JP7354090B2 - デュアル位置マグネトロンおよび中心に送出される冷却剤を有するカソードアセンブリ - Google Patents
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- マグネトロンアセンブリであって、
前記マグネトロンアセンブリの中心軸に沿って延び、その中心軸を中心に回転可能な本体と、
前記本体に固定され、前記中心軸に沿って前記本体を通って延びる冷却剤送出構造であり、前記冷却剤送出構造の下の区域へ前記中心軸に沿って冷却剤を提供する冷却剤送出構造と、
前記本体の底部に結合された回転可能な磁石アセンブリであって、前記本体の回転により、前記中心軸および前記冷却剤送出構造の周りで回転する、回転可能な磁石アセンブリと、
を備え、
前記回転可能な磁石アセンブリは、複数の磁石を有し、前記複数の磁石はさらに、前記複数の磁石を中心にして通る磁石軸を中心に回転するように構成され、
前記回転可能な磁石アセンブリは、前記冷却剤送出構造が静止したままで、前記回転可能な磁石アセンブリが回転することを可能にするように、前記回転可能な磁石アセンブリがベアリングを介して前記冷却剤送出構造の底部に回転可能に結合された、マグネトロンアセンブリ。 - 前記回転可能な磁石アセンブリが、前記中心軸の周りを前記中心軸から第1の距離および前記中心軸から第2の距離をあけて回転するように構成される、請求項1に記載のマグネトロンアセンブリ。
- 前記回転可能な磁石アセンブリが前記第1の距離をあけて回転していることを検出するように構成された第1のセンサと、
前記回転可能な磁石アセンブリが前記第2の距離をあけて回転していることを検出するように構成された第2のセンサと
をさらに備える、請求項2に記載のマグネトロンアセンブリ。 - 前記回転可能な磁石アセンブリが、
前記複数の磁石が前記第1の距離をあけて回転しているか、または前記第2の距離をあけて回転しているかを判定するために、前記第1および第2のセンサによって検出可能な表示要素をさらに備える、請求項3に記載のマグネトロンアセンブリ。 - 前記回転可能な磁石アセンブリが回転しているかどうかを判定し、前記回転可能な磁石アセンブリの垂直位置を判定するように構成された第3のセンサ
をさらに備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のマグネトロンアセンブリ。 - 前記複数の磁石が、前記複数の磁石の中心を通過する磁石軸の周りを回転するように構成される、請求項1から4のいずれか1項に記載のマグネトロンアセンブリ。
- 前記回転可能な磁石アセンブリの垂直位置を制御するように前記本体に結合されたモータ
をさらに備える、請求項1から4のいずれか1項に記載のマグネトロンアセンブリ。 - 前記本体が伸縮式本体である、請求項1から4のいずれか1項に記載のマグネトロンアセンブリ。
- チャンバと、
前記チャンバの上に取外し可能に配置されたリッドと、
前記リッドに結合されたターゲットアセンブリであり、前記ターゲットアセンブリからスパッタリングされ、基板上に堆積されるターゲット材料を含むターゲットアセンブリと、
処理中に基板を支持するように前記チャンバ内に配置された基板支持体と、
冷却剤供給部と、
前記基板支持体とは反対側で前記ターゲットアセンブリに隣接して配置された請求項1から4のいずれか1項に記載のマグネトロンアセンブリとを備え、前記冷却剤送出構造が、前記ターゲットアセンブリを冷却するために前記冷却剤供給部から前記中心軸に沿って前記ターゲットアセンブリの上の空洞へ前記冷却剤を提供するように構成され、前記回転可能な磁石アセンブリが、前記空洞内に配置される、
基板処理システム。 - 前記本体および前記回転可能な磁石アセンブリを回転させるように結合アセンブリを介して前記本体に結合された第1のモータと、
前記空洞内で前記回転可能な磁石アセンブリを垂直に動かすように前記本体に結合された第2のモータと
をさらに備える、請求項9に記載の基板処理システム。 - 前記第2のモータが、前記複数の磁石の第1の最下表面と前記ターゲットアセンブリの第2の最下表面との間の垂直距離が実質上一定のままとなるように、前記回転可能な磁石アセンブリを垂直に動かすように構成される、請求項10に記載の基板処理システム。
- 前記冷却剤送出構造が、前記ターゲットアセンブリを約200℃未満の温度で維持するように構成される、請求項9に記載の基板処理システム。
- 前記ターゲットアセンブリに結合されたDC電源と、
前記ターゲットアセンブリに結合されたRF電源と
をさらに備える、請求項9に記載の基板処理システム。 - 前記ターゲット材料が、チタン、タンタル、またはタングステンのうちの1つを含む、請求項9に記載の基板処理システム。
- 前記本体が伸縮式本体である、請求項9に記載の基板処理システム。
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