JP2007051373A - モーター駆動式ロータリーカソードを含む真空コーティング機械 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空コーティング機械(1)において、駆動ユニット(6)は、上記駆動ユニットがロータリーカソード(10)によって加えられる揺動に追従できるように、弾性中間プレート(14)を用いてチャンバ筐体(3)に追従的に取り付けられるので、ロータリーカソードの自由端(18)のサポートベアリング(19)は剛性支持として堅牢設計が可能である。
【選択図】 図2
Description
Claims (10)
- チャンバ筐体(3)を含む少なくとも1台のプロセスチャンバ(2)と、前記チャンバ筐体(3)に対して支持され、駆動ユニット(6)を用いてモーター駆動される少なくとも1台のロータリーカソード(10)と、前記ロータリーカソードの駆動側で前記ロータリーカソード(10)の揺動を補償する装置とを備える真空コーティング機械(1)において、
前記ロータリーカソード(10)の前記駆動ユニット(6)が前記チャンバ筐体(3)に対して追従的なサスペンションを用いて配置されることを特徴とする真空コーティング機械。 - 前記駆動ユニット(6)の前記追従的なサスペンションが、チャンバ筐体(3)と駆動ユニット(6)との間に配置された弾性中間プレート(14)によって行われることを特徴とする、請求項1に記載の真空コーティング機械。
- 前記駆動ユニット(6)が、前記駆動ユニット(6)及び前記中間プレート(14)のドリル穴を通って延在する取り付けネジ(9)を用いて前記チャンバ壁(4)に取り付けられることを特徴とする、請求項1又は2に記載の真空コーティング機械。
- 前記弾性中間プレート(14)が、前記チャンバ筐体(3)だけに取り付けられ、前記駆動ユニット(6)が前記中間プレート(14)だけに取り付けられることを特徴とする、請求項1又は2に記載の真空コーティング機械。
- 壁開口部(16)の寸法が、前記壁開口部を介してフィードされる駆動アセンブリの直径と前記ロータリーカソード(10)の揺動の振れの2倍の少なくとも合計であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の真空コーティング機械。
- 前記中間プレート(14)が、エラストマーから、好ましくは、ゴム材料から、特に、天然ゴム又はシリコーンから形成されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空コーティング機械。
- ショア硬さが最小50°であり、最大80°であり、好ましくは、60°〜70°のショア硬さの範囲にあることを特徴とする、請求項6に記載の真空コーティング機械。
- 前記中間プレート(14)が電気的に非伝導性の材料から形成されることを特徴とする、請求項6又は7に記載の真空コーティング機械。
- 前記ロータリーカソードの自由端(18)の前記サポートベアリング(19)が剛性ベアリングとして設計されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の真空コーティング機械。
- 前記チャンバ外壁(41)が、好ましくは、切欠部又は凹部(42)の形で、前記中間プレート(14)との接触のための再加工された表面セクションを有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の真空コーティング機械。
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