JP2007032535A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008096622A1 (ja) * 2007-02-06 2008-08-14 Edwards Japan Limited 真空ポンプ
JP5104334B2 (ja) * 2008-01-22 2012-12-19 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP2009253231A (ja) 2008-04-10 2009-10-29 Fujitsu Ten Ltd 電子機器
JP2011027031A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ装置
KR101190331B1 (ko) * 2012-06-27 2012-10-11 지엠비코리아 주식회사 전동식 워터 펌프
JP2014022680A (ja) * 2012-07-23 2014-02-03 Fanuc Ltd 自然対流のための短縮流路を有するヒートシンクを備えるサーボアンプ
JP6102222B2 (ja) * 2012-11-30 2017-03-29 株式会社島津製作所 真空ポンプ
WO2014198007A1 (zh) * 2013-06-14 2014-12-18 Zhu Longwei 一种水泵控制系统的水冷式散热方法及结构
GB2553321A (en) * 2016-09-01 2018-03-07 Edwards Ltd Pump
JP6884553B2 (ja) 2016-11-04 2021-06-09 エドワーズ株式会社 真空ポンプ制御装置及び真空ポンプ、並びに真空ポンプ制御装置の組立方法
JP2018132024A (ja) 2017-02-17 2018-08-23 エドワーズ株式会社 コントローラ及び真空ポンプ装置
JP7022265B2 (ja) * 2017-10-25 2022-02-18 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP7087418B2 (ja) * 2018-02-02 2022-06-21 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP7244328B2 (ja) * 2019-03-28 2023-03-22 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置
JP2021025426A (ja) * 2019-07-31 2021-02-22 株式会社川本製作所 ポンプ装置
CN116292293A (zh) * 2023-03-20 2023-06-23 山东鑫海矿业技术装备股份有限公司 一种具有自散热功能的矿用双级泵

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2871108B2 (ja) * 1990-12-28 1999-03-17 株式会社島津製作所 高速回転型真空ポンプ
JPH0618699U (ja) * 1992-08-11 1994-03-11 株式会社川本製作所 ポンプ装置
JPH0888301A (ja) * 1994-09-19 1996-04-02 Mitsubishi Electric Corp 放熱フィン
JP3165857B2 (ja) * 1997-12-10 2001-05-14 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ装置
JP2000059060A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Fuji Electric Co Ltd インバータ
JP2001274699A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Toshiba Corp 筐体の放熱構造
JP2004183619A (ja) * 2002-12-06 2004-07-02 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ

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