JP2016108633A - ロータリーカソード、および、スパッタ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記課題を解決するスパッタ装置は、スパッタリングにおけるカソードとして上記ロータリーカソードを備える。
図1に示すように、スパッタ装置が備えるチャンバ11には、真空雰囲気に設定される空間である処理空間が形成され、チャンバ11に形成された処理空間には、ロータリーカソード12と支持台13とが収容されている。チャンバ11の処理空間には、例えば、アルゴンガスなどのスパッタガスや、酸素ガスなどの反応ガスが、処理空間において実施される処理に応じて適宜供給される。
ロータリーカソード12は、駆動装置15、サポートブロック16、2つの軸部材17、および、ターゲット18を備えている。
上述した他方の軸部材17である先端回転軸100は、1つの方向である軸方向Dに沿って延びる金属部材であって、先端に向けて縮径された二段の円筒形状を有している。先端回転軸100は、小径部である被軸支端101Aと、大径部である軸フランジ101Bとを備えている。
(1)被軸支端101Aの中心とベアリング30の中心とのずれは、Oリング105の弾性変形によって吸収される。それゆえに、被軸支端101Aやそれの軸支部に掛かる負荷が抑えられる。
なお、上記実施形態は、以下の態様で実施することもできる。
・Oリング105は、ベアリング30の備える外輪123と、大径スリーブ104との間に位置してもよい。この際に、Oリング105は、外輪123と収容ブロック111との間、および、外輪123と大径スリーブ104との間の両方に設けられてもよいし、外輪123と大径スリーブ104との間にのみ設けられてもよい。
・大径スリーブ104が割愛されて、外輪123と収容ブロック111とにOリング105が直接接触する構成であってもよい。
・ベアリング30自体が絶縁性を有するとき、小径スリーブ102は、導電性を有した金属部材であってもよい。例えば、ベアリング30として、樹脂タイプベアリングやセラミックタイプベアリングなどが用いられてもよい。樹脂タイプベアリングやセラミックタイプベアリングの耐久性は高くない一方で、ベアリング30において絶縁性は得られるため、小径スリーブ102において導電性を許容することも、小径スリーブ102自体を省くこともできる。
・回転軸は、サポートブロックに軸支される被軸支端101Aを有した構成であればよく、例えば、軸フランジ101Bが割愛され、軸方向Dに沿って外径が一定である軸部材であってもよいし、被軸支端101Aと軸フランジ101Bとの段差以外の段差を有する三段以上の円筒形状を有してもよい。
・弾性部材とベアリングとを介した回転軸の軸支構造は、先端回転軸100の軸支構造に限らず、基端回転軸の軸支構造に適用されてもよいし、先端回転軸の軸支構造、および、基端回転軸の軸支構造の両方に適用されてもよい。
・ケース16Cによって形成される収容空間は、収容ブロック111と固定ブロック112とによって囲まれた閉空間に限らず、例えば、ブロックフランジ111Fが割愛されることによって形成された開放空間であってもよい。要は、ケース16Cによって形成される収容空間は、被軸支端とベアリングと弾性部材とを収容する空間であればよい。
[スパッタ装置]
・スパッタ装置による処理の対象は、基板14に限らず、フィルムであってもよい。
・スパッタ装置による処理は、反応性スパッタであってもよいし、非反応性スパッタであってもよい。また、ターゲット18に接続される電源は、直流電源であってもよいし、高周波電源であってもよい。
Claims (5)
- 被軸支端を有する回転軸と、
前記回転軸と共に回転する円筒形状を有するターゲットと、
前記被軸支端を軸支するサポートブロックと、を備え、
前記サポートブロックは、
前記被軸支端を収容する収容空間を区画する内面を備えたケースと、
前記収容空間において前記被軸支端が通されて前記被軸支端の回転力を受けて回転する内輪と、前記回転軸を中心に回転することの不能な状態で前記収容空間に収容された外輪とを備えるベアリングと、
前記ベアリングの備える前記外輪と前記ケースの備える前記内面との間、および、前記ベアリングの備える前記内輪と前記被軸支端のとの間の少なくとも1つに位置する弾性部材と、を備える
ロータリーカソード。 - 前記弾性部材は、前記ベアリングの備える前記外輪と前記ケースの備える前記内面との間に位置する樹脂製のOリングである
請求項1に記載のロータリーカソード。 - 前記ベアリングは、前記内輪と前記外輪とに挟まれる複数の転動体を備え、
前記回転軸の径方向において複数の前記転動体の各々と前記Oリングとが相互に対向している
請求項2に記載のロータリーカソード。 - 前記ベアリングの備える前記内輪と前記被軸支端の備える外周面とに挟まれる円筒形状を有し、前記ベアリングの備える前記内輪と前記被軸支端とを連結する絶縁性を有した樹脂製のスリーブと、をさらに備える
請求項1〜3のいずれか一項に記載のロータリーカソード。 - スパッタリングにおけるカソードとして、請求項1〜4のいずれか一項に記載のロータリーカソードを備えるスパッタ装置。
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