JP2007059728A - 半田材検査装置、半田材検査装置の制御方法、半田材検査プログラム、半田材検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

半田材検査装置、半田材検査装置の制御方法、半田材検査プログラム、半田材検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Download PDF

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Abstract

【課題】 半田材検査装置の利用者の手間を軽減する。
【解決手段】 半田材検査装置は、試験用半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における試験用半田材の劣化度データとを対応付けた教師データを予め記憶した記憶部14と、制御部13とを備える。この制御部13は、検査対象半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得部31と、教師データを参照して、使用限界値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間T2と、上記劣化度データ取得部31に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間T1とを読み出す読出部33と、両印刷処理時間T1・T2の差を示す使用可能残時間TRを演算する演算部34と、使用可能残時間TRを利用者に通知する表示制御部35と、を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は、工場等の生産ラインにおいて使用される半田材を検査する半田材検査装置、当該半田材検査装置の制御方法、半田材検査プログラム、半田材検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
プリント基板の生産ラインにおいては、基板上に半田材を印刷する印刷工程、この印刷された半田材上に電子部品を搭載するマウント工程、基板に電子部品を半田付けするリフロー工程を行うことによって、基板上に電子部品を実装している。
また、上述した印刷工程において、上記半田材は、基板上に配置されたメタルマスク表面に載せられている。このメタルマスクは、配線パターンに対応した開口穴が形成されているものである。そして、上記半田材は、上記メタルマスク表面において、移動スキージによって押圧されることにより、回転移動する。さらに、この回転移動している半田材が、上記移動スキージの押圧力によって、上記開口穴から基板上に押し出される。これにより、基板上に半田材が印刷される(以下に示す特許文献1の段落〔0011〕参照)。
このメタルマスクは、同一の半田材を載せたまま、大量の基板に対して連続して使用される。したがって、上記半田材は、上記印刷を繰り返す度に、上記移動スキージによって繰り返し回転移動することとなる。ここで、この回転移動によって、上記半田材は、徐々に劣化していくことになるが、劣化した半田材は、プリント基板において不良をもたらす要因となる。
よって、メタルマスク上の半田材の劣化度をインライン分析し、半田材の劣化度が、使用限界値(半田材の使用耐久性が限界に到達していると考えられる値)を越えているか否かを分析し、越えている場合、メタルマスク上の半田材を交換する作業が非常に重要となる。また、メタルマスク上に半田材を供給する前に、供給対象となる半田材の劣化度を分析し、供給前の半田材の劣化度が上記限界値を超えていないか否かを分析する作業も重要である。
ここで、半田材の劣化度を評価する指標として、半田材の粘度、半田材の酸化度、半田材の還元力がある。この粘度、酸化度、還元力が上記指標となる理由について、以下、説
明する。
半田材は、劣化するに伴い、その粘度が高くなり、かつ、酸化が進行し、還元力が低下することが知られている。ここで、粘度の高い半田材を基板上に印刷すると、印刷工程後の基板において「カケ」「カスレ」等の不良が生じやすくなることが知られている。また、酸化の進行した半田材を基板上に印刷すると、リフロー工程後の基板において「ソルダーボール」「半田未溶」等の不良が生じやすくなることが知られている。さらに、還元力の低下した半田材を基板上に印刷すると、リフロー工程後の基板において「ぬれ性劣化」等の不良が生じやすくなることが知られている。
つまり、半田材の粘度、半田材の酸化度、半田材の還元力は、プリント基板の不良発生度と相関することとなる。したがって、上記の半田材の粘度、半田材の酸化度、半田材の還元力は、半田材の劣化度を評価する重要指標になり、粘度、酸化度、還元力のうちの少なくとも一項目を測定することによって半田材の劣化度を分析することが可能となる。
ここで、半田材の劣化度を分析できる方法としては、従来から様々なものがあり、例えば、特許文献1〜3において例示されている。
特許文献1では、スキージ表面を流動する半田材の流動速度に基づいて当該半田材の粘度を計測する方法が開示されている。特許文献2では、サンプリングした半田材を用いて滴定を行うことにより、半田材の酸度(半田材の酸化度、還元力)を計測する方法が開示されている。特許文献3では、紫外線光電子分光法によって、半田材の表面酸化率(半田材の表面の酸化度、還元力)を計測する方法が開示されている。
つまり、以上示した方法によって計測される粘度、酸度、表面酸化率等を、半田材の劣化度を示す劣化度データとすることによって、半田材の劣化度を分析することができる。
特開平5−99831号公報(公開日:1993年04月23日) 特公平8−20434号公報(公告日:1996年03月04日) 特開平10−82737号公報(公開日:1998年03月31日)
しかしながら、以上示した各特許文献の方法においては、印刷工程にて使用されている半田材の劣化度データを頻繁に計測し、半田材の劣化度データが使用限界値(目標値)を越えているか否かを頻繁にチェックし、越えている場合は早急に半田材を交換する必要があり、手間である。
これに対し、印刷工程において使用されている半田材の劣化度データが使用限界値(目標値)を越えるまでに要する印刷時間または印刷回数を予測することができれば、上記劣化度データを頻繁に計測する必要がなく、生産管理者(利用者)の手間を軽減できる。
本発明は、利用者の手間を軽減できる半田材検査装置、半田材検査装置の制御方法、半田材検査プログラム、半田材検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することを目的とする。
以上の目的を達成するために、本発明は、基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置であって、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間とを読み出す読出手段と、上記読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成する情報生成手段と、上記情報を利用者に通知する通知手段と、を含むことを特徴とする。
また、以上の目的を達成するために、本発明は、基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置の制御方法であって、上記半田材検査装置には、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、制御部とが含まれ、上記制御部が、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する工程と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間とを読み出す工程と、上記読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成する工程と、上記情報を利用者に通知する工程と、を実行することを特徴とする。
印刷装置で使用される半田材は、印刷装置においての印刷処理を重ねる度に劣化が進行する傾向にある。ここで、上記構成において、読出手段は、目標値として設定される劣化度データを示す第2半田材の印刷処理時間と、第1半田材の劣化度データと同一劣化度データを示す第2半田材の印刷処理時間とを読み出していることになる。そして、読み出された両印刷処理時間の差は、第1半田材と同一の劣化度データを示す第2半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始したものと考えた場合、この第2半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に該当する。したがって、この読み出された両印刷処理時間の差は、上記第1半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始する場合において、この第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間と想定することができる。
よって、読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づけば、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成することが可能である。なお、当該情報としては、上記両印刷処理時間の差、現在時刻に上記差を足した時刻が挙げられる。また、読み出された両印刷処理時間自体も上記情報とすることができる。これは、上記両印刷処理時間自体を利用者に通知する場合であっても、利用者は、上記両印刷処理時間さえわかれば、上記両印刷処理時間の差、現在時刻に上記差を足した時刻をも認識できるからである。
それゆえ、上記情報が通知される利用者からすれば、第1半田材を印刷装置にて使用する場合において、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりも利用者の手間を低減できるという効果を奏する。
また、上記構成によれば、第1半田材の保管時間、使用履歴等を必要とせずに、第1半田材を印刷装置に使用する場合において当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを予測でき、上記保管時間、使用履歴等を記録しておく手間を省略できる。
また、本発明の半田材検査装置において、上記情報生成手段は、上記読出手段に読み出された両印刷処理時間の差を示す時間差を上記情報として生成することが好ましい。
上記構成において、利用者に通知される上記時間差は、第1半田材と同一の劣化度データを示す第2半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始したものと考えた場合、この第2半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に該当する。それゆえ、上記時間差は、上記第1半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始する場合において、この第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間と想定することができる。
これにより、利用者からすれば、第1半田材を印刷装置にて使用する場合において、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりも利用者の手間を低減できるという効果を奏する。
また、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の周囲の温度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置周囲の温度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の温度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも短くなる。また、現時点における印刷装置周囲の温度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の温度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも長くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置の周囲の温度を示す温度を取得する温度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記温度が対応付けられて記録されており、温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第1補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される時間差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
また、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の周囲の湿度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置周囲の湿度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の湿度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも短くなる。また、現時点における印刷装置周囲の湿度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の湿度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも長くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置の周囲の湿度を示す湿度を取得する湿度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記湿度が対応付けられて記録されており、湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第2補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される時間差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
さらに、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の印刷速度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置の印刷速度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印刷速度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも短くなる。また、現時点における印刷装置の印刷速度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印刷速度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも長くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置における印刷速度を取得する速度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印刷速度が対応付けられて記録されており、速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第3補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される時間差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
なお、基板上に半田材を印刷する印刷装置においての印刷速度とは、印刷用マスク上における半田材の移動速度、または、当該半田材を移動させる印刷用スキージの移動速度を意味する。
また、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の印圧と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置の印圧が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印圧よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも短くなる。また、現時点における印刷装置の印圧が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印圧よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間は、上記時間差よりも長くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置における印圧を取得する印圧取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印圧が対応付けられて記録されており、印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第4補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される時間差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
なお、基板上に半田材を印刷する印刷装置においての印圧とは、半田材に対する印刷用スキージの押圧力を意味する。
以上の目的を達成するために、本発明は、基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置であって、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷回数と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷回数とを読み出す読出手段と、上記読出手段に読み出された両印刷回数に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷装置の印刷回数または上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示した情報を生成する情報生成手段と、上記情報を利用者に通知する通知手段と、を含むことを特徴とする。
また、以上の目的を達成するために、本発明は、基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置の制御方法であって、上記半田材検査装置には、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、制御部とが含まれ、上記制御部が、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する工程と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷回数と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷回数とを読み出す工程と、上記読出手段に読み出された両印刷回数に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷装置の印刷回数または上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示した情報を生成する工程と、上記情報を利用者に通知する工程と、を実行することを特徴とする。
印刷装置で使用される半田材は、印刷装置においての印刷処理を重ねる度に劣化が進行する傾向にある。ここで、上記構成において、読出手段は、目標値として設定される劣化度データを示す第2半田材の印刷回数と、第1半田材の劣化度データと同一劣化度データを示す第2半田材の印刷回数とを読み出していることになる。そして、読み出された両印刷回数の差は、第1半田材と同一の劣化度データを示す第2半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始したものと考えた場合、この第2半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数に該当する。したがって、この読み出された両印刷回数の差は、上記第1半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始する場合において、この第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数と想定することができる。
よって、読出手段に読み出された両印刷回数に基づけば、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷回数または上記目標値に達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示す情報を生成することが可能である。なお、当該情報としては、上記両印刷回数の差、現在の印刷装置の印刷処理開始からの印刷回数に上記差を足した印刷回数が挙げられる。また、読み出された両印刷回数自体も上記情報とすることができる。これは、上記両印刷回数自体を利用者に通知する場合であっても、利用者は、上記両印刷回数さえわかれば、上記両印刷回数の差、現在の印刷装置の印刷処理開始からの印刷回数に上記差を足した印刷回数をも認識できるからである。
それゆえ、上記情報が通知される利用者からすれば、第1半田材を印刷装置にて使用する場合において、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりも利用者の手間を低減できるという効果を奏する。
また、上記構成によれば、第1半田材の保管時間、使用履歴等を必要とせずに、第1半田材を印刷装置に使用する場合において当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを予測でき、上記保管時間、使用履歴等を記録しておく手間を省略できる。
なお、上記した印刷回数とは、印刷装置における印刷処理量を示す尺度であり、例えば、(a)基板1枚に対して半田材の印刷を開始してから完了するまでの処理を1回とした場合における印刷回数、(b)一定枚数の基板に対して半田材の印刷を開始してから完了するまでの処理を1回とした場合における印刷回数、(c)印刷用スキージを所定回数移動させる処理を1回とした場合における印刷回数、等を意味する。
また、本発明の半田材検査装置において、上記情報生成手段は、上記読出手段に読み出された両印刷回数の差を示す回数差を上記情報として生成することが好ましい。
上記構成において、利用者に通知される上記回数差は、第1半田材と同一の劣化度データを示す第2半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始したものと考えた場合、この第2半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要した印刷回数に該当する。それゆえ、上記回数差は、上記第1半田材を用いて印刷装置にて印刷処理を開始する場合において、この第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数と想定することができる。
これにより、利用者からすれば、第1半田材を印刷装置にて使用する場合において、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりもオペレータの手間を低減できるという効果を奏する。
また、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の周囲の温度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置周囲の温度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の温度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも少なくなる。また、現時点における印刷装置周囲の温度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の温度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも多くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置の周囲の温度を示す温度を取得する温度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記温度が対応付けられて記録されており、温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第1補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される回数差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数に近づけることができる。
また、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の周囲の湿度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置周囲の湿度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の湿度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも少なくなる。また、現時点における印刷装置周囲の湿度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置周囲の湿度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも多くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置の周囲の湿度を示す湿度を取得する湿度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記湿度が対応付けられて記録されており、湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第2補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される回数差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
さらに、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の印刷速度と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置の印刷速度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印刷速度よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも短くなる。また、現時点における印刷装置の印刷速度が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印刷速度よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも多くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置における印刷速度を取得する速度取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印刷速度が対応付けられて記録されており、速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第3補正手段を備えていることを特徴とすることが好ましい。これにより、算出される時間差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷処理時間に近づけることができる。
さらに、印刷装置において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置の印圧と正の相関関係にある。それゆえ、現時点における印刷装置の印圧が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印圧よりも高い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、当該第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも少なくなる。また、現時点における印刷装置の印圧が、対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の印刷装置の印圧よりも低い場合、第1半田材を用いて現時点から印刷処理を実行すると、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数は、上記回数差よりも多くなる。
そこで、本発明の半田材検査装置においては、上記構成に加えて、上記印刷装置における印圧を取得する印圧取得手段を備え、上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印圧が対応付けられて記録されており、印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第4補正手段を備えていることが好ましい。これにより、算出される回数差を、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するまでに要する印刷回数に近づけることができる。
なお、上記各手段は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、上記各手段をコンピュータにて実現させる半田材検査プログラム、および、該半田材検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明の範疇に入る。
以上のように、本発明の半田材検査装置は、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間とを読み出す読出手段と、上記読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成する情報生成手段と、上記情報を利用者に通知する通知手段と、を含むことを特徴とする。
また、本発明の半田材検査装置は、第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷回数と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷回数とを読み出す読出手段と、上記読出手段に読み出された両印刷回数に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷装置の印刷回数または上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示した情報を生成する情報生成手段と、上記情報を利用者に通知する通知手段と、を含むことを特徴とする。
これにより、利用者からすれば、第1半田材を印刷装置にて使用する場合において、第1半田材の劣化度データが目標値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりも利用者の手間を低減できるという効果を奏する。
本発明の一実施形態の半田材検査装置について図に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態における半田材検査装置は、赤外線を利用して、半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する構成を含んでいるが、この構成は特願2005−046284号に記載されている技術を応用することによって実現することができる。以下では、本実施形態の半田材検査装置を説明する前に、まず、赤外線を利用して上記劣化度データを取得できる原理について詳細に説明する。
〔劣化度データについて〕
半田材が使用され、外気にさらされると、半田材の含有金属酸化物が増加して半田材の酸化度が高くなり、当該半田材の劣化が進行する。また、半田材が使用され、外気にさらされると、半田材の含有カルボン酸がカルボン酸塩に変化することによって半田材の粘度が高くなると共に還元力が減少し、当該半田材の劣化が進行する。つまり、半田材においては、その劣化が進行するにしたがって、含有金属酸化物および含有カルボン酸塩が増加し、含有カルボン酸が減少する。
なお、半田材の主成分は錫または鉛であり、上記金属酸化物としては二酸化錫または二酸化鉛が挙げられる。また、半田材に含まれるカルボン酸の一例としては、C1929COOH(ロジン)が挙げられる。
ここで、半田材に含まれる金属酸化物、カルボン酸塩、カルボン酸は、各々において特定されている特定波数帯域の赤外線を吸収することが知られている。具体的に、半田材に含まれる金属酸化物においては、600cm−1付近の赤外線を吸収することによって酸素-金属結合の振動が生じる。また、半田材に含まれるカルボン酸塩においては、1300cm−1付近の赤外線を吸収することによって対称伸縮振動が生じ、1500cm−1付近の赤外線を吸収することによって逆対称伸縮振動が生じる。さらに、半田材に含まれるカルボン酸においては、1700cm−1付近の赤外線を吸収することによって炭素−酸素二重結合の伸縮振動が生じる。
したがって、半田材の劣化が進行すれば、半田材の含有金属酸化物が増加し、当該半田材において600cm−1付近の赤外線吸光度が高くなる。また、半田材の劣化が進行すれば、半田材の含有カルボン酸塩が増加し、当該半田材において1300cm−1および1600cm−1付近の赤外線吸光度が高くなる。さらに、半田材の劣化が進行すれば、半田材の含有カルボン酸が減少し、当該半田材において1700cm−1付近の赤外線吸光度が低くなる。
つまり、半田材の劣化度は、当該半田材における600cm−1、1300cm−1、1600cm−1付近の赤外線吸光度と正の相関関係にあり、1700cm−1付近の赤外線吸光度と負の相関関係にある。例えば、新品の半田材と、劣化した当該半田材とについて赤外線吸光度を測定した場合、図2に示すように、600cm−1付近(参照符a)、1300cm−1付近(参照符b)、1600cm−1付近(参照符c)では、劣化した半田材の赤外線吸光度は、新品の半田材の赤外線吸光度よりも高くなる。また、1700cm−1付近(参照符d)では、劣化した半田材の赤外線吸光度は、新品の半田材の赤外線吸光度よりも低くなる。
したがって、半田材において、特定波数(600cm−1、1300cm−1、1600cm−1、1700cm−1のうちのいずれかの波数)の赤外線吸光度を測定し、測定した赤外線吸光度を上記劣化度データ(半田材の劣化度を示したデータ)とすることによって、当該半田材の劣化具合を分析することが可能になる。なお、600cm−1、1300cm−1、1600cm−1の赤外線吸光度を上記劣化度データとする場合、劣化度データの値が大きいほど半田材の劣化度が高く、劣化度データの値が小さいほど半田材の劣化度が低くなる。また、1700cm−1の赤外線吸光度を上記劣化度データとする場合、劣化度データの値が大きいほど半田材の劣化度が低く、劣化度データの値が小さいほど半田材の劣化度が高くなる。
なお、半田材における特定波数の赤外線吸光度は、一定強度で赤外線を半田材に照射し、当該半田材に照射される特定波数の赤外線の強度と、当該半田材から反射する特定波数の赤外線の強度とを検出し、以下の式(1)によって演算できる。
A=-log(B/BL)・・・(1)
A→半田材における特定波数の赤外線吸光度
B→半田材から反射する特定波数の赤外線強度
BL→半田材に照射する特定波数の赤外線強度(ブランク値)
また、上記赤外線吸光度までを演算しなくても、一定強度で赤外線を半田材に照射し続け、当該半田材から反射する特定波数の赤外線の強度を検出し、この強度を上記劣化度データとすることも可能である。これは、半田材に対して一定強度の赤外線を照射し続けた場合、半田材の赤外線吸光度と、半田材から反射する赤外線の強度とは負の相関関係にあるからである。
つまり、半田材から反射する600cm−1、1300cm−1、1600cm−1の赤外線強度を上記劣化度データとする場合、半田材の劣化度が低くなるほど劣化度データの値が大きくなり、半田材の劣化度が高くなるほど劣化度データの値が小さくなる。また、半田材から反射する1700cm−1の赤外線強度を上記劣化度データとする場合、半田材の劣化度が低くなるほど劣化度データの値が小さくなり、半田材の劣化度が高くなるほど劣化度データの値が大きくなる。
〔半田材検査装置の全体構成〕
つぎに、図3に基づいて、本実施形態の半田材検査装置の構成について詳細に説明する。図3は、本実施形態の半田材検査装置の概略構成を示したブロック図である。
図3に示す半田材検査装置100は、プリント基板の生産ラインに含まれる印刷装置200にて使用されている半田材をインライン方式で検査する装置である。ここで、印刷装置200は、基板上に半田材を印刷するための装置であって、基板上に配置されたメタルマスク表面に載せられている半田材をスキージによって押圧することによって回転移動させ、このスキージの押圧力によって、このメタルマスクの開口穴から基板上に半田材を押し出し、基板上に半田材を印刷するものである。
図3に示すように、半田材検査装置100は、光源10、バンドパスフィルタ11、光電変換器12、制御部13、記憶部14、表示部15、入力部16を備えている。なお、図3においては、半田材検査装置100以外に印刷装置200が示されており、この印刷装置200は、印刷対象となる基板21、基板21上に配置されているメタルマスク22、メタルマスク22上に配置されている半田材23、半田材23を押圧することによって半田材23を回転移動させるスキージ24を含む構成である。
光源10は、メタルマスク22上の半田材23の配置位置に向けて一定強度の光を連続して照射することの可能なランプであり、例えば、セラミックス光源が使用される。
バンドパスフィルタ11は、光源10から射出される光の光路上に配置されている光学フィルタである。このバンドパスフィルタ11は、特定波数の赤外線のみを透過するものである。なお、特定波数は、上記した600cm−1、1300cm−1、1600cm−1、1700cm−1のうちのいずれの波数であってもよいが、ここでは、1700cm−1の波数であるものとする。
つまり、光源10、バンドパスフィルタ11によって、半田材23には1700cm−1の赤外線が照射され、これによって、半田材23から1700cm−1の赤外線が反射することになる。
光電変換器12は、半田材23から反射する赤外線の光軸上に位置するように設けられており、半田材23から反射する赤外線を入射し、入射した赤外線をアナログ信号に変換するものである。光電変換器12の例としては、例えば、MCT(光導電素子、HgCdTe)を用いたデバイスが挙げられる。
また、光電変換器12によって変換されたアナログ信号は、図示しないA/Dコンバータに伝達されることによってデジタル信号に変換され、このデジタル信号が制御部13へ伝達される。このデジタル信号は、光電変換器12に入射する赤外線の強度、つまり半田材23から反射する赤外線の強度を示したデータとなる。
制御部13は、半田材検査装置100の動作を統括的に制御し、かつ、上記デジタル信号を処理するものである。制御部13は、例えばPC(Personal Computer)ベースのコンピュータによって構成される。そして、上記制御は、制御プログラムをコンピュータに実行させることによって行われる。このプログラムは、例えばCD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)などのリムーバブルメディアに記録されているものを読み込んで使用する形態であってもよいし、ハードディスクなどにインストールされたものを読み込んで使用する形態であってもよい。また、図示しない外部I/Fを介して上記プログラムをダウンロードしてハードディスクなどにインストールして実行する形態なども考えられる。なお、制御部13における各ブロックの詳細については後述する。
記憶部14は、上記したハードディスクなどの不揮発性の記憶装置によって構成される。この記憶部14に記憶される内容としては、上記した制御プログラム、OS(operating system)プログラム、その他各種プログラム、制御部13によって作成、処理されるデータがある。
表示部15は、CRT(陰極線管)、LCD(液晶表示素子)、PDP(プラズマディスプレィ)、有機EL(electroluminescence)ディスプレィ、無機ELディスプレィなどの表示デバイスによって構成されている。表示部15は、制御部13から受信した表示データに基づいて、文字や画像などの各種の情報を表示出力する。
入力部16は、半田材検査装置100のオペレータ(利用者)から各種の入力を受け付けるものであり、入力用ボタン、キーボード、マウスなどのポインティングデバイス、その他の入力デバイスによって構成されている。入力部16は、オペレータから入力された情報を入力データに変換して制御部13に送信する。
つぎに、制御部13の詳細について図1に基づいて説明する。図1は、制御部13の構成の詳細を示した機能ブロック図である。制御部13は、同図に示すように、劣化度データ取得部31、教師データ作成部32、読出部33、演算部34、表示制御部35、を含んでいる。
なお、制御部13には学習モードと検査モードとがあり、入力部16から入力される利用者の指示に応じていずれかのモードで処理を実行するようになっている。ここで、学習モードとは、印刷装置200において半田材23を用いて印刷処理を実行した場合の印刷処理時間と、当該半田材23の劣化度を示す劣化度データとの関係を示した教師データ(図4参照)を作成して、記憶部14に記憶させる処理を行うモードであって、劣化度データ取得部31、教師データ作成部32、表示制御部35によって実現される。また、検査モードとは、検査対象となる半田材(以下、「検査対象半田材」と称する)23の使用可能残時間を検査するモードであり、劣化度データ取得部31、読出部33、演算部34、表示制御部35によって実現される。なお、上記した「使用可能残時間」については後で詳細に説明する。
〔学習モードについて〕
以下、学習モードについて説明する。まず、利用者は、教師データを作成するために試験的に使用される半田材(以下、「試験用半田材」と称する)23を印刷装置200に投入して、印刷装置200に印刷処理を開始させる。そして、利用者は、学習モードの開始指示を入力部16から入力する。そして、この開始指示を受けた制御部13は、学習モードに移行し、劣化度データ取得部31、教師データ作成部32、表示制御部35の各ブロックが以下に説明する各処理を実行することになる。
劣化度データ取得部31は、学習モードにおいて、試験用半田材(第2半田材)23の劣化度を示した劣化度データを連続的に取得して、当該劣化度データを教師データ作成部32へ伝達する。より具体的に表現すると、劣化度データ取得部31は、図示しないA/Dコンバータを介して光電変換器12から伝達されてきたデジタル信号に基づき、光電変換器12に入射される赤外線の強度(つまり、試験用半田材23から反射する1700cm−1の赤外線の強度)を検出し、検出した強度を劣化度データとして教師データ作成部32へ伝達する。
なお、劣化度データ取得部31において取得される劣化度データは、試験用半田材23から反射する1700cm−1の赤外線の強度であるため、当該劣化度データの値が大きいほど試験用半田材23の劣化度が高く、当該劣化度データの値が小さいほど試験用半田材23の劣化度が低くなる。
教師データ作成部32は、学習モードにおいて、劣化度データ取得部31から伝達されてくる劣化度データに基づいて、印刷装置200において試験用半田材23を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記使用時間における試験用半田材23の劣化度データとを対応付けた教師データ(対応付データ)を作成し、当該教師データを記憶部14に書き込む。
なお、本明細書において、印刷処理時間とは、印刷装置200の連続駆動時間を意味するものであってもよいし、連続駆動中の印刷装置200における実際の印刷処理時間の合計を意味するものであってもよいし、連続駆動中の印刷装置200におけるスキージ24の移動時間の合計であってもよい。
図4のグラフは、上記教師データの一例を示したものであり、横軸は上記印刷処理時間を示し、縦軸は上記劣化度データを示す。つまり、教師データとは、試験用半田材23を使用して印刷処理を行った場合において、試験用半田材23の使用を開始してからの印刷処理時間と、試験用半田材23の劣化度データとを連続的に取得し、この印刷処理時間と劣化度データとの対応関係を連続的に記録したものである。
表示制御部35は、上記学習モードにおいて、教師データ作成部32によって記憶部14に書き込まれている教師データを読み出し、この教師データをリアルタイムで表示部15に表示する。つまり、上記学習モードにおいては、作成中の教師データが表示部15に表示されており、利用者は、作成中の教師データをリアルタイムで確認することができる。
つぎに、上記学習モードにおける処理の流れを説明する。まず、利用者が、試験用半田材23を印刷装置200に投入して、印刷装置200に印刷処理を開始させる。そして、利用者が、学習モードの開始指示を入力部16から入力する。これにより、制御部13は学習モードに移行し、劣化度データ取得部31は、印刷装置200に投入されている試験用半田材23の劣化度データの取得を開始し、取得した劣化度データを教師データ作成部32へ伝達し続ける。そして、教師データ作成部32は、学習モードに移行した時点からの経過時間を計測し、この経過時間を上記印刷処理時間として、当該印刷処理時間と伝達されてきた劣化度データとを対応付けた教師データ(グラフ)を記憶部14に書き込んでいく(図4参照)。ここで、作成中の教師データは、リアルタイムで表示部15に表示されている。さらに、図4に示すように、印刷装置200において印刷処理を続けていくと、印刷装置200に投入されている試験用半田材23の劣化が進行する。そして、利用者は、表示部15を介して、現時点における試験用半田材23の劣化度データの値が使用限界値に到達したことを確認すると、学習モードの終了指示を入力部16から入力する。これにより、制御部13は学習モードを終了し、教師データ作成部32は、教師データの作成を終了すると共に、上記終了指示が入力された時点の劣化度データの値を使用限界値として教師データ上に記録する。このようにして、図4に示す教師データが作成され、記憶部14に記録されることとなる。
なお、上記使用限界値(目標値)とは、半田材の使用耐久性が限界に到達していると考えられる劣化度データの値(例えば、半田材の粘度の限界値に対応する劣化度データの値)であり、利用者によって、適宜、設定・選択され得る値である。
また、以上示した学習モードによれば、利用者は、劣化度データの値を確認してから学習モードの終了指示を入力していることになるが、印刷装置200に投入されている試験用半田材23を目視し、当該試験用半田材23の使用耐久性が限界に達していると目視で判断される時点で、学習モードの終了指示を制御部13へ入力するようにしてもよい。このようにしても、教師データ作成部32は、上記終了指示が入力された時点の劣化度データの値を使用限界値として教師データ上に記録する。
〔検査モードについて〕
つぎに、検査モードについて説明する。まず、利用者は、検査対象半田材(第1半田材)23を印刷装置200に投入して、印刷装置200に印刷処理を開始させる。その後、利用者は、任意の時点において、検査指示を入力部16から入力する。これにより、制御部13は、検査モードに移行し、劣化度データ取得部31、読出部33、演算部34、表示制御部35の各ブロックが以下に説明する各処理を実行することになる。
劣化度データ取得部(劣化度データ取得手段)31は、利用者による検査指示が入力部16を介して制御部13に入力されると、この入力時点における検査対象半田材23の劣化度を示した劣化度データを取得して、当該劣化度データを読出部33へ伝達する。なお、劣化度データ取得部31は、図示しないA/Dコンバータを介して光電変換器12から伝達されてきたデジタル信号に基づき、光電変換器12に入射される赤外線の強度(つまり、印刷装置200に投入されている検査対象半田材23から反射する1700cm−1の赤外線の強度)を検出し、検出した強度を劣化度データとしている。
なお、以下では、検査モードにおいて、劣化度データ取得部31によって取得された検査対象半田材23の劣化度データの値を検査値aとする。
読出部(読出手段)33は、検査モードにおいて、劣化度データ取得部31から劣化度データが伝達されてくると、この劣化度データに対応付けられている印刷処理時間T1と、使用限界値に対応付けられている印刷処理時間T2とを、記憶部14に記憶されている教師データから読み出し、読み出した両印刷処理時間T1・T2を演算部34に伝達する。
つまり、図5に示すように、教師データ上において、上記検査値aと同値の劣化度データに対応する印刷処理時間T1と、使用限界値に対応する印刷処理時間T2とが検索され、検索された両印刷処理時間T1・T2が読み出される。
演算部(情報生成手段)34は、読出部33から印刷処理時間T1・T2が伝達されると、以下の式(2)を用いて使用可能残時間(時間差)TRを演算し、この使用可能残時間TRを表示制御部35に伝達するブロックである。
使用可能残時間TR=印刷処理時間T2−印刷処理時間T1・・・・・・(2)
表示制御部(通知手段)35は、演算部34から使用可能残時間TRが伝達されると、この使用可能残時間TRを表示部15に表示する制御を行う。
ここで、印刷処理時間T2と印刷処理時間T1との差は、図5の教師データに示すように、試験用半田材23を印刷装置200において連続使用した場合において、劣化度データの値が検査値aから使用限界値になるまでに要した時間に該当することとなる。それゆえ、検査値aの劣化度データを示す検査対象半田材23を印刷装置200にて連続使用する場合、印刷処理時間T2と印刷処理時間T1との差である使用可能残時間TRが経過すれば、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に近くなるものと予測することができる。つまり、使用可能残時間TRは、印刷装置200にて検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行する場合において検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでの時間を示した情報であると考えることができる。
それゆえ、表示部15に表示される使用可能残時間TRを確認したオペレータからすれば、印刷装置200に現在投入されている検査対象半田材23について、このまま印刷工程を継続した場合、あとどれくらいの時間で検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するかを予測することができる。
つぎに、検査モードにおける制御部13の処理の流れについて、図8のフローチャートに基づいて説明する。
まず、利用者は、検査対象半田材23を印刷装置200に投入して、印刷装置200に印刷処理を開始させる。その後、利用者は、任意の時点において、検査指示を入力部16から制御部13へ入力する。これにより、制御部13は、検査モードに移行する。
劣化度データ取得部31は、上記検査指示の入力を検知すると、検査対象半田材23の劣化度を示した劣化度データを取得する(S1)。なお、ここで取得される劣化度データの値は、検査値aである。
そして、読出部33は、劣化度データ取得部31によって取得された検査値aの劣化度データを受け付け、検査値aの劣化度データに対応付けられている印刷処理時間T1と、使用限界値に対応付けられている印刷処理時間T2とを、記憶部14に記憶されている教師データから読み出す(S2)。つぎに、演算部34は、読出部33によって読み出された印刷処理時間T1・T2を受け付け、両印刷処理時間T1・T2に基づいて使用可能残時間TRを算出する(S3)。さらに、表示制御部35は、演算部34によって演算された使用可能残時間TRを受け付け、この使用可能残時間を表示部15に表示する(S4)。これにより、半田材検査装置100のオペレータは、表示部15を介して、検査対象半田材23の使用可能残時間TRを確認することができる。
以上示した半田材検査装置100によれば、表示部15を介してオペレータに通知される使用可能残時間TRは、検査値aの劣化度データを示す検査対象半田材23を印刷装置200にて使用する場合において、検査対象半田材23の劣化度データが検査値aから使用限界値に到達するまでに要する時間と考えることができる(図5参照)。それゆえ、オペレータからすれば、検査対象半田材23を印刷装置200に使用する場合において、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するタイミングを事前に予測でき、このタイミングを知るために半田材の劣化度を頻繁に計測する必要があった従来構成よりもオペレータの手間を低減できるという効果を奏する。
また、以上示した半田材検査装置100によれば、検査対象半田材23のこれまでの保管時間、使用履歴等を必要とせずに、検査対象半田材23の劣化度データが検査値aから使用限界値に到達するまでに要する印刷処理時間を予測でき、上記保管時間、使用履歴等を記録しておく手間を省略できる。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、上述した実施形態において開示された各技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
例えば、以上示した演算部34においては、上記式(2)によって使用可能残時間TRを演算しているが、使用可能残時間TRは印刷処理時間T1と印刷処理時間T2との差を示す値であれば、オペレータからすれば半田材の劣化度が使用限界値になるまでの所要使用時間を推定でき、式(2)によって演算される値に限定されるものではない。
使用可能残時間TR=印刷処理時間T1−印刷処理時間T2・・・・・・(3)
使用可能残時間TR=|印刷処理時間T2−印刷処理時間T1|・・・・・・(4)
例えば、以上示した(3)、(4)によって使用可能残時間TRを算出してもよい。
また、以上示した実施形態によれば、表示部15を介してオペレータに使用可能残時間TRが通知されることとなるが、使用可能残時間TRではなく、式(5)に示す使用限界時刻をオペレータに通知する形態であってもよい。
使用限界時刻=現在時刻+使用可能残時間TR・・・・・・(5)
このような使用限界時刻をオペレータに通知しても、オペレータからすれば、検査対象半田材23を印刷装置200にて使用する場合において、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するタイミングを事前に予測できる。
なお、使用限界時刻を利用者に通知する形態の場合、演算部36は、使用可能残時間TRを演算するだけでなく、式(5)の演算を行うことによって使用限界時刻を求め、求めた使用限界時刻を表示制御部35に伝達する。そして、表示制御部36は、伝達されてきた使用限界時刻を表示部15に表示することとなる。
また、上記使用可能残時間TRや上記使用限界時刻をオペレータに通知するのではなく、読出部33に読み出された印刷処理時間T1・T2自体をオペレータに通知する形態であってもよい。これは、オペレータからすれば、両印刷処理時間T1・T2自体を利用者に通知する場合であっても、利用者は、上記両印刷処理時間T1・T2さえわかれば(図5参照)、上記両印刷処理時間の差、現在時刻に上記差を足した時刻をも認識できるからである。つまり、印刷処理時間T1・T2自体も、印刷装置200にて検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行する場合において検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでの時間を示した情報と考えることができる。
なお、読出部33に読み出された印刷処理時間T1・T2自体をオペレータに通知する形態の場合、演算部34は、読出部33に読み出された印刷処理時間T1・T2をそのまま表示制御部35に伝達し、表示制御部35は、印刷処理時間T1・T2を表示部15に表示する。
また、図4においては、教師データにおける劣化度データの最高値が使用限界値となっているが、特に最高値に限定されるものではない。例えば、入力部16から入力される利用者の指示に応じて、上記使用限界値を適宜調整することによって、図4に示す教師データを図9に示すような教師データに変更することも可能である。
また、図4に示す教師データにおいては、使用限界値を超える劣化度データが記録されていないため、使用限界値を超える劣化度データが読出部33に伝達された場合、読出部33はこの劣化度データに対応付けられている使用時間T1を読み出せず、演算部34は使用可能残時間TRを演算しないこととなる。それゆえ、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値を超えている場合、使用可能残時間TRが演算されて表示部15に表示されるという事はない。また、使用限界値を超える劣化度データが読出部33に伝達された場合、表示部15を介して警告表示を行う手段を制御部13に設ければ、オペレータからすれば、検査対象半田材23の劣化度が既に使用限界値を超えていることを知ることが可能になる。
さらに、図9に示す教師データにおいては、使用限界値を超える劣化度データが記録されているため、使用限界値を超える劣化度データが読出部33に伝達された場合、読出部33はこの劣化度データに対応付けられている使用時間T1を読み出し、演算部34は使用可能残時間TRを演算してしまい、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値を超えているにも拘わらず、使用可能残時間TRが表示部15に表示されるという不都合が生じる。そこで、この図9に示す教師データを用いる場合、使用限界値を超える劣化度データが読出部33に伝達されると、使用可能残時間TRの演算を禁止し、表示部15を介して警告表示を行う手段を制御部13に設ければよい。この場合、上記不都合を回避できると共に、検査対象半田材23の劣化度が既に使用限界値を超えていることをオペレータに通知することができる。
また、以上示した教師データは、印刷装置200において試験用半田材23を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における試験用半田材23の劣化度データとの対応関係を示したものであるが、上記印刷処理時間に限定されるものではない。例えば、印刷装置200において試験用半田材23を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における試験用半田材23の劣化度データとを対応付けた教師データを記憶部14に記憶してもよい。この場合、図4における教師データの横軸は印刷処理時間ではなく印刷回数となり、読出部33は、劣化度データ取得部31から検査値aの劣化度データが伝達されてくると、この検査値aの劣化度データに対応付けられている印刷回数S1と、使用限界値に対応付けられている印刷回数S2とを、当該教師データから読み出し、読み出した両印刷回数S1・S2を演算部34に伝達する。そして、演算部34は、読出部33から印刷回数S1・S2が伝達されると、両印刷回数S1・S2の差である回数差を演算し、この回数差を残印刷可能回数として表示制御部35に伝達し、表示制御部35は、残印刷可能回数を表示部15に表示する。ここで、上記残印刷可能回数は、試験用半田材23を印刷装置200において連続使用した場合において、劣化度データの値が検査値aから使用限界値になるまでに要する印刷回数に該当することとなる。それゆえ、検査値aの劣化度データを示す検査対象半田材23を印刷装置200にて連続使用する場合において、上記残印刷可能回数だけ印刷を繰り返せば、検査対象半田材23の劣化度が使用限界値に近くなるものと予測することができる。それゆえ、この残印刷可能回数を確認したオペレータからすれば、印刷装置200に現在投入されている検査対象半田材23について、このまま印刷工程を継続した場合、あとどれくらいの印刷回数で検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するかを予測することができる。
なお、上記した印刷回数とは、印刷装置における印刷処理量を示す尺度であり、例えば、(a)基板1枚に対して半田材の印刷を開始してから完了するまでの処理を1回とした場合における印刷回数、(b)一定枚数の基板に対して半田材の印刷を開始してから完了するまでの処理を1回とした場合における印刷回数、(c)印刷用スキージを所定回数移動させる処理を1回とした場合における印刷回数、等を意味する。
また、オペレータに残印刷可能回数が通知されるのではなく、現在の印刷装置の印刷処理開始からの印刷回数に残印刷可能回数を足した印刷回数をオペレータに通知する形態であってもよい。この場合、通知される印刷回数は、検査対象半田材23の劣化度データが上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数になる。なお、この形態の場合、演算部34は、現在の印刷装置の印刷処理開始からの印刷回数を印刷装置200から取得し、この取得した印刷回数に残印刷可能回数を加算する。
また、読み出された両印刷回数S1・S2自体をオペレータに通知する形態であってもよい。オペレータからすれば、上記両印刷回数S1・S2さえわかれば、上記残印刷可能回数をも認識できるからである。
また、半田材の劣化の進行速度は、以下に示す表1に示すように、印刷装置200の周囲の温度、湿度、印刷装置200の印刷速度、印圧に応じて変化する。ここで、印刷速度とは、メタルマスク22上における半田材23の移動速度、または、当該半田材23を移動させるスキージ24の移動速度を意味する。また、印圧とは、半田材23に対するスキージ24の押圧力を意味する。
Figure 2007059728
ここで、表1に示すように、印刷装置200において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置200の周囲の温度・湿度と正の相関関係にある。それゆえ、検査モード時における印刷装置200周囲の温度または湿度が、教師データ作成時の印刷装置200周囲の温度または湿度よりも高い場合、検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行すると、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間は、演算部34によって算出される使用可能残時間TRよりも短くなる。また、検査モード時における印刷装置200周囲の温度または湿度が、教師データ作成時の印刷装置200周囲の温度または湿度よりも低い場合、検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行すると、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間は、演算部34によって算出される使用可能残時間TRよりも長くなる。
そこで、図6に示すように、制御部13においては、印刷装置200に設けられている温度・湿度計測器から、印刷装置200の周囲の温度・湿度を取得する温度・湿度取得部50を設け、演算部34によって演算された使用可能残時間TRを補正して、補正した使用可能残時間TRを表示制御部35に伝達する補正部(第1補正手段、第2補正手段)36を設けるようにする。
この図6の構成において、教師データ作成部32は、学習モード時において温度・湿度取得部50によって取得された温度・湿度を教師データに対応付けて記憶部14に記録する。また、補正部36は、検査モード時において、温度・湿度取得部50によって取得された温度・湿度を入力する。そして、補正部36は、検査モード時において取得された温度が教師データに記録されている温度よりも高い場合、上記使用可能残時間TRを短縮するように補正し、検査モード時において取得された温度が教師データに記録されている温度よりも低い場合、上記使用可能残時間TRを延ばすように補正する。また、補正部36は、検査モード時において取得された湿度が教師データに記録されている湿度よりも高い場合、上記使用可能残時間TRを短縮するように補正し、検査モード時において取得された湿度が教師データに記録されている湿度よりも低い場合、上記使用可能残時間TRを延ばすように補正する。このようにすれば、検査モード時から検査対象半田材23を用いて印刷処理を継続する場合、最終的に出力される使用可能残時間TRを、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間に近づけることができる。
また、印刷装置200において試験用半田材23を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における試験用半田材23の劣化度データとを対応付けた教師データが記憶部14に記憶されている場合、補正部36は、以下のようにして補正を行う。補正部36は、検査モード時において取得された温度が教師データに記録されている温度よりも高い場合、演算部34によって演算された残印刷回数を少なくするように補正し、検査モード時において取得された温度が教師データに記録されている温度よりも低い場合、上記残印刷回数を多くするように補正する。また、補正部36は、検査モード時において取得された湿度が教師データに記録されている湿度よりも高い場合、演算部34によって演算された残印刷回数を少なくするように補正し、検査モード時において取得された湿度が教師データに記録されている湿度よりも低い場合、上記残印刷回数を多くするように補正する。このようにすれば、検査モード時から検査対象半田材23を用いて印刷処理を継続する場合、最終的に出力される残印刷回数を、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷回数に近づけることができる。
さらに、表1に示すように、印刷装置200において使用されている半田材の劣化の進行速度は、印刷装置200の印刷速度・印圧と正の相関関係にある。それゆえ、検査モード時における印刷装置200の印刷速度または印圧が、教師データ作成時の印刷装置200の印刷速度または印圧よりも高い場合、検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行すると、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間は、演算部34によって算出される使用可能残時間TRよりも短くなる。また、検査モード時における印刷装置200の印刷速度または印圧が、教師データ作成時の印刷装置200の印刷速度または印圧よりも低い場合、検査対象半田材23を用いて印刷処理を実行すると、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間は、演算部34によって算出される使用可能残時間TRよりも長くなる。
そこで、図7に示すように、制御部13においては、印刷装置200に設けられている印刷速度・印圧計測器から、印刷装置200の印刷速度・印圧を取得する速度・印圧取得部60を設け、演算部34によって演算された使用可能残時間TRを補正して、補正した使用可能残時間TRを表示制御部35に伝達する補正部(第3補正手段、第4補正手段)37を設けるようにする。
この図7の構成において、教師データ作成部32は、学習モード時において速度・印圧取得部60に取得された印刷速度・印圧を教師データに対応付けて記憶部14に記録する。また、補正部37は、検査モード時において、速度・印圧取得部60に取得された印刷速度・印圧を入力する。そして、補正部37は、検査モード時において取得された印刷速度が教師データに記録されている印刷速度よりも高い場合、上記使用可能残時間TRを短縮するように補正し、検査モード時において取得された印刷速度が教師データに記録されている印刷速度よりも低い場合、上記使用可能残時間TRを延ばすように補正する。また、補正部37は、検査モード時において取得された印圧が教師データに記録されている印圧よりも高い場合、上記使用可能残時間TRを短縮するように補正し、検査モード時において取得された印圧が教師データに記録されている印圧よりも低い場合、上記使用可能残時間TRを延ばすように補正する。このようにすれば、検査モード時から検査対象半田材23を用いて印刷処理を継続する場合、最終的に出力される使用可能残時間TRを、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷処理時間に近づけることができる。
また、印刷装置200において試験用半田材23を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における試験用半田材23の劣化度データとを対応付けた教師データが記憶部14に記憶されている場合、補正部37は、以下のようにして補正を行う。補正部37は、検査モード時において取得された印刷速度が教師データに記録されている印刷速度よりも高い場合、演算部34によって演算される残印刷回数を少なくするように補正し、検査モード時において取得された印刷速度が教師データに記録されている印刷速度よりも低い場合、上記残印刷回数を多くするように補正する。また、補正部37は、検査モード時において取得された印圧が教師データに記録されている印圧よりも高い場合、上記残印刷回数を少なくするように補正し、検査モード時において取得された印圧が教師データに記録されている印圧よりも低い場合、上記残印刷回数を多くするように補正する。このようにすれば、検査モード時から検査対象半田材23を用いて印刷処理を継続する場合、最終的に出力される残印刷回数を、検査対象半田材23の劣化度データが使用限界値に到達するまでに要する実際の印刷回数に近づけることができる。
なお、図7に示す速度・印圧取得部60は、実際に計測された速度・印圧を計測器から取得しているが、実際の計測値を取得する構成に限定されるものではない。例えば、印刷装置200においてオペレータに選択されている印刷速度の設定値や印圧の設定値を、印刷装置200のコンピュータから速度・印圧取得部60に伝送する形態であってもよい。つまり、この形態の場合、速度・印圧取得部60は、実際に計測された速度・印圧ではなく、設定値(印刷装置200の制御パラメータ)としての印刷速度や印圧を取得することになる。
また、以上示した実施形態においては、半田材23から反射する1700cm−1の赤外線の強度を劣化度データとしているが、上記劣化度データは、半田材23から反射する特定波数(600cm−1、1300cm−1、1600cm−1、1700cm−1のうちのいずれかの波数)の赤外線の強度、または、半田材23における上記特定波数の赤外線の吸光度であってもよい。
さらに、上記特定波数は、600cm−1、1300cm−1、1600cm−1、1700cm−1にピンポイントで限定されるものではなく、特定波数としての有効範囲を設定することが可能である。具体的には、520cm−1〜700cm−1、1270cm−1〜1430cm−1、1500cm−1〜1650cm−1、1665cm−1〜1730cm−1の範囲に含まれるいずれかの波数を上記特定波数とすることができる。これは、特願2005−046284号に記載されているが、半田材に含まれる金属酸化物(二酸化錫)の吸収ピークは520cm−1〜700cm−1の範囲で検出することができ、カルボン酸塩の対称伸縮振動の吸収ピークは1270cm−1〜1430cm−1の範囲で検出でき、カルボン酸塩の逆対称伸縮振動の吸収ピークは1500cm−1〜1650cm−1の範囲で検出でき、カルボン酸の炭素-酸素二重結合の吸収ピークは、1665cm−1〜1730cm−1の範囲で検出できるからである。
さらに、上記劣化度データは、半田材23の劣化度を示し得るデータであればよく、上記赤外線の強度や吸光度に限定されるものではない。例えば、特願2005−058112に記載されている「表面凹凸度」を上記劣化度データとすることも可能である。
ここで、表面凹凸度について説明する。この表面凹凸度とは、半田材表面にどの程度の凹凸が存在するかを示す値であり、半田材の表面が粗くなるほど表面凹凸度が高くなる。ここで、半田材は、劣化が進行すると、当該劣化に伴って半田材表面の凹凸が増加する。よって、半田材の表面凹凸度が高くなれば当該半田材の劣化度も高くなり、この表面凹凸度を半田材の劣化度として扱うことが可能である。したがって、図1の劣化度データ取得部31に入力されるデータを上記表面凹凸度とし、劣化度データ取得部31は、上記表面凹凸度を上記劣化度データとして教師データ作成部32や読出部33に伝達するようにしてもよい。
つぎに、表面凹凸度の計測方法について説明する。具体的には、図3に示す半田材23表面に光を照射する光源と、半田材23表面の画像を示す画像データを取得する撮影手段(CCD、CMOS等)と、上記画像データにおける輝度値の標準偏差を演算し、当該標準偏差を表面凹凸度として劣化度データ取得部31へ出力する表面凹凸度出力手段と、を半田材検査装置100に設ける。ここで、半田材23表面の凹凸が増加するほど、半田材23から反射される光の方向の散乱度合は大きくなり、上記画像の輝度値のバラツキは大きくなる。それゆえ、上記画像における輝度値の標準偏差は、半田材の表面凹凸度を示す尺度となるのである。
また、上記画像の隣接画素間における輝度差の絶対値の平均値を上記表面凹凸度としてもよい。この平均値も、上記画像の輝度値のバラツキを示す尺度になり得るからである。
さらに、特願2005−063146に記載されている「受光量」「受光強度」を上記劣化度データとすることも可能である。以下、上記「受光量」「受光強度」について説明する。
図10に示すように、印刷装置300において、スキージ240をメタルマスク220から離間する方向へ移動させると、スキージ240とメタルマスク220との間に半田材の垂れが形成される場合がある。この垂れは、新品の半田材においては形成されず、半田材が劣化することによって生じ、劣化度が進行するに従って垂れ量が多くなる。そこで、図10に示す構成において、スキージ240とメタルマスク220との間に光を照射する光源と、スキージ240と、メタルマスク220との間を通過する光の量である受光量または上記光の強度である受光強度を計測する受光部とを設ける。ここで、半田材の劣化が進行することによってスキージ240とメタルマスク220との間の半田材の垂れ量が多くなるほど、上記受光量または受光強度は少なくなる。それゆえ、上記受光量または受光強度は、半田材の劣化度を示す劣化度データとなり得る。よって、上記受光量または受光強度を劣化度データ取得部31へ入力し、劣化度データ取得部31は、上記受光量または受光強度を上記劣化度データとして教師データ作成部32や読出部33に伝達するようにしてもよい。但し、この場合、劣化度データの値と半田材の劣化度とは負の相関関係となる。
また、図10に示す構成において、スキージ240とメタルマスク220との間に光を照射する光源と、スキージ240とメタルマスク220との間で垂れを形成している半田材から反射する光の量である受光量または上記光の強度である受光強度を計測する受光部とを設けるようにしてもよい。ここで、半田材の劣化が進行することによってスキージ240とメタルマスク220との間の半田材の垂れ量が多くなるほど、上記受光量または受光強度は多くなる。それゆえ、上記受光量または受光強度は、半田材の劣化度を示す劣化度データとなり得る。よって、上記受光量または受光強度を劣化度データ取得部31へ入力し、劣化度データ取得部31は、上記受光量または受光強度を上記劣化度データとして教師データ作成部32や読出部33に伝達するようにしてもよい。
また、以上示した実施形態において、オペレータに通知すべき各種情報(使用可能残時間TR等)は、表示部15を介して利用者に通知される形態に限定されず、図示しないスピーカーから発せられる音声によって利用者に通知されるようにしてもよい。
また、以上の実施形態によれば、制御部13は、利用者からの検査指示の入力をトリガーとして使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出しているが、上記検査指示の入力がなくても自動的に使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出してもよい。例えば、制御部13は、検査モード時において、所定時間毎に使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出するようにしてもよい。また、制御部13は、検査モード時において、印刷装置200における印刷回数をカウントし、所定回数印刷される毎に使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出するようにしてもよい。
また、以下のようにして使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出してもよい。まず、制御部13は、記憶部14の教師データを参照して印刷処理時間T2を読み出し、この印刷処理時間T2を「半田材の使用開始から使用限界に到達するまでの到達時間」とする。そして、制御部13は、印刷装置200において印刷開始時からの経過時間をカウントし、この経過時間が上記到達時間の50%、70%、90%等に到達したとき、上記使用可能残時間TRまたは残印刷可能回数を算出するようにしてもよい。
ところで、以上の実施の形態にて示した制御部の奏する機能は、プロセッサなどの演算回路が、ROMやRAMなどの記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、各種周辺回路等を制御することによっても実現することができる。したがって、以上の演算回路、周辺回路等を有するコンピュータが、上記プログラムを記録した記録媒体を読み取り、当該プログラムを実行するだけで、本実施形態の制御部の各種機能および各種処理を実現することができる。また、上記プログラムをリムーバブルな記録媒体に記録することにより、任意のコンピュータ上で上記の各種機能および各種処理を実現することができる。
上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー(登録商標)ディスク/ハードディスク等の磁気ディスクやCD−ROM/MO/MD/DVD/CD−R等の光ディスクを含むディスク系、ICカード(メモリカードを含む)/光カード等のカード系、あるいはマスクROM/EPROM/EEPROM/フラッシュROM等の半導体メモリ系などを用いることができる。
また、本実施形態の半田材検査装置を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムを、通信ネットワークを介して半田材検査装置に供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、LAN、ISDN、VAN、CATV通信網、仮想専用網(virtual private network)、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、IEEE1394、USB、電力線搬送、ケーブルTV回線、電話線、ADSL回線等の有線でも、IrDAやリモコンのような赤外線、Bluetooth(登録商標)、802.11無線、HDR、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
本発明は、プリント基板の生産ラインにおける印刷工程で使用される半田材を検査する装置、方法として好適である。
本発明の一実施形態に係る半田材検査装置に含まれる制御部の構成を示したブロック図である。 新品の半田材の赤外線吸光度と劣化した半田材の赤外線吸光度とを示したスペクトルチャートである。 本発明の一実施形態に係る半田材検査装置の概略構成を概念的に示した概念図である。 本発明の一実施形態に係る半田材検査装置に記憶される教師データの一例を示したグラフである。 本発明の一実施形態に係る半田材検査装置に記憶される教師データから使用時間T1・T2を読み出す処理を説明するための説明図である。 図1に示した制御部の変形例を示したブロック図である。 図1に示した制御部の変形例であって、図6に示した制御部とは異なる制御部を示したブロック図である。 図1に示した制御部が検査モード時において実行する処理の流れを示したフローチャートである。 図4に示した教師データとは異なる教師データを示したグラフである。 印刷装置においてスキージとマスクとの間に形成される半田材の垂れを示した模式図である。
符号の説明
13 制御部
14 記憶部
15 表示部
16 入力部
23 半田材、検査対象半田材(第1半田材)、試験用半田材(第2半田材)
31 劣化度データ取得部(劣化度データ取得手段)
32 教師データ作成部
33 読出部(読出手段)
34 演算部(情報生成手段)
35 表示制御部(通知手段)
36 補正部(第1補正手段、第2補正手段)
37 補正部(第3補正手段、第4補正手段)
50 温度・湿度取得部(温度取得手段、湿度取得手段)
60 速度・印圧取得部(速度取得手段、印圧取得手段)
100 半田材検査装置
200 印刷装置

Claims (16)

  1. 基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置であって、
    第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、
    印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、
    上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間とを読み出す読出手段と、
    上記読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成する情報生成手段と、
    上記情報を利用者に通知する通知手段と、
    を含むことを特徴とする半田材検査装置。
  2. 上記情報生成手段は、上記読出手段に読み出された両印刷処理時間の差を示す時間差を上記情報として生成することを特徴とする請求項1に記載の半田材検査装置。
  3. 上記印刷装置の周囲の温度を示す温度を取得する温度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記温度が対応付けられて記録されており、
    温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第1補正手段を備えていることを特徴とする請求項2に記載の半田材検査装置。
  4. 上記印刷装置の周囲の湿度を示す湿度を取得する湿度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記湿度が対応付けられて記録されており、
    湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第2補正手段を備えていることを特徴とする請求項2または3に記載の半田材検査装置。
  5. 上記印刷装置における印刷速度を取得する速度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印刷速度が対応付けられて記録されており、
    速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第3補正手段を備えていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1項に記載の半田材検査装置。
  6. 上記印刷装置における印圧を取得する印圧取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印圧が対応付けられて記録されており、
    印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を短縮するように補正し、上記印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された時間差を延ばすように補正する第4補正手段を備えていることを特徴とする請求項2ないし5のいずれか1項に記載の半田材検査装置。
  7. 基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置であって、
    第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する劣化度データ取得手段と、
    印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、
    上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷回数と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷回数とを読み出す読出手段と、
    上記読出手段に読み出された両印刷回数に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷装置の印刷回数または上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示した情報を生成する情報生成手段と、
    上記情報を利用者に通知する通知手段と、
    を含むことを特徴とする半田材検査装置。
  8. 上記情報生成手段は、上記読出手段に読み出された両印刷回数の差を示す回数差を上記情報として生成することを特徴とする請求項7に記載の半田材検査装置。
  9. 上記印刷装置の周囲の温度を示す温度を取得する温度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記温度が対応付けられて記録されており、
    温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記温度取得手段によって取得された温度が、上記記録されている温度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第1補正手段を備えていることを特徴とする請求項8に記載の半田材検査装置。
  10. 上記印刷装置の周囲の湿度を示す湿度を取得する湿度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記湿度が対応付けられて記録されており、
    湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記湿度取得手段によって取得された湿度が、上記記録されている湿度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第2補正手段を備えていることを特徴とする請求項8または9に記載の半田材検査装置。
  11. 上記印刷装置における印刷速度を取得する速度取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印刷速度が対応付けられて記録されており、
    速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記速度取得手段によって取得された印刷速度が、上記記録されている印刷速度よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第3補正手段を備えていることを特徴とする請求項8ないし10のいずれか1項に記載の半田材検査装置。
  12. 上記印刷装置における印圧を取得する印圧取得手段を備え、
    上記対応付データには、さらに、当該対応付データに含まれる劣化度データが計測された際の上記印圧が対応付けられて記録されており、
    印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも高い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を少なくするように補正し、上記印圧取得手段によって取得された印圧が、上記記録されている印圧よりも低い場合、上記情報生成手段によって生成された回数差を多くするように補正する第4補正手段を備えていることを特徴とする請求項8ないし11のいずれか1項に記載の半田材検査装置。
  13. 基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置の制御方法であって、
    上記半田材検査装置には、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷処理時間と、上記印刷処理時間における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、制御部とが含まれ、
    上記制御部が、
    第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する工程と、
    上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷処理時間と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷処理時間とを読み出す工程と、
    上記読出手段に読み出された両印刷処理時間に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでの時間または上記目標値に達する時刻を示した情報を生成する工程と、
    上記情報を利用者に通知する工程と、
    を実行することを特徴とする半田材検査装置の制御方法。
  14. 基板上に半田材を印刷する印刷装置において使用される半田材を検査する半田材検査装置の制御方法であって、
    上記半田材検査装置には、印刷装置において第2半田材を用いて印刷処理を実行したときの印刷回数と、上記印刷回数における第2半田材の劣化度データとを対応付けた対応付データを予め記憶した記憶部と、制御部とが含まれ、
    上記制御部が、
    第1半田材の劣化度を示す劣化度データを取得する工程と、
    上記対応付データを参照して、目標値として設定される劣化度データに対応付けられている印刷回数と、上記劣化度データ取得手段に取得された劣化度データに対応付けられている印刷回数とを読み出す工程と、
    上記読出手段に読み出された両印刷回数に基づき、印刷装置にて第1半田材を用いて印刷処理を実行する場合において当該第1半田材の劣化度データが上記目標値に到達するまでに要する印刷装置の印刷回数または上記目標値に到達するときの印刷装置の印刷処理開始時からの印刷回数を示した情報を生成する工程と、
    上記情報を利用者に通知する工程と、
    を実行することを特徴とする半田材検査装置の制御方法。
  15. 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の半田材検査装置の動作を制御する半田材検査プログラムであって、コンピュータを上記各手段として機能させることを特徴とする半田材検査プログラム。
  16. 請求項15に記載の半田材検査プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011220718A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Toyota Motor Corp はんだ劣化検査方法とその装置
JP2015517197A (ja) * 2012-02-01 2015-06-18 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド ステンシルプリンターを作動させるためのシステムおよび方法
JP2019192794A (ja) * 2018-04-25 2019-10-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン、部品実装方法及び品質管理システム

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102221561A (zh) * 2010-04-15 2011-10-19 西门子公司 检测焊膏印刷的系统和方法
JP5522065B2 (ja) * 2011-01-18 2014-06-18 オムロン株式会社 基板検査システム
CN103792965B (zh) * 2013-11-22 2015-12-09 大连日佳电子有限公司 智能焊膏准备终端
CN105033476B (zh) * 2015-08-03 2017-08-22 唐山松下产业机器有限公司 焊丝防潮管理系统及其管理方法
KR101702507B1 (ko) * 2015-09-30 2017-02-22 울산과학기술원 디지털 신호를 이용한 전자제품 손상 탐지 장치 및 이를 이용한 전자제품 손상 탐지 방법
CN106064281B (zh) * 2016-05-31 2018-07-20 韩华新能源(启东)有限公司 光伏涂锡带可焊性的快速判别方法
US11156989B2 (en) * 2017-05-10 2021-10-26 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Material management apparatus and material preparing method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03193347A (ja) * 1989-12-22 1991-08-23 Oki Electric Ind Co Ltd 印刷装置用スキージホルダ構造
JP2001156435A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Ricoh Co Ltd クリームはんだ印刷機
JP2002310888A (ja) * 2001-04-13 2002-10-23 Toshiba Corp はんだ接合部の寿命推定方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0599831A (ja) 1991-10-11 1993-04-23 Oki Electric Ind Co Ltd クリーム半田印刷機におけるクリーム半田粘度測定方法
US5476207A (en) * 1994-11-21 1995-12-19 Northern Telecom Limited Method and apparatus for fluxing and soldering terminals on a printed circuit board
JPH1082737A (ja) 1996-09-06 1998-03-31 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 半田材の表面酸化度の評価方法
US6784431B2 (en) * 2002-06-13 2004-08-31 The Boeing Company Method of measuring anodize coating amount using infrared absorbance
US6993446B2 (en) * 2003-03-17 2006-01-31 Schlumberger Technology Corporation Method and apparatus for predicting the time to failure of electronic devices at high temperatures
JP4377966B2 (ja) 2003-07-28 2009-12-02 株式会社日本景品流通センター 景品交換・買取システム
JP4009568B2 (ja) 2003-08-12 2007-11-14 京セラミタ株式会社 機器管理システムおよび機器管理方法
JP4168870B2 (ja) 2003-08-14 2008-10-22 トヨタ自動車株式会社 プレニルアルコールの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03193347A (ja) * 1989-12-22 1991-08-23 Oki Electric Ind Co Ltd 印刷装置用スキージホルダ構造
JP2001156435A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Ricoh Co Ltd クリームはんだ印刷機
JP2002310888A (ja) * 2001-04-13 2002-10-23 Toshiba Corp はんだ接合部の寿命推定方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011220718A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Toyota Motor Corp はんだ劣化検査方法とその装置
JP2015517197A (ja) * 2012-02-01 2015-06-18 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド ステンシルプリンターを作動させるためのシステムおよび方法
JP2019192794A (ja) * 2018-04-25 2019-10-31 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン、部品実装方法及び品質管理システム
JP7157948B2 (ja) 2018-04-25 2022-10-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装ライン、部品実装方法及び品質管理システム

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