JP2007048887A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】平坦な面を有するバンプを形成する事ができる半導体装置の製造方法及びこの製造方法により形成されたバンプを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体層10と、前記半導体層10の上方に設けられた電極パッド20と、前記電極パッド20の上方に設けられ、該電極パッド20の上に開口32を有する絶縁層30と、少なくとも前記開口32に設けられたバンプ40と、を含み、前記バンプ40は、前記開口32に設けられた第1バンプ層42と、前記第1バンプ層42の上方および該第1バンプ層42の側方にある前記絶縁層30の上方に設けられた下地層44と、前記下地層44の上に設けられた第2バンプ層46と、を含む。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置は、半導体層10と、前記半導体層10の上方に設けられた電極パッド20と、前記電極パッド20の上方に設けられ、該電極パッド20の上に開口32を有する絶縁層30と、少なくとも前記開口32に設けられたバンプ40と、を含み、前記バンプ40は、前記開口32に設けられた第1バンプ層42と、前記第1バンプ層42の上方および該第1バンプ層42の側方にある前記絶縁層30の上方に設けられた下地層44と、前記下地層44の上に設けられた第2バンプ層46と、を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関する。
半導体集積回路の高集積化、半導体チップの縮小化が進むと、微細ピッチの端子接続に対応可能な実装技術が要求される。この要求に対応しやすい実装技術として、TCP(Tape Carrier Package)等で利用されるTAB(Tape Automated Bonding)実装や、CSP(Chip Size Package)等で利用されるフリップチップ実装があげられる。これらの実装技術では、通常、半導体チップのパッドにバンプが設けられる。バンプは、たとえば、金バンプが代表的であり、その形成は、電解メッキ法によるものが一般的である。電解メッキ法による金バンプの形成方法を以下に説明する。
図7は、従来の半導体チップにおける金バンプの断面図である。内部の集積回路に繋がる配線の一部であるパッド502は、電気的接続領域の表面を除いて絶縁層(パッシべーション膜)504によって被覆されている。
まず、アンダーバンプメタル層(バリアメタル層及び給電用金属層の積層)506をスパッタ法により形成する。その後、フォトリソグラフィ技術によりパッド502の電気的接続領域及びその周囲部を露出させたバンプ形成用のレジスト層508を形成する。次に、レジスト層508のパターンに従って電解メッキ法により金をメッキ成長させる。その後、レジスト層508を剥離してからメッキ成長した金をマスクとして、アンダーバンプメタル層506を、その層の種類に応じてウェットエッチングする。その後はアニールなどを経てバンプ510が形成される。
上述の形成方法に従って形成されたバンプは、図6に示すように、深い凹部(開口)を有する状態でバリアメタル層が形成される。電解メッキ法では、バリアメタル層の形状に従って金属層がメッキ成長されるため、バンプ510の表面には、開口の形状を反映した凹部512が生じることとなる。このようにバンプの表面が平坦でないことは、実装性に影響を及ぼすことがあり、平坦な面を有するバンプの形成が望まれている。
本発明の目的は、平坦な面を有するバンプを形成することができる半導体装置の製造方法およびこの製造方法により形成されたバンプを有する半導体装置を提供することにある。
(1)本発明にかかる半導体装置は、
半導体層と、
前記半導体層の上方に設けられた電極パッドと、
前記電極パッドの上方に設けられ、該電極パッドの上に開口を有する絶縁層と、
少なくとも前記開口に設けられたバンプと、を含み、
前記バンプは、
前記開口に設けられた第1バンプ層と、
前記第1バンプ層の上方および該第1バンプ層の側方にある前記絶縁層の上方に設けられた下地層と、
前記下地層の上に設けられた第2バンプ層と、を含む。
半導体層と、
前記半導体層の上方に設けられた電極パッドと、
前記電極パッドの上方に設けられ、該電極パッドの上に開口を有する絶縁層と、
少なくとも前記開口に設けられたバンプと、を含み、
前記バンプは、
前記開口に設けられた第1バンプ層と、
前記第1バンプ層の上方および該第1バンプ層の側方にある前記絶縁層の上方に設けられた下地層と、
前記下地層の上に設けられた第2バンプ層と、を含む。
本発明にかかる半導体装置によれば、その上面が平坦な面であるバンプを有する半導体装置を提供することができる。そのため、たとえば、基板に設けられた配線パターンと、バンプの上面とを対向させて接続する場合に、配線パターンとバンプとの間には、導電性の粒子が設けられるが、この粒子の電気的接続性を向上させることができる。その結果、電気的接続が良好に図られ、信頼性の向上した半導体装置を提供することができる。
なお、本発明において、特定のA層(以下、「A層」という。)の上方に設けられた特定のB層(以下、「B層」という。)というとき、A層の上に直接B層が設けられた場合と、A層の上に他の層を介してB層が設けられた場合とを含む意味である。
本発明は、さらに、下記の態様をとることができる。
(2)本発明にかかる半導体装置において、
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面と比して低いことができる。
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面と比して低いことができる。
(3)本発明にかかる半導体装置において、
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面とほぼ同一の位置にあることができる。
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面とほぼ同一の位置にあることができる。
(4)本発明にかかる半導体装置において、
前記半導体層に集積回路が設けられ、
前記集積回路の上方に、前記電極パッドおよび前記第2バンプ層の少なくとも一方が設けられていることができる。
前記半導体層に集積回路が設けられ、
前記集積回路の上方に、前記電極パッドおよび前記第2バンプ層の少なくとも一方が設けられていることができる。
(5)本発明にかかる半導体装置の製造方法は、
半導体層の上方に電極パッドを形成する工程と、
前記電極パッドの上に第1開口を有する絶縁層を形成する工程と、
前記第1開口に第1バンプ層を無電解メッキ法により形成する工程と、
前記第1バンプ層および該第1バンプ層の側方の前記絶縁層の上に下地層を形成する工程と、
少なくとも前記第1バンプ層の上方に第2開口を有するマスク層を形成する工程と、
前記第2開口に第2バンプ層を電解メッキ法により形成する工程と、
前記マスク層を除去する工程と、
前記第2バンプ層をマスクとして、前記下地層を除去する工程と、
を含む。
半導体層の上方に電極パッドを形成する工程と、
前記電極パッドの上に第1開口を有する絶縁層を形成する工程と、
前記第1開口に第1バンプ層を無電解メッキ法により形成する工程と、
前記第1バンプ層および該第1バンプ層の側方の前記絶縁層の上に下地層を形成する工程と、
少なくとも前記第1バンプ層の上方に第2開口を有するマスク層を形成する工程と、
前記第2開口に第2バンプ層を電解メッキ法により形成する工程と、
前記マスク層を除去する工程と、
前記第2バンプ層をマスクとして、前記下地層を除去する工程と、
を含む。
本発明にかかる半導体装置の製造方法によれば、その上面が平坦な面であるバンプを有する半導体装置を製造することができる。本発明にかかる半導体装置の製造方法では、まず、電極パッド上に設けられた開口に第1バンプ層が形成される。そのため、次の工程で下地層を凹凸の減少した面、すなわち、平坦性の向上した面に形成することができることとなる。これにより、平坦な面の下地層を形成でき、第2バンプ層を電解メッキ法で形成する際に、従来例で説明したような第2バンプ層の上面に凹部が生じることを抑制することができる。その結果、上面が平坦なバンプを有する半導体装置を製造することができる。
以下、本発明の実施の形態の一例について図面を参照しつつ説明する。
1.半導体装置
まず、本実施の形態にかかる半導体装置について、図1を参照しつつ説明する。図1は、本実施の形態にかかる半導体装置を模式的に示す断面図である。
まず、本実施の形態にかかる半導体装置について、図1を参照しつつ説明する。図1は、本実施の形態にかかる半導体装置を模式的に示す断面図である。
図1に示すように、本実施の形態にかかる半導体装置は、半導体層10を有する。半導体層10としては、集積回路12が形成されていることができる。集積回路12が設けられている。集積回路12の構成は特に限定されないが、たとえば、トランジスタ等の能動素子や、抵抗、コイル、コンデンサ等の受動素子を含んでいることができる。また、半導体層10は、チップ形状または、半導体ウエハ状であってもよい。
半導体層10の上には、所定のパターンを有する電極パッド20が設けられている。電極パッド20は、アルミニウム又は銅等の金属で形成されていることができる。また、電極パッド20を集積回路の上方に設けることもできる。
電極パッド20の上方には、絶縁層30が設けられている。絶縁層30は、たとえば、SiO2、SiN、ポリイミド樹脂等で形成されていることができる。絶縁層30は、電極パッド20の全面を覆っているわけではなく、電極パッド20の少なくとも一部の領域を露出させるための開口32を有する。本実施の形態にかかる半導体装置では、電極パッド20の中央領域に、正方形の開口32を有する場合を図示するが、これに限定される訳ではない。たとえば、円形、正方形以外の四辺形のいずれの平面形状を有する開口32であってもよい。
本実施の形態にかかる半導体装置では、電極パッド20の上方であり、少なくとも開口32にバンプ40が設けられている。すなわち、電極パッド20の露出面に上に、バンプ40が設けられている。バンプ40は、開口32に設けられた第1バンプ層42と、少なくとも第1バンプ層42の上に設けられた下地層44と、下地層44の上に設けられた第2バンプ層46とからなる。図1に示すように、第1バンプ層42は、開口32にのみ設けられている。そして、第1バンプ層42は、開口32を画定している絶縁層30の上面とほぼ同一の高さを有する。つまり、後述する第2バンプ層が形成される領域では、第1バンプ層42の上面と絶縁層30の上面とが平坦な面を構成している。第1バンプ層42としては、無電解メッキ法により形成されたニッケルを含む層などを挙げることができる。
第1バンプ層42およびその周囲の絶縁層30の上方には、下地層44が設けられている。下地層44は、バリアメタル層および第2バンプ層46を電解めっきで形成する際の給電用導電性金属層の積層、または、双方の役割を果たすことができる材質の単層であってもよい。下地層44としては、たとえば、チタンタングステン層、金(Au)層などを挙げることができる。
下地層44の上には、第2バンプ層46が設けられている。第2バンプ層46は、平面的にみて第1バンプ層42と比して大きいパターンを有する。第2バンプ層46の上面は、ほぼ平坦な面である。第2バンプ層46としては、たとえば、電解メッキ法で形成された金などを用いることができる。
本実施の形態にかかる半導体装置によれば、平坦な面の実装面(第2バンプ層46の上面)を有する。そのため、たとえば、実装する際に、バンプ40と、バンプ40と電気的に接続されるリード線との間に存在する導電性粒子の電気的接続性を向上させることができるなど、実装性を向上させることができる。その結果、本発明の半導体装置によれば、実装性が向上し、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
2.半導体装置の製造方法
次に、図1に示す半導体装置の製造方法について、図2ないし図5を参照しつつ説明する。図2ないし図5は、本実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を模式的に示す図である。
次に、図1に示す半導体装置の製造方法について、図2ないし図5を参照しつつ説明する。図2ないし図5は、本実施の形態にかかる半導体装置の製造工程を模式的に示す図である。
まず、図2に示すように、所定のパターンを有する半導体層10を準備する。半導体層10としては、上述したとおりであり、集積回路が形成されていることができる。また、半導体層10は、チップ形状または半導体ウエハ形状のいずれであってもよい。ついで、半導体層10の上方に絶縁層(図示せず)および配線層(配線層)を積層し、その上方に電極パッド20を形成する。電極パッド20は中間配線層を介して、半導体層10に電気的に接続されている。電極パッド20の上に、絶縁層30を形成する。この絶縁層30は、たとえば、CVD法で形成することができる。ついで、電極パッド20を露出させるために、公知のリソグラフィおよびエッチング技術により絶縁層30をパターニングする。これにより、電極パッド20の中央部に絶縁層30の開口32が形成される。また、絶縁層30は、単層で形成してもよいし、複数層で形成してもよい。
次に、図3に示すように、開口32に、第1バンプ層42を形成する。第1バンプ層42の形成は、無電解メッキ法により行われる。以下に、アルミニウム層で形成された電極パッド20の上に、第1バンプ層42として、ニッケルを含む金属層を形成する場合の例について説明する。
第1バンプ層42の形成では、まず、ジンケート処理を行う。このジンケート処理では、電極パッド20の表面のAlをZnに置換する。ついで、金属(例えばNi)の析出を行う。半導体層10に処理液(例えば無電解メッキ液)を接触させる。ジンケート処理がされた電極パッド20の表面では、ZnとNiの置換反応が起こることでNi層を析出させる。このとき、処理温度(メッキ液の温度)、処理時間(メッキ時間)、処理液の量、処理液のpH、処理回数などは、所望の第1バンプ層40の形状になるよう適宜調整することができる。具体的には、開口32を埋めることができ、平坦な面の第1バンプ層42を形成する。以上のように、開口32に第1バンプ層42を形成することで、後述の下地層形成面の凹凸を減少させることができる。
次に、図4に示すように、第1バンプ層42および絶縁層30の上に、下地層44aを形成する。下地層44aとしては、電極パッド20と後述の第2バンプ層46の両者の拡散防止を図るためのものである。下地層44aは、1層又は複数層で形成することができ、たとえば、スパッタリング法により形成することができる。下地層44aとしては、たとえば、チタンタングステン(TiW)層を形成することができる。また、下地層を積層して形成する場合は、チタンタングステン(TiW)層の上に、金(Au)層を形成することができる。ついで、下地層44aの上には、マスク層M1を形成する。マスク層M1としては、たとえば、レジスト層を用いることができる。マスク層M1は、第1バンプ層42を含む領域に開口50を有している。
次に、図5に示すように、開口50に、第2バンプ層46を形成する。第2バンプ層46は、電解メッキ法により形成される。材質としては、たとえば、金(Au)を用いることができる。ついで、マスク層M1を除去し、露出している下地層44aを除去する。つまり、第2バンプ層46をマスクとして、下地層44aを除去することとなる。下地層44aの除去は、その材質に適した各種除去方法により行われる。これにより、第2バンプ層46の下に下地層44が形成され、第1電極42、下地層44および第2バンプ層46とからなるバンプ40を形成することができる。
以上の工程により、本実施の形態にかかる半導体装置を製造することができる。本実施の形態にかかる半導体装置の製造方法によれば、その上面が平坦な面であるバンプ40有する半導体装置を製造することができる。本発明にかかる半導体装置の製造方法では、まず電極パッド20上に設けられた開口32に第1バンプ層42が形成される。そのため、下地層44aを凹凸の減少した面に形成することができることとなる。その結果、下地層44aの上に、第2バンプ層46を電解メッキ法で形成する際に、従来例で説明したようなバンプ510の上面に開口段差に起因する凹部512が生じることを抑制することができる。
3.変形例
次に、本実施の形態にかかる半導体装置の変形例について、図6を参照しつつ説明する。図6は、本変形例にかかる半導体装置を模式的に示す断面図である。なお、本変形例では、第1バンプ層42の上面の位置が、上述の実施の形態にかかる半導体装置と異なる例である。以下の説明では、上述の実施の形態と同様の構成および部材についての説明は、省略する。
次に、本実施の形態にかかる半導体装置の変形例について、図6を参照しつつ説明する。図6は、本変形例にかかる半導体装置を模式的に示す断面図である。なお、本変形例では、第1バンプ層42の上面の位置が、上述の実施の形態にかかる半導体装置と異なる例である。以下の説明では、上述の実施の形態と同様の構成および部材についての説明は、省略する。
図6に示すように、電極パッド20の上であって、開口32には、第1バンプ層42が形成されている。第1バンプ層42の上面は、開口32の上端の位置と比して低い位置に設けられている。つまり、本実施の形態にかかる半導体装置は、第1バンプ層42の上面と、開口32の側面がなす凹部34を有することとなる。凹部34は、開口32と比して浅いため、下地層44を第1バンプ層42が設けられていない場合と比して凹凸の減少した面に設けることができる。そのため、下地層44の上に、平坦性が向上した第2バンプ層46を設けることができる。その結果、本変形例にかかる半導体装置によれば、上述の実施の形態にかかる半導体装置と同様の利点を有し、信頼性の向上した半導体装置を提供することができる。
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。たとえば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(たとえば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10…半導体層、12…集積回路、 20…電極パッド、30…絶縁層、 32、50…開口、 40…バンプ、 42…第1バンプ層、 44…下地層、46…第2バンプ層
Claims (5)
- 半導体層と、
前記半導体層の上方に設けられた電極パッドと、
前記電極パッドの上方に設けられ、該電極パッドの上に開口を有する絶縁層と、
少なくとも前記開口に設けられたバンプと、を含み、
前記バンプは、
前記開口に設けられた第1バンプ層と、
前記第1バンプ層の上方および該第1バンプ層の側方にある前記絶縁層の上方に設けられた下地層と、
前記下地層の上に設けられた第2バンプ層と、を含む、半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面と比して低い、半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1バンプ層の上面は、前記電極パッドの上の前記絶縁層の上面とほぼ同一の位置にある、半導体装置。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記半導体層に集積回路が設けられ、
前記集積回路の上方に、前記電極パッドおよび前記第2バンプ層の少なくとも一方が設けられている、半導体装置。 - 半導体層の上方に電極パッドを形成する工程と、
前記電極パッドの上に第1開口を有する絶縁層を形成する工程と、
前記第1開口に第1バンプ層を無電解メッキ法により形成する工程と、
前記第1バンプ層および該第1バンプ層の側方の前記絶縁層の上に下地層を形成する工程と、
少なくとも前記第1バンプ層の上方に第2開口を有するマスク層を形成する工程と、
前記第2開口に第2バンプ層を電解メッキ法により形成する工程と、
前記マスク層を除去する工程と、
前記第2バンプ層をマスクとして、前記下地層を除去する工程と、
を含む、半導体装置の製造方法。
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