け加工方法。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の穴開け加工方法を用いて形成された微細穴を備える穴開き部材。
8. 液体を吐出するための複数の吐出エネルギー発生手段および複数の液流路を有する本体部と、前記複数の液流路に連通する複数のノズルを有するノズルプレートとを備えており、前記複数のノズルが、請求項７に記載の穴開き部材を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。