JP2871108B2 - 高速回転型真空ポンプ - Google Patents
高速回転型真空ポンプInfo
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
- F04D29/0513—Axial thrust balancing hydrostatic; hydrodynamic thrust bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/5813—Cooling the control unit
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2240/00—Components
- F05D2240/60—Shafts
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ドライポンプとして使
用される高速回転型真空ポンプに関するものである。
用される高速回転型真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の高速回転型真空ポンプの一
例を示す。この真空ポンプは、ケ−シング１０１との間
にポンプ機構１０２を構成すべく、ロ−タ１０３がシャ
フト１０４の軸端部に固着した状態でケ−シング１０１
内に配設されており、ケ−シング１０１の上方に開口す
る吸気口１０５から吸い込んだ気体をかかるポンプ機構
１０２で圧縮し、ケ−シング１０１の側方に開口した排
気口１０６から排気し得るようになっている。シャフト
１０４はロ−タ１０３よりも下方において上下一対のこ
ろがり軸受１０７、１０８を介してケ−シング１０１側
に支持されており、これらのころがり軸受１０７、１０
８にはケ−シング１０１の下端に設けたオイルタンク１
０９から潤滑油が強制給油されるようになっている。
例を示す。この真空ポンプは、ケ−シング１０１との間
にポンプ機構１０２を構成すべく、ロ−タ１０３がシャ
フト１０４の軸端部に固着した状態でケ−シング１０１
内に配設されており、ケ−シング１０１の上方に開口す
る吸気口１０５から吸い込んだ気体をかかるポンプ機構
１０２で圧縮し、ケ−シング１０１の側方に開口した排
気口１０６から排気し得るようになっている。シャフト
１０４はロ−タ１０３よりも下方において上下一対のこ
ろがり軸受１０７、１０８を介してケ−シング１０１側
に支持されており、これらのころがり軸受１０７、１０
８にはケ−シング１０１の下端に設けたオイルタンク１
０９から潤滑油が強制給油されるようになっている。
【０００３】また、図４に従来の高速回転型真空ポンプ
の他の例を示す。この真空ポンプの排気システムは図３
と同様のもので、ケ−シング２０１との間にポンプ機構
２０２を構成すべく、ロ−タ２０３がシャフト２０４の
軸端部に固着した状態でケ−シング２０１内に配設され
ており、ケ−シング２０１の上方に開口する吸気口２０
５から吸い込んだ気体をかかるポンプ機構２０２で圧縮
し、ケ−シング２０１の側方に開口した排気口２０６か
ら排気し得るようになっている。このポンプは軸受が図
３のものと異なっており、シャフト２０４が上下一対の
ラジアル動圧気体軸受２０７、２０８およびスラスト動
圧気体軸受２０９によってケ−シング２０１側に支持さ
れている。
の他の例を示す。この真空ポンプの排気システムは図３
と同様のもので、ケ−シング２０１との間にポンプ機構
２０２を構成すべく、ロ−タ２０３がシャフト２０４の
軸端部に固着した状態でケ−シング２０１内に配設され
ており、ケ−シング２０１の上方に開口する吸気口２０
５から吸い込んだ気体をかかるポンプ機構２０２で圧縮
し、ケ−シング２０１の側方に開口した排気口２０６か
ら排気し得るようになっている。このポンプは軸受が図
３のものと異なっており、シャフト２０４が上下一対の
ラジアル動圧気体軸受２０７、２０８およびスラスト動
圧気体軸受２０９によってケ−シング２０１側に支持さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
ロ−タ支持構造はいずれも、ロ−タが両軸受の外側に片
持ち的に張り出すものであるため、ロ−タ支持状態のバ
ランスが悪く、振動、騒音の原因になり易い欠点があ
る。また、シャフトの軸端部にロ−タを固着する関係
上、軸受の配設スペ−スとロ−タの配設スペ−スとを軸
方向に別個に確保しなければならず、全体が軸方向に長
寸化してコンパクトな設計が困難になる不都合を伴う。
さらに、排気口がロ−タの軸流方向に対して直交した位
置に開口し、ケ−シング内で流路が曲げられているの
で、その分だけ排気抵抗が大きくなり、排気口を大気開
放したり、真空ポンプ同士を直列に接続してシリアルな
排気を構成すること等も難しくなる。その上、図１のも
のは、軸受に油軸受を用いているため油の粘性低下や軸
受の劣化に伴ってこれらの頻繁な交換作業の必要性が生
じ易く、プロセスガスへの油混入の危険性もあり、一
方、図２のものは、動圧気体軸受を用いるためオイルフ
リ−という点では極めて好ましいが、この軸受を有効に
機能させるためにはスパイラルグル−ブ等により形成さ
れる気体導入用の隙間を広範囲に設けなければならない
ため、軸方向への長寸化をさらに助長する傾向が強い。
ロ−タ支持構造はいずれも、ロ−タが両軸受の外側に片
持ち的に張り出すものであるため、ロ−タ支持状態のバ
ランスが悪く、振動、騒音の原因になり易い欠点があ
る。また、シャフトの軸端部にロ−タを固着する関係
上、軸受の配設スペ−スとロ−タの配設スペ−スとを軸
方向に別個に確保しなければならず、全体が軸方向に長
寸化してコンパクトな設計が困難になる不都合を伴う。
さらに、排気口がロ−タの軸流方向に対して直交した位
置に開口し、ケ−シング内で流路が曲げられているの
で、その分だけ排気抵抗が大きくなり、排気口を大気開
放したり、真空ポンプ同士を直列に接続してシリアルな
排気を構成すること等も難しくなる。その上、図１のも
のは、軸受に油軸受を用いているため油の粘性低下や軸
受の劣化に伴ってこれらの頻繁な交換作業の必要性が生
じ易く、プロセスガスへの油混入の危険性もあり、一
方、図２のものは、動圧気体軸受を用いるためオイルフ
リ−という点では極めて好ましいが、この軸受を有効に
機能させるためにはスパイラルグル−ブ等により形成さ
れる気体導入用の隙間を広範囲に設けなければならない
ため、軸方向への長寸化をさらに助長する傾向が強い。
【０００５】本発明は、これらの課題を有効に解決する
ことを目的としている。
ことを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような手段を講じたものである。
達成するために、次のような手段を講じたものである。
【０００７】すなわち、本発明の高速回転型真空ポンプ
は、筒状ロ−タの内側軸心部にケ−シングから突設した
固定軸支部を挿入し、この固定軸支部と前記ロ−タとの
間に該ロ−タの両端近傍部を浮上支持し得る動圧気体軸
受を配設するとともに、ポンプ機構の軸流方向に沿って
前記ケ−シングに吸気口および排気口を開口し、さらに
前記固定軸支部内に前記動圧気体軸受に外部から気体を
引き込み得る中空部を設けていることを特徴とする。
は、筒状ロ−タの内側軸心部にケ−シングから突設した
固定軸支部を挿入し、この固定軸支部と前記ロ−タとの
間に該ロ−タの両端近傍部を浮上支持し得る動圧気体軸
受を配設するとともに、ポンプ機構の軸流方向に沿って
前記ケ−シングに吸気口および排気口を開口し、さらに
前記固定軸支部内に前記動圧気体軸受に外部から気体を
引き込み得る中空部を設けていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】固定軸支部によってロ−タを内側軸心部から両
持ち的に支持するようにすると、片持ち的な支持状態に
比べて回転時の軸振れをより有効に抑止できるようにな
り、その結果、軸振動を確実に低減化してロ−タ回転の
安定性向上を図ることが可能になる。また、ロ−タを配
設するスペ−スと軸受を配設するスペ−スとを同一軸心
位置にオ−バラップさせることができ、軸方向に沿って
別個に確保する必要がなくなるので、軸方向の短寸化を
図ることができる。さらに、ロ−タの軸流方向に吸気口
と排気口が設けられるので、排気抵抗が小さくなり、真
空ポンプ同士を直列に接続してシリアルな排気系を構成
する上でも有効となる。また、所謂アウタロ−タ構造で
あるので、固定軸支部内に比較的容易な加工作業で中空
部を設けることができ、この中空部により動圧気体軸受
に気体を引き込む構造を簡略化することができる上、離
間した各軸受に均等に気体を導入することが可能とな
る。
持ち的に支持するようにすると、片持ち的な支持状態に
比べて回転時の軸振れをより有効に抑止できるようにな
り、その結果、軸振動を確実に低減化してロ−タ回転の
安定性向上を図ることが可能になる。また、ロ−タを配
設するスペ−スと軸受を配設するスペ−スとを同一軸心
位置にオ−バラップさせることができ、軸方向に沿って
別個に確保する必要がなくなるので、軸方向の短寸化を
図ることができる。さらに、ロ−タの軸流方向に吸気口
と排気口が設けられるので、排気抵抗が小さくなり、真
空ポンプ同士を直列に接続してシリアルな排気系を構成
する上でも有効となる。また、所謂アウタロ−タ構造で
あるので、固定軸支部内に比較的容易な加工作業で中空
部を設けることができ、この中空部により動圧気体軸受
に気体を引き込む構造を簡略化することができる上、離
間した各軸受に均等に気体を導入することが可能とな
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。
明する。
【００１０】この実施例は、ケ−シング１との間にポン
プ機構６を構成すべく、有底筒状ロ−タ２の内側軸心部
２ａにケ−シング１から突設した固定軸支部３を挿入
し、この固定軸支部３と前記ロ−タ２との間に該ロ−タ
２の両端近傍部を非接触に浮上支持する動圧気体軸受
４、５を配設している。
プ機構６を構成すべく、有底筒状ロ−タ２の内側軸心部
２ａにケ−シング１から突設した固定軸支部３を挿入
し、この固定軸支部３と前記ロ−タ２との間に該ロ−タ
２の両端近傍部を非接触に浮上支持する動圧気体軸受
４、５を配設している。
【００１１】具体的に説明すると、ロ−タ２は、内側軸
心部２ａの径が固定軸支部３の径よりも若干大きく設定
されており、外周には上段部にタ−ビン動翼２ｂが、ま
た下段部には特殊動翼２ｃが突設してある。一方、ケ−
シング１は外筒部１ａと固定軸支部３とをベ−ス部１ｄ
を介して一体的に連結したもので、固定軸支部３の上端
部３ａを外筒部１ａの上縁開口部近くまで長寸に延出さ
せるとともに、外筒部１の内周上段部にタ−ビン静翼１
ｂを、また内周下段部に特殊静翼１ｃを突設している。
そして、この固定軸支部３にロ−タ２の内側軸心部２ａ
が奥深く挿入されたとき、翼１ｂ、２ｂからなるタ−ビ
ン部６ａと、翼１ｃ、２ｃからなるコンプレッサ部６ｂ
とを直列に備えたポンプ機構６が形成されるようにして
いる。
心部２ａの径が固定軸支部３の径よりも若干大きく設定
されており、外周には上段部にタ−ビン動翼２ｂが、ま
た下段部には特殊動翼２ｃが突設してある。一方、ケ−
シング１は外筒部１ａと固定軸支部３とをベ−ス部１ｄ
を介して一体的に連結したもので、固定軸支部３の上端
部３ａを外筒部１ａの上縁開口部近くまで長寸に延出さ
せるとともに、外筒部１の内周上段部にタ−ビン静翼１
ｂを、また内周下段部に特殊静翼１ｃを突設している。
そして、この固定軸支部３にロ−タ２の内側軸心部２ａ
が奥深く挿入されたとき、翼１ｂ、２ｂからなるタ−ビ
ン部６ａと、翼１ｃ、２ｃからなるコンプレッサ部６ｂ
とを直列に備えたポンプ機構６が形成されるようにして
いる。
【００１２】また、動圧気体軸受４、５を構成するため
に、固定軸支部３の外周に図示されないスパイラルグル
−ブ（開先状の螺旋ねじ）が設けてあり、このスパイラ
ルグル−ブの途中を固定軸支部３に設けた中空部３ｂを
通じて大気中に連通させている。すなわち、ロ−タ２の
回転に伴って前記スパイラルグル−ブとロ−タ２との隙
間に生じる吸引効果で大気中の気体を当該隙間に高速気
流状態で引き込ませ、これによりロ−タ２と固定軸支部
３との間に動圧を発生させて、その動圧でロ−タ２をラ
ジアル方向に浮上支持できるようにしている。また、固
定軸支部３の上端拡開部３ａの上面及び下面には、スラ
スト動圧気体軸受１３、１４を構成すべく、図示されな
いスパイラルグル−ブが設けてあり、このスパイラルグ
ル−ブの一部も前記固定軸支部３の中空部３ｂを通じて
大気中に連通させてある。すなわち、ロ−タ２の回転に
伴って前記スパイラルグル−ブとロ−タ２との隙間に生
じる吸引効果で大気中の気体を当該隙間に高速気流状態
で引き込ませ、これによりロ−タ２と固定軸支部３との
間に動圧を発生させて、その動圧でロ−タ２をスラスト
方向に浮上支持できるようにしている。
に、固定軸支部３の外周に図示されないスパイラルグル
−ブ（開先状の螺旋ねじ）が設けてあり、このスパイラ
ルグル−ブの途中を固定軸支部３に設けた中空部３ｂを
通じて大気中に連通させている。すなわち、ロ−タ２の
回転に伴って前記スパイラルグル−ブとロ−タ２との隙
間に生じる吸引効果で大気中の気体を当該隙間に高速気
流状態で引き込ませ、これによりロ−タ２と固定軸支部
３との間に動圧を発生させて、その動圧でロ−タ２をラ
ジアル方向に浮上支持できるようにしている。また、固
定軸支部３の上端拡開部３ａの上面及び下面には、スラ
スト動圧気体軸受１３、１４を構成すべく、図示されな
いスパイラルグル−ブが設けてあり、このスパイラルグ
ル−ブの一部も前記固定軸支部３の中空部３ｂを通じて
大気中に連通させてある。すなわち、ロ−タ２の回転に
伴って前記スパイラルグル−ブとロ−タ２との隙間に生
じる吸引効果で大気中の気体を当該隙間に高速気流状態
で引き込ませ、これによりロ−タ２と固定軸支部３との
間に動圧を発生させて、その動圧でロ−タ２をスラスト
方向に浮上支持できるようにしている。
【００１３】さらに、前記ケ−シング１は上縁開口部が
吸気口７に設定されるとともに、この吸気口７からポン
プ機構６の軸流方向（矢印方向）に沿って突き当たった
ベ−ス部１ｄに排気口８を開口させている。
吸気口７に設定されるとともに、この吸気口７からポン
プ機構６の軸流方向（矢印方向）に沿って突き当たった
ベ−ス部１ｄに排気口８を開口させている。
【００１４】なお、この真空ポンプはロ−タ２の内周お
よび固定軸支部３の外周にあって各々の対向位置に永久
磁石９ａおよびコイル９ｂを巻回した珪素鋼板９ｃがそ
れぞれ埋設してあり、これらがＤＣブラシレスモ−タ９
を構成している。また、ケ−シング１には、モ−タ９に
接続された制御回路９ｄと、ポンプ機構６におけるコン
プレッサ部６ｂの発熱を吸収し同時に制御回路９ｄを冷
却するための水冷回路１０とが一体に設けてある。１１
は放熱用フィンである。また、１２は非接触シ−ルを兼
ねたねじポンプであり、軸受４、５、１３、１４やモ−
タ９が自然放熱しない場合に、このねじポンプ１２にお
いて生起するガスの流れでそれらを空冷するようになっ
ている。
よび固定軸支部３の外周にあって各々の対向位置に永久
磁石９ａおよびコイル９ｂを巻回した珪素鋼板９ｃがそ
れぞれ埋設してあり、これらがＤＣブラシレスモ−タ９
を構成している。また、ケ−シング１には、モ−タ９に
接続された制御回路９ｄと、ポンプ機構６におけるコン
プレッサ部６ｂの発熱を吸収し同時に制御回路９ｄを冷
却するための水冷回路１０とが一体に設けてある。１１
は放熱用フィンである。また、１２は非接触シ−ルを兼
ねたねじポンプであり、軸受４、５、１３、１４やモ−
タ９が自然放熱しない場合に、このねじポンプ１２にお
いて生起するガスの流れでそれらを空冷するようになっ
ている。
【００１５】以上のような構成であると、図示ポンプの
ロ−タ２は接触抵抗を伴わない動圧気体軸受４、５、１
３、１４で支持されるため、高速回転を容易に達成で
き、例えば排気口８側を大気中に開放した状態で吸気口
７側の圧力を１０-3Ｔｏｒｒ程度にまで簡単に排気する
ことが可能になる。勿論、このポンプはドライポンプで
あるから、長寿命であり、油混入の恐れもなく使用する
ことができる。また、ロ−タ２の軸流方向に吸気口７と
排気口８を設けたが、この構造も排気流路をケ−シング
内で屈曲させないという観点から圧縮性能の向上に寄与
しており、排気口８の大気開放を容易ならしめている。
しかも、このような構成であると、ロ−タ２は両端近傍
部に配設した軸受４、５間により内側軸心部２ａ側から
両持ち的に支持された状態で回転する。このため、従来
の片持ち的な支持状態に比べてロ−タ２の回転時の軸振
れを有効に抑止できるようになり、その結果、軸振動を
低減化してロ−タ回転の安定性を確実に向上させ、低振
動、低騒音の運転を行わせることが可能になる。また、
軸受４、５がロ−タ２の内側に潜り込んだ状態で配設さ
れるため、軸受４、５とロ−タ２とを軸方向に離間させ
て配設する必要がなく、軸方向の大幅なコンパクト化も
果たされている。コンパクト化の点では、制御回路９ｄ
をケ−シング１に一体化し、水冷回路１０をポンプ機構
６と制御回路９ｄとに共用した点も奏効している。さら
に、吸気口７をフランジとして利用すれば、他の同様の
構成からなる真空ポンプを直列に接続することもでき、
シリアルな排気系を簡単に構成する上で有効な構造とな
る。さらにまた、モ−タにＤＣブラシレスモ−タ９を使
用したこともモ−タ部の小形化、ひいてはポンプ全体の
小形化をもたらす要素となっている。また、固定軸支部
３内にロータ２の両端に配設した軸受４、５、１３、１
４内に外部からの気体を導入し得る中空部３ｂを設けて
いるので、比較的容易な加工作業により各軸受４、５、
１３、１４に気体を引き込む構造を実現し得る上、離間
した各軸受４、５、１３、１４に均等に気体を導入する
ことができる。
ロ−タ２は接触抵抗を伴わない動圧気体軸受４、５、１
３、１４で支持されるため、高速回転を容易に達成で
き、例えば排気口８側を大気中に開放した状態で吸気口
７側の圧力を１０-3Ｔｏｒｒ程度にまで簡単に排気する
ことが可能になる。勿論、このポンプはドライポンプで
あるから、長寿命であり、油混入の恐れもなく使用する
ことができる。また、ロ−タ２の軸流方向に吸気口７と
排気口８を設けたが、この構造も排気流路をケ−シング
内で屈曲させないという観点から圧縮性能の向上に寄与
しており、排気口８の大気開放を容易ならしめている。
しかも、このような構成であると、ロ−タ２は両端近傍
部に配設した軸受４、５間により内側軸心部２ａ側から
両持ち的に支持された状態で回転する。このため、従来
の片持ち的な支持状態に比べてロ−タ２の回転時の軸振
れを有効に抑止できるようになり、その結果、軸振動を
低減化してロ−タ回転の安定性を確実に向上させ、低振
動、低騒音の運転を行わせることが可能になる。また、
軸受４、５がロ−タ２の内側に潜り込んだ状態で配設さ
れるため、軸受４、５とロ−タ２とを軸方向に離間させ
て配設する必要がなく、軸方向の大幅なコンパクト化も
果たされている。コンパクト化の点では、制御回路９ｄ
をケ−シング１に一体化し、水冷回路１０をポンプ機構
６と制御回路９ｄとに共用した点も奏効している。さら
に、吸気口７をフランジとして利用すれば、他の同様の
構成からなる真空ポンプを直列に接続することもでき、
シリアルな排気系を簡単に構成する上で有効な構造とな
る。さらにまた、モ−タにＤＣブラシレスモ−タ９を使
用したこともモ−タ部の小形化、ひいてはポンプ全体の
小形化をもたらす要素となっている。また、固定軸支部
３内にロータ２の両端に配設した軸受４、５、１３、１
４内に外部からの気体を導入し得る中空部３ｂを設けて
いるので、比較的容易な加工作業により各軸受４、５、
１３、１４に気体を引き込む構造を実現し得る上、離間
した各軸受４、５、１３、１４に均等に気体を導入する
ことができる。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。例えば、上記実施例では固定軸支部３の下
端開口部を大気中に開口して軸受３、４、１３、１４に
空気を導入するようにしているが、この部位は排気口８
に近く、設置場所や排気内容によっては周囲に汚れた空
気が漂う可能性がある。このような場合には、第２図に
示すようにケ−シング１に横溝１ｅを設けてケ−シング
１の側方から大気を導入するようにしてもよい。この場
合、横溝１ｅの開口端にフィルタ１４等を装着すれば一
層効果的である。勿論、大気を利用せずに別個に圧力源
を設けて軸受用ガスを供給しても構わない。また、モ−
タ制御回路は、ケ−シングから分離して独立に設けられ
たものであってもよい。さらに、モ−タはＤＣブラシレ
スモ−タに限らず、誘導モ−タ等であってもよい。その
他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能で
ある。
のではない。例えば、上記実施例では固定軸支部３の下
端開口部を大気中に開口して軸受３、４、１３、１４に
空気を導入するようにしているが、この部位は排気口８
に近く、設置場所や排気内容によっては周囲に汚れた空
気が漂う可能性がある。このような場合には、第２図に
示すようにケ−シング１に横溝１ｅを設けてケ−シング
１の側方から大気を導入するようにしてもよい。この場
合、横溝１ｅの開口端にフィルタ１４等を装着すれば一
層効果的である。勿論、大気を利用せずに別個に圧力源
を設けて軸受用ガスを供給しても構わない。また、モ−
タ制御回路は、ケ−シングから分離して独立に設けられ
たものであってもよい。さらに、モ−タはＤＣブラシレ
スモ−タに限らず、誘導モ−タ等であってもよい。その
他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能で
ある。
【００１７】
【発明の効果】本発明の高速回転型真空ポンプは、動圧
気体軸受を採用したことから、オイル交換や軸受の頻繁
な交換の必要がなくなる上、低コストであり、さらに長
寿命でメンテナンスに優れた効果が得られる。また、所
謂アウタロ−タ構造を採用してロ−タの両端近傍部を軸
受により両持ち的に支持するようにしたことから、回転
が安定して高速回転に至るまで低振動、低騒音の運転が
可能になる。その上、ロ−タと軸受を同一軸心位置にオ
−バラップして設けることができることから軸方向にコ
ンパクト化できる効果が得られる。さらに、吸気口と排
気口とをポンプ機構の軸流方向に沿って設けたことか
ら、排気抵抗が低減化されてバックポンプとして使用す
る際の排気口の大気開放が容易になり、吸気口をフラン
ジとして利用すれば同様の構成からなる他の真空ポンプ
をその吸気口にシリアルに接続することで容易に直列排
気ラインを組むことができる等の効果も得られる。ま
た、アウタロ−タ構造であるので、固定軸支部内に比較
的容易な加工作業で中空部を設けることができ、この中
空部により動圧気体軸受に気体を引き込む構造を簡略化
することができる上、離間した各軸受に均等に気体を導
入することが可能となる。
気体軸受を採用したことから、オイル交換や軸受の頻繁
な交換の必要がなくなる上、低コストであり、さらに長
寿命でメンテナンスに優れた効果が得られる。また、所
謂アウタロ−タ構造を採用してロ−タの両端近傍部を軸
受により両持ち的に支持するようにしたことから、回転
が安定して高速回転に至るまで低振動、低騒音の運転が
可能になる。その上、ロ−タと軸受を同一軸心位置にオ
−バラップして設けることができることから軸方向にコ
ンパクト化できる効果が得られる。さらに、吸気口と排
気口とをポンプ機構の軸流方向に沿って設けたことか
ら、排気抵抗が低減化されてバックポンプとして使用す
る際の排気口の大気開放が容易になり、吸気口をフラン
ジとして利用すれば同様の構成からなる他の真空ポンプ
をその吸気口にシリアルに接続することで容易に直列排
気ラインを組むことができる等の効果も得られる。ま
た、アウタロ−タ構造であるので、固定軸支部内に比較
的容易な加工作業で中空部を設けることができ、この中
空部により動圧気体軸受に気体を引き込む構造を簡略化
することができる上、離間した各軸受に均等に気体を導
入することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示し、真空ポンプの全体縦
断面図。
断面図。
【図２】本発明の他の実施例を示し、真空ポンプの部分
縦断面図。
縦断面図。
【図３】従来例を示し、真空ポンプの全体縦断面図。
【図４】従来例を示し、真空ポンプの一部破断斜視図。
１…ケ−シング ２…ロ−タ ２ａ…内側軸心部 ３…固定軸支部 ４、５…非接触軸受（ラジアル） ６…ポンプ機構 ７…吸気口 ８…排気口
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F06D 19/04
Claims (1)
- 【請求項１】ケ−シングとの間にポンプ機構を構成すべ
く、筒状ロ−タの内側軸心部にケ−シングから突設した
固定軸支部を挿入し、この固定軸支部と前記ロ−タとの
間に該ロ−タの両端近傍部を浮上支持し得る動圧気体軸
受を配設するとともに、ポンプ機構の軸流方向に沿って
前記ケ−シングに吸気口および排気口を開口し、さらに
前記固定軸支部内に前記動圧気体軸受に外部から気体を
引き込み得る中空部を設けていることを特徴とする高速
回転型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409205A JP2871108B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 高速回転型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409205A JP2871108B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 高速回転型真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04231699A JPH04231699A (ja) | 1992-08-20 |
| JP2871108B2 true JP2871108B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=18518559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409205A Expired - Fee Related JP2871108B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 高速回転型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2871108B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007013274A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Boc Edowards Japan Limited | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
| JP2009174333A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2108844A3 (en) * | 2008-03-26 | 2013-09-18 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| US8087907B2 (en) * | 2008-03-26 | 2012-01-03 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| JP6102222B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2017-03-29 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| GB2553321A (en) * | 2016-09-01 | 2018-03-07 | Edwards Ltd | Pump |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2409205A patent/JP2871108B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007013274A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Boc Edowards Japan Limited | 真空ポンプ装置とそのコントローラ |
| JP2009174333A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04231699A (ja) | 1992-08-20 |
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