JP5098137B2 - 反射防止フィルム - Google Patents
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(a) 中屈折率透明膜/高屈折率層/低屈折率層の順で1層ずつ、合計3層に積層したもの
(b) 高屈折率層/低屈折率層の順で各層を交互に3層ずつ、合計6層に積層したもの
基板として石英ガラス(厚み1.0mm)を用い、この基板の表面に表1に示す構成の反射防止膜を反応性スパッタ法により形成した。
2 基板
3 低屈折率層
4 高屈折率層
5,5A 反射防止膜
Claims (6)
- 基板の表面に、高屈折率層と低屈折率層とをスパッタリングにより積層してなる反射防止膜が形成された反射防止フィルムにおいて、
該高屈折率層がTiとは異なる金属元素をドープしたTiO2膜よりなり、該金属元素がNbであることを特徴とする反射防止フィルム。 - 請求項1において、前記金属元素はTi100atm%に対して0.1〜30atm%ドープされていることを特徴とする反射防止フィルム。
- 請求項2において、前記金属元素はTi100atm%に対して0.3〜10atm%ドープされていることを特徴とする反射防止フィルム。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記基板の上に前記反射防止膜が形成された後、該反射防止膜にプラズマ処理、マイクロ波処理及びミリ波処理の少なくとも1つが施されることを特徴とする反射防止フィルム。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記反射防止膜は複数層の前記高屈折率層と複数層の前記低屈折率層とを交互に積層した多層膜であることを特徴とする反射防止フィルム。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記低屈折率層はSiO2、MgF2又はAl2O3よりなることを特徴とする反射防止フィルム。
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