JP2007081057A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 同一の半導体基板10に、トレンチゲート構造の縦型MOSトランジスタとして、Nチャネルトランジスタ101とPチャネルトランジスタ102を構成してなる半導体装置100であって、Nチャネルトランジスタ101のゲート絶縁膜40において、基板表面またはトレンチ側壁の平坦部の厚さをt1、基板表面及びトレンチ側壁との間のトレンチ開孔角部の厚さをt2とし、Pチャネルトランジスタ102のゲート絶縁膜41において、基板表面またはトレンチ側壁の平坦部の厚さをt3、基板表面及びトレンチ側壁との間のトレンチ開孔角部の厚さをt4とすると、夫々のゲート絶縁膜40,41を、t2>t1、t4≧t3、t2/t1>t4/t3を満たすように設定した。
【選択図】 図2
Description
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,VOL.ED−34,NO.8,AUGUST 1987,p1681−1687
(第1の実施の形態)
図1は、本実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す断面図である。図2は、トレンチ開孔角部(図1の点線で囲まれた領域)周辺の拡大図であり、(a)はNチャネルトランジスタ側、(b)はPチャネルトランジスタ側を示している。
(式1)t2>t1
(式2)t4≧t3
(式3)t2/t1>t4/t3
すなわち、耐圧を確保できる程度にPチャネルトランジスタ102のゲート絶縁膜41の膜厚をできるだけ均一に薄くしつつ、Nチャネルトランジスタ101のゲート絶縁膜40のトレンチ開孔角部の膜厚をできる限り厚くしている。従って、Nチャネルトランジスタ101のゲート絶縁膜40における電界集中を抑制し、Pチャネルトランジスタ102のゲート絶縁膜41における欠陥密度を小さくしている。従って、Nチャネルトランジスタ101及びPチャネルトランジスタ102の両ゲート絶縁膜40,41の信頼性が確保されている。
(式4)t2≧1.4×t1
したがって、式4を満たすように設定すれば、Nチャネルトランジスタ101のゲート絶縁膜40における電界集中を抑制し、耐久性を向上することができる。尚、図3は、開孔角部と平坦部における膜厚比と電界強度比との関係を示す図であり、平坦部の膜厚を25nmとしたときのシミュレーション結果である。
次に、本発明の第2の実施形態を、図10及び図11に基づいて説明する。図10は本実施形態に係るゲート絶縁膜40,41の形成工程の一部を示す概略断面図であり、CVD酸化膜51の選択除去工程を示している。図11は、本実施形態に係るゲート絶縁膜40,41の形成工程の一部を示す概略断面図であり、図10に続く熱酸化工程を示している。
次に、本発明の第3の実施形態を、図13に基づいて説明する。図13は本実施形態に係るゲート絶縁膜40の概略構成を示す図であり、(a)はトレンチ開孔角部の拡大断面図、(b)は(a)のA−A‘断面における組成を示す模式図である。
13・・・半導体層
14・・・p型拡散領域(Nチャネルトランジスタ側ウェル領域)
15・・・n+型拡散領域(Nチャネルトランジスタ側ソース領域)
16・・・トレンチ
17・・・ゲート電極
19・・・p型拡散領域(Pチャネルトランジスタ側ドレイン領域)
20・・・n型拡散領域(Pチャネルトランジスタ側ウェル領域)
21・・・p+型拡散領域(Pチャネルトランジスタ側ソース領域)
22・・・トレンチ
23・・・ゲート電極
30・・・トレンチ分離領域
40・・・ゲート絶縁膜(Nチャネルトランジスタ側)
41・・・ゲート絶縁膜(Pチャネルトランジスタ側)
100・・・半導体装置
101・・・Nチャネルトランジスタ
102・・・Pチャネルトランジスタ
Claims (16)
- 同一の半導体基板に、トレンチゲート構造の縦型MOSトランジスタとして、N導電型領域をソースおよびドレインとするNチャネルトランジスタと、P導電型領域をソースおよびドレインとするPチャネルトランジスタを構成してなる半導体装置であって、
前記Nチャネルトランジスタのゲート絶縁膜において、基板表面またはトレンチ側壁の平坦部の厚さをt1、前記基板表面及び前記トレンチ側壁との間のトレンチ開孔角部の厚さをt2とし、
前記Pチャネルトランジスタのゲート絶縁膜において、基板表面またはトレンチ側壁の平坦部の厚さをt3、前記基板表面及び前記トレンチ側壁との間のトレンチ開孔角部の厚さをt4とすると、
夫々の前記ゲート絶縁膜を、t2>t1、t4≧t3、t2/t1>t4/t3を満たすように設定したことを特徴とする半導体装置。 - 前記Nチャネルトランジスタのゲート絶縁膜を、t2≧1.4×t1を満たすように設定したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記トレンチ開孔角部のうち、少なくともNチャネルトランジスタのトレンチ開孔角部を、丸みを帯びた緩やかな形状としたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。
- 前記Nチャネルトランジスタのゲート絶縁膜は、熱酸化により形成された酸化膜を含むことを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板において、前記基板表面及び前記トレンチ側壁が(100)面方位であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記Nチャネルトランジスタのゲート絶縁膜は、前記酸化膜の上層として窒素を含有する窒素含有膜を有することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の半導体装置。
- 前記窒素含有膜は、前記酸化膜との界面から遠ざかる方向に窒素濃度が連続的に増加する領域を含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記Pチャネルトランジスタのゲート絶縁膜は、気相成長により形成された酸化膜を含むことを特徴とする請求項1〜7いずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記Pチャネルトランジスタのゲート絶縁膜は、前記酸化膜形成後、熱酸化処理してなることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板は、埋め込み酸化膜を有するSOI構造半導体基板であることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項に記載の半導体装置。
- 同一の半導体基板に、トレンチゲート構造の縦型MOSトランジスタとして、N導電型領域をソースおよびドレインとするNチャネルトランジスタと、P導電型領域をソースおよびドレインとするPチャネルトランジスタを形成する半導体装置の製造方法であって、
前記Nチャネルトランジスタのゲート絶縁膜として、熱酸化により熱酸化膜を形成する工程と、
前記Pチャネルトランジスタのゲート絶縁膜として、気相成長により気相酸化膜を形成する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板において、前記基板表面及び前記トレンチ側壁が(100)面方位であることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱酸化膜形成後、前記熱酸化膜上に窒素を含有する窒素含有膜を形成する工程を備えることを特徴とする請求項11又は請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒素含有膜を形成する工程においてCVD法を適用し、
前記酸化膜との界面から遠ざかる方向に窒素濃度が連続的に増加するように、ガス組成を径時的に変化させることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記気相酸化膜形成後、熱酸化する工程を備えることを特徴とする請求項11〜14いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板は、埋め込み酸化膜を有するSOI構造半導体基板であることを特徴とする請求項11〜15いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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