DE102014115282B4 - Sockelanordnung - Google Patents
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Abstract
Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) zum Halten (Befestigen) eines Endblocks (104) an einer Prozesskammer, aufweisend: ein erstes Sockelelement (312)
• mit einer ersten Befestigungsanordnung (110) zum Befestigen des ersten Sockelelements (312) an einer Prozessseite einer Prozesskammerwand und
• mit einer zweiten Befestigungsanordnung (102a); und ein zweites Sockelelement (322)
• mit einer dritten Befestigungsanordnung (102b) zum Befestigen des zweiten Sockelelements (322) an dem ersten Sockelelement (322) und
• mit einer vierten Befestigungsanordnung (120) zum Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322) auf der Prozessseite; wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sind, dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) auslenkbar ist.
• mit einer ersten Befestigungsanordnung (110) zum Befestigen des ersten Sockelelements (312) an einer Prozessseite einer Prozesskammerwand und
• mit einer zweiten Befestigungsanordnung (102a); und ein zweites Sockelelement (322)
• mit einer dritten Befestigungsanordnung (102b) zum Befestigen des zweiten Sockelelements (322) an dem ersten Sockelelement (322) und
• mit einer vierten Befestigungsanordnung (120) zum Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322) auf der Prozessseite; wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sind, dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) auslenkbar ist.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Sockelanordnung gemäß dem Patentanspruch 1.
- Im Allgemeinen können Werkstücke oder Substrate prozessiert oder behandelt, z.B. bearbeitet, beschichtet, erwärmt, geätzt und/oder strukturell verändert werden. Ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats ist die Kathodenzerstäubung, das so genannte Sputtern oder die Sputterdeposition. Zum Sputtern kann mittels einer Kathode ein plasmabildendes Gas (das sogenannte Arbeitsgas) ionisiert werden und mit dem dabei gebildeten Plasma ein abzuscheidendes Material, das so genannte Targetmaterial, zerstäubt werden. Das zerstäubte Targetmaterial kann anschließend zu einem Substrat gebracht werden, an dem es sich anlagern und eine Schicht bilden kann.
- Eine Modifikation der Kathodenzerstäubung ist beispielsweise das Sputtern mittels eines Magnetrons, das so genannte Magnetronsputtern. Zum Magnetronsputtern kann das Bilden des Plasmas mittels eines Magnetfeldes unterstützt werden, welches die Ionisationsrate des plasmabildenden Gases beeinflussen kann. Dabei kann ein intensives Plasma in Form eines Plasmakanals gebildet werden, welcher dem Verlauf des Magnetfeldes folgt. Ein gleichmäßiges Abtragen von Targetmaterial kann es erfordern, dieses relativ zu dem Plasmakanal und damit zu dem Magnetfeld zu bewegen. Dazu kann die Kathode rohrförmig eingerichtet sein, als so genannte Rohrkathode, welche ein Targetgrundrohr (auch Trägerrohr genannt) aufweisen kann, dessen äußere Mantelfläche zumindest teilweise von Targetmaterial bedeckt ist. Im Inneren des Targetgrundrohrs kann ein Magnetsystem zum Erzeugen des Magnetfeldes angeordnet sein, so dass beim Drehen des Targetgrundrohrs um das Magnetsystem das auf dem Targetgrundrohr angeordnete Targetmaterial unter dem Plasmakanal hindurch bewegt und dabei schichtweise abgetragen und zerstäubt werden kann.
- In
DE 10 2008 033 902 A1 wird eine Magnetronanordnung beschrieben, deren Antriebsendblock an einer Anschlussplatte befestigt ist, wobei Anschlussplatte mittels eines Pendelarms an einer auf der Kammerwand aufliegenden Glocke63 gelagert ist. Die Glocke ist mit dem Pendelarm verbunden und dieser ist mit der Anschlussplatte verbunden, so dass der Pendelarm an beiden Enden mittels eines Drehlagers befestigt ist, und somit ein zweistufiges Gelenk gebildet wird. - In US 2007 / 0 051 304 A1 wird eine Magnetronanordnung beschrieben, deren Antrieb außen an der Kammerwand befestigt ist, wobei zwischen dem Antrieb und der Kammerwand eine elastische Platte zur elastischen Lagerung des Antriebs angeordnet ist.
- In US 2006 / 0 049 043 A1 wird eine Magnetronanordnung beschrieben, deren Kathodenlagerung von außen starr mit der Kammerwand verschraubt ist.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode verwendete Komponenten (z.B. eine Drehdurchführung, ein Wälzlager, ein mechanischer Antrieb, eine elektrische Zuführung und/oder eine Dichtung) als ein so genannter Endblock bereitgestellt sein oder werden. Zwei solcher Endblöcke können eine Rohrkathode an ihren einander gegenüberliegenden Endabschnitten halten und zum Prozessieren eines Substrats in einer dazu geeigneten Prozessierkammer montiert sein oder werden.
- Herkömmlicherweise wird ein Endblock von außerhalb der Prozessierkammer mit einer Kammerwand der Prozessierkammer verschraubt (durch die Kammerwand hindurch). Ein genaues Ausrichten des Endblocks kann es erfordern, während des Verschraubens die Position des Endblocks von innerhalb der Prozessierkammer zu kontrollieren und gegebenenfalls zu korrigieren. Daher sind zum Montieren des Endblocks bisher mehr als eine Person oder zusätzliche Hilfsmittel nötig, welche das Verschrauben und Ausrichten des Endblocks von gegenüberliegenden Seiten der Kammerwand aus koordinieren.
- Ferner wird ein Endblock herkömmlicherweise starr mit einer Kammerwand der Prozessierkammer verschraubt. Allerdings kann die Rohrkathode aufgrund ihres Eigengewichtes gekrümmt sein und/oder Unwuchten aufgrund von Fertigungsungenauigkeiten aufweisen und so aus ihrer Rotationsachse auslenkt sein. Anschaulich kann die Rohrkathode in Richtung der Gravitationskraft durchgebogen sein. Aufgrund der Auslenkung aus der Rotationsachse kann ein Kippmoment auf die Wälzlager des Endblocks übertragen werden, welches diese zusätzlich mechanisch beansprucht. Diese zusätzliche mechanische Beanspruchung kann die Lebensdauer der Wälzlager erheblich verkürzen und daher zusätzliche Wartungskosten verursachen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Sockelanordnung bereitgestellt, welche das Montieren eines Endblocks erleichtert. Dazu kann die Sockelanordnung an der Kammerwand befestigt sein und an der Sockelanordnung kann der Endblock befestigt sein oder werden, so dass ein Verschrauben sowie Positionieren des Endblocks von einer Seite der Kammerwand (prozessseitig) aus ermöglicht wird. Mit anderen Worten kann mittels der Sockelanordnung eine zweite Verschraubungsebene auf der Prozessseite zum Befestigen des Endblocks bereitgestellt sein oder werden, welche ein Montieren/Demontieren des Endblocks an der Kammerwand ermöglicht. Dadurch können Kosten, Montagezeit und Aufwand eingespart werden.
- Ferner kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen die mechanische Beanspruchung des Endblocks, welche aufgrund des Eigengewichtes der Rohrkathode erzeugt werden kann, verringert sein oder werden. Dazu kann die Sockelanordnung ein Kippen und/oder ein Verdrehen des Endblocks relativ zur Prozessierkammer ermöglichen, so dass sich dieser an der Rohrkathode ausrichten kann und das Kippmoment in dem Endblock reduziert wird. Mit anderen Worten kann die Lage der Wälzlager in dem Endblock an die Lage oder Form der Rohrkathode anpassbar sein.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist eine Sockelanordnung zum Halten (und/oder zum Befestigen) eines Endblocks an einer Prozesskammer (auch als Prozessierkammer bezeichnet) Folgendes auf: ein erstes Sockelelement mit einer ersten Befestigungsanordnung zum Befestigen des ersten Sockelelements an einer Prozessseite einer Prozesskammerwand und mit einer zweiten Befestigungsanordnung; ein zweites Sockelelement mit einer ersten Befestigungsanordnung (auch als dritte Befestigungsanordnung bezeichnet) zum Befestigen des zweiten Sockelelements an dem ersten Sockelelement und mit einer zweiten Befestigungsanordnung (auch als vierte Befestigungsanordnung bezeichnet) zum Befestigen eines Endblocks an dem zweiten Sockelelement auf der Prozessseite; wobei die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sind, dass das zweite Sockelelement relativ zu dem ersten Sockelelement auslenkbar ist.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements lösbar ineinandersteckbar eingerichtet sein, so dass das zweite Sockelelement von dem ersten Sockelelement abnehmbar ist. Somit kann beispielsweise erreicht werden, dass die zwei Sockelelemente zu Wartungszwecken voneinander getrennt werden können. Mit anderen Worten kann die Sockelanordnung zweiteilig ausgebildet sein.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements für ein Befestigen eines Endblocks an dem zweiten Sockelelement (anschaulich in einer zweiten Befestigungsebene) von der ersten Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements (anschaulich eine erste Befestigungsebene) separat ausgebildet sein. Mit anderen Worten kann der Endblock an die Sockelanordnung montiert/demontiert werden, ohne die Sockelanordnung von der Kammerwand lösen zu müssen und/oder ohne die Sockelelemente voneinander lösen zu müssen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Sockelanordnung ferner eine Dichtstruktur zum Abdichten eines Spalts zwischen dem ersten Sockelelement und dem zweiten Sockelelement aufweisen, wobei die Dichtstruktur zwischen aneinander angrenzenden Abschnitten des ersten Sockelelement und des zweiten Sockelelements angeordnet ist.
- Eine Dichtstruktur kann zumindest einen Dichtbereich und eine in dem Dichtbereich angeordnete Dichtung, z.B. eine Vakuumdichtung, aufweisen. Zum Fixieren der Dichtung kann eine Dichtstruktur eine Vertiefung, z.B. eine Nut oder eine Rille, in dem Dichtbereich aufweisen, wobei die Dichtung in der Vertiefung angeordnet sein kann. Die Dichtung kann eingerichtet sein, einen Stoffübergang zwischen zwei mittels der Dichtung abgedichteten Räumen oder Volumina zu verhindern oder zumindest zu begrenzen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das erste Sockelelement zum Abdichten gegen eine Prozesskammerwand einen weiteren Dichtbereich aufweisen und das zweite Sockelelement kann zum Abdichten einer Verbindung mit dem Endblock einen weiteren Dichtbereich aufweisen. Ein Dichtbereich kann beispielsweise eine Vertiefung zum Aufnehmen einer Dichtung oder eine Dichtfläche, z.B. eine glatt polierte Oberfläche, welche zum Abdichten gegen eine Dichtung gepresst sein oder werden kann, aufweisen.
- Eine Befestigungsanordnung kann ein Verbindungselement aufweisen, z.B. einen Bolzen, einen Gewindestift (auch Gewindestab genannt), eine Niete, eine Klammer, eine Gewindemutter oder eine Schraube. Ferner kann eine Befestigungsanordnung eine passende Öffnung (oder auch eine Vertiefung) zum Aufnehmen eines Verbindungselements aufweisen, z.B. eine Durchgangsöffnung, ein Sackloch oder eine Gewindebohrung.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung ferner ein Distanzelement aufweisen, welches an der zweiten Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements anbringbar ist und einen Abstand zwischen dem zweiten Sockelelement und einem daran zu befestigenden Endblock definiert. Das Distanzelement kann beispielsweise ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen oder daraus gebildet sein. Das Distanzelement kann auch als Target-Substrat-Distanzelement (TSD) bezeichnet werden.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Distanzelement ein thermisch und/oder elektrisch isolierendes Material aufweisen zum thermischen und/oder elektrischen Isolieren des zweiten Sockelelements von einem daran zu befestigenden Endblock. Das Distanzelement kann dann auch als Isolierelement bezeichnet werden. Das Distanzelement kann beispielsweise mit dem thermisch und/oder elektrisch isolierenden Material beschichtet sein oder daraus gebildet sein zum Bilden eines Isolierelements. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Distanzelement aus Metall mit einem Distanzelement aus einem thermisch und/oder elektrisch isolierenden Material kombiniert sein oder werden oder mittels eines thermisch und/oder elektrisch isolierenden Materials beschichtet sein oder werden.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das thermisch und/oder elektrisch isolierende Material eine geringe (bei Raumtemperatur gemessene) thermische und/oder elektrische Leitfähigkeit aufweisen, z.B. eine thermische Leitfähigkeit von weniger als ungefähr 1 W/(m-K), z.B. von weniger als ungefähr 0,1 W/(m·K) und/oder eine elektrische Leitfähigkeit (gemessen bei konstanter elektrischer Feldrichtung) von weniger als ungefähr 10-5 S/m, z.B. von weniger als ungefähr 10-7 S/m. Beispielsweise kann das thermisch und/oder elektrisch isolierende Material eine Keramik, Porzellan, Glas oder ein anderes Dielektrikum aufweisen, z.B. eine oxidische Keramik (wie Aluminiumoxid (Al2O3) oder Zirkonoxid (ZrO2)), eine Glaskeramik, eine Nitritkeramik (wie Siliziumnitrid (Si3N4)) und/oder eine Carbidkeramik (wie Siliziumcarbid (SiC)), z.B. eine gesinterte und/oder gepresste Keramik. Alternativ kann das thermisch und/oder elektrisch isolierende Material einen Kunststoff, z.B. ein Siloxan (wie Silikon) oder ein Silikat aufweisen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung ferner ein federelastisches Element aufweisen, welches zwischen dem ersten Sockelelement und dem zweiten Sockelelement angeordnet ist, so dass das zweite Sockelelement relativ zu dem ersten Sockelelement entgegen einer Rückstellkraft auslenkbar ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements einen radial nach außen vorstehenden Vorsprung und die zweite Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements einen radial nach innen vorstehenden Vorsprung aufweisen, welche zusammengesteckt (mit anderen Worten in einem zusammengebauten Zustand) einander überlappen, wobei das federelastische Element zwischen den Vorsprüngen angeordnet sein kann.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das federelastische Element als ein Bauelement verstanden werden, welches unter Belastung nachgeben (z.B. sich dehnen oder stauchen) und nach Entlastung in die ursprüngliche Gestalt zurückkehren kann, d.h. sich elastisch rückstellend verhält (reversible Verformung). Mit anderen Worten kann das federelastische Element bis zu einer Elastizitätsgrenze gedehnt/gestaucht werden ohne sich dabei plastisch zu verformen oder nur geringfügig plastisch zu verformen (z.B. mit weniger als 0,2% bleibender Verformung) oder ohne zu brechen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich das federelastische Element bis zu einer Verformung von mehr als ungefähr 1%, z.B. von mehr als ungefähr 10%, z.B. von mehr als ungefähr 50%, z.B. von mehr als ungefähr 100%, elastisch rückstellend verhalten. Die Verformung kann als Verhältnis der Längenänderung (oder Breitenänderung) zur ursprünglichen Länge (oder Breite) eines gedehnten oder gestauchten federelastischen Elements verstanden werden. Wird das federelastische Element gedehnt/gestaucht kann dieses eine Rückstellkraft erzeugen, welche entgegen des Dehnens/Stauchens gerichtet ist. Die Rückstellkraft (gemessen bei konstanter Dehnung/Stauchung) kann umso größer sein, desto härter das federelastische Element ist, d.h. desto größer dessen Federkonstante ist.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das federelastische Element ein elastisches Material aufweisen, beispielsweise einen Kunststoff, wie ein Elastomer ein Polymer oder ein Co-Polymer, z.B. Gummi, Silikon, Silikonkautschuk, fluorierter Silikonkautschuk, Naturkautschuk oder einen anderen geeigneten (z.B. weichen und/oder vakuumtauglichen) Kunststoff. Beispielsweise kann das Polymer oder das Co-Polymer Silizium aufweisen.
- Die Elastizitätsgrenze und/oder die Federkonstante des federelastischen Elements können von dem Material und/oder einer Form des federelastischen Elements beeinflusst sein oder werden. Die Federkonstante des federelastischen Elements kann umso größer sein, desto größer ein Elastizitätsmodul des elastischen Materials ist oder desto größer eine Materialstärke des elastischen Materials ist (d.h. desto massiver das federelastische Element ist). Die Federkonstante des federelastischen Elements kann z.B. umso größer sein, desto größer die Shorehärte des elastischen Materials ist. Für eine vorgegebene Federkonstante kann das federelastische Element umso massiver (z.B. als Platte oder Zylinder, z.B. als Elastomerfeder) ausgebildet sein, desto kleiner das Elastizitätsmodul des elastischen Materials ist.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das elastische Material metallisch sein, wie z.B. Stahl (z.B. Federstahl) oder ein anderes Metall, eine andere Metalllegierung oder intermetallische Verbindung. Beispielsweise kann das federelastische Element eine Metallfeder oder eine Kunststofffeder (z.B. in Form einer Tellerfeder, Schenkelfeder, Torsionsfeder, Blattfeder, oder einer anderen Federform) aufweisen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann einer der Vorsprünge eine Vertiefung (z.B. in Form einer Nut oder eines Falzes) in dem entsprechenden Sockelelement begrenzen in welche der andere Vorsprung (z.B. in Form einer Lasche) hineingreifen kann, wenn die Sockelelemente zusammengesteckt sind. Der Vorsprung, welcher die Vertiefung begrenzt, kann auch als Wandabschnitt der Vertiefung bezeichnet werden. Die Befestigungsanordnungen (z.B. der Vorsprung und/oder die Vertiefung) können z.B. einen Abschnitt eines der Sockelelemente umlaufen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Sockelanordnung ferner ein Verbindungselement aufweisen, welches die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements durchdringt. Beispielsweise kann das Verbindungselement die Vorsprünge durchdringen.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können/kann die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und/oder die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements eine Öffnung aufweisen, in welche das federelastische Element hinein ragt und (z.B. darin) ein Verbindungselement (z.B. einen Verschraubungsabschnitt) zum Verbinden des federelastischen Elements mit einem anderen Verbindungselement (z.B. mit dem die Vorsprünge durchdringenden Verbindungselement) bildet. Das federelastische Element kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass darin eine Schraube eingeschraubt sein oder werden kann, d.h. das federelastische Element kann als Verbindungselement wirken. Beispielsweise kann der Verschraubungsabschnitt mittels einer Öffnung mit einem Innengewinde in dem federelastischen Element gebildet sein. Das federelastische Element kann beispielsweise als Blindnietmutter (auch als Gewindehohlniet oder Einnietmutter bezeichnet) ausgebildet sein.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements eine die Sockelanordnung durchdringende Durchgangsöffnung zum Aufnehmen einer Versorgungsanordnung umgeben. Die Durchgangsöffnung kann auch als Versorgungsöffnung bezeichnet werden.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Durchgangsöffnung eine Versorgungsanordnung aufgenommen sein. Eine Versorgungsanordnung kann z.B. eine Rohrleitung zum Transportieren einer Kühlflüssigkeit zu dem Endblock, einen Zugmitteltrieb zum Übertragen von mechanischer Kraft auf den Endblock, eine Welle zum Übertragen von mechanischer Kraft auf den Endblock oder eine elektrische Leitung zum Übertragen von elektrischer Energie auf den Endblock aufweisen. Die Versorgungsanordnung kann beispielsweise an dem Endblock befestigt sein oder werden.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung Folgendes aufweisen: einen Endblock zum drehbaren Lagern einer Rohrkathode und eine Sockelanordnung zum Befestigen des Endblocks. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Endblock an der Sockelanordnung befestigt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung an einer Kammerwand befestigt sein.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die erste Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements ein Sackloch mit Gewinde aufweisen, welches sich in die Sockelanordnung hinein erstreckt.
- Anschaulich können die zweite Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und die erste Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements Teil einer Kupplungsstruktur sein, welche das erste Sockelelement und das zweite Sockelelement gegeneinander bewegbar miteinander kuppelt. Die Kupplungsstruktur kann anschaulich als Gelenk zwischen dem ersten Sockelelement und dem zweiten Sockelelement wirken. Zum Erzeugen einer Rückstellkraft beim Auslenken des zweiten Sockelelements gegenüber dem ersten Sockelelement kann die Kupplungsstruktur beispielsweise ein federelastisches Element aufweisen.
- Die Kupplungsstruktur kann bei Schwingungen (wiederholte Auslenkungen) eines der Sockelelemente oder bei Stößen (mit anderen Worten impulsförmig wirkenden Kräften) auf/gegen eines der Sockelelemente dämpfend wirken. Mit anderen Worten können das erste Sockelelement und das zweite Sockelelemente mittels der Kupplungsstruktur schwingungsgedämpft miteinander gekuppelt sein.
- Die Kupplungsstruktur kann ein Verbindungselement aus dem elastischen Material aufweisen, z.B. in Form einer Mutter oder einer Blindnietmutter. Zum Verbinden der zwei Sockelelemente miteinander kann ein anderes Verbindungselement der Kupplungsstruktur, z.B. eine Schraube, Niete oder ein Gewindestift, in dem elastischen Material aufgenommen, z.B. eingeschraubt, sein.
- Die Verbindungselemente der Kupplungsstruktur können in passenden Öffnungen oder Vertiefung der zweiten Befestigungsanordnung des ersten Sockelelements und/oder der ersten Befestigungsanordnung des zweiten Sockelelements angeordnet sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kupplungsstruktur beispielsweise eine Schraubverbindung oder Nietverbindung aufweisen, welche die Befestigungsanordnungen miteinander verbindet. Die Öffnungen oder Vertiefung in den Befestigungsanordnungen können derart eingerichtet und angeordnet sein, dass diese in einem ineinandergesteckten Zustand der zwei Sockelelemente miteinander fluchten.
- Die Kupplungsstruktur kann eine formschlüssige Verbindung der beiden Sockelelemente miteinander ermöglichen. Beispielsweise indem das federelastische Element zwischen den beiden Befestigungsanordnungen angeordnet wird und/oder indem die beiden Sockelelemente mittels eines Verbindungselements der Kupplungsstruktur miteinander verbunden sind oder werden.
- Die Sockelanordnung, bzw. ein Sockelelement der Sockelanordnung, kann ein Metall oder eine Metalllegierung aufweisen, z.B. Aluminium, Eisen, eine Aluminiumlegierung oder eine Eisenlegierung (z.B. Stahl).
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Sockelanordnung zum Halten eines Endblocks Folgendes aufweisen: ein erstes Sockelelement zum Befestigen der Sockelanordnung an einer Prozessierkammer; und ein zweites Sockelelement zum Befestigen der Sockelanordnung an einem Endblock; wobei das eine der Sockelelemente mit einem ersten Abschnitt in einen zweiten Abschnitt des anderen der Sockelelemente hineinragen kann; wobei der erste Abschnitt und der zweite Abschnitt derart ineinandergreifen können, dass das erste Sockelelement und das zweite Sockelelement gegeneinander auslenkbar miteinander gekuppelt (oder verbunden) sind; und eine den ersten Abschnitt umlaufende Dichtstruktur, welche einen Spalt zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt abdichtet.
- Gemäß einem Beispiel kann eine Endblock-Anordnung Folgendes aufweisen: mindestens einen Endblock zum drehbaren Lagern einer Rohrkathode; eine Sockelanordnung zum Halten des Endblocks; wobei die Sockelanordnung eine erste Befestigungsanordnung zum Verbinden der Sockelanordnung mit einem Wandelement (z.B. einer Kammerwand) aufweisen kann; und wobei die Sockelanordnung gegenüberliegend der ersten Befestigungsanordnung eine zweite Befestigungsanordnung zum Verbinden der Sockelanordnung mit dem Endblock aufweisen kann, wobei die zweite Befestigungsanordnung eine Durchgangsöffnung aufweisen kann, welche einen Vorsprung der Sockelanordnung durchdringt. Eine solche Sockelanordnung in dem Beispiel ist einstückig ausgebildet. Eine einstückig ausgebildete Sockelanordnung kann z.B. eingesetzt werden, wenn die mechanischen Belastungen auf den Endblock tolerierbar sind und lediglich die Montage des Endblocks erleichtert werden soll. In dem Beispiel hält die einteilig (oder einstückig) ausgebildete Sockelanordnung einen Endblock des Endblockpaars und wird mit einer zweiteilig ausgebildeten Sockelanordnung (mit einer Kupplungsstruktur) kombiniert, welche den anderen Endblock des Endblockpaars hält.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mittels eines Endblocks eine Rohrkathode mit elektrischer Energie, mit einem Kühlmittel (z.B. einer Kühlflüssigkeit) und/oder mit mechanischer Energie zum Drehen der Rohrkathode versorgt werden. Diese können dem Endblock von außerhalb der Vakuumkammer durch eine Kammerwand der Vakuumkammer hindurch mittels der Versorgungsanordnung zugeführt werden. Der Endblock kann ferner derart eingerichtet sein, dass die rohrförmige Kathode ausgewechselt werden kann, nachdem beispielsweise das Targetmaterial verbraucht ist. Dazu kann der Endblock beispielsweise eine Halterung (z.B. einen Flansch oder eine Kupplung) aufweisen, so dass die rohrförmige Kathode an dem Endblock drehbar befestigt sein oder werden kann. Ferner kann die rohrförmige Kathode an einem Endabschnitt oder jeweils an beiden (axialen) Endabschnitten mittels eines Endblocks (welche ein Endblockpaar bilden) gelagert sein. Jeder Endblock des Endblockpaars kann ein Teil einer Endblock-Anordnung sein, wie sie hierin beschrieben ist. Ferner können die antreibenden Komponenten (z.B. Motor, Getriebe und/oder Riemen) der Versorgungstruktur in einem Endblock des Endblockpaars (der sogenannte Antriebsendblock) und die versorgenden Komponenten (z.B. die elektrischen Zuführung und/oder die Kühlmittelzuführung) der Versorgungstruktur in dem anderen Endblock des Endblockpaars (dem sogenannten Medienendblock) angeordnet sein.
- Die Endblock-Anordnung und die Rohrkathode können Teil eines Magnetrons (eines so genannten Rohrmagnetrons) sein, mit dem das Sputtern erfolgen kann. Zum Sputtern kann die Endblock-Anordnung innerhalb einer Prozessierkammer angeordnet und an einer Kammerwand der Prozessierkammer befestigt sein oder werden. Das Magnetron und die Prozessierkammer können Teil einer Prozessieranordnung sein. Die Prozessieranordnung kann ferner ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats in der Prozessierkammer aufweisen.
- Ferner kann das Sputtern in einem Vakuum erfolgen. Dazu kann die Prozessierkammer als Vakuumkammer eingerichtet und mit einem Pumpensystem gekoppelt sein, so dass innerhalb der Prozessierkammer ein Vakuum und/oder ein Unterdruck bereitgestellt sein oder werden kann. Ferner kann die Prozessierkammer derart eingerichtet sein, dass die Umgebungsbedingungen (die Prozessbedingungen) innerhalb der Prozessierkammer (z.B. Druck, Temperatur, Gaszusammensetzung, usw.) während des Sputterns eingestellt oder geregelt werden können. Die Prozessierkammer kann dazu beispielsweise luftdicht, staubdicht und/oder vakuumdicht eingerichtet sein oder werden. Beispielsweise kann der Prozessierkammer ein ionenbildendes Gas (Prozessgas) oder ein Gasgemisch (z.B. aus einem Prozessgas und einem Reaktivgas) mittels einer Gaszuführung zugeführt werden zum Bilden einer Prozessatmosphäre in der Prozessierkammer. Bei einem reaktiven Magnetronsputtern kann das zerstäubte Targetmaterial mit dem Reaktivgas reagiert und das Reaktionsprodukt abgeschieden werden. Eine Endblock-Anordnung, wie hierin beschrieben ist, kann beispielsweise für Vakuumbeschichtungsanlagen mit Rohrmagnetrons eingesetzt werden.
- Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Magnetronanordnung zum Sputtern einen ersten Endblock, wie hierin beschrieben ist, und einen zweiten Endblock, wie hierin beschrieben ist, aufweisen. Der erste Endblock und der zweite Endblock können ein Endblockpaar zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode bilden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zumindest einer der Endblöcke des Endblockpaars mittels einer Sockelanordnung, wie hierin beschrieben ist, gelagert sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Magnetronanordnung eine mittels des Endblockpaars drehbar gelagerte Rohrkathode aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Endblock des Endblockpaars als Antriebsendblock ausgebildet sein und der andere Endblock des Endblockpaars als Medienendblock.
- Alternativ kann ein Endblock zum Antreiben und zum Versorgen der Rohrkathode mit einem Medium eingerichtet sein. Dann kann der dem Endblock gegenüberliegende Endabschnitt der Rohrkathode mittels eines Lagerbocks abgestützt und drehbar gelagert sein. Der Lagerbock kann mit anderen Worten ein Gegenlager zu dem Endblock bilden, an welchem ein Endabschnitt der Rohrkathode gestützt sein kann.
- Eine Magnetronanordnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: eine Prozesskammerwand; einen Endblock und einen anderen Endblock (oder alternativ einen Lagerbock), welche zusammen zum drehbaren Lagern und Versorgen einer Rohrkathode eingerichtet sind; eine Sockelanordnung an welcher den Endblock befestigt ist; wobei die Prozesskammerwand eine erste Befestigungsanordnung zum Befestigen der Sockelanordnung an der Prozesskammerwand aufweist und eine zweite Befestigungsanordnung zum Befestigen des anderen Endblocks (oder alternativ des Lagerbocks) an der Prozesskammerwand aufweist; wobei mittels der ersten Befestigungsanordnung und der zweiten Befestigungsanordnung eine relative Lage des Endblocks zu dem anderen Endblock (oder alternativ dem Lagerbock) definiert ist; und wobei die Sockelanordnung zum Auslenken des Endblocks entlang zumindest zweier Freiheitsgrade relativ zu der Prozesskammerwand ausgebildet ist.
- Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
- Es zeigen
-
1A eine Sockelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
1B eine Endblock-Anordnung gemäß einem Beispiel in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
2 eine Endblock-Anordnung gemäß einem Beispiel in einer schematischen Perspektivansicht; -
3 eine Endblock-Anordnung gemäß einem Beispiel in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
4A und4B jeweils eine Endblock-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
5 eine Sockelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; -
6 eine Endblock-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
7A und7B jeweils eine Sockelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; -
8A eine Blindnietmutter gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; -
8B eine Kupplungsstruktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; -
9A eine Kupplungsstruktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; -
9B eine Kupplungsstruktur gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht; -
10 eine Endblock-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht; und -
11 und12 jeweils eine Endblock-Anordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht. - In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
- Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
- Zum Montieren eines Endblocks (auf der sogenannten Prozessseite bzw. im „Vakuum“) an einer Kammerwand (z.B. an einem so genannten Magnetrondeckel) wird der Endblock herkömmlicherweise mittels vier Zylinderschrauben direkt mit der Kammerwand verschraubt (entspricht anschaulich genau einer Verschraubungsebene). Muss der Endblock aufgrund von Wartungsarbeiten oder Änderung des Target-Substrat-Abstandes demontiert bzw. anschließend wieder montiert werden, müssen diese Zylinderschrauben herausgeschraubt und anschließend wieder eingeschraubt werden. Dabei liegt der Zugang zu den Zylinderschrauben auf der dem Endblock abgewandten Seite der Kammerwand (atmosphärenseitig), so dass ein Betätigen der Zylinderschrauben von der dem Endblock abgewandten Seite der Kammerwand her erfolgt. Eine solche Verschraubung (mit genau einer Verschraubungsebene) erschwert die Handhabung (das sogenannte Handling) des Endblocks bei der Montage/Demontage.
- Beispielsweise ist es für eine einzelne Servicekraft (z.B. einen einzelnen Monteur) schwer zu erkennen, ob der Endblock in der richtigen Position an der Kammerwand zentriert ist, da ein direktes Beobachten der Position des Endblocks von der Kammerwand behindert wird, bzw. gesonderter Hilfsmittel bedarf. Bisher wird daher mindestens eine zweite Servicekraft, ein Kran oder eine spezielle Montagevorrichtung benötigt.
- Alternativ erfolgt eine Verschraubung eines Adapters/Flansches an der Kammerwand mittels Zylinderschrauben (entspricht anschaulich einer ersten Verschraubungsebene). Der Adapter ist herkömmlicherweise mit einer großen Überwurfmutter ausgestattet, welche eine Verschraubung des Endblocks an dem Adapter/Flansch auf der Prozessseite des Magnetrondeckels ermöglicht (entspricht anschaulich einer zweiten Verschraubungsebene). Soll eine solche Überwurfmutter gewechselt oder gereinigt werden, ist allerdings eine Montage/Demontage des Adapters/Flansches erforderlich, was den Wartungsaufwand erhöht.
- Herkömmlicherweise wird ein Endblock starr am Magnetrondeckel verschraubt. Umso größer die Rohrkathode (das so genannte Target) ist, desto mehr Gewicht (Targetlast) kann die Rohrkathode aufweisen und Bauteile zum drehbaren Lagern des Trägerrohrs (Rotationslagerung) belasten. Dies erzeugt zusätzliche mechanische Belastungen (Kräfte und Momente) innerhalb des Endblocks, welche aufgrund hoher Biegemomente bei großer Targetlast induziert werden. Nimmt die Rotationslagerung (z.B. Wälzlager und andere angrenzende Bauteile zum drehbaren Lagern des Trägerrohrs) die mechanische Belastung auf, kann deren Lebensdauer verkürzt werden und daraus resultierend der Endblock vorzeitig seine Funktion verlieren. Die Verkürzung der Lebensdauer kann insbesondere auftreten, wenn das maximale Biegemoment an der Rotationslagerung im Endblock auftritt.
- Herkömmlicherweise wird das Biegemoment (und damit hauptsächlich die Radialkräfte) in den Wälzlagern verringert, indem ein erhöhtes Lagerspiel in relativ nah beieinanderstehenden Kugellagern eingestellt wird, um eine gewisse Achsverschränkung zu ermöglichen. Alternativ werden die Wälzlager in einem separaten inneren Gehäuse innerhalb des Endblocks gelagert, welches mittels zwei großer O-Ringe im eigentlichen äußeren Gehäuse abstützt wird. Solche Anordnungen ermöglichen allerdings eine relativ geringe Entlastung, welche in vielen Anwendungsfällen unzureichend ist.
- Mit einer Sockelanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein flexibles/elastisches Befestigen des Endblocks an der Kammerwand ermöglicht werden, so dass der Biegemomentverlauf entlang der Längserstreckung des Trägerrohrs (in Targetlängsrichtung) verändert werden kann, und so dass sich das Maximum des Biegemoments aus der Rotationslagerung heraus in Richtung der Mitte des gelagerten Trägerrohrs/Welle (mit anderen Worten des Targets) verschiebt. Dadurch kann eine Entlastung des Endblocks erreicht werden.
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1A veranschaulicht eine Sockelanordnung102 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (z.B. quer zu einer Montageebene oder Prozesskammerwand314w , siehe3 ). - Die Sockelanordnung
102 kann ein erstes Sockelelement312 aufweisen, welches eine erste Befestigungsanordnung110 zum Befestigen des ersten Sockelelements312 an einer Prozesskammerwand (Kammerwand) und eine zweite Befestigungsanordnung102a aufweisen. Ferner kann die Sockelanordnung102 ein zweites Sockelelement322 aufweisen, welches eine erste Befestigungsanordnung102b zum Befestigen des zweiten Sockelelements322 an dem ersten Sockelelement312 und eine zweite Befestigungsanordnung120 zum Befestigen eines Endblocks an dem zweiten Sockelelement322 aufweisen kann. - Die zweite Befestigungsanordnung
102a des ersten Sockelelements312 und die erste Befestigungsanordnung102b des zweiten Sockelelements322 können für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sein, dass das zweite Sockelelement322 relativ zu dem ersten Sockelelement312 auslenkbar ist. Dazu kann zwischen dem zweiten Sockelelement322 und dem ersten Sockelelement312 ein Spalt102s erstreckt sein, welcher das Spiel ermöglicht. -
1B veranschaulicht eine Endblock-Anordnung100 gemäß einem Beispiel in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu1A) . Die Endblock-Anordnung100 kann mindestens einen Endblock104 zum drehbaren Lagern einer Rohrkathode304w (in1 nicht dargestellt, siehe3 ) aufweisen. Ferner kann die Endblock-Anordnung100 eine Sockelanordnung152 zum Halten des Endblocks104 aufweisen. - Die Sockelanordnung
152 kann eine erste Befestigungsanordnung110 (auch als erste Verschraubungsebene110 bezeichnet) zum Verbinden der Sockelanordnung152 mit einem Wandelement (z.B. einer Kammerwand) aufweisen. Beispielsweise kann die erste Befestigungsanordnung110 (ein oder) mehrere Sacklöcher mit Innengewinde aufweisen in welchen eine Schraube eingeschraubt sein oder werden kann. Alternativ kann die erste Befestigungsanordnung110 Bolzen oder Gewindestifte aufweisen, welche sich von der Sockelanordnung152 weg erstrecken. - Ferner kann die Sockelanordnung
102 gegenüberliegend der ersten Befestigungsanordnung110 eine zweite Befestigungsanordnung120 zum Verbinden der Sockelanordnung152 mit dem Endblock104 aufweisen. Die zweite Befestigungsanordnung120 kann eine Durchgangsöffnung120d aufweisen, welche einen Vorsprung102v der Sockelanordnung152 durchdringen kann. In die Durchgangsöffnung120d kann ein Verbindungselement (z.B. eine Schraube) eingebracht sein oder werden, welche mit dem Endblock104 verbunden sein oder werden kann. -
2 veranschaulicht eine Endblock-Anordnung200 mit einer Sockelanordnung202 gemäß einem Beispiel in einer schematischen Perspektivansicht, wobei zwischen der Sockelanordnung202 (auch als Befestigungsflansch202 bezeichnet) und dem Endblock104 ein Distanzelement206 angeordnet sein kann. Mittels des Distanzelements206 kann ein Abstand zwischen der Sockelanordnung202 und dem Endblock104 vergrößert sein oder werden. Dies kann erforderlich sein, wenn z.B. der Abstand der Rohrkathode zu einem zu beschichtenden Substrat (der so genannte Target-Substrat-Abstand) angepasst werden soll (z.B. verkleinert werden soll). Beispielsweise können mehrere Distanzelemente206 miteinander kombiniert sein oder werden, z.B. Distanzelemente206 mit verschiedenen Dicken eingesetzt sein oder werden, zum Anpassen des Target-Substrat-Abstandes. - Der Target-Substrat-Abstand kann auch mit verschieden hohen Distanzelementen
206 eingestellt werden. Es kann also mehrere Kombinationsmöglichkeiten geben einen Target-Substrat-Abstand einzustellen, beispielsweise nur mit einem Distanzelement206 welches auf den erforderlichen Target-Substrat-Abstand angepasst ist, mit mehreren Distanzelementen206 oder mit oder mindestens einem Isolierelement206 und mindestens einem Distanzelement206 . - Die erste Befestigungsanordnung
110 kann ferner mehrere erste Verbindungselemente210s aufweisen, z.B. Schrauben210s oder Zylinderschrauben210s , wie in2 dargestellt ist und dazu passende Gewindebohrungen in der Sockelanordnung202 , in welchen die Schrauben210s eingeschraubt sein oder werden können zum Befestigen der Sockelanordnung202 an einer dazu passend eingerichteten Kammerwand314w oder einem Kammerdeckel314w (in2 nicht dargestellt, siehe beispielsweise3 ). - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung
202 passend zu einer Kammerwand314w oder einem Kammerdeckel314w eingerichtet sein und auf einer ersten Seite (auch als Deckelanschluss bezeichnet) eine Dichtstruktur202d mit einer Dichtung, z.B. einer Vakuumdichtung, aufweisen. Die Dichtstruktur202d kann die erste Befestigungsanordnung110 umgeben. Ferner kann die Sockelanordnung202 passend zu einem Endblock104 eingerichtet sein und auf einer zweiten Seite (auch als Zwischenadapter bezeichnet) eine Dichtfläche oder eine Dichtstruktur aufweisen (in dieser Ansicht verdeckt, siehe3 ), in dem eine Dichtung angeordnet sein kann. - Ferner kann die Sockelanordnung
202 mehrere Aussparungen202a (z.B. in Form von Taschen) aufweisen. Die mehreren Aussparungen202a können beispielsweise jeweils an den Ecken, z.B. an gegenüberliegenden Bereichen, der Sockelanordnung202 angeordnet sein, wobei jede Aussparung der mehreren Aussparungen202a jeweils einen Vorsprung102v der Sockelanordnung202 definieren kann. Mit anderen Worten können die mehreren Aussparungen202a mehrere Vorsprünge102v definieren. - Die zweite Befestigungsanordnung
120 (auch als zweite Verschraubungsebene120 bezeichnet) kann mehrere Durchgangsöffnungen120d aufweisen, wobei jede Durchgangsöffnung der mehreren Durchgangsöffnungen120d einen Vorsprung der mehreren Vorsprünge102v durchdringen kann. Ferner kann die zweite Befestigungsanordnung120 mehrere zweite Verbindungselemente220s aufweisen, z.B. Schrauben220s oder Zylinderschrauben, wie in2 dargestellt ist. In einer Aussparung202a kann jeweils eine Schraube220s angeordnet sein, welche sich durch eine Durchgangsöffnung der mehreren Durchgangsöffnungen120d hindurch erstrecken kann. - Eine Schraube
220s der zweiten Befestigungsanordnung120 kann ferner durch eine passende Durchgangsöffnung in dem Distanzelement206 hindurch und in den Endblock104 hinein erstreckt, z.B. in den Endblock104 hinein geschraubt, sein. Die in den Aussparungen202a angeordneten Schrauben220s können ein Befestigen des Endblocks104 an der Sockelanordnung202 ermöglichen (prozessseitig oder auch vakuumseitig). Damit kann eine formschlüssige Verbindung zwischen der Sockelanordnung202 , dem Endblock104 und dem Distanzelement206 erreicht werden. - Alternativ können die zweiten Verbindungselemente
220s auch einen an dem Endblock104 befestigten Gewindestift und eine auf den Gewindestift aufgeschraubte Mutter aufweisen oder die formschlüssige Verbindung kann anders erfolgen. Der Einsatz von Standardteilen, wie Zylinderschrauben210s , als Verbindungselemente der Endblock-Anordnung200 ermöglicht beispielsweise eine kostengünstige Fertigung der Endblock-Anordnung200 . - Weist die zweite Befestigungsanordnung
120 zweite Verbindungselemente220s auf, deren Länge die Ausdehnung der Aussparungen202a übersteigt, so können die Durchgangsöffnungen120d gemäß verschiedenen Ausführungsformen seitlich geöffnet ausgebildet sein. Damit kann erreicht werden, dass ein Verbindungselement220s aus einer seitlichen Richtung in die Durchgangsöffnung120d hinein gebracht werden kann. - An und/oder in dem Endblock
104 kann eine Welle204w (z.B. eine Hohlwelle204w) , eine so genannte Lagerwelle204w , angeordnet sein, wobei sich die Lagerwelle204w beispielsweise entlang der Richtung101 erstrecken kann. Die Lagerwelle204w kann drehbar gelagert oder drehbar in dem Endblock104 abgestützt sein (z.B. drehbar um eine Drehachse entlang der Richtung101 ). An der Lagerwelle204w kann zum Durchführen eines Sputterprozesses ein Targetgrundrohr (in2 nicht dargestellt, siehe3 ), z.B. als Teil einer Rohrkathode, befestigt sein oder werden. Beispielsweise kann das Targetgrundrohr auf die Lagerwelle204w aufgesteckt oder in die Lagerwelle204w eingesteckt sein oder werden und/oder alternativ mittels einer Targetbefestigung (z.B. einem Flansch und/oder einer Klemme) anderweitig an der Lagerwelle204w befestigt sein oder werden. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Sockelanordnung
202 eine Öffnung102d (Versorgungsöffnung102d) aufweisen, welche es ermöglicht, den Endblock104 durch die Sockelanordnung202 hindurch zu versorgen, z.B. elektrisch zu kontaktieren zum Versorgen mit elektrischer Energie. -
3 veranschaulicht eine Endblock-Anordnung300 gemäß einem Beispiel in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu1A , z.B. parallel zur Drehachse der Lagerwelle204w) mit einer Sockelanordnung302 , wobei die Sockelanordnung302 an einer Kammerwand314w einer Prozessierkammer befestigt sein kann. Die Sockelanordnung302 kann mittels Schrauben210s an der Kammerwand314w befestigt sein oder werden. Die Schrauben210s zum Befestigen der Sockelanordnung302 können von einer der Sockelanordnung302 abgewandten Seite der Kammerwand314w in die Sockelanordnung302 geschraubt sein oder werden (mit anderen Worten atmosphärenseitig betätigt werden). - Die Endblock-Anordnung
300 kann einen Endblock104 aufweisen, welcher mittels der Sockelanordnung302 an der Kammerwand314w (auch als Gehäusewand314w bezeichnet) montiert sein kann. Die Kammerwand314w kann Teil eines Kammergehäuses oder eines Kammerdeckels der Prozessierkammer sein. Anschaulich kann sich die dem Endblock104 (im montierten Zustand) zugewandte Seite der Kammerwand314w (auch prozessseitig oder vakuumseitig genannt) während eines Sputterprozesses im Inneren der Prozessierkammer befinden und die dem Endblock104 abgewandte Seite (auch atmosphärenseitig genannt) der Kammerwand314w (Kammerdeckel) kann sich während eines Sputterprozesses außerhalb der Prozessierkammer befinden. - Ist die Kammerwand
314w Teil eines Kammerdeckels, kann die Prozessierkammer ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Aufnehmen des Kammerdeckels aufweisen. Der Kammerdeckel kann die Kammeröffnung vakuumdicht verschließen, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist, so dass die Prozessierkammer abgepumpt werden kann zum Bilden eines Vakuums313 oder einer Prozessatmosphäre innerhalb der Prozessierkammer. Innerhalb der Prozessierkammer kann beispielsweise ein Vakuum313 oder eine Prozessatmosphäre313 mit einem Druck von weniger als 1 mbar erzeugt werden, z.B. von weniger als 10-2 mbar, z.B. von weniger als 10-4 mbar, z.B. von weniger als 10-6 mbar. - Ist das Kammergehäuse mittels des Kammerdeckels verschlossen, kann sich die Sockelanordnung
302 in das Innere des Kammergehäuses hinein erstrecken. Zum Öffnen des Kammergehäuses kann der Kammerdeckel abnehmbar von der Prozessierkammer oder schwenkbar eingerichtet sein. Das Öffnen des Kammergehäuses kann beispielsweise einen Zugang zu dem Inneren der Prozessierkammer erleichtern, z.B. für Wartungsarbeiten. Eine Montage/Demontage der Sockelanordnung302 , des Endblocks104 und/oder der Rohrkathode304w kann z.B. bei abgenommenem Kammerdeckel erfolgen. - Die Sockelanordnung
302 kann Teil eines Magnetrons (oder Magnetron-Anordnung) sein, mittels dessen ein Substrat prozessiert, z.B. beschichtet, werden kann. Der Kammerdeckel kann dann auch als Magnetrondeckel bezeichnet werden. Das Magnetron kann ferner den Endblock104 und eine Rohrkathode304w aufweisen, welche mit der Lagerwelle204w des Endblocks104 gekuppelt sein kann. Die Rohrkathode304w , bzw. das Trägerrohr kann entlang der Drehachse der Lagerwelle längserstreckt sein (entlang Richtung101 ). - Zum Betreiben des Magnetrons kann es notwendig sein, die Rohrkathode
304w von außerhalb der Prozessierkammer durch die Kammerwand314w hindurch zu versorgen, z.B. mit elektrischer Energie, mit Kühlflüssigkeit oder mit mechanischer Energie (zum Drehen der Rohrkathode304w) . Dazu kann die Kammerwand314w (oder analog der Kammerdeckel) eine Durchgangsöffnung314d aufweisen, durch welche hindurch der Endblock104 , bzw. die Rohrkathode304w , versorgt werden kann. - Ferner kann die Sockelanordnung
302 von einer dazu passenden Durchgangsöffnung102d (Versorgungsöffnung102d) durchdrungen sein und das Distanzelement206 kann von einer dazu passenden Durchgangsöffnung206d durchdrungen sein, welche den Endblock104 mit der Durchgangsöffnung314d in der Kammerwand314w verbinden. Die Durchgangsöffnung102d in der Sockelanordnung302 kann sich von der ersten Seite der Sockelanordnung302 zu der zweiten Seite der Sockelanordnung302 , gegenüberliegend der ersten Seite, erstrecken. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Endblock
104 ein Basisgehäuse104b aufweisen. Das Basisgehäuse104b des Endblocks104 kann beispielsweise die Komponenten (Lagerwelle204w , Drehdurchführung, Wälzlager und/oder Dichtungen) zum drehbaren Lagern der Rohrkathode304w und die Versorgungsanordnung1102 (in3 nicht dargestellt, vergleiche11 oder12 ) zumindest teilweise umgeben und/oder stützen. - Die Durchgangsöffnung
102d der Sockelanordnung302 , die Durchgangsöffnung206d des Distanzelements206 und das Innere des Endblocks104 können ein Inneres der Endblock-Anordnung300 bilden, wobei das Innere der Endblock-Anordnung300 durch die Durchgangsöffnung314d in der Kammerwand314w hindurch mit dem Äußeren der Prozessierkammer (auch atmosphärenseitig genannt) verbunden sein kann. - Ist innerhalb der Prozessierkammer eine Prozessatmosphäre
313 (z.B. ein Vakuum) gebildet, kann das Innere der Endblock-Anordnung300 einen Druck aufweisen, welcher größer ist, als der Druck der Prozessatmosphäre313 . Beispielsweise kann das Innere der Endblock-Anordnung300 ungefähr Atmosphärendruck311 (ungefähr 100 kPa) aufweisen. Dazu kann das Innere der Endblock-Anordnung300 gegenüber dem Inneren der Prozessierkammer (und damit gegenüber der Prozessatmosphäre313 ) mittels entsprechender Dichtstrukturen202d ,306d abgedichtet sein. - Zum Abdichten des Inneren der Endblock-Anordnung
300 gegenüber dem Inneren der Prozessierkammer kann zwischen der Kammerwand314w und der Sockelanordnung302 , der Sockelanordnung302 und dem Distanzelement206 sowie dem Distanzelement206 und dem Endblock104 jeweils eine Dichtstruktur202d ,306d angeordnet sein, welche ein Abdichten eines Spaltes zwischen den aneinandergrenzenden Bauteilen ermöglicht. Die Dichtstrukturen202d ,306d können jeweils eine Vakuumdichtung (beispielsweise eine Gummidichtung) aufweisen, z.B. einen O-Ring, eine Flachdichtung, eine Profildichtung oder eine Dichtung mit anderer Geometrie. - Zum Betreiben der Rohrkathode
304w kann diese auf einem elektrischen Potential liegen (anschaulich wenn diese elektrisch versorgt wird). Das elektrische Potential kann ferner auf den Endblock104 übertragen werden. Daher kann es notwendig sein, den Endblock104 von der Prozessierkammer, bzw. der Kammerwand314w , elektrisch zu isolieren (z.B. zum Gewährleisten von Arbeitsschutz). Ferner kann der Endblock104 während des Betreibens der Rohrkathode304w erwärmt werden. - Daher kann es notwendig sein, den Endblock
104 von der Prozessierkammer, bzw. der Kammerwand314w , thermisch zu isolieren. Zum thermischen und/oder elektrischen Isolieren des Endblocks104 von der Prozessierkammer (oder der Sockelanordnung302 ) kann das Distanzelement206 gemäß verschiedenen Ausführungsformen aus einem thermisch und/oder elektrisch isolierenden Material206i bestehen zum Bilden eines Isolierelements206 . - Herkömmlicherweise kann das Isolierelement
206 aus Silikon gebildet sein, welches eine gewisse Nachgiebigkeit des Isolierelements206 ermöglicht. Dabei können allerdings Überschläge auftreten, da die Isolationsfähigkeit des Isolierelements206 beeinträchtigt wird, wenn dieses nachgibt. Ein Versteifen oder ein Begrenzen der Nachgiebigkeit des Isolierelements206 kann mittels in das Silikon eingebetteter Keramikkugeln (als Distanzhalter) erhöht sein oder werden. - Wie vorangehend beschrieben ist, kann der Endblock
104 mittels der Schrauben220s durch das Distanzelement206 hindurch mit der Sockelanordnung302 verbunden sein oder werden. Zum thermisch und/oder elektrischen Isolieren der Schrauben220s von der Sockelanordnung302 , kann die zweite Befestigungsanordnung120 des zweiten Sockelelements322 thermisch und/oder elektrisch isolierende Hülsen220h (z.B. in Form von Buchsen) aufweisen, welche sich zwischen den Schrauben220s und der Sockelanordnung302 erstrecken. Die Hülsen220h können aus einem thermisch und/oder elektrisch isolierenden Material206i bestehen. - Die Hülsen
220h können in die Durchgangsöffnungen120d der zweiten Befestigungsanordnung120 eingesteckt sein und sich zumindest teilweise in das Distanzelement206 hinein erstrecken. Dazu können die Durchgangsöffnungen120d der zweiten Befestigungsanordnung120 entsprechend groß dimensioniert sein. Ferner können die Schrauben220s in den Hülsen220h aufgenommen sein und sich durch die Hülsen220h hindurch erstrecken. - Die Hülsen
220h können mit Abdeckstopfen220d (in Form von Deckeln) abgedeckt sein oder werden zum Verhindern eines Beschichtens der Schrauben220s . Dadurch kann verhindert werden, dass sich zerstäubtes Targetmaterial auf den Schrauben220s anlagern und eine Schicht (Aufdampfschicht) auf den Schrauben220s bilden kann, welche die Schrauben220s mit der Sockelanordnung302 elektrisch leitend verbindet oder die elektrische Isolation zwischen dem Endblock104 und der Sockelanordnung302 beeinträchtigt. -
4A veranschaulicht eine Endblock-Anordnung400 mit einer Sockelanordnung402 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu1A) , wobei die Sockelanordnung402 zwei Sockelelemente312 ,322 aufweisen kann. Mit anderen Worten kann die Sockelanordnung402 zweiteilig ausgebildet sein. - Das erste Sockelelement
312 (auch als Deckelanschluss312 bezeichnet) kann eine erste Befestigungsanordnung110 aufweisen, wie vorangehend beschrieben ist. Beispielsweise kann der Deckelanschluss312 ein oder mehrere Sacklöcher aufweisen, in die entsprechende Schrauben210s eingeschraubt sind. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Deckelanschluß312 starr an der Kammerwand314w (z.B. einem Magnetrondeckel) verschraubt sein oder werden. Das zweite Sockelelement322 (auch als Zwischenadapter322 bezeichnet) kann eine zweite Befestigungsanordnung120 aufweisen, wie vorangehend beschrieben ist. Beispielsweise kann der Zwischenadapter322 ein oder mehrere Durchgangsöffnungen120d aufweisen, in denen entsprechende Schrauben220s angeordnet sind. Alternativ kann der Zwischenadapter322 auch mittels anderer Verbindungselemente an dem Endblock104 befestigt sein oder werden. - Ferner kann die Sockelanordnung
402 eine Kupplungsstruktur432 aufweisen zum Kuppeln des Deckelanschlusses312 mit dem Zwischenadapter322 . Die Kupplungsstruktur432 kann derart eingerichtet sein, dass der Deckelanschluss312 und der Zwischenadapter322 gegeneinander bewegbar miteinander gekuppelt (oder verbunden) sind. Beispielsweise kann die Kupplungsstruktur432 ein federelastisches Element aufweisen, z.B. eine Gummiplatte, welche zwischen dem ersten Sockelelement312 und dem zweiten Sockelelement322 erstreckt ist. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Endblock-Anordnung
400 mit oder ohne Distanzelement206 ausgebildet sein (gestrichelt gekennzeichnet). Mit anderen Worten kann je nach Bedarf zusätzlich ein Distanzelement206 verwendet werden oder ein Endblock direkt an dem zweiten Sockelelement322 befestigt werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Distanzelement206 Teil des zweiten Sockelelements322 sein. Mit anderen Worten können das Distanzelement206 und das zweite Sockelelement322 einstückig ausgebildet sein. -
4B veranschaulicht eine Sockelanordnung452 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu1A) . - Das erste Sockelelement
312 kann mit einem ersten Abschnitt in einen zweiten Abschnitt des zweiten Sockelelements322 hineinragen, beispielsweise in eine Aussparung in dem zweiten Abschnitt. Der erste Abschnitt kann Teil der zweiten Befestigungsanordnung102a des ersten Sockelelements312 sein. Der zweite Abschnitt kann Teil der ersten Befestigungsanordnung102b des zweiten Sockelelements322 sein. - Die Befestigungsanordnungen
102a ,102b können derart eingerichtet sein, dass das zweite Sockelelement322 relativ zu dem ersten Sockelelement312 entlang mehrerer Freiheitsgrade auslenkbar ist, z.B. entlang ein, zwei oder drei translatorischen Freiheitsgraden und einem rotatorischen Freiheitsgrad, entlang ein, zwei oder drei translatorischen Freiheitsgraden und zwei rotatorischen Freiheitsgraden, entlang ein, zwei oder drei translatorischen Freiheitsgraden und drei rotatorischen Freiheitsgraden, entlang zwei oder drei translatorischen Freiheitsgraden oder entlang zwei oder drei rotatorischen Freiheitsgraden. Während des Sputterns, z.B. wenn der Endblock104 an dem zweiten Sockelelement322 befestigt ist, können die ineinandergreifenden Befestigungsanordnungen102a ,102b verhindern, dass der erste Abschnitt aus dem zweiten Abschnitt heraus gebracht wird. - Ein rotatorischer Freiheitsgrad (auch als Rotationsfreiheitsgrad bezeichnet) kann als Drehung um eine Achse verstanden werden. Ein translatorischer Freiheitsgrad (auch als Translationsfreiheitsgrad bezeichnet) kann als Bewegung entlang einer Richtung verstanden werden. Die Anzahl der Freiheitsgrade kann als Zahl der voneinander unabhängigen Bewegungsmöglichkeiten, z.B. als Zahl zueinander quer verlaufender Richtungen und/oder als Zahl zueinander quer verlaufender Achsen, verstanden werden, entlang/um welche sich eine System bewegen kann, bzw. entlang/um welcher das zweite Sockelelement
322 ausgelenkt werden kann. - Ferner kann die Sockelanordnung
452 eine Dichtstruktur412d aufweisen, welche den ersten Abschnitt umläuft. Die Dichtstruktur412d kann beispielsweise einen Dichtbereich und eine Dichtung, welche in dem Dichtbereich angeordnet ist, aufweisen. Ferner kann die Dichtstruktur412d derart eingerichtet sein, dass diese einen Spalt102s zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt abdichtet. Beispielsweise kann die Dichtstruktur412d einen Hohlraum in der Sockelanordnung452 gegenüber einem die Sockelanordnung452 umgebenden Äußeren abdichten, z.B. vakuumdicht. -
5 veranschaulicht eine Sockelanordnung502 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht, wobei die Sockelanordnung502 zwei Sockelelemente312 ,322 aufweisen kann, welche zumindest teilweise ineinandergreifen und federelastisch miteinander gekuppelt sind. - Dazu kann der Deckelanschluss
312 einen Einsteckabschnitt in Form einer umlaufenden Nut412 aufweisen, welche Teil der zweiten Befestigungsanordnung102a des Deckelanschlusses312 sein kann. Ferner kann der Zwischenadapter322 einen Einsteckabschnitt in Form eines Vorsprungs422 aufweisen, welcher Teil der ersten Befestigungsanordnung102b des Zwischenadapters322 sein kann. Die Nut412 kann an zwei einander gegenüberliegenden Seiten von jeweils einem Wandabschnitt (oder einem Vorsprung) begrenzt sein. Die Einsteckabschnitte können derart eingerichtet sein, dass diese zum Verbinden des Deckelanschlusses312 mit dem Zwischenadapter322 ineinandersteckbar sein können. Beispielsweise können die Einsteckabschnitte derart eingerichtet sein, dass der Vorsprung422 mittels einer Drehbewegung in die Nut412 gebracht (z.B. gesteckt) sein oder werden kann. - Beispielsweise kann ein Wandabschnitt der Nut
412 einen oder mehrere Ausschnitte aufweisen (z.B. auf der Kammerwand abgewandten Seite der Nut), in welche der Einsteckabschnitt422 des zweiten Sockelelements322 , z.B. mittels einer Aufwärtsbewegung des zweiten Sockelelements322 relativ zu dem ersten Sockelelement312 , eingeführt werden kann. Ferner kann dieser mittels einer Drehbewegung des zweiten Sockelelements322 relativ zu dem ersten Sockelelement312 in die Nut412 eingeführt (hinein gebracht) werden, so dass eine Halteverbindung zwischen dem ersten Sockelelement312 und dem zweiten Sockelelement322 hergestellt werden kann. Die Einsteckabschnitte412 ,422 können ineinandergesteckt einen Abstand zueinander aufweisen, so dass zwischen den Einsteckabschnitten412 ,422 ein Spalt erstreckt ist, welcher ein Bewegen der zwei Sockelelemente312 ,322 relativ zueinander ermöglicht. - Zwischen dem Vorsprung
422 und einem der Wandabschnitte der Nut412 kann ein federelastisches Element angeordnet sein (z.B. in dem Spalt), z.B. in Form einer elastischen Platte402e (z.B. einer Gummiplatte oder einer anderen federelastischen Platte). Die elastische Platte402e kann den Spalt zwischen dem Vorsprung422 und einem der Wandabschnitte der Nut412 z.B. zumindest teilweise ausfüllen. Die Einsteckabschnitte (Vorsprung422 und Nut412 ) und die elastische Platte402e können Teil der Kupplungsstruktur432 der Sockelanordnung502 sein. - Ein Wandabschnitt der Nut
412 kann von einer Durchgangsöffnung412e durchdrungen sein, welche es beispielsweise ermöglichen kann, ein Verbindungselement in die Nut412 hinein zu bringen, z.B. eine Schraube oder einen Gewindestift. Ferner kann es die Durchgangsöffnung412e ermöglichen, das Verbindungselement zu betätigen, z.B. zu drehen, zu verriegeln, z.B. hinein zu schrauben oder heraus zu schrauben. - Ferner kann die Sockelanordnung
502 einen Rohrabschnitt512r (oder einen Rohransatz) aufweisen, welcher in die Durchgangsöffnung314d in der Kammerwand314w einsteckbar ist. -
6 veranschaulicht eine Endblock-Anordnung600 mit einer Sockelanordnung602 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu1A) , wobei die Sockelanordnung602 an eine Kammerwand314w montiert dargestellt ist. Der Rohrabschnitt512r (oder Rohransatz) der Sockelanordnung602 kann derart eingerichtet sein, dass dieser formschlüssig in der Durchgangsöffnung314d der Kammerwand314w aufgenommen ist, wenn die Sockelanordnung602 an die Kammerwand314w montiert ist. Damit kann erreicht werden, dass die Position der Sockelanordnung602 relativ zu der Kammerwand314w von der Durchgangsöffnung314d in der Kammerwand314w definiert ist, so dass auf ein Ausrichten und/oder Positionieren der Sockelanordnung602 verzichtet werden kann. - Ferner kann der Vorsprung
422 des Zwischenadapters322 von einer Durchgangsöffnung durchdrungen sein, in welche ein Verbindungselement, z.B. eine Schraube412s , wie in6 dargestellt ist, eingebracht sein oder werden kann. Die Schraube412s kann in eine passende Gewindebohrung in einem Wandabschnitt der Nut412 eingeschraubt sein. Mittels der Schraube412s können der Deckelanschluss312 und der Zwischenadapter322 gegen ein Verdrehen relativ zueinander gesichert sein oder werden. Damit kann erreicht werden, dass der Deckelanschluss312 und der Zwischenadapter322 ineinandergesteckt formschlüssig miteinander verbunden sind und ein Lösen des Deckelanschlusses312 von dem Zwischenadapter322 vermieden werden kann. - Die Durchgangsöffnungen/Gewindebohrungen in den Wandabschnitten der Nut
412 und die Durchgangsöffnung in dem Vorsprung422 können in einem ineinandergesteckten Zustand des Deckelanschlusses312 mit dem Zwischenadapter322 miteinander fluchten. -
7A veranschaulicht eine Sockelanordnung702 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu1A) und7B die Sockelanordnung702 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht entlang einer Schnittebene701 . - In einer Durchgangsöffnung in einem Wandabschnitt der Nut
412 kann ein federelastisches Element in Form einer Blindnietmutter402m (z.B. aus einem Elastomer) aufgenommen sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein federelastisches Element z.B. aus einem Elastomer gefertigt (z.B. in Form einer Blindnietmutter402m) sein. Die Blindnietmutter402m kann eine Durchgangsöffnung mit einem Gewinde (siehe8A) zum Einschrauben einer Schraube412s in die Blindnietmutter402m aufweisen. Damit kann ein flexibles/elastisches Befestigen zwischen der Schraube412s und dem Wandabschnitt der Nut412 (eine elastische Schraubverbindung) realisiert werden. Der Endblock104 kann somit flexibel relativ zu der Kammerwand314w bewegt werden (z.B. entlang drei translatorischen und drei rotatorischen Freiheitsgraden), so dass die Rotationslagerung (z.B. das Wälzlager) des Endblocks104 mechanisch entlastet wird. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann somit das flexible/elastische Befestigen des Endblocks
104 mittels elastischer Blindnietmuttern402m als Verbindungselemente ermöglicht werden, wobei die Blindnietmuttern402m eine nachgiebige Verschraubung der zwei Sockelelemente312 ,322 miteinander ermöglichen können. Diese elastische Schraubverbindung zwischen der Kammerwand314w und dem Endblock104 kann z.B. mittels mehrerer auf einem Teilkreis angeordneter Blindnietmuttern402m realisiert werden, wie in7B dargestellt ist. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Blindnietmutter
402m einen sich radial über den Rand der Durchgangsöffnung in dem Wandabschnitt der Nut412 hinaus erstreckenden Teil (eine so genannte Kopfauflage812m , siehe8A) aufweisen, welcher sich in den Spalt zwischen dem Deckelanschluss312 und dem Zwischenadapter322 hinein erstreckt. Die Blindnietmutter402m kann derart angeordnet sein oder werden, dass die Kopfauflage der Blindnietmutter402m axial auf Druck belastet sein oder werden kann. Dies ermöglicht es im Versagensfall einer oder mehrerer Blindnietmuttern402m , ein Herunterfallen des verschraubten Endblocks104 (bzw. aufgrund eines Lösens des Zwischenadapters322 von dem Deckelanschluss312 ) zu verhindern. - Eine nachgiebige Verschraubung der zwei Sockelelemente
312 ,322 miteinander kann alternativ mittels einer Feder (z.B. einer Metallfeder oder Kunststofffeder) erreicht werden, in welche die Schraube412s eingeschraubt sein oder werden kann. - Ferner kann der Deckelanschluß
312 am unteren Ende (gegenüber der ersten Befestigungsanordnung110 ) eine Ausdrehung aufweisen. Der so entstehende untere Kreisring712r kann zwischen jeder Durchgangsöffnung in den Wandabschnitten der Nut412 (z.B. entsprechende Bohrungen), in denen eine Blindnietmutter402m aufgenommen ist, unterbrochen/ausgefräst sein und somit in mehrere Kreisringsegmente unterteilt sein. - Der untere Kreisring
712r kann beispielsweise vier Kreisringsegmente aufweisen, wie in712r weniger als vier, z.B. zwei oder drei, oder auch mehr als vier, z.B. fünf oder sechs, Kreisringsegmente aufweisen. Der Vorsprung422 des Zwischenadapters322 kann passend dazu geformt sein, z.B. unterbrochen/ausgefräst sein und somit analog mehrere Segmente aufweisen, so dass dieser in den Deckelanschluß312 (zwischen die Kreisringsegmente) eingebracht werden kann. Dazu passend kann der Abstand der Kreisringsegmente zueinander derart eingerichtet sein, dass die Segmente des Vorsprungs422 des Zwischenadapters322 zwischen die Kreisringsegmente eingesteckt sein oder werden können (entlang einer Richtung senkrecht zur Ebene701 ). - Mittels einer Drehbewegung (entlang der Ebene
701 ) kann dann der zwischen die Kreisringsegmente eingesteckte Vorsprung422 in die Nut412 des Deckelanschlusses312 eingebracht werden, d.h. mit anderen Worten kann der Zwischenadapter322 mittels einer Steck-Dreh-Bewegung mit dem Deckelanschluss312 gekuppelt sein oder werden (analog zu einem Bajonettverschluss). - Zum Entlasten der Kopfauflage der Blindnietmuttern
402m (bzw. zum Vermeiden einer Überbelastung) kann zwischen einem Wandabschnitt der Nut412 und dem Vorsprung422 ein federelastisches Element in Form einer elastischen Platte402e (z.B. ein Gummipad) angeordnet sein oder werden. Die elastische Platte402e kann die Kopfauflage der Blindnietmuttern402m zumindest teilweise umgeben oder entsprechend zum Aufnehmen der Kopfauflage der Blindnietmuttern402m ausgespart sein. Somit kann die elastische Platte402e einen Teil der Kraft, welche auf die Kopfauflage der Blindnietmuttern402m (auch als Flächenpressung bezeichnet) wirken kann, aufnehmen. Die elastische Platte402e kann aus einem elastischen Material, z.B. einem Elastomer (z.B. Naturkautschuk), gebildet sein. - Ferner kann die Durchgangsöffnung
102d in der Sockelanordnung702 (welche ein Inneres der Sockelanordnung702 definieren kann) gegenüber dem Äußeren der Sockelanordnung702 , z.B. der Prozessierkammer abgedichtet sein. Dazu kann die Sockelanordnung702 eine Dichtungsstruktur412d mit einer Vakuumdichtung, z.B. einem Rundschnurring, aufweisen, z.B. einen Quad-Ring412d , wie in7A dargestellt ist, oder einer anderen Dichtung, wie z.B. einem O-Ring. Die Dichtungsstruktur412d kann zwischen den ineinandergreifenden Abschnitten des Deckelanschlusses312 und des Zwischenadapters322 angeordnet sein. Die Dichtungsstruktur412d kann in einem Abstand relativ zu den Einsteckabschnitten422 ,412 angeordnet sein. Damit kann erreicht werden, dass eine Relativbewegung zwischen Deckelanschluss312 und Zwischenadapter322 ausglichen werden kann, wobei ein Stoffaustausch, z.B. ein Gasaustausch, welcher z.B. das Sputtern beeinträchtigen kann, zwischen dem Inneren der Sockelanordnung702 und dem Äußeren der Sockelanordnung702 (z.B. dem Inneren der Prozessierkammer) mittels der Dichtungsstruktur412d verhindert oder zumindest reduziert werden kann. -
8A veranschaulicht ein federelastisches Element in Form einer Blindnietmutter402m (Verbindungselement402m) gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. Das federelastische Element402m (die Blindnietmutter402m) kann eine Kopfauflage812m aufweisen, welche sich in eine radiale Richtung von einem Körper822m der Blindnietmutter402m weg erstreckt. Der Körper822m kann in Form eines Zylinders oder einer Hülse, wie in8A dargestellt ist, ausgebildet sein, oder in einer anderen Form, z.B. mit einem eckigen Querschnitt oder mit Verdickungen. Der Körper822m und die Kopfauflage812m können von einer gemeinsamen Durchgangsöffnung812d durchdrungen sein. Die Innenwandung der Durchgangsöffnung812d kann beispielsweise als Innengewinde ausgebildet oder mit einer andersartigen Profilierung (Verschraubungsabschnitt) versehen sein, so dass eine Schraube in die Durchgangsöffnung812d eingeschraubt sein oder werden kann. Das federelastische Element402m (die Blindnietmutter402m ) kann beispielsweise aus einem Kunststoff, z.B. einem Elastomer, gebildet sein. -
8B veranschaulicht eine Kupplungsstruktur432 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht. Die Blindnietmutter402m kann in eine Öffnung, z.B. eine Durchgangsöffnung, in einem plattenförmigen Abschnitt der Sockelanordnung oder in einem Vorsprung412 ,422 der Sockelanordnung, wie sie hierin beschrieben ist, angeordnet sein oder werden. Die Blindnietmutter402m kann dabei durch die Durchgangsöffnung hindurch erstreckt sein. -
9A veranschaulicht eine Kupplungsstruktur432 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht. Zum Verbinden des Deckelanschlusses312 mit dem Zwischenadapter322 kann eine Schraube412s in die Blindnietmutter402m geschraubt sein oder werden. Die Blindnietmutter402m kann derart eingerichtet sein, dass sich beim Einschrauben der Schraube412s eine Verdickung402v bildet, wenn die Schraube412s in die Durchgangsöffnung812d eingeschraubt wird (z.B. aufgrund von Materialverdrängung oder Stauchung des Körpers822m ). Damit kann erreicht werden, dass die Blindnietmutter402m formschlüssig in einer dazu passenden Durchgangsöffnung befestigt sein oder werden kann. - Ferner kann die Blindnietmutter
402m derart elastisch sein, dass eine Relativbewegung (als Kontur901 dargestellt) zwischen dem Deckelanschluss312 und dem Zwischenadapter322 ermöglicht wird. Aufgrund der Relativbewegung zwischen dem Deckelanschluss312 und dem Zwischenadapter322 kann die Blindnietmutter402m verformt sein oder werden, so dass diese eine Rückstellkraft erzeugt, welche in Richtung einer Gleichgewichtsposition zwischen dem Deckelanschluss312 und dem Zwischenadapter322 gerichtet ist, wobei sich in der Gleichgewichtsposition alle Rückstellkräfte aufheben. Anschaulich kann die Blindnietmutter402m in der Gleichgewichtsposition (auch Ruhelage genannt) am wenigsten verformt sein. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das federelastische Element eine Ruhelage des zweiten Sockelelements
322 relativ zu dem ersten Sockelelement312 definieren. -
9B veranschaulicht eine Kupplungsstruktur432 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Perspektivansicht. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Blindnietmutter402m und die elastische Platte402e einteilig (oder einstückig) ausgebildet sein. Anschaulich kann die Kopfauflage der Blindnietmutter402m passend zu dem Spalt zwischen dem Deckelanschluss312 und dem Zwischenadapter322 geformt sein und die elastische Platte402e bilden. -
10 veranschaulicht eine Endblock-Anordnung1000 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Seitenansicht oder Querschnittsansicht (analog zu1A) . - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine hierin beschriebene Sockelanordnung mit Zwischenadapter
322 und Deckelanschluß312 als zusammenhängende Baugruppe (als so genannter Anschraubsatz) an einer Kammerwand314w (z.B. einem Magnetrondeckel) verschraubt sein oder werden. Am anderen Ende der Sockelanordnung, gegenüber der Kammerwand314w , kann anschließend ein Endblock104 mit dem Anschraubsatz verschraubt sein oder werden. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Distanzelement
206 plattenförmig sein und aus elektrisch und/oder thermisch isolierendem Material bestehen (eine so genannte Isolationsplatte). Das Distanzelement206 kann eine Zentrierstruktur1006b in Form eines Vorsprungs (einen so genannten Zentrierbund1006b ) aufweisen in welche der Endblock104 , bzw. das Basisgehäuse104b des Endblocks104 , eingesteckt sein oder werden kann. Damit kann erreicht werden, dass die relative Lage oder Position des Endblocks104 zu dem Distanzelement206 mittels des Zentrierbunds1006b vordefiniert ist. Anschaulich kann der Zentrierbund1006b ein Selbstzentrieren des Endblocks104 an dem Distanzelement206 bewirken. -
11 und12 veranschaulichen jeweils eine Endblock-Anordnung1100 mit einer Sockelanordnung, wie hierin beschrieben ist, gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht (analog zu1A) . - Der Endblock
104 kann z.B. als Medienendblock eingerichtet sein und Komponenten (welche eine Versorgungsanordnung1102 bilden) zum Versorgen der rohrförmigen Elektrode mit einem Medium aufweisen, wie beispielsweise eine Rohrleitung1102r (als Teil einer Kühlmittelzuführung) oder eine elektrische Leitung (als Teil der elektrischen Zuführung). Die Kühlmittelzuführung kann mittels einer Dichtung gegenüber dem Inneren der Vakuumkammer abgedichtet sein, z.B. mittels einer Drehdurchführung. Beispielsweise kann das Innere des Endblocks104 Atmosphärendruck aufweisen oder eine Kühlmittelzuführung im Inneren des Endblocks104 kann einen größeren Druck als Atmosphärendruck aufweisen und gegenüber dem Inneren der Prozessierkammer abgedichtet sein. - Daher kann es notwendig sein, den Endblock
104 , bzw. das Basisgehäuse104b , massiv und stabil (z.B. druckstabil) auszuführen und beispielsweise mit der Prozessierkammer oder einem Teil der Vakuumkammer zu verbinden. Das Basisgehäuse104b kann beispielsweise aus einem Metall gebildet sein, z.B. aus Stahl oder einer Aluminiumlegierung. Anschaulich kann das Basisgehäuse104b des Endblocks104 als Teil der Kammerwand314w wirken und zum Trennen von Vakuum und Atmosphärendruck eingerichtet sein. - Der Deckelanschluß
312 und der Zwischenadapter322 können derart eingerichtet sein, z.B. können die Kreisringsegmente in einem Abstand derart angeordnet sein, dass zwischen den Kreisringsegmenten eine Versorgungsanordnung1102 , z.B. eine Rohrleitung1102r , wie in11 dargestellt ist, hindurch passt. Beispielsweise kann die Rohrleitung1102r an dem Endblock104 befestigt und zusammen mit dem Endblock104 montiert sein oder werden. Die Versorgungsanordnung1102 kann ferner eine elektrische Leitung aufweisen, welche an der Rohrleitung1102r befestigt sein kann. Die Rohrleitung1102r kann in montiertem Zustand des Endblocks104 durch die Kammerwand314w hindurch erstreckt sein. - Ferner kann die Rohrleitung
1002r entsprechende Anschlüsse1102a aufweisen zum Verbinden der Rohrleitung1002r mit einer Kühlwasserversorgung, z.B. mit einer Umwälzpumpe oder einem Ausgleichsbehälter, welche der Rohrleitung1002r Kühlmittel, z.B. Kühlwasser, zuführen können. - Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Zwischenadapter
322 eine Zentrierstruktur1122a in Form einer Aussparung aufweisen, in welche das Distanzelement206 eingesteckt sein oder werden kann. Analog dazu kann das Distanzelement206 eine Zentrierstruktur1106a in Form einer Aussparung aufweisen, in welche der Endblock104 eingesteckt sein oder werden kann. Damit kann erreicht werden, dass die relative Lage oder Position des Endblocks104 zu dem Zwischenadapter322 , bzw. der Kammerwand314w , vordefiniert ist. Anschaulich kann die Zentrierstruktur1106a ,1122a ein Selbstzentrieren des Endblocks104 an der Sockelanordnung bewirken.
Claims (13)
- Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) zum Halten (Befestigen) eines Endblocks (104) an einer Prozesskammer, aufweisend: ein erstes Sockelelement (312) • mit einer ersten Befestigungsanordnung (110) zum Befestigen des ersten Sockelelements (312) an einer Prozessseite einer Prozesskammerwand und • mit einer zweiten Befestigungsanordnung (102a); und ein zweites Sockelelement (322) • mit einer dritten Befestigungsanordnung (102b) zum Befestigen des zweiten Sockelelements (322) an dem ersten Sockelelement (322) und • mit einer vierten Befestigungsanordnung (120) zum Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322) auf der Prozessseite; wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sind, dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) auslenkbar ist.
- Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß
Anspruch 1 , wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) lösbar ineinandersteckbar eingerichtet sind. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß
Anspruch 1 oder2 , wobei die vierte Befestigungsanordnung (120) des zweiten Sockelelements (322) für ein Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322) separat von der ersten Befestigungsanordnung (110) des ersten Sockelelements (312) ausgebildet ist. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis3 , aufweisend: eine Dichtstruktur (412d) zum Abdichten eines Spalts zwischen dem ersten Sockelelement (312) und dem zweiten Sockelelement (322), wobei die Dichtstruktur (412d) zwischen aneinander angrenzenden Abschnitten des ersten Sockelelements (312) und des zweiten Sockelelements (322) angeordnet ist. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß
Anspruch 4 , wobei das erste Sockelelement (312) zum Abdichten gegen eine Prozesskammerwand (314w) einen weiteren Dichtbereich aufweist und wobei das zweite Sockelelement (322) zum Abdichten einer Verbindung mit dem Endblock (104) einen weiteren Dichtbereich aufweist. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis5 , aufweisend: ein federelastisches Element (402m, 402e), welches zwischen dem ersten Sockelelement (312) und dem zweiten Sockelelement (322) angeordnet ist, so dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) entgegen einer Rückstellkraft auslenkbar ist. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß
Anspruch 6 , wobei die erste Befestigungsanordnung (110) des ersten Sockelelements (312) einen radial nach außen vorstehenden Vorsprung und die vierte Befestigungsanordnung (102a) des zweiten Sockelelements (322) einen radial nach innen vorstehenden Vorsprung aufweist, welche zusammengesteckt einander überlappen, und wobei das federelastische Element (402m, 402e) zwischen den Vorsprüngen angeordnet ist. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis6 , aufweisend: ein Distanzelement (206), welches an der vierten Befestigungsanordnung (120) des zweiten Sockelelements (322) anbringbar ist und einen Abstand zwischen dem zweiten Sockelelement (322) und einem daran zu befestigenden Endblock (104) definiert. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß
Anspruch 8 , wobei das Distanzelement (206) ein thermisch und/oder elektrisch isolierendes Material (206i) aufweist zum thermischen und/oder elektrischen Isolieren des zweiten Sockelelements (322) von einem daran zu befestigenden Endblock (104). - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis9 , aufweisend: ein Verbindungselement (412s), welches die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) durchdringt. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis10 , wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) eine die Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) durchdringende Durchgangsöffnung (102d) zum Aufnehmen einer Versorgungsanordnung (1102) umgeben. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 6 bis11 , wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und/oder die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) eine Öffnung aufweisen/aufweist, in welche das federelastische Element (402m, 402e) hineinragt und ein Verbindungselement zum Verbinden des federelastischen Elements (402m, 402e) mit einem anderen Verbindungselement bildet. - Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) gemäß einem der
Ansprüche 1 bis12 , wobei zwischen dem ersten Sockelelement (312) und dem zweiten Sockelelement (322) ein Spalt (102s) erstreckt ist.
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
US20060049043A1 (en) * | 2004-08-17 | 2006-03-09 | Matuska Neal W | Magnetron assembly |
US20070051304A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-03-08 | Andreas Sauer | Vacuum-coating machine with motor-driven rotary cathode |
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US5100527A (en) * | 1990-10-18 | 1992-03-31 | Viratec Thin Films, Inc. | Rotating magnetron incorporating a removable cathode |
EP0969238A1 (de) * | 1998-06-29 | 2000-01-05 | Sinvaco N.V. | Vakuumdichte Kupplung für Rohre |
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
US20060049043A1 (en) * | 2004-08-17 | 2006-03-09 | Matuska Neal W | Magnetron assembly |
US20070051304A1 (en) * | 2005-08-10 | 2007-03-08 | Andreas Sauer | Vacuum-coating machine with motor-driven rotary cathode |
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