JP2005044992A - エキスパンド方法及びエキスパンド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング加工後に、粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンドは、ウェーハWをチャックステージ6に載置した状態で粘着シートSをエキスパンドし、クランプ部材を用いてチャックステージ6上の粘着シートSのエキスパンド状態を保持し、クランプ部材の外側の部分の粘着シートに弛みSAを形成し、粘着シートSの弛みSA部分の基部SBを摘まんで固定するようにした。
【選択図】 図9
Description
Claims (5)
- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記板状物をチャックステージに載置した状態で前記粘着シートをエキスパンドし、
クランプ部材を用いて前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持し、
前記クランプ部材の外側の部分の粘着シートに弛みを形成し、
前記粘着シートの弛み部分の基部を摘まんで固定することにより、前記クランプ部材を取り外しても前記粘着シートのエキスパンド状態が保持されることを特徴とするエキスパンド方法。 - 前記粘着シートの摘まれた弛み部分の基部を溶着又は接着で固定することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記粘着シートをエキスパンドする工程と、前記クランプ部材を用いて、前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持する工程とをダイシング装置のダイシングエリアで行い、
粘着シートのエキスパンド状態が保持された前記板状物をチャックステージ毎同一装置内の別エリアに搬送し、
該別エリアで、前記粘着シートの弛み部分の基部を摘まんで固定する工程を行うこと、を特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のエキスパンド方法。 - 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド装置であって、ダイシング装置内に設けられたエキスパンド装置において、 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記粘着シートをエキスパンドするエキスパンド手段と、 前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持するシートクランプ手段と、 前記粘着シートのエキスパンド状態を保持したまま、前記板状物をチャックステージ毎ダイシングエリアからダイシング装置内の別エリアに搬送する搬送手段と、 前記別エリアに設けられ、前記粘着シートのエキスパンド状態が保持されていない部分に発生する弛み部分の基部を摘まんで固定するシート弛み部固定手段と、を有し、 前記シートクランプ手段によるシートクランプを解除しても、前記粘着シートのエキスパンド状態を保持させ、拡大された前記チップ間隔を維持したまま前記板状物を前記フレーム毎搬送可能にしたことを特徴とするエキスパンド装置。
- 前記シート弛み部固定手段には超音波溶着工具が用いられていることを特徴とする、請求項4に記載のエキスパンド装置。
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JP2007294748A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ搬送方法 |
JP2015216151A (ja) * | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持装置及びチップ間隔維持方法 |
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