JP2007035757A - 超音波接合装置、超音波接合方法及び半導体部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 超音波振動を生じさせる超音波発生源2と、超音波発生源2に一方の端部で接続し、他方の端部に貫通孔3aを有する超音波ホーン3と、超音波ホーン3の貫通孔3aと同軸に近接して配設され、貫通孔3aの内径よりも大きい内径を有する吸引管11と、吸引管11を支持する支持部材12と、超音波ホーン3の貫通孔3aを有する側の端部を、被接合部材に向かう方向に移動可能な加圧装置6、7、8とを備える。
【選択図】 図1
Description
本発明の超音波接合装置の一実施形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明の超音波接合装置の一実施形態の説明図である。
図5は、本発明の第2の実施形態の超音波接合装置の要部を示す縦断面図である。図5に示す本実施形態においては、超音波ホーン3の貫通孔3aに挿入され、ボルト3bの締結により固定されるボンディングツール31が、上端部近傍の外径が小さくなる段付構造になる。このボンディングツール31の上端部近傍の径は、超音波ホーン3の貫通孔3aと同軸に近接して配設された吸引管11の内径に比べてわずかに小さい径になる。また、ボンディングツール31は、ボンディングツール31の段付構造の段差部分に吸引管11の先端が近接するように取り付け固定される。これ以外の構成は、前述した実施形態と同様であり、超音波ホーン3の貫通孔3aの内径よりも大きい内径を有する吸引管11の内面にボンディングツール31の先端部が非接触状態で挿入されている点も同じである。
Claims (6)
- 超音波振動を生じさせる超音波発生源と、
前記超音波発生源に一方の端部で接続し、他方の端部に貫通孔を有する超音波ホーンと、
前記超音波ホーンの貫通孔と同軸に近接して配設され、前記貫通孔の内径よりも大きい内径を有する吸引管と、
前記吸引管を支持する支持部材と、
前記超音波ホーンの貫通孔を有する側の端部を、被接合部材に向かう方向に移動可能な加圧装置と、
を備えることを特徴とする超音波接合装置。 - 前記吸引管の内径が、前記超音波ホーンの貫通孔に着脱可能に取り付けられるボンディングツールの外径よりも大きく、かつ、この前記吸引管の内周面と前記ボンディングツールの外周面との間の隙間が、ボンディングツールの貫通孔の内径よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の超音波接合装置。
- 前記吸引管の内径が、前記超音波ホーンの貫通孔に着脱可能に取り付けられるボンディングツールの外径よりも大きく、かつ、この前記吸引管の内周面と前記ボンディングツールの外周面との間の断面積が、ボンディングツールの貫通孔の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の超音波接合装置。
- 前記吸引管の内径が、前記超音波ホーンの貫通孔に着脱可能に取り付けられるボンディングツールの段付部の外径よりも大きい請求項2記載の超音波接合装置。
- 超音波接合装置の超音波ホーンの端部に設けられた貫通孔に取り付けられ、一方の端部が前記貫通孔と同軸に近接して配設された吸引管の内面に非接触に挿入されているボンディングツールの他方の端部に、接合部材を吸着保持する工程と、
前記接合部材を加圧装置により被接合部材に接触加圧させ、超音波発生源からの超音波振動を前記超音波ホーンを通じて前記接合部材に印加して被接合部材と接合する工程と、
を備えることを特徴とする超音波接合方法。 - 一つの面にバンプを有する複数の半導体チップから一つの半導チップを選択する工程と、
超音波接合装置の超音波ホーンの端部に設けられた貫通孔に取り付けられ、一方の端部が前記貫通孔と同軸に近接して配設された吸引管の内面に非接触に挿入されているボンディングツールの他方の端部に、前記半導体チップを吸着保持する工程と、
前記半導体チップのバンプを加圧装置により基板の配線上に合わせて接触加圧させ、超音波発生源からの超音波振動を前記超音波ホーンを通じて前記半導体チップに印加して基板と接合する工程と、
を備えることを特徴とする半導体部品の製造方法。
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JP2005214090A JP2007035757A (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 超音波接合装置、超音波接合方法及び半導体部品の製造方法 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04256328A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Olb装置のボンディングツール |
JP2000058565A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-25 | Shibaura Mechatronics Corp | 位置修正装置 |
JP2001110850A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップ実装装置、及び方法 |
JP2002217251A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波ボンディングヘッドおよび超音波ボンディング装置 |
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2005
- 2005-07-25 JP JP2005214090A patent/JP2007035757A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04256328A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Olb装置のボンディングツール |
JP2000058565A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-25 | Shibaura Mechatronics Corp | 位置修正装置 |
JP2001110850A (ja) * | 1999-10-12 | 2001-04-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップ実装装置、及び方法 |
JP2002217251A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波ボンディングヘッドおよび超音波ボンディング装置 |
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