CN105529580A - 末端块组件和插座组件 - Google Patents

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Abstract

根据多种实施方案，用于将末端块保持在处理室上的插座组件可包括如下各项：第一插座元件，具有用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件和第二固定组件；和第二插座元件，具有用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第三固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第四固定组件；其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件可被形成用于相互啮合，并以第二插座元件可相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。

Description

末端块组件和插座组件
相关申请的交叉引用
本申请要求2014年10月20日提交的德国专利申请第102014115282.4号的优先权，通过引用其全部并入本文。
技术领域
本发明涉及一种末端块组件和插座组件。
背景技术
通常，工件或基体可被加工或处理，例如，被操作(worked)、被涂覆、被加热、被蚀刻和/或在结构上被改变。一种用于涂覆基体的方法是阴极溅射，被称为溅射或溅射沉积。对于溅射，可通过阴极电离等离子体形成气体(被称为工作气体)，并且由此形成的等离子体用于雾化待沉积的材料，其被称为靶材。然后雾化后的靶材可被带至基体，在基体上雾化后的靶材可被吸附并形成层。
阴极溅射的一种改变是例如通过磁控管的溅射，其被称为磁控溅射。对于磁控溅射，可以通过磁场支持等离子体的形成，所述磁场可以影响等离子体形成气体的离子化速率。这可能涉及形成以等离子体通道的形式的密集等离子体，其遵循磁场的分布。靶材的均匀移除可能要求以相对于等离子体的通道，并因此相对于磁场移动。为了这个目的，阴极可为管状的设计，被称为管状阴极，其可具有基本的靶管(也被称为载体管)，其外侧面被至少部分地覆盖有靶材。用于产生磁场的磁体系统可被布置在基本靶管的内部，从而当所述基本靶管围绕磁体系统旋转时，组件设置在基本靶管上的靶材在等离子体的通道下面移动，并由此可被逐层移除和雾化。
发明内容
根据各种实施方案，用于将末端块保持在处理室上的插座组件可以包括下面各项：第一插座元件，具有用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件和第二固定组件；和第二插座元件，具有用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第三固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第四固定组件；其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件可被形成用于相互啮合，并以第二插座元件可相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。
附图说明
本发明的示例性元件在下面更详细地描述并表现在图中，其中
图1A以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的插座组件；
图1B以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件；
图2以示意性的透视图示出根据各种实施方案的末端块组件；
图3以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件；
图4A和4B以示意性的侧视图或横截面图分别示出根据多种实施方案的末端块组件；
图5以示意性的透视图示出根据各种实施方案的插座组件；
图6以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件；
图7A和7B以示意性的侧视图或横截面图分别示出根据多种实施方案的插座组件；
图8A以示意性的透视图示出根据多种实施方案的铆接螺母；
图8B以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的耦合结构；
图9A以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的耦合结构；
图9B以示意性的透视图示出根据多种实施方案的耦合结构；
图10以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件；和
图11和12以示意性的横截面图分别示出根据多种实施方案的末端块组件。
具体实施方案
在下面的详细描述中，参考了构成本说明书的一部分的附图，并且示出其中可实施本发明的特定的实施方案用于说明的目的。在这方面，方向性术语如例如“在顶部”，“在底部”，“在前面”，“在后面”，“前”，“后”等是根据附图描述的方向使用。由于实施方案的部件可以许多不同的方向放置，方向性术语用于说明的目的而绝不是限制性的。不言而喻，可以使用其它实施方案和进行结构或逻辑的改变而不脱离本发明保护的范围。不言而喻，除非另有明确说明，在此通过举例的方式描述的各种实施方案的特征可以彼此结合。因此以下详细描述不应以限制性的意义来解释，并且本发明的保护范围由所附的权利要求限定。
在本说明书的全文中，术语“连接”和“耦合”用于描述直接连接和间接连接两者和直接耦合和间接耦合两者。在附图中，只要适当，相同的或相似的元件具有相同的名称。
对于将末端块(其上被称为处理侧或处于“真空”中)安装在腔室壁(例如其上被称为磁控管盖)上，末端块照惯例通过四个圆顶柱头螺丝直接拧紧到腔室壁上(说明性地精确地对应于螺丝平面)。如果因为维修工作或改变目标基体距离不得不拆卸末端块，或随后再次安装，不得不旋开和随后再次拧紧这些圆顶柱头螺丝。在这种情况下，通向圆顶柱头螺丝的入口在远离末端块对面的腔室壁的侧面(在大气侧)，使得圆顶柱头螺丝的驱动从在远离末端块对面的腔室壁的侧面发生。这样的螺丝接合(具有精确地一个螺丝平面)使得在安装/拆卸过程中末端块的处理更加困难。例如，对于维修人员的一个成员(例如一个装配工)确定末端块是否在腔室壁上的正确位置的中心是困难的，因为末端块位置的直接观察被腔室壁妨碍，或需要单独的援助。因此，在以前已经需要至少一个维修人员的第二成员，吊车或专门的安装设备。
可选择地，通过圆顶柱头螺丝将接合器/法兰拧在腔室壁上(说明性地精确地对应于第一螺丝平面)。接合器按惯例配有大的接管螺母，其使得末端块在接合器/法兰的螺丝接合可能在磁控管盖的处理侧(说明性地精确地对应于第二螺丝平面)。然而，如果这样的接管螺母将要被改变或清洁，就需要接合器/法兰的安装/拆除，这增加了维护需要的精力。
按照惯例，末端块牢牢地拧在磁控管罩上。管状阴极(被称为目标)越大，管状阴极可具有的重量(目标负载)越大且它施加到用于载体管的可旋转的轴承的组件(转动的安装(rotationalmounting))上的负载越大。这在末端块内产生了额外的机械负载(力和力矩)，这是因为当有大的目标负载时高的弯矩引起的。如果转动的安装(例如滚动轴承和其他用于载体管的可旋转的轴承的邻接组件)吸收机械负载，使用寿命可被缩短，并且结果是，末端块过早地失去其功能。可发生使用寿命的缩短，特别是最大弯矩发生在末端块中的转动安装时。
按照惯例，通过增加的设置在相互比较近的球轴承中的轴承间隙，滚动轴承中的弯矩(和因此主要地径向力)减小，以便某些轴接合成为可能。作为选择，滚动轴承安装在末端块内的单独的内壳体中，所述内壳体通过实际的外壳体中两个大的O型环支持。这样的组件设置使得负载相对小的减小成为可能，然而，这在许多应用中是不足的。
根据多种实施方案具有插座组件，可使得末端块在腔室壁上灵活的/弹性的固定成为可能，使得可改变沿着载体管的纵向延伸(目标的纵向方向)的弯矩的变化，并且弯矩的最大值可被安装的载体管/轴(也即目标)的中间的方向中转动的安装代替。这允许实现末端块的负载减小。
根据多种实施方案，用于可旋转的安装和向管状阴极提供介质的组件(例如转动套管、滚动轴承、机械驱动、由电发生的进料和/或密封)可作为被称为的末端块被提供。两个这样的末端块可将管状阴极保持在其相对端部，并且对于处理基体，可被安装在处理室中适用于该目的。
按照惯例，将末端块从处理室的外部拧到处理室的腔室壁(穿过腔室壁)。末端块准确的对准可要求在螺丝接合过程中从处理室的内部检查并且如果需要修正末端块的位置。因此，以前安装末端块需要不只一个人或额外的援助，从腔室壁的相对侧协调螺丝结合和末端块的对准。
此外，按照惯例将末端块牢牢地拧到处理室的腔室壁上。然而，管状阴极在其自身重量下可弯曲和/或因为生产不准确而不平衡，并且因此从其转动轴偏移。用作说明性的，管状阴极可在万有引力的方向弯曲。从转动轴的偏移可引起倾斜力矩，其被转移到末端块的滚动轴承，这使它们经受额外的机械应力。该额外的机械应力可显著缩短滚动轴承的使用寿命并因此导致额外的维修成本。
根据各种实施方案，提供利于末端块的安装的插座组件。为了这个目的，插座组件可固定在腔室壁上和末端块可固定在插座组件上，使得从腔室壁的一侧(处理侧上)末端块的螺丝接合和放置成为可能。换言之，通过插座组件可在处理侧上提供第二螺丝接合平面用于固定末端块，使得在腔室壁上安装/从腔室壁拆卸末端块成为可能。这使得节约了成本、安装时间和精力。
此外，根据多种实施方案，可降低由管状阴极的重量引起的末端块的机械应力。为了这个目的，插座组件使得末端块相对于处理室的倾斜和/或旋转成为可能，使得它可使其自身与管状阴极匹配并且减小末端块中的倾斜力矩。换言之，滚动轴承在末端块中的位置可与管状阴极的位置或形式相适应。
根据多种实施方案，用于将末端块保持(和/或用于固定)在处理室上的插座组件可具有下面组成：第一插座元件，具有用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件和第二固定组件；和第二插座元件，具有用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第一固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第二固定组件；其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第一固定组件可被形成用于相互啮合，并以第二插座元件相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。
根据多种实施方案，所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第一固定组件可被设计为可脱离地相互彼此插入，使得第二插座元件可从第一插座元件移除。这使得例如两个插座元件可以相互分离用于维修目的。换言之，插座组件可为两部分的形式。
根据多种实施方案，用于将末端块固定在第二插座元件(说明性地为第二固定平面)上的第二插座元件的第二固定组件可与第一插座元件(说明性地为第一固定平面)的第一固定组件分别形成。换言之，可在插座组件上安装/从插座组件拆卸末端块，而不必须将插座组件从腔室壁卸下和/或插座元件不必须相互脱离。
根据多种实施方案，插座组件还可具有密封结构，用于封离(sealingoff)第一插座元件和第二插座元件之间的间隙，其中所述密封结构被设置在第一插座元件和第二插座元件相互邻接的部分之间。
密封结构可具有至少一个密封区和放置在密封区中的密封装置，例如真空密封装置。为了固定密封装置，密封结构在密封区中可具有凹部，例如凹槽或通道，其中密封装置可放置在凹部中。密封装置可被设计为阻止或至少限制通过密封装置封离的两个空间或容积之间的质量转移。
根据多种实施方案，第一插座元件可具有另外的密封区用于关于处理腔室壁的封离和第二插座元件可具有另外的密封区用于与末端块相连接的封离。密封区可例如具有凹部用于接收密封装置或密封面积，例如平滑的抛光表面，其用于封离可压在密封装置上。
固定组件可具有连接元件，例如螺栓、螺纹销(也称为螺纹杆)、铆钉、夹钳、螺母或螺丝。此外，固定组件可具有匹配的开口(或者凹部)用于接收连接元件，例如贯通开口，盲孔或螺纹孔。
根据多种实施方案，插座组件还可具有间隔元件，其可被应用于第二插座元件的第二固定组件并限定第二插座元件和将要固定在其上的末端块之间的距离。间隔元件可例如包括金属或金属合金或由金属或金属合金形成。间隔元件还可被称为目标基体间隔元件(TSS)。
根据多种实施方案，间隔材料可包括热和/或电绝缘材料用于将第二插座元件从将要固定在其上的末端块热和/或电绝缘。间隔元件此外还被称为绝缘元件。间隔元件可例如涂覆有热和/或电绝缘材料或由热和/或电绝缘材料形成以形成绝缘元件。根据多种实施方案，金属的间隔元件可与热和/或电绝缘材料的间隔元件结合或通过热和/或电绝缘材料涂覆。
根据多种实施方案，热和/或电绝缘材料可具有低的热导率和/或电导率(在室温下测量)，例如小于大约1W/(m·K)的热导率，例如小于大约0.1W/(m·K)的热导率，和/或小于大约10-5S/m的电导率(在恒定电场方向测量)，例如小于大约10-7S/m的电导率。例如，热和/或电绝缘材料可以包括陶瓷、瓷、玻璃或一些其它电介质，例如氧化的陶瓷(如氧化铝(Al2O3)或氧化锆(ZrO2))、玻璃陶瓷、氮化物陶瓷(如氮化硅(Si3N4))和/或碳化物陶瓷(如碳化硅(SiC))，例如烧结的和/或压制的陶瓷。作为选择，热和/或电绝缘材料可以包括塑料，例如硅氧烷(如硅树脂)或硅酸盐。
根据多种实施方案，插座组件还可具有弹簧-弹性元件，其设置在第一插座元件和第二插座元件之间，使得第二插座元件相对于第一插座元件抵抗回复力是可偏转的。根据多种实施方案，第一插座元件的第一固定组件可具有径向向外突出的凸部和第二插座元件的第二固定组件可具有径向向内突出的凸部，其中当相互重叠装配在一起(换言之处于组装状态)时，其中所述弹簧-弹性元件可被布置在凸部之间。
根据多种实施方案，弹簧-弹性元件可被理解为结构元件，其在负载下(例如被扩展或压缩)产生，当卸掉负载时可以回复到原来的形状，即，表现为弹性地恢复方式(可逆变形)。换言之，弹簧-弹性元件可被扩展/压缩到弹性极限而不由此塑性变形或仅轻微的塑性变形(例如具有小于0.2％的永久变形)或者没有破坏。根据多种实施方案，弹簧-弹性元件可表现为高达超过大约1％，例如超过大约10％，例如超过大约50％，例如大于约100％的变形的弹性地恢复方式。变形可被理解为相对于扩展的或压缩的弹簧-弹性元件的原始长度(或宽度)的长度变化(或宽度变化)的关系。如果弹簧-弹性元件被扩展/压缩，它可产生与扩展/压缩相反方向的回复力。可为所有的回复力(用恒定压缩/扩展测量)越大弹簧-弹性元件越硬，即其弹簧常数越大。
根据多种实施方案，弹簧-弹性元件可包括弹性材料，例如塑料，如弹性体、聚合物或共聚物，例如橡胶、硅树脂、硅橡胶、氟化的硅橡胶、天然橡胶或一些其他合适的(例如软的和/或真空兼容的)塑料。例如，聚合物或共聚物可包括硅。
弹簧-弹性元件的弹性极限和/或弹簧常数可受弹簧-弹性元件的材料和/或形式的影响。可为所有的弹簧-弹性元件的弹簧常数越大，弹性材料的弹性模量越大或弹性材料的的材料厚度越大(即弹簧-弹性元件越结实)。例如，可为所有的弹簧-弹性元件的弹簧常数越大，弹性材料的肖氏硬度越大。对于给定的弹簧常数，可为所有的弹簧-弹性元件越结实(例如作为片或圆筒，例如作为弹性体弹簧)，弹性材料的弹性模量越低。
根据多种实施方案，弹性材料可为金属的，诸如例如钢(例如弹簧钢)或一些其他金属，一些其他金属合金或金属互化物。例如，弹簧-弹性元件可包括金属弹簧或塑料弹簧(例如盘形弹簧、架腿簧、扭力弹簧、弹簧片的形式，或一些其他形式的弹簧)。
根据多种实施方案，凸部中的一个可在相应的插座元件中限定凹部(例如槽或榫眼的形式)，其中当插座元件组装在一起时另一个突起(例如，榫的形式)可啮合。限定凹部的突起还可以被称为凹部的壁部。固定组件(例如，凸部和/或凹部)可例如围绕插座元件中的一个的一部分延伸。
根据多种实施方案，插座组件还可以具有连接元件，它穿过第一插座元件的第二固定组件和第二插座元件的第一固定组件。例如，连接元件可穿过凸部。
根据多种实施方案，第一插座元件的第二固定组件和/或第二插座元件的第一固定组件可具有开口，弹簧-弹性元件突出其中并形成(例如，在其中)连接元件(例如螺丝接合部)用于将弹簧-弹性元件连接至另一个连接元件(例如，连接至穿过凸部的连接元件)。弹簧-弹性元件可例如被设计为螺丝可被拧入它这样的方式，即弹簧-弹性元件可充当连接元件。例如，螺丝接合部分可通过在弹簧-弹性元件中具有内螺纹的开口形成。弹簧-弹性元件可形成例如为盲孔铆钉螺母(也称为螺纹空心铆钉或铆螺母)。
根据多种实施方案，第一插座元件的第二固定组件和第二插座元件的第一固定组件可围绕穿过用于接收供给组件的插座组件的贯通开口。贯通开口还可被称为供给开口。
根据多种实施方案，供给组件可被接收在贯通开口中。供给组件可包括例如用于将冷却流体输送至末端块的管道，用于将机械力转移至末端块的牵引驱动，用于将机械力转移至末端块的轴或用于将电能转移至末端块的电力线路。供给组件可例如被固定在末端块上。
根据多种实施方案，末端块组件可具有以下项：用于可转动地安装管状阴极的末端块和用于固定末端块的插座组件。根据多种实施方案，末端块可被固定在插座组件上。根据多种实施方案，插座组件可被固定在腔室壁上。
根据多种实施方案，第一插座元件的第一固定组件可具有带螺纹的盲孔，其延伸至插座组件中。
说明性地，第一插座元件的第二固定组件和第二插座元件的第一固定组件可为耦合结构的一部分，其将第一插座元件和第二插座元件相对彼此可移动地相互连接。耦合结构还可说明性地充当第一插座元件和第二插座元件之间的接合点。为了当相对于第一插座元件偏转第二插座元件时产生回复力，耦合结构可例如具有一个弹簧-弹性元件。
当一个插座元件有振动(重复偏转)或当插座元件中的一个上或对着插座元件中的一个有冲击(换言之以脉冲形式表现的力)时，耦合结构可具有阻尼效应。换言之，第一插座元件和第二插座元件可通过耦合结构相互以振动阻尼的方式耦合。
耦合结构可具有弹性材料的连接元件，例如以螺母或盲孔铆钉螺母的形式。为了使两个插座元件彼此连接，耦合结构的另一连接元件，例如螺丝、铆钉或螺纹销，可被接收在弹性材料中，例如拧入。
耦合结构的连接元件可被布置在相匹配的开口中或第一插座元件的第二固定组件和/或第二插座元件的第一固定组件的凹部中。根据多种实施方案，耦合结构可例如具有螺纹连接或铆钉连接，其将固定组件彼此连接。在固定组件中的开口或凹部可被设计和布置成以这样的方式：它们以两个插座元件彼此插入的状态相互成直线。
耦合结构可使两个插座元件相互的刚性连接成为可能。例如通过布置在两个固定组件之间的弹簧-弹性元件和/或通过两个由耦合结构的连接元件相互连接的插座元件。
插座组件，或插座组件的插座元件，可包括金属或金属合金，例如铝、铁、铝合金或铁合金(例如钢)。
根据多种实施方案，用于保持末端块的插座组件可具有以下配置：用于将插座组件固定在处理室上的第一插座元件；和用于将插座组件固定在末端块上的第二插座元件；其中插座元件中的一个可将第一部分伸入至其他的插座元件的第二部分；其中第一部分和第二部分可以这样的方式彼此啮合：第一插座元件和第二插座元件相互以以使它们能够相对于彼此偏转这样的方式耦合(或连接)；和密封结构，它围绕第一部分延伸并且封离第一部分和第二之间的间隙。
根据多种实施方案，末端块组件可具有以下配置：至少一个用于可转动地安装管状阴极的末端块；用于保持所述末端块的插座组件；其中所述插座组件可具有用于将插座组件连接到壁元件(例如腔室壁)上的第一固定组件；和其中所述插座组件可具有相对于第一固定组件的第二固定组件，用于将插座组件连接到末端块上，其中所述第二固定组件可具有贯通开口，其穿过插座组件的凸部。根据多种实施方案，这样插座组件可形成为单件。形成为单件的插座组件可被用于例如当该末端块上的机械负载是可容许的，并且它仅用于便于末端块的安装。例如，形成为一部分(或单件)的插座组件可保持一对末端块中的一个末端块和与形成为两个部分(具有耦合结构)的插座组件结合，其能保持一对末端块中的另一个末端块。
根据多种实施方案，通过末端块，可向管状阴极供给电能，冷却剂(例如冷却液)和/或机械能用于转动所述管状阴极。这些可通过供给组件从真空室外部经由真空室的腔室壁供应到末端块。
末端块还可被设计为这样的方式：管状阴极例如在靶材已被用完后可被更换。为了这个目的，末端块例如可具有固定器(例如法兰或耦合)，使得管状阴极可被固定在末端块上。此外，管状阴极可通过末端块(形成一对末端块)被安装在一个端部或在两个(轴向)端部的每个上。如本文中所描述的，一对末端块的每个末端块可为末端块组件的一部分。此外，供给结构的驱动部件(例如电机、传动组件和/或带)可被布置在一对末端块的末端块中(被称为驱动末端块)和供给结构的供给部件(例如电供给和/或冷却剂供给)可被布置在一对末端块的另一末端块中(被称为介质末端块)。
末端块组件和管状阴极可为磁控管(称为管状磁控管)的一部分，通过磁控管可进行溅射。对于溅射，末端块组件可被布置在处理室中并被固定在处理腔室的腔室壁上。磁控管和处理腔室可为处理组件的一部分。所述处理组件还可具有传输系统，用于将待涂覆的基体传输到处理室中。
此外，溅射可以在真空中进行。为了这个目的，处理室可以设计为真空室并与泵系统连接，使得可在处理室中提供真空和/或负压。此外，处理室可设计为这样的方式：处理室内的环境条件(处理条件)(例如，压力、温度、气体组成等)在溅射过程中可被设置或控制。为了这个目的，处理室可被设计为例如气密，防尘和/或真空密封。例如，处理室可通过气体进口供给离子形成气体(处理气体)或气体混合物(例如，处理气体和反应性气体)，以在处理室中形成处理气氛。在反应磁控溅射的情况下，雾化后的靶材可与反应性气体和沉积的反应产物反应。如本文所描述的末端块组件，可用于例如具有管状磁控管的真空涂覆设施。
根据多种实施方案，如本文中所描述的，用于溅射的磁控管组件可具有第一末端块，和如本文中所描述的第二末端块。第一末端块和第二末端块可形成一对末端块，用于可转动地安装和向管状阴极供给介质。根据多种实施方案，如本文中所描述的，一对末端块中的至少一个末端块可通过插座组件被安装。根据多种实施方案中，磁控管组件可具有通过一对末端块可转动地安装的管状阴极。根据多种实施方案，一对末端块中的一个末端块可形成为驱动末端块和一对末端块的另一末端块可形成为介质末端块。
作为选择，一个末端块可被设计用于驱动和供给介质到管状阴极。然后，相对于末端块的管状阴极的端部可通过轴承座被支持并可转动地地安装。换言之，轴承块可相对于末端块形成对立面，在其上支撑的管状阴极的端部可被支持。
根据多种实施方案，磁控管组件可具有以下配置：处理室壁；一个末端块，和另一末端块(或作为选择地轴承座)，它们一起设计用于可转动地安装和供给介质到管状阴极；在其上端块被固定的插座组件；其中所述处理室壁具有用于将插座组件固定在处理室壁上的第一固定组件，和用于将另一末端块(或作为选择地轴承座)固定在处理室壁上的第二固定组件；其中，末端块相对于另一末端块(或作为选择地轴承座)的相对位置由第一固定组件和第二固定组件所限定；并且其中所述插座组件被设计用于将末端块以相对于处理室壁沿着至少两个自由度偏转。
图1A以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的插座组件102(例如横向地相对于安装平面或处理室壁314w，参见图3)。
插座组件102可具有第一插座元件312，第一插座元件312可具有用于将第一插座元件312固定在处理室壁(腔室壁)上的第一固定组件110和第二固定组件102a。此外，插座组件102可具有第二插座元件322，第二插座元件322可具有用于将第二插座元件322固定在第一插座元件312上的第一固定组件102b和用于将末端块固定在第二插座元件322上的第二固定组件120。
第一插座元件312的第二固定组件102a和第二插座元件322的第一固定组件102b可以被设计用于相互啮合并以这样的方式起作用，第二插座元件322相对于第一插座元件312是可偏转的。为了这个目的，间隙102s，其使得所述作用成为可能，可在第二插座元件322与第一插座元件312之间作出延伸。
图1B以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件100(类似于图1A)。末端块组件100可具有至少一个末端块104用于可转动地安装管状阴极304w(图1中未示出，参见图3)。此外，末端块组件100可具有插座组件152用于保持末端块104。
插座组件152可具有第一固定组件110(也称为第一螺纹接合平面110)，用于将插座组件152连接到壁元件(例如腔室壁)上。例如，第一固定组件110可具有(一个或)一些具有内螺纹的不通孔，其中螺丝可被拧入。作为选择，第一固定组件110可具有螺栓或螺纹销，其从插座组件152延伸离开。
此外，插座组件102可具有相对于第一固定组件110的第二固定组件120，用于将插座组件152连接到末端块104上。第二固定组件120可具有贯通开口120d，其可穿过插座组件152的凸部102v。连接元件(例如螺丝)，其可连接到末端块104，可被插入到贯通开口120d中。
图2以示意性的透视图示出根据各种实施方案的末端块组件200，其中间隔元件206可被布置在插座组件202(也称为固定法兰202)和末端块104之间。通过间隔元件206，可增加插座组件202和末端块104之间的距离。这可能是必需的，如果例如从待涂覆的基体的管状阴极的距离(称为目标-基体间距离)将要被改变(例如将要被减小)。例如一些间隔元件206可以相互结合，例如可以使用具有不同厚度的间隔元件206，以适应目标-基体间距离。
也可通过不同高度的间隔元件206设置目标-基体间距离。因此可有许多可能的组合用于设置目标-基体间距离，例如只用适于所需目标-基体间距离的一个间隔元件206，用多个间隔元件206或用至少一个绝缘元件206和至少一个间隔元件206。
第一固定组件110也可具有多个第一连接元件210s，例如螺丝210s或圆顶柱头螺丝210s，如在图2中表示，和将它们匹配到插座组件202中的螺纹孔，其中螺丝210s可被拧紧用于将插座组件202固定在设计以匹配它的腔室壁314w或腔室盖314w上(图2中未示出，参见例如图3)。
根据多种实施方案，插座组件202可被设计为匹配腔室壁314w或腔室盖314w和在第一侧面上(也称为盖连接)具有带密封装置的密封结构202d，例如真空密封装置。密封结构202d中可围绕第一固定组件110。此外，插座组件202可被设计为匹配末端块104和在第二侧面(也称为中间接合器)上具有密封区或密封结构(在这个视图中未示出，参见图3)，其中可布置密封装置。
此外，插座组件202可具有多个凹部202a(例如以插座的形式)。凹部202a的数目可被布置例如分别在拐角处，例如，在插座组件202的相对区域，其中多个凹部202a的每个凹部202a可分别限定插座组件202的凸部102v。换言之，凹部202a的数量可以限定多个凸部102v。
第二固定组件120(也称为第二螺丝接合平面120)可具有多个贯通开口120d，其中多个贯通开口120d的每个贯通开口可穿过多个凸部102v的凸部。此外，第二固定组件120可具有多个第二连接元件220s，例如螺丝220s或圆顶柱头螺丝，如图2中示出的。凹部202a中可分别布置有螺丝220s，其可延伸通过多个贯通开口120d的贯通开口。
第二固定组件120的螺丝220s也可在间隔元件206中通过匹配的贯通开口延伸并进入末端块104，例如拧入末端块104中。被布置在凹部202a中的螺丝220s可使得将末端块104固定在插座组件202上(在处理侧或在真空侧)成为可能。这使得实现插座组件202，末端块104和间隔元件206之间的刚性连接成为可能。
作为选择，第二连接元件220s也可以具有螺纹销，固定在末端块104上，和螺母，拧在螺纹销上，或者以一些其它方式进行刚性连接。采用标准零件，如圆顶柱头螺丝210s，作为末端块组件200的连接元件使得例如末端块组件200的低成本生产成为可能。
根据多种实施方案，如果第二固定组件120具有第二连接元件220s，其长度超过凹部202a的程度，则贯通开口120d可为横向开口形式。这使得达到这样的效果，即连接元件220s可从侧向进入贯通开口120d中。
在末端块104上和/或其中，可设置轴204w(例如空心轴204w)，称为轴承轴204w，其中所述轴承轴204w可例如沿着方向101延伸。轴承轴204w可旋转地安装或可旋转地支撑在末端块104中(例如沿方向101围绕旋转轴可旋转)。在轴承轴204w上，可固定基本靶管(图2中未示出，参见图3)用于实施溅射工艺，例如作为管状阴极的一部分。例如，基本靶管可通过目标固定(例如法兰和/或夹钳)以某些其他方式装到轴承轴204w和/或作为选择地固定到轴承轴204w上。
根据多种实施方案，插座组件202可具有开口102d(供给开口102d)，这使得通过插座组件202向末端块104提供介质成为可能，例如，使得电接触用于向它提供电能。
图3以示意性的横截面图示出根据多种实施方案具有插座组件302的末端块组件300(类似于图1A，例如平行于轴承轴204w的旋转轴)，其中插座组件302可固定在处理室的腔室壁314w上。插座组件302可通过螺丝210s固定在腔室壁314w上。用于固定插座组件302的螺丝210s可从背离插座组件302的腔室壁314w的一侧拧入插座组件302中(换言之在大气侧被驱动)。
末端块组件300可具有末端块104，其可通过插座组件302被安装在腔室壁314w(也称为壳体壁314w)上。腔室壁314w可为处理室的腔室外壳或腔室盖的一部分。说明性地，与末端块104(处于安装状态)相对的腔室壁314w的侧面(也称为处理侧或真空侧)在溅射过程中可位于处理室的内部和与末端块104相对远离的腔室壁314w(腔室盖)的侧面(也称为大气侧)在溅射过程中可位于处理室的外部。
如果腔室壁314w是腔室盖的一部分，则该处理室可具有腔室壳体，所述腔室壳体具有用于接收所述腔室盖的腔室开口。当腔室盖已被接收在腔室开口中时，腔室盖可以真空密封方式关闭腔室开口，使得处理室可通过泵被抽真空以在处理室内形成真空313或处理气氛。可在处理室内产生具有小于1毫巴，例如小于10-2毫巴，例如小于10-4毫巴，例如小于10-6毫巴的压力的真空313或处理气氛313。
一旦腔室外壳通过腔室盖已被关闭，插座组件302可延伸到腔室壳体的内部。为了打开腔室壳体，腔室盖可被设计为这样的方式：它可被从处理室移除或枢转。腔室壳体的开口可例如便于进入处理室的内部，例如用于维修工作。例如可通过腔室盖的移除进行插座组件302，末端块104和/或管状阴极304w的安装/拆卸。
插座组件302可为磁控管(或磁控管组件)的一部分，通过其可处理基体，例如涂覆。然后腔室盖也可被称为磁控管盖。磁控管还可具有末端块104和管状阴极304w，其可耦合到末端块104的轴承轴204w上。管形阴极304w，或载体管可沿轴承轴(沿方向101)的旋转轴纵向延伸。
为了操作磁控管，可能有必要通过腔室壁314w从处理室的外部向管状阴极304w供给介质，例如电能、冷却流体或机械能(用于旋转管状阴极304w)。为了这个目的，腔室壁314w(或类推的腔室盖)可具有贯通开口314d，通过其可向末端块104，或管状阴极304w提供介质。
此外，插座组件302可被匹配的贯通开口102d(供给开口102d)穿过并且间隔元件206可被匹配的贯通开口206d穿过，其将末端块104连接到腔室壁314中的贯通开口314d。插座组件302中的贯通开口102d中可从插座组件302的第一侧延伸到插座组件302的第二侧，所述第二侧与第一侧相对。
根据多种实施方案，末端块104可具有基本壳体104b。末端块104的基本壳体104b可例如至少部分围绕和/或支持用于可转动地安装管状阴极304w(轴承轴204w、旋转套管、滚动轴承和/或密封装置)和供给组件1102(未在图3中示出，比较图11或图12)的部件。
插座组件302的贯通开口102d，间隔元件206的贯通开口206d和末端块104的内部可形成末端块组件300的内部，其中所述末端块组件300的内部可通过腔室壁314w中的贯通开口314d连接到处理室的外部(也称为大气侧)。
一旦处理气氛313(例如真空)已在处理室中形成，末端块组件300的内部可在大于处理气氛313的压力下。例如，末端块组件300的内部可在约大气压力311下(约100kPa)。为了这个目的，末端块组件300的内部可通过相应的密封结构202d，306d相对于处理室的内部(和因此相对于处理气氛313)封离。
为了相对于处理室的内部封离末端块组件300的内部，腔室壁314w和插座组件302之间，插座组件302和间隔元件206之间以及间隔元件206和末端块104之间有可分别布置密封结构202d，306d，这使得相邻部件之间的间隙的封离成为可能。密封结构202d，306d可分别具有真空密封装置(例如橡胶密封装置)，例如O形环，平垫圈，成形密封垫或具有一些其他几何形状的密封装置。
为了操作管状阴极304w，它可为电势(说明性地，如果它是电供给)。电势也可被转移到末端块104。因此，将末端块104与处理室或腔室壁314w电绝缘是必要的，(例如，以确保工作时的安全)。此外，末端块104在管状阴极304w的操作期间可被加热。因此，将末端块104与处理室或腔室壁314w热绝缘是必要的。为了末端块104与处理室(或插座组件302)的热和/或电绝缘，根据多种实施方案间隔元件206可由热和/或电绝缘材料206i组成，以形成绝缘元件206。
按照惯例，绝缘元件206可由硅树脂形成，这使得绝缘元件206一定的可塑性成为可能。然而，在这种情况下，可能会发生跳火，如果发生，此后绝缘元件206的绝缘能力受损。通过嵌入硅树脂中的陶瓷珠(作为间隔器)可增加绝缘元件206的柔性的变硬或限制。
如上所述，末端块104可通过螺丝220s经由间隔元件206连接于插座组件302上。为了将螺丝220s从插座组件302热和或/电绝缘，第二插座元件322的第二固定组件120可具有热和/或电绝缘套管220h(例如以衬套的形式)，其在螺丝220s和插座组件302之间延伸。套管220h可由热和/电绝缘材料206i组成。
套管220h可插入第二固定组件120中的贯通开口120d中并至少部分地延伸到间隔元件206中。为了这个目的，第二固定组件120的贯通开口120d可被标注为适当地大。此外，螺丝220s可被接收在套管220h中并延伸穿过套管220h。
套管220h可覆盖有栓塞220d(以盖的形式)，以防止螺丝220s的涂覆。以这种方式，可以防止雾化后的靶材吸附在螺丝220s上和可在螺丝220s上形成将螺丝220s连接到插座组件302具有导电效果的层(汽相淀积层)或损害末端块104和插座组件302之间电绝缘。
图4A以示意性的侧视图或横截面图分别示出根据多种实施方案的具有插座组件402的末端块组件400(类似于图1A)，其中，插座组件402可具有两个插座元件312，322。换言之，插座组件402可形成为两部分。
如上所述，第一插座元件312(也被称为盖连接312)可具有第一固定组件110。例如，盖连接312可具有一个或多个盲孔，其中拧入相应的螺丝210s。根据多种实施方案中，盖连接312可为刚性地拧到腔室壁314w(例如磁控管盖)。如上所述，第二插座元件(也被称为中间接合器322)可具有第二固定组件120。例如，中间接合器322可具有一个或多个贯通开口120d，其中布置相应的螺丝220s。作为选择，所述中间接合器322也可以通过其他的连接元件固定在末端块104上。
此外，插座组件402可具有耦合结构432用于将盖连接312连接到中间接合器322。耦合结构432可被设计为这样的方式：盖连接312和中间接合器322以允许它们相对于彼此移动的方式相互耦合(或连接)。例如，耦合结构432可具有弹簧-弹性元件，例如橡胶板，使其在第一插座元件312和第二插座元件322之间延伸。
根据多种实施方案，末端块组件400可具有或不具有间隔元件206(由虚线表示)形成。换言之，根据需要，间隔元件206可额外使用或末端块直接固定在第二插座元件322上。根据多种实施方案，间隔元件206可为第二插座元件322的一部分。换言之，间隔元件206和第二插座元件322可形成为一体。
图4B以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的插座组件452(类似于图1A)。
第一插座元件312可将第一部分伸入至第二插座元件322的第二部分中，例如伸入至第二部分中的凹部中。第一部分可为第一插座元件312的第二固定组件102a的一部分。第二部分可为第二插座元件322的第一固定组件102b的一部分。
固定组件102a，102b可被设计为这样的方式：第二插座元件322相对于第一插座元件312沿着多个自由度，例如沿着一个、两个或三个平移自由度和一个转动自由度，沿着一个、两个或三个平移自由度和两个转动自由度，沿着一个、两个或三个平移自由度和三个转动自由度，沿着两个或三个平移自由度或沿着两个或三个转动自由度是可偏转的。在溅射过程中，例如当末端块104被固定在第二插座元件322上时，相互啮合的固定组件102a，102b可防止第一部分从第二部分分离。
转动自由度(rotationaldegreeoffreedom)(也称为转动自由度(degreeofrotationalfreedom))可理解为围绕轴旋转。平移自由度(translationaldegreeoffreedom)(也称为平移自由度(degreeoftranslationalfreedom))可理解为沿着一个方向的移动。自由度的数目可理解为独立于彼此的移动的可能的数目，例如理解为相对于彼此横向延伸的方向的数目和/或理解为相对于彼此横向延伸的轴的数目，沿着/围绕其系统可以移动，或沿着/围绕其第二插座元件322可偏转。
此外，插座组件452可具有密封结构412d，它围绕第一部分延伸。密封结构412d例如可具有密封区和被布置在所述密封区的密封装置。此外，密封结构412d可被设计为这样的方式：它封离第一部分和第二部分之间的间隙102s。例如，密封结构412d可以以例如真空式方式使插座组件452中的腔相对于插座组件452周围的外部封离。
图5以示意性的透视图示出根据各种实施方案的插座组件502，其中插座组件502可具有两个插座元件312，322，其至少部分地相互啮合和相互弹簧-弹性地耦合。
为了这个目的，盖连接312可具有外围凹槽412形式的插入部，其可为盖连接312的第二固定组件102a的一部分。此外，中间接合器322可具有凸部422形式的插入部，其可为中间接合器322的第一固定组件102b的一部分。凹槽412可在两个相对侧上通过在每种情况下的壁部(或凸部)限定。插入部可被设计为这样的方式：它们可彼此插入以将盖连接312连接到中间接合器322上。例如，插入部可被设计为这样的方式：凸部422可通过回旋运动引入(例如安装)凹槽412中。
例如，凹槽412的壁部可具有一个或多个切口(例如背离腔室壁槽的一侧)，其中第二插座元件322的插入部422可以被插入，例如通过第二插座元件322相对于第一插座元件312的向上运动。此外，该插入部可通过第二插座元件322相对于第一插座元件312的回旋运动插入(引入)到凹槽412中，以便可在第一插座元件312和第二插座元件322之间产生保持连接(holdingconnection)。当将一个安装到另一个中时，插入部412，422相互可有距离，以便在插入部412，422之间延伸有间隙，这使得两个插座元件312，322相对于彼此运动成为可能。
在凸部422与凹槽412的壁部之一之间可布置弹簧-弹性元件(例如在间隙中)，例如以弹性板402e的形式(例如，橡胶板或一些其他弹簧-弹性板)。弹性板402e可例如至少部分地填充凸部422与凹槽412的壁部之一之间的间隙。插入部(凸部422和凹槽412)和弹性板402e可为插座组件502的耦合结构432的一部分。
凹槽412的壁部可被贯通开口412e穿过，这使得例如将连接元件引入到凹槽412，例如螺丝或螺纹销成为可能。此外，贯通开口412e可使得可能驱动连接元件，例如转动或锁定它，例如，以将其拧入或拧出它。
此外，插座组件502可具有管部512r(或管附件)，其可插入到腔室壁314w的贯通开口314d中。
图6以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件600(类似于图1A)，其中插座组件602被示出安装在腔室壁314w上。插座组件602的管部512r(或管附件)可被设计为这样的方式：当插座组件602被安装在腔室壁314w上时，插座组件以刚性啮合的方式被接收在腔室壁314w的贯通开口314d中。这可以达到这样的效果：插座组件602相对于腔室壁314w的位置由腔室壁314w中的贯通开口314d限定，使得省去插座组件602的对准和/或定位。
此外，中间接合器322的凸部422可被贯通开口穿过，可向其中引入连接元件，例如螺丝412s，如图6中所示。螺丝412s可拧入凹槽412的壁部中匹配的螺纹孔中。通过螺丝412s，盖连接312和中间接合器322可避免相对于彼此的回转。这能够实现的效果是，当将一个插入另一个中时，盖连接312和中间接合器322彼此是刚性连接且可避免盖连接312从中间接合器322的脱离。
在其中盖连接312和中间接合器322是一个插入另一个的状态下，凹槽412的壁部中的贯通开口/螺纹孔和凸部422中的贯通开口可相互一致。
图7A以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的插座组件702(类似于图1A)和图7B沿着剖面701以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的插座组件702。
盲孔铆钉螺母402m形式的弹簧-弹性元件(例如弹性体)可接收到凹槽412的壁部中的贯通开口中。根据多种实施方案，弹簧-弹性元件可例如由弹性体(例如以盲孔铆钉螺母402m的形式)生产。盲孔铆钉螺母402m可具有带螺纹的贯通开口(见图8A)用于将螺丝412s拧入盲孔铆钉螺母402m。这使得实现螺丝412s和凹槽412的壁部之间柔性/弹性的固定(弹性螺丝连接)。末端块104可因此相对于腔室壁314w(例如沿着三个平移和三个转动自由度)灵活地移动，使得末端块104的转动安装(例如滚动轴承)机械地解除。
根据多种实施方案，末端块104的柔性/弹性固定可因此通过弹性盲孔铆钉螺母402m作为连接元件成为可能，其中盲孔铆钉螺母402m可使两个插座元件312，322相互的柔性螺丝接合(compliantscrewing)成为可能。该腔室壁314w和末端块104之间的弹性螺纹连接可例如通过如图7B所示的多个布置在节距圆上的盲孔铆钉螺母402m实现。
根据多种实施方案，盲孔铆钉螺母402m可具有径向伸出凹槽412的壁部中的贯通开口的边缘之外的部分(被称为头部支撑812m，参见图8A)，其延伸入盖连接312和中间接合器322之间的间隙。盲孔铆钉螺母402m可以这样的方式布置：盲孔铆钉螺母402m的头部支撑可经受轴向加载。这使得有可能在一个或多个盲孔铆钉螺母402m故障的情况下，防止螺丝拧上的末端块104的脱落(因为中间接合器322从盖连接312的脱离)。
作为选择，两个插座元件312，322相互的柔性螺丝接合可通过弹簧(例如金属弹簧或塑料弹簧)实现，螺丝412s可以拧入其中。
此外，盖连接312可在下端(与第一固定组件110相对)具有机械加工的凹部。这样制成的下部圆环712r可在凹槽412的壁部中的每个贯通开口(例如相应的孔)之间被打断/磨铣，其中盲孔铆钉螺母402m被接收，并因此被细分为多个圆环段。
下部圆环712r可例如具有四个圆环段，如在图7B中所示。根据多种实施方案，下部圆环712r可具有少于四个，例如两个或三个，或者四个以上，例如五个或六个，圆环段。中间接合器322的凸部422可被形成，例如打断/磨铣，以匹配，并因此具有类似的段数，使得它可以被引入到盖连接312中(圆环段之间)。相匹配地，圆环段相互之间的距离可设计为这样的方式：中间接合器322的凸部422的段可插在圆环段之间(沿垂直于平面701的方向)。
通过转动运动(沿着平面701)，圆环段之间插入的凸部422然后可被引入到盖连接312的凹槽412中，即换言之，中间接合器322可通过插入/回旋运动连接到盖连接312上(类似于卡口固定件)。
为了减轻盲孔铆钉螺母402m的头部支撑(或用于避免过载)，弹性板402e形式的弹簧-弹性元件(例如橡胶垫)可布置在凹槽412的壁部和凸部422之间。弹性板402e可以至少部分地围绕盲孔铆钉螺母402m的头部支撑或适当地机械加工用于接收盲孔铆钉螺母402m的头部支撑。因此，弹性板402e可吸收作用在盲孔铆钉螺母402m的头部支撑上的部分力(也被称为表面按压)。可由弹性材料，例如弹性体(例如天然橡胶)形成弹性板402e。
此外，插座组件702中的贯通开口102d(其可定义插座组件702的内部)可相对于插座组件702的外部，例如处理室封离。为了这个目的，插座组件702可具有带真空密封装置的密封结构412d，例如环形密封环，例如四环412d，如图7A所示，或一些其他的密封装置，例如O型环。密封结构412d可布置在盖连接312的的相互啮合部分和中间接合器322之间。密封结构412d可在相对于插入部422，412一定的距离处布置。这使得取得这样的效果：盖连接器312和中间接合器322之间的相对运动可被补偿，其中，通过密封结构412d防止了或至少减少了可例如损害溅射的插座组件702的内部和插座组件702的外部之间的质量传递，例如气体交换(例如处理室的内部)。
图8A以示意性的透视图示出根据多种实施方案的盲孔铆接螺母402m(连接元件402m)形式的弹簧-弹性元件。弹簧-弹性元件402m(盲孔铆接螺母402m)可具有头部支撑812m，其沿径向方向延伸远离盲孔铆钉螺母402m的主体822m。如在图8A中所示，主体822m可以采取圆柱体或套筒的形式，或一些其他形式，例如具有多边形横截面或具有加厚部分。主体822m和头部支撑812m可被共同的贯通开口812d穿过。贯通开口812d的内壁可例如形成为内螺纹或设有一些其他类型的断面(螺纹接合部分)，使得螺丝可被拧入贯通开口812d。弹簧-弹性元件402m(盲孔铆钉螺母402m)可例如由塑料制成，例如弹性体。
图8B以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的耦合结构432。盲孔铆钉螺母402m可布置在插座组件的板状部分中的开口，例如贯通开口中，或在插座组件的凸部412，422中，如本文中所描述的。在这种情况下可使盲孔铆钉螺母402m延伸通过贯通开口。
图9A以示意性的横截面图示出根据多种实施方案的耦合结构432。为了将盖连接312连接到中间接合器322，螺丝412s可拧入盲孔铆钉螺母402m中。盲孔铆钉螺母402m可被设计为这样的方式：当拧入螺丝412s时，当螺丝412s拧入贯通开口812d中时，形成了加厚部分402v(例如由于主体822m的材料位移或压缩)。这使得达到这样的效果：盲孔铆钉螺母402m以刚性啮合方式固定到与它匹配的贯通开口中。
此外，盲孔铆钉螺母402m可以这样的方式为弹性：盖连接312和中间接合器322之间的相对运动(表示为轮廓901)成为可能。由于盖连接312和中间接合器322之间的相对运动，盲孔铆钉螺母402m可为变形的，使得它产生回复力，其朝向盖连接312和中间接合器322之间的平衡位置的方向，其中，所有的回复力在平衡位置处相互抵消。说明性地，盲孔铆钉螺母402m在平衡位置处变形最小(也称为静止位置)。
根据多种实施方案，弹簧-弹性元件可相对于第一插座元件312限定第二插座元件322的静止位置。
图9B以示意性的透视图示出根据多种实施方案的耦合结构432。根据多种实施方案，盲孔铆钉螺母402m和弹性板402e可形成为一个部分(或一体)。说明性地，可形成盲孔铆钉螺母402m的头部支撑以匹配盖连接312和中间接合器322之间的间隙，和形成弹性板402e。
图10以示意性的侧视图或横截面图示出根据多种实施方案的末端块组件1000(类似于图1A)。
根据多种实施方案，本文描述的插座组件可用中间接合器322和盖连接312作为腔室壁314w(例如磁控管盖)上的连续的组件(被称为螺口式工具箱)用螺丝拧上。在插座组件的另一端，腔室壁314w的相对面，随后可用螺口式工具箱将末端块104拧上。
根据多种实施方案，间隔元件206可为板的形式，并由电和/或热绝缘材料(被称为绝缘板)构成。间隔元件206可具有凸部形式的定心结构1006b(称为定心环1006b)，其中可插入末端块104，或末端块104的基本壳体104b。这使得达到这样的效果：末端块104相对于间隔元件206的相对位置是通过定心环1006b预先确定。说明性地，定心环1006b可引起末端块104在间隔元件206上的自定心。
如本文所述，图11和12以示意性的横截面图分别示出根据多种实施方案具有插座组件的末端块组件1100。
末端块104可设计为例如介质末端块且具有向管状阴极提供介质的部件(其形成供给组件1102)，诸如例如管道1102r(作为冷却剂供给的一部分)或电力线路(作为电供给的一部分)。通过密封装置，例如通过旋转套管可将冷却剂供给相对于真空室的内部封离。例如，末端块104的内部可在大气压力下或末端块104内部的冷却剂供给可在高于大气压力的压力下，并相对于处理室的内部封离。
因此，可能有必要使末端块104，或基本壳体104b，牢固和稳定(例如压力稳定)，并将其连接到例如真空室的处理室或一部分。基本壳体104b可例如由金属形成，例如由钢或铝合金形成。说明性地，末端块104的基本壳体104b可充当腔室壁314w的一部分，并且被设计用于分离真空和大气气压。
盖连接312和中间接合器322可设计为这样的方式：例如圆形环段可布置在这样的距离处，即供给组件1102，例如管道1102r，安装在圆环段之间，如在图11中所示。例如，管道1102r可固定在末端块104上且可与末端块104一起安装。供给组件1102也可具有电力线路，其可固定在管道1102r上。在末端块104的安装状态下，可使管道1102r延伸通过腔室壁314w。
此外，管道1002r可具有相应的连接1102a用于将管道1002r连接到冷却水供给，例如连接到循环泵或调压水箱，其可向管道1002r供给冷却剂，例如水。
根据多种实施方案，中间接合器322可具有凹槽形式的定心结构1122a，其中可插入间隔元件206。通过与其类推，间隔元件206可具有凹槽形式的定心结构1106a，其中，可插入末端块104。这使得达到的这样效果：末端块104相对于中间接合器322，或腔室壁314w的相对位置，被预先确定。说明性地，定心结构1106a，1122a可引起插座组件上的末端块104的自定心。
实施例1是用于将末端块104保持(或如固定)处理室上的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702可包括：
第一插座元件312
·具有用于将第一插座元件312固定在处理室壁上的第一固定组件110和
·具有第二个固定组件102a；和
第二插座元件322
·具有用于将第二插座元件322固定在第一插座元件322上的第一固定组件102b和
·具有用于将末端块104固定在第二插座元件322上的第二固定组件120；
其中，所述第一插座元件312的第二固定组件102a和所述第二插座元件322的第一固定组件102b可被形成用于相互啮合，并以第二插座元件322可相对于第一插座元件312可偏转(例如，具有运动的自由度，或可替换的)这样的方式起作用(允许清洁)。
为清楚起见，第二插座元件322的第一固定组件102b可被称为第三固定组件102b。此外，第二插座元件322的第二固定组件120可被称为第四固定组件102b。
实施例2：实施例1的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中第一插座元件312的第二固定组件102a与第二插座元件322的第一固定组件102b被设计为彼此可脱离地插入。
实施例3：实施例1或实施例2的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中用于将末端块104固定在第二插座元件322上的第二插座元件322的第二固定组件120与第一插座元件312的第一固定组件110单独形成。
在实施例4中，实施例1-3的任一个的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，可任选地包括密封结构412d用于封离第一插座元件312和第二插座元件322之间的间隙，其中密封结构412d布置在第一插座元件312和第二插座元件322相邻的部分之间。
实施例5：实施例4的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中第一插座元件312具有另外的密封区域，用于相对于处理室壁314w封离和其中第二插座元件322具有另外的密封区域，用于封离与末端块的连接部分。
在实施例6中：实施例1-5的任一个插座组件102，152，202，302，402，452，502，602可任选地包括弹簧-弹性元件402m，402e(也被称为弹性元件(elasticelement)或弹性元件(resilientelement))，其布置在第一插座元件312和第二插座元件322之间，使得第二插座元件322相对于第一插座元件312抵抗回复力是可偏转的。
实施例7：实施例6的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中第一插座元件312的第一固定组件110具有径向向外突出的凸部和第二插座元件322的第二固定组件102a具有径向向内突出的凸部，其装配在一起时彼此重叠，并且其中，弹簧-弹性元件402m，402e布置在凸部之间。
在实施例8中：实施例1-7的任一个的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702可任选地包括：间隔元件206，其可被应用到第二插座元件322的第二固定组件120，并限定第二插座元件322和将要被固定在其上的末端块104之间的距离。
实施例9：实施例8的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中间隔元件206包括热和/或电绝缘材料206i，用于将第二插座元件322从将要被固定在其上的末端块104热和/或电绝缘。
在实施例10中，实施例1-9的任一个的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702可任选地包括：连接元件412s，它穿过第一插座元件312的第二固定组件102a和第二插座元件322的第一固定组件102b。
实施例11：实施例1-10的任一个的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中第一插座元件312的第二固定组件102a和第二插座元件322的第一固定组件102b围绕贯通开口102d穿过插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，用于接收供给组件1102。
实施例12：实施例6-11的任一个的插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702，其中第一插座元件312的第二固定组件102a和/或第二插座元件322的第一固定组件102b具有开口，弹簧-弹性元件402m，402e突出到其中并且形成连接元件，用于将弹簧-弹性元件402m，402e连接到另一连接元件。
实施例13是包括如下的末端块组件：至少一个末端块104，用于可旋转地安装和向管状阴极供给介质；插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702用于保持末端块104；其中插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702具有第一固定组件110，用于将插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702连接到壁元件314w；并且其中插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702具有第二固定组件120，用于将插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702连接到末端块104，其中第二固定组件120具有贯通开口120d，其穿过插座组件102，152，202，302，402，452，502，602，702的凸部102v，其中用于固定末端块104的第二固定组件120与第一固定组件110分别形成。

Claims (13)

1.用于将末端块保持在处理室上的插座组件，所述插座组件包括：
第一插座元件和第二插座元件，
所述第一插座元件包括：
用于将第一插座元件固定在处理室壁上的第一固定组件，和第二固定组件；
所述第二插座元件包括：
用于将第二插座元件固定在第一插座元件上的第三固定组件和用于将末端块固定在第二插座元件上的第四固定组件；
其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件被形成用于相互啮合，并以第二插座元件相对于第一插座元件可偏转这样的方式起作用。
2.如权利要求1所述的插座组件，其中所述第一插座元件的第二固定组件和所述第二插座元件的第三固定组件被设计为可脱离地相互可插入。
3.如权利要求1所述的插座组件，其中用于将末端块固定在第二插座元件上的第二插座元件的第四固定组件与第一插座元件的第一固定组件分别形成。
4.如权利要求1所述的插座组件，进一步包括：
用于封离第一插座元件和第二插座元件之间的间隙的密封结构，
其中所述密封结构被布置在第一插座元件和第二插座元件相互邻接的部分之间。
5.如权利要求4所述的插座组件，其中所述第一插座元件具有另外的密封区用于关于处理室壁的封离和第二插座元件具有另外的密封区用于封离与末端块的连接部分。
6.如权利要求1所述的插座组件，其进一步包括：弹性元件，其被布置在第一插座元件和第二插座元件之间，使得第二插座元件相对于第一插座元件抵抗回复力是可偏转的。
7.如权利要求6所述的插座组件，其中第一插座元件的第一固定组件具有径向向外的突出的凸部和第二插座元件的第四固定组件具有径向向内突出的凸部，其中当装配在一起时相互重叠，且其中所述弹性元件被布置在凸部之间。
8.如权利要求1所述的插座组件，其进一步包括间隔元件，其可被应用于第二插座元件的第四固定组件并限定第二插座元件和将要固定在其上的末端块之间的距离。
9.如权利要求8所述的插座组件，其中间隔元件包括热和/或电绝缘材料，用于使第二插座元件与将要固定在其上的末端块热和/或电绝缘。
10.如权利要求1所述的插座组件，其进一步包括：
连接元件，其穿过第一插座元件的第二固定组件和第二插座元件的第三固定组件。
11.如权利要求1所述的插座组件，其中第一插座元件的第二固定组件和第二插座元件的第三固定组件围绕贯通开口穿过插座组件，用于接收供给组件。
12.如权利要求6所述的插座组件，其中第一插座元件的第二固定组件和/或第二插座元件的第三固定组件具有开口，弹性元件突出到其中并且形成连接元件，用于将弹性元件连接到另一连接元件。
13.一种末端块组件，其包括：
至少一个末端块，用于可旋转地安装和向管状阴极供给介质；
插座组件，用于保持末端块；
其中所述插座组件具有第一固定组件，用于将插座组件连接到壁元件；并且
其中所述插座组件具有第二固定组件，用于将插座组件连接到末端块(104)，其中第二固定组件具有贯通开口，其穿过插座组件的凸部，其中用于固定末端块的第二固定组件与第一固定组件分别布置。
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