JP2007073767A - 粘着フィルム貼着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハWを保持するウェーハ保持部31と、DAF36を保持するDAF保持部32と、ウェーハ保持部31とDAF保持部32とを収容し、ウェーハ保持部31のチャックテーブル34とDAF保持部32のチャックテーブル35とで囲まれる空間Eを形成して該空間Eを減圧する減圧チャンバー33と、減圧チャンバー33内でウェーハ保持部31に保持されたウェーハWのデバイス領域に対応する裏面とDAF保持部32に保持されたDAF36とを接近させ、ウェーハWとDAF36との空間Eを減圧させつつ押圧し、ウェーハWのデバイス領域に対応する裏面にDAF36を貼着させる制御部30cとを備える。
【選択図】 図6
Description
2 研削装置
3 被加工物搬出・搬入機構
4 切削装置
20,34,35 チャックテーブル
21 研削部
22 回転軸
23 ホイール
24 砥石部
30 装置本体部
30a 昇降駆動制御部
30b ポンプ部
30c 制御部
31 ウェーハ保持部
31a,32a アーム
31b,32b ラックギア
31c,32c ピニオンギア
32 DAF保持部
33 減圧チャンバー
33a バキューム孔
33b 減圧チャンバー保持部
36 DAF
36a 剥離紙
40 チャックテーブル
40a フレームクランプ
41 切削部
42 切削送り部
43 アライメント部
44 切り込み送り部
45 割り出し送り部
400 駆動源
401,451 移動基台
410 ハウジング
411 スピンドル
412 切削ブレード
413 支持部
420,441,450 ボールネジ
421,442,452 パルスモータ
422,443,453 ガイドレール
430 赤外線カメラ
440 壁部
W ウェーハ
Wa 表面
Wb 裏面
W1 デバイス領域
W2 外周余剰領域
W3 凹部
W4 リング状補強部
S ストリート
D デバイス
F ダイシングフレーム
T ダイシングテープ
Claims (2)
- ウェーハの表面にデバイスが複数形成されたデバイス領域と、該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが形成され、該デバイス領域に対応する裏面が前記外周余剰領域の裏面に比して薄く加工されて前記外周余剰領域の裏面にリング状の補強部が形成され、凹状に加工されたウェーハの裏面にダイボンド用の粘着フィルムを貼着する粘着フィルム貼着装置であって、
前記ウェーハを保持するウェーハ保持手段と、
前記粘着フィルムを保持する粘着フィルム保持手段と、
前記ウェーハ保持手段と前記粘着フィルム保持手段とを収容し、前記ウェーハ保持手段と前記粘着フィルム保持手段とで囲まれる空間を形成して該空間を減圧する減圧チャンバーと、
前記減圧チャンバー内で前記ウェーハ保持手段に保持されたウェーハのデバイス領域に対応する裏面と前記粘着フィルム保持手段に保持された粘着フィルムとを接近させ、前記ウェーハと前記粘着フィルムとの空間を減圧させつつ押圧し、前記ウェーハのデバイス領域に対応する裏面に前記粘着フィルムを貼着させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着フィルム貼着装置。 - 前記粘着フィルム保持手段の保持面の直径は、前記ウェーハの裏面に形成されたリング状の補強部の内径よりも小さく、かつ前記粘着フィルム保持手段の保持面は、前記デバイス領域に対応していることを特徴とする請求項1に記載の粘着フィルム貼着装置。
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