JPS62287107A - 中心位置測定装置 - Google Patents

中心位置測定装置

Info

Publication number
JPS62287107A
JPS62287107A JP13102786A JP13102786A JPS62287107A JP S62287107 A JPS62287107 A JP S62287107A JP 13102786 A JP13102786 A JP 13102786A JP 13102786 A JP13102786 A JP 13102786A JP S62287107 A JPS62287107 A JP S62287107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
measured
head
center position
parallel light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13102786A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Hashimoto
宏 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAKURA KK
Original Assignee
SAKURA KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SAKURA KK filed Critical SAKURA KK
Priority to JP13102786A priority Critical patent/JPS62287107A/ja
Publication of JPS62287107A publication Critical patent/JPS62287107A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔発明の目的) (産業上の利用分野) 本発明は、被測定物の中心位置を測定する中心位置測定
装置に関する。
(従来の技術) 例えばパイプ等の被測定物の形状を測定する1q合、そ
の被測定物の数個所の中心位置の座標を測定してその座
標を結ぶ直線を算出し、その直線から被測定物の形状を
求める方法が用いられている。
このような場合、従来、バイブ等の被測定物の中心位置
を測定するのに、例えば基台上に左右移動自在、昇降自
在および前後移動自在に設けられたアームの先端に測定
子を設け、この測定子を基台上に配置された被測定物の
測定点つまり被測定物の中心位置に対応する外周部にお
およそに合せて接触させることにより、測定子の接触位
置すなわち測定点の三次元位置を7−ムの移動位置から
111定し、そして、予め測定されている被測定物の外
径の値からその測定点に対する中心g tを口出するよ
うにしている。
〈発明が解決しようとする問題点) 上記の方法は、測定子の接触位置を測定してその位置か
ら被測定物の中心位置を求めるものであるが、その測定
子を被測定物の中心位置に対応する外側位置に正確に接
触させるのは困難で、ml+定子の接触位置によって中
心位置がずれるため、中心位置を正確に測定することが
できない。このことは、特に、被測定物が異形の場合に
、測定子を中心位置に合せて接触させることが困難であ
るため、その測定自体が困難である。また、測定子の接
触位置から被測定物の中心位置を求めるため、中心位置
を直接測定することができない。
本発明は上述のような問題点に鑑みなされたもので、被
測定物の中心位置を正確に直接測定することのできる中
心位置検出装置を提供することを目的とするものである
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段) 本発明の中心位置測定装置は、被測定物aを配置可能と
する間隔をもって相対した一対のヘッド部2.3を有す
るヘッド本体1と、このヘッド本体1の一方のヘッド部
2から被測定物aに照射するレーザー光の平行光線りを
発光する平行光線発光部4と、この平行光線発光部4か
ら発光され被測定物aに照射する平行光線りを被測定物
aの測定個所における幅方向の両外側を通過可能な細良
い線状に制光する制光部11と、この11il九部11
によって制光され被測定物aの外側を通過し上記他方の
ヘッド部3に入射される平行光線りをその平行光線りの
幅方向に一対とする各光電変換素子16゜16で受光し
その受光量に応じた出力を得る受光部15と、この受光
部15の各光電変換素子1f3.16からの出力に基づ
いてその両用力が一致するように制御する処理制御部1
7と、この処理i1+制御部17により駆動部り0され
上記ヘッド本体1を幅方向に移動させる駆動部22とを
異面し、受光部15の各光電変換素子i6.16からの
出力が一致した際のヘッド本体1の移動位置に基づいて
被測定物aの中心位置を測定するものである。
(作用) 本発明の中心位置測定装置は、ヘッド部2゜3間に配置
された被測定物aに平行光線l、を照射して、その被測
定物aの幅方向の両外側を通過した平行光線りを受光部
15の各光電変換素子16.16で受光し、その各光電
変換素子16.16で平行光線りの受光量に応じた出力
が生じ、この両川ツノに基づいて処理制御部17により
両用力が一致するように駆動部22が駆動制御されてヘ
ッド本体1が移動され、そして、受光部15の各光電変
換素子16.16からの出力が一致した際のヘッド本体
1の移動位置に基づいて被より定Thaの中心位置を測
定するものである。
(実施例) 以下、本発明の一実施例の構成を図面を参照して説明す
る。
第1図において、1はヘッド本体で、被測定物aを配置
可能とする間隔をもって相対した一対のヘッド部2,3
を有している。
一方のヘッド部2には、このヘッド部2から被測定物a
に照射するレーザー光の平行光線しを発光する平行光線
発光部4が配置されている。この平行光線発光部4は、
例えば第2図に示すように、レーザー光発光器5から発
光さ札たレーザー光Loを複数の反射鏡6により全反射
して一定速度で回転するポリゴンミラー7に導き、そし
て、このポリゴンミラー7の回転につれて、シリンドリ
カルレンズ8を介して図中上側から下側方向に走査する
平行光線しにする構成、または、第3図に示すように、
レーザー光発光器5から発光されたレーザー光Loをレ
ンズつとこのレンズ9の焦点位置に配置されたセルフコ
ックレンズ10とにより平行光MLにする構成などにな
っている。
また、上記平行光線発光部4の平行光線発光側正面に、
被測定物aの中心位置の測定個所における幅方向(図中
上下方向)に細長い線状に平行光線りを制光する制光部
11が配置され、この制光部11は、第4図および第5
図にも示すように、光を通さない不透明材料によって長
方形板状に設けられた遮光部12に光を通すスリット礼
状の透光部13を設けたものであり、その透光部13は
、幅方向に被測定物aの外形幅寸法よりも幅広く、平行
光線りが被測定物aの両外側を通過可能になっている。
なお、この制光部11は、透光性を有する基板の表面に
、透光部13を除いて光を通さない遮光部12を蒸着等
によって形成してもよい。
上記他方のヘッド部3には、一方のヘッド部2から照射
される平行光線りをレーザー光用フィルタ14を介して
受光する受光部15が配置され、この受光部15は、第
6図にも示すように、幅方向に2分割された一対の光電
変換素子16.16を有し、この各光電変換素子16.
16によって受光した平行光線りの受光mに応じた検出
電流をそれぞれ別々にISる。なお、その光゛層変換素
子16としては、例えば太陽電池(アモルファス系など
)、−次元または二次元配列のフォトダイオード等を使
用できる。
上記受光部15は処理制御部17に接続されている。こ
の処理制御部17は、各光電変換素子16. IGから
の各検出電流をそれぞれ電気的に処理して検出信号とし
て出力する信号出力部18と、この信号出力部18から
の各検出信号を比較処理して各検出信号を一致させるた
めの処理信号を出力する処理部19と、この処理部19
からの処理信号に基づいて後述する駆動部22を駆動制
御する制御部20と、上記処理部、1つおよびtill
 1fO部20が接続された中央処理装置21とから構
成されている。なお、信号出力部18および処理部19
はヘッド本体1のヘッド部3の内部に配置され、制御部
20および中央処理装置21はヘッド本体1の外部に配
置される。
この処理制御部17の制御部20には駆動部22が接続
され、この駆動部22は、制御部20からの駆動信号に
基づいてヘッド本体1に固定されたナツト23に螺合す
るボールねじ24を正逆回転駆動することにより、ヘッ
ド本体1を幅方向に移動させる。
また、ヘッド本体1には、ヘッド本体1の幅方向の移動
位置を検出する検出部25が取ト1けられ、この検出部
25は、磁気目盛を有するスケールベース26がヘッド
本体1に対応して外部に固定され、このスケールベース
26上を移動して磁気を検出する磁気検出素子を備えた
スケールヘッド27がヘッド本体1に固定されており、
そして、そのスケールヘッド27の検出データが上記制
御部20に出力される。
そうして、ヘッド部2,3間に被測定物aを配置してい
ない状態で、平行光線発光部4からレーザー光の平行光
線りが発光されると、第6図(b)に示すように、制光
部11の透光部13を通過した全ての平行光線りが受光
部15に照射される。
このとき、この受光部15の各光電変換素子16.16
が受光する平行光線しの受光量は同一で、各光電変検索
子16.16が生じる検出電流の値は一致する。
そして、例えば第1図および第4図に示すようなバイブ
の被測定物aの中心位置を測定する場合、支持固定した
その被11111定物aがヘッド部2゜3間に配置され
るようにヘッド本体1を移シJ配性する。そして、平行
光線発光部4から平行光線りを発光すると、制光部11
を介して平行光線1−が被測定物aに照射され、その被
測定物aの幅方向の両外側を通過した平行光線りのみが
受光部15に照射される。その受光部15の各光電変換
素子1G、 IGは、被測定物aの各外側を通過した平
行光線りを受光し、各受光量に応じた検出電流が生じる
このとき1例えば被測定物aの中心位置に対してヘッド
本体1が図中下側にずれていた場合には、第6図(C)
に示すように、上側の光電変換素子16が受光する平行
光線りの受光筒が少なく、下側の光電変換素子16が受
光する平行光線しの受光りが多く、従って、各光電変換
素子16.16が生じる検出電流の値がそれぞれ異なり
、この異なった各検出電流が信号出力部18を介して処
理部19で処理され、制御部20により駆動部22が駆
動制御されてヘッド本体1が上方に移動される。また、
第6図(d)に示すように、被測定物aに対してヘッド
本体1が図中上側にずれていた場合には、同様にして駆
動部22が駆動されてヘッド本体1が下方に移動される
。そして、ヘッド部1の移動に伴い、各光電変換素子1
6.16が受光する平行光線りの受光部の差すなわち検
出電流の値の差が少なくなり、第6図(e)に示すよう
に、各光電変換素子16.16の受光♀が一致すなわち
検出電流の値が一致した時点で、駆動部22の駆動が停
止されてヘッド本体1の移動が停止される。
そして、このヘッド本体1が停止した位置で、被測定物
aの中心位置の座標を検出部25によって読取ることが
できる。
なお、被測定物aは、第1図および第4図に示した円形
断面の棒状のものに限られず、平行光線りの照射範囲内
にあればどのような形状の被測定物でもその中心位置を
測定することができる。
また、受光部15は、第7図に示すように、基板28に
一対の光電変換素子16.16を間隔1を開けて配置し
、被測定物aの幅方向の寸法が広い場合にも中心位置を
測定できるようにしてもよい。
また、第8図に示すように、ヘッド本体1を下部−側に
切欠ぎ部29を有した矩形枠状に設け、そのヘッド本体
1に、2組の平行光線発光部4等を備えたヘッド部2.
2および受光部15等を備えたヘッド部3.3をその両
平行光線り、[、が直交するように設(プることにより
、被測定物aの図中上下方向および左右方向における中
心位置を一度に測定することができる。なお、ヘッド本
体1の切欠き部29は、被測定物aがバイブなとの長尺
の場合にその被測定物aをヘッド本体1内部に配置する
ための進入用として設けられている。
また、第8図に示すヘッド本体1を第9図に示すような
バイブpの曲げ測定機30に利用することができる。
この曲げ測定1i30は、基台31上に設けられたレー
ル32に沿ってX@移動台33がX軸方向に移動可能に
設けられ、このX軸郭動台33上に設けられたレール3
4に沿って2軸移動台35がz ir*方向に移動可能
に設けられ、この2軸移動台35に立設された支柱36
にy軸郭動台37がy軸方向に胃降可能に設けられてお
り、そのy@移動台37の前端にヘッド本体1が取付け
られている。なお、X軸郭動台33、Z軸材動台35お
よびy軸郭動台37は各駆動部22によって各軸1〕向
に移動され、その移動を各検出部25によって検出する
ようになっている。
そして、バイブpの測定にあたっては、支持固定したバ
イブpが切欠き部29を通じてヘッド本体1の内部の測
定位置に配Fffされるようにヘッド本体1を移動させ
る。そして、X軸郭動台33を移動させてバイブpの中
心位置測定箇所にヘッド木lA1を合せ、X軸および2
軸移動台33.35を固定してyI1418!l1台3
1のみを移動させてバイブpのy軸方向の中心位置を自
動的に検出し、次に、X軸およびy@移動台33.37
を固定して2軸移動台35のみを移動させてバイブpの
X軸方向の中心位置を自動的に検出し、これによりバイ
ブpの中心位置測定箇所におけるX@、y@およ゛び2
軸方向の三次元座標が各検出部25によって測定できる
。この測定をX軸郭動台33を移動させてバイブpの複
数の各中心位置測定箇所について行なう。
そして、バイブpの各中心位置測定箇所における中心位
置座標が中央処理部21で処理されて各座標を結ぶ直線
が算出され、バイブpの全体形状を表わす中心線が求め
られる。
なお、バイブpのy軸方向と2軸方向の中心位置を同時
に自動検出するようにしてもよく、また、そのy@右方
向2@方向の中心位置の自動演出状態でヘッド本体1を
X軸方向に移動させて、バイブpの中心位置を連続的に
自動検出して中心線として(qるようにしてもよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、一対のヘッド部間に配置された被測定
物に平行光線を照射して、その被測定物の中心位置測定
部の幅方向の両外側を通過した平行光線を受光部の各光
電変換素子で受光することにより、その各光電変換素子
で平行光線の受光♀に応じた出力が生じ、この両川力に
基づいて処理制御部により両川力が一致するように駆動
部が駆動制御されてヘッド本体が移動され、そして、受
光部の各光電変換素子からの出力が一致した際のヘッド
本体の移a装置に基づいて被測定物の中心IQFIを測
定づるので、被測定物の中心位置を正確かつ自動的に直
接源り定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の中心位6測定装置の一実施例を示す構
成図、第2図および第3図はそれぞれその平行光線発光
部の例を示す構成図、第4図はその要部の拡大(j44
部、第5図はその制光部の正面図、第6図はその受光部
の受光状態を示す説明図、第7図は本発明の他の実施例
を示す受光部の正面図、第8図は本発明のさらに他の実
施例を示すヘッド本体の側面図、第9図は第8図に示す
ヘッド本体の使用例を示す曲げ測定機の斜視図である。 1・・ヘッド本体、2.3・・ヘッド部、4・・平行光
線発光部、11・・制光部、15・・受光部、16・・
光電変換素子、17・・処理料り0部、22・・駆動部
、a・・被測定物、「・・平行光線。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定物を配置可能とする間隔をもって相対した
    一対のヘッド部を有するヘッド本体と、このヘッド本体
    の一方のヘッド部から被測定物に照射するレーザー光の
    平行光線を発光する平行光線発光部と、 この平行光線発光部から発光され被測定物に照射する平
    行光線を被測定物の測定個所における幅方向の両外側を
    通過可能な細長い線状に制光する制光部と、 この制光部によって制光され被測定物の外側を通過し上
    記他方のヘッド部に入射される平行光線をその平行光線
    の幅方向に一対とする各光電変換素子で受光しその受光
    量に応じた出力を得る受光部と、 この受光部の各光電変換素子からの出力に基づいてその
    両出力が一致するように制御する処理制御部と、 この処理制御部により駆動制御され上記ヘッド本体を幅
    方向に移動させる駆動部とを具備し、受光部の各光電変
    換素子からの出力が一致した際のヘッド本体の移動位置
    に基づいて被測定物の中心位置を測定することを特徴と
    する中心位置測定装置。
  2. (2)ヘッド本体は、2組の平行光線が出射するヘッド
    部および平行光線が入射するヘッド部をその各平行光線
    が直交するように設けたことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の中心位置測定装置。
JP13102786A 1986-06-05 1986-06-05 中心位置測定装置 Pending JPS62287107A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13102786A JPS62287107A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 中心位置測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13102786A JPS62287107A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 中心位置測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62287107A true JPS62287107A (ja) 1987-12-14

Family

ID=15048299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13102786A Pending JPS62287107A (ja) 1986-06-05 1986-06-05 中心位置測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62287107A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03105201A (ja) * 1989-09-19 1991-05-02 Nidek Co Ltd ウェーハ検出装置
JP2007071752A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Mitsubishi Electric Corp 検査装置
JP2011080962A (ja) * 2009-10-09 2011-04-21 Denso Corp 振れ計測装置及び振れ計測方法
JP2011107044A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Waterworks Technology Development Organization Co Ltd 外径計測装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5193251A (en) * 1975-02-14 1976-08-16 Entojobutsutaino gaikenhenkano kogakutekikensasochi

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5193251A (en) * 1975-02-14 1976-08-16 Entojobutsutaino gaikenhenkano kogakutekikensasochi

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03105201A (ja) * 1989-09-19 1991-05-02 Nidek Co Ltd ウェーハ検出装置
JP2007071752A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Mitsubishi Electric Corp 検査装置
JP2011080962A (ja) * 2009-10-09 2011-04-21 Denso Corp 振れ計測装置及び振れ計測方法
JP2011107044A (ja) * 2009-11-19 2011-06-02 Waterworks Technology Development Organization Co Ltd 外径計測装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1114357A (ja) 測量機の自動追尾装置
CN112485805A (zh) 一种激光三角位移传感器及其测量方法
JPH0514217B2 (ja)
JPH06213683A (ja) リニアモーターその他の光学繊維エンコーダー
JPS62287107A (ja) 中心位置測定装置
JPH0123041B2 (ja)
JPH0769151B2 (ja) 表面形状測定装置
JPH0226164B2 (ja)
KR100240259B1 (ko) 원통 렌즈와 레이저 스캐너를 이용한 3차원 측정장치
JPS581120A (ja) テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法
JPH0352888B2 (ja)
CN1205428A (zh) 位移传感器及其形成目标特征部分的方法
JPS6288904A (ja) 変位・回転検出方法及び姿勢制御装置
JPH02276908A (ja) 三次元位置認識装置
JPH035846Y2 (ja)
JPH0334563B2 (ja)
JPH09113234A (ja) 2次元形状計測センサー
JPH0743114A (ja) 変位センサ
JPS61189405A (ja) 非接触形状測定装置
JPH0318887Y2 (ja)
JPS62804A (ja) 表面形状測定方法および装置
JPH09292218A (ja) 高さ測定装置及び高さ測定方法
JPH0675686A (ja) 光学式位置測定装置
JPS60203804A (ja) 真直度測定装置
SU1364864A1 (ru) Устройство дл измерени рельефа диффузно отражающих поверхностей