JP2007233345A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 透明基板上に形成され、屈折率の異なる２つの膜を交互に積層した交互層の、９層もしくは１１層構造からなるＮＤフィルタにおいて、前記交互層は、前記透明基板側から基板側反射光減衰多層膜、透過率調整多層膜の順に形成されており、該基板側反射光減衰多層膜の光吸収量は２０％以上３０％以下であり、表面反射率および裏面反射率がともに１％以下である
ことを特徴とするＮＤフィルタ。 - 透明基板上に形成され、屈折率の異なる２つの膜を交互に積層した交互層の、９層もしくは１１層構造からなるＮＤフィルタにおいて、前記交互層は、前記透明基板側から基板側反射光減衰多層膜、透過率調整多層膜、表面側反射光減衰多層膜の順に形成されており、該基板側反射光減衰多層膜及び表面側反射光減衰多層膜の光吸収量は２０％以上３０％以下であり、表面反射率および裏面反射率がともに１％以下であることを特徴とするＮＤフィルタ。
- 前記交互層は誘電膜と金属酸化膜からなっていることを特徴とする請求項１または２に記載のＮＤフィルタ。
- 前記誘電膜は、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２から選択された１つの膜であり、前記金属酸化膜は、ＴｉＯ、であることを特徴とする請求項３に記載のＮＤフィルタ。
- 前記基板側反射光減衰多層膜における誘電膜の膜厚は、前記透過率調整多層内層における誘電膜の膜厚よりも厚いことを特徴とする請求項３に記載のＮＤフィルタ。
- 可視全域（４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下）において、透過率が５％以上１５％以下であり、表面反射率および裏面反射率がともに１％以下であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載のＮＤフィルタ。
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