JP2007063574A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007063574A5 JP2007063574A5 JP2005247313A JP2005247313A JP2007063574A5 JP 2007063574 A5 JP2007063574 A5 JP 2007063574A5 JP 2005247313 A JP2005247313 A JP 2005247313A JP 2005247313 A JP2005247313 A JP 2005247313A JP 2007063574 A5 JP2007063574 A5 JP 2007063574A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- layer
- index layer
- film forming
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (5)
- ＴｉＯ ２ 、Ｔａ ２ Ｏ ５ 、ＺｎＳ、ＺｒＯ ２ 又はＡｌ ２ Ｏ ３ のいずれかからなる高屈折率層とＳｉＯ ２ からなる低屈折率層とを交互に積層してなる多層膜の成膜方法であって、
プラズマを用いない通常蒸着により少なくとも１層の低屈折率層を形成するステップ、及び、
プラズマを用いた蒸着により少なくとも１層の高屈折率層を形成するステップ
からなり、
基板上にｎ（ｎ≧２）層の該多層膜を積層する場合に、さらに、
該基板からみて最外層となる第ｎ層を、該第ｎ層が該低屈折率層であるか該高屈折率層であるかにかかわらず、該プラズマを用いた蒸着により形成するステップを含むことを特徴とする成膜方法。
- 請求項１記載の成膜方法であって、さらに、
該基板に接する第１層を、該第１層が該低屈折率層であるか該高屈折率層であるかにかかわらず、該プラズマを用いた蒸着により形成するステップを含むことを特徴とする成膜方法。
- 基板及び該基板上に請求項１又は２記載の成膜方法によって形成された多層膜からなる光学部品。
- 受光部（基板）を有する光学製品であって、該受光部に請求項１又は２記載の成膜方法によって多層膜が形成されたことを特徴とする光学製品。
- 多層膜の成膜装置であって、
プラズマを用いない通常蒸着を行う第１の成膜手段、プラズマを用いた蒸着を行う第２の成膜手段、および、予め入力された成膜プログラムに基づいて通常蒸着による成膜とプラズマを用いた蒸着による成膜とを切り換える制御装置を備え、
ＳｉＯ ２ からなる少なくとも１層の低屈折率層が該第１の成膜手段によって形成され、
ＴｉＯ ２ 、Ｔａ ２ Ｏ ５ 、ＺｎＳ、ＺｒＯ ２ 又はＡｌ ２ Ｏ ３ のいずれかからなる少なくとも１層の高屈折率層が該第２の成膜手段によって形成され、
基板上にｎ（ｎ≧２）層の該多層膜が積層される場合に、
該基板からみて最外層となる第ｎ層が該低屈折率層であるか該高屈折率層であるかにかかわらず、該第ｎ層が該プラズマを用いた蒸着により形成されること特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005247313A JP4804830B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 多層膜の成膜方法および成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005247313A JP4804830B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 多層膜の成膜方法および成膜装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007063574A JP2007063574A (ja) | 2007-03-15 |
| JP2007063574A5 true JP2007063574A5 (ja) | 2009-02-12 |
| JP4804830B2 JP4804830B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=37926108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005247313A Active JP4804830B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 多層膜の成膜方法および成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4804830B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011008070A (ja) * | 2009-06-26 | 2011-01-13 | Ricoh Co Ltd | マイクロミラー装置 |
| JP5552784B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2014-07-16 | 大日本印刷株式会社 | 多層膜反射鏡 |
| JP2013109004A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Daishinku Corp | 光学フィルタおよびその製造方法 |
| JP6392912B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2018-09-19 | 学校法人東海大学 | 成膜方法 |
| WO2021074953A1 (ja) * | 2019-10-15 | 2021-04-22 | 学校法人東海大学 | 成膜方法及び成膜装置 |
| JP7440399B2 (ja) * | 2020-12-21 | 2024-02-28 | グローブライド株式会社 | 釣具 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910901A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-20 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 光学積層物 |
| JPS62124268A (ja) * | 1985-11-25 | 1987-06-05 | Toshiba Corp | 五酸化タンタル膜の製造方法 |
| JP3184031B2 (ja) * | 1993-08-25 | 2001-07-09 | 富士通株式会社 | 光半導体素子装置及び光半導体装置の製造方法 |
| JPH08254612A (ja) * | 1995-03-15 | 1996-10-01 | Canon Inc | 多層膜光学部品およびその製造方法 |
| JPH10206630A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-08-07 | Asahi Optical Co Ltd | 多層膜光学フィルター及びその形成方法並びに光源 |
| JPH10186130A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Toppan Printing Co Ltd | 光干渉フィルターの製造方法 |
| JP2003277911A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Olympus Optical Co Ltd | 光学薄膜 |
| JP2005308968A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Olympus Corp | 光学多層膜及び光学素子 |
-
2005
- 2005-08-29 JP JP2005247313A patent/JP4804830B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI555713B (zh) | 可熱處理的四層抗反射塗層 | |
| JP4404568B2 (ja) | 赤外線カットフィルタおよびその製造方法 | |
| JP2007063574A5 (ja) | ||
| TW200515013A (en) | Optical multilayer-film filter, method for fabricating optical multilayer-film filter, optical low-pass filter, and electronic apparatus | |
| KR20010034105A (ko) | 반사 방지 중합체 구조물 및 이것의 제조 방법 | |
| TW201245810A (en) | Electronic devices having reduced susceptibility to newton rings, and/or methods of making the same | |
| JP2010086684A (ja) | 透明導電配線膜付き光学薄膜 | |
| JP2004525403A5 (ja) | ||
| JP2009128820A (ja) | 多層反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法 | |
| JP2016528550A (ja) | 多層吸収性ワイヤグリッド偏光子 | |
| JP2010196168A5 (ja) | ||
| JP5742151B2 (ja) | 機能性基板とその製造方法及び該機能性基板を含むタッチパネル | |
| JP2010069675A (ja) | 機能性フィルム、その製造方法、積層体および電子デバイス | |
| JP6319302B2 (ja) | 透明導電体及びその製造方法 | |
| JP5757775B2 (ja) | 光学多層膜バンドパスフィルタ | |
| JP5888124B2 (ja) | 多層膜フィルタ、及び多層膜フィルタの製造方法 | |
| JP2008089821A (ja) | 光学多層反射膜 | |
| JP2006337672A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2006259124A (ja) | コールドミラー | |
| JP2007233345A5 (ja) | ||
| JP4939059B2 (ja) | 光学多層膜およびその成膜方法 | |
| JP2015114599A5 (ja) | ||
| JP2007183379A5 (ja) | 光学多層膜およびその成膜方法 | |
| JP2008112032A (ja) | 光学フィルタ | |
| JP2006215081A (ja) | 光学物品及び製造方法 |