JP2007071752A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、カラーフィルタ基板2の一方主面に対して所定の高さを維持し、且つカラーフィルタ基板2の一方主面に対して平行にレーザー光4を出射するレーザー光源3と、カラーフィルタ基板2を挟んでレーザー光源3と対峙し、レーザー光4を受光するエリアセンサ5と、レーザー光源3がカラーフィルタ基板2の一方主面上を順次スキャンするように、カラーフィルタ基板2、又はレーザー光源3及びエリアセンサ5の組の少なくと一方を移動させる移動テーブル1と、レーザー光4の受光量を記憶する記憶部7と、受光量に基づいて、カラーフィルタ基板2上に所定の高さ以上の突起部6が存在するか否かを判定する判定部8とを備える。
【選択図】図1
Description
カラーフィルタ基板は、ガラス基板等の透明基板上に遮光膜とRGB色材膜を形成し、その後オーバーコート膜及び透明電極膜を順に成膜するか、透明電極膜のみを成膜するかの構成である。そのため、カラーフィルタ基板の色材膜又はオーバーコート膜を成膜後に異物が付着すると、当該部分がカラーフィルタ基板上の突起部となる。さらに、この突起部を含む色材膜又はオーバーコート膜上に透明電極膜を成膜しても、カラーフィルタ基板上の突起部は残り、当該突起部の高さがセルギャップ以上であればアレイ基板の電極と短絡することになる。ここで、突起部の高さとは、突起部が存在しない透明電極膜の面から突起部の最上端までの高さである。
Claims (4)
- 基板上に所定の高さ以上の突起部が存在するか否かを検査する検査装置であって、
前記基板の一方主面に対して所定の高さを維持し、且つ前記基板の前記一方主面に対して平行に光を出射する光源と、
前記基板を挟んで前記光源と対峙し、前記光源からの光を受光する受光器と、
前記光が前記基板の前記一方主面上を順次スキャンするように、前記基板、又は前記光源及び前記受光器の組の少なくとも一方を移動させる移動手段と、
前記受光器が測定した、前記光源からの光の受光情報を記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された前記受光情報に基づいて、前記基板上に所定の高さ以上の前記突起部が存在するか否かを判定する判定部とを備える検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記光源と前記受光器との組が、前記光のスキャン平面上の直交する位置に2組設けられ、
前記移動手段による移動は、前記直交に対応した2方向への移動を含むことを特徴とする検査装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の検査装置であって、
前記移動手段による移動は、前記光のスキャン平面上に対して垂直な方向への移動を含むことを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1つに記載の検査装置であって、
前記基板は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板であることを特徴とする検査装置。
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2005
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