KR950008989A - 터보진공펌프 - Google Patents

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노보루 마쯔무라
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가나이 쯔도무
가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼
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Abstract

저압 가스를 압축하여 이 압축가스를 대기중으로 배기하는 터보진공펌프는 모터케이싱과 모터케이싱 밖으로 돌출한 축부를 가지는 회전축과, 회전축과 공동축 방향으로 설치되며 모터케이싱에 제거가능하게 설치된 펌프 스테이터와, 펌프 스테이터내에 축방향으로 삽입되어 회전축의 돌출한 축부에 고정되는 펌프 로터와, 펌프 스테이터에 제거가능하게 고정된 흡입케이싱을 포함한다. 펌프 스테이터는 직경이 하류측을 향해 계단상으로 작아지게 설치된 내측면상의 복수의 환상통풍로 및 인접하는 환상통풍로와 상호 연통하는 통풍로를 포함하는 가스통풍로와, 최하류측에 배치된 상기 복수의 환상통풍로중 하나와 연통하는 배기구를 가진다. 펌프 로터는 원통 나선홈식 펌프 임펠러와 상기 원통 나선홈식 펌프 임펠러의 하류측에서 직경이 하류를 향해 계단상으로 작아지게 설치된 복수의 원주류 펌프 임펠러를 포함한다. 복수의 원주류 펌프 임펠러 각각은 원주류 펌프단을 형성하도록 복수의 환상가스 통풍로 각각에 대면하게 배치되어있다. 흠입케이싱은 원통형 내측면상에 나선홈식 펌프단이 펌프로터의 상기 나선홈식 펌프 임펠러와의 사이에 소정의 간극을 가지고 설치되어 나선홈식 펌프단과 나선홈식 펌프단과 연통하는 가스 흡입구를 형성하고 있다.

Description

터보진공펌프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 터보진공펌프의 일실시예를 도시하는 수직단면도,
제2도는 제1도의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도,
제3도는 본 발명의 스테이터의 횡단면도,
제4도는 본 발명의 로터의 종단면도.

Claims (15)

  1. 저압 가스를 압축하여 상기 압축된 가스를 대기중에 개비하는 터보진공펌프에 있어서, 베어링에 의해 회전 가능하도록 지지되는 회전축과, 상기 회전축에 장착된 펌프 로터와, 흡기구가 형성되어 있는 펌프케이싱과, 상기 펌프케이싱에 부착되어 배기구 및 내부의 공동부를 가진 펌프 스테이터와, 상기 펌프 스테이터에 부착되어 상기 모터 스테이터를 수용하는 모터케이싱을 구비하고, 상기 펌프로터는 그 흡기구측상의 나선홈식 펌프단과 상기 나선형 그루브 펌프단 하류측의 원주류 펌프단과 일체로 형성되어 있고, 상기 원주류 펌프단의 직경은 하류측을 향해 계단상으로 작아지며, 상기 펌프 스테이터의 내경은 상기 펌프 로터와의 사이에 소정의 간극을 형성하도록 상기 원주류 펌프단의 외경에 응하여 하류측을 향해 계단상으로 작아지는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 펌프 스테이터와 상기 모터케이싱의 전외주에 걸쳐 냉각통로가 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 모터 스테이터 및 상기 모터 로터로 되어는 모터를 구동하는 인버터 전원 패널이 설치되고, 상기 인버터 전원 패널은 동일 하우징내에 수납되어 단일의 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 터보 진공펌프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 회전축을 지지하는 상기 베어링은 상기 펌프 로터가 부착되어 있는 상기 회전축 부분부근에 배치된 제1회전베어링과, 상기 펌프 로터가 부착되어 있는 상기 회전축 부분에 대향하는 단부 부근에 제2회전베어링을 포함하고, 상기 모터 로터는 상기 제1회전베어링과 상기 제2회전베어링 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  5. 제5항에 있어서, 상기 회전축의 상기 제1회전베어링 부근의 굽힘강성은 상기 회전축의 다른 부분의 굽힘강성보다 더 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  6. 제1항에 있어서, 상기 터보진공펌프는 상기 회전축이 수직으로 배치되어 있는 수직형 펌프인 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  7. 제1항에 있어서, 균형추 보정부는 상기 펌프 스테이터의 공동내에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  8. 제1항에 있어서, 내부식성 도금층이 상기 펌프 로터의 외주면과 상기 펌프 로터의 내주면상에 형성된 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  9. 제1항에 있어서, 상기 펌프 스테이터는 그 외주류 펌프단측에서 모터 스테이터에 직접 접속되는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  10. 제1항에 있어서, 상기 로터는 일체로 접속되어 있는 외주류 펌프 임펠러 및 나선홈식 펌프 임펠러를 포함하는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  11. 제1항에 있어서, 상기 펌프 스테이터는 깔데기형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  12. 제1항에 있어서, 상기 흡기구는 흡입케이싱에 설치되는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  13. 제1항에 있어서, 상기 흡기구에는 필터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  14. 외주류 펌프 임펠러 및 나선홈식 펌프 임펠러를 포함하는 터보진공펌프에 있어서, 상기 펌프의 통상의 동작 속도는 분당 40,000이상으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
  15. 저압가스를 압축하여 상기 압축된 가스를 대기중으로 배기하는 터보진공펌프에 있어서, 모터케이싱과 상기 모터케이싱으로부터 돌출한 축부를 가지는 회전축을 포함하는 모터와; 상기 회전축과 공동 축방향으로 배치되어 상기 모터케이싱에 제거가능하게 고정되며, 직경이 하류을 향해 계단상으로 작아지게 설치된 내측면상의 복수의 환상통풍로 및 인접하는 환상통풍로와 상호 연통하는 통풍로를 포함하는 가스통풍로와, 최하류측에 배치된 상기 복수의 환상통풍로중 하나의 통풍로와 연통하는 배기구를 가지는 펌프 스테이터와; 상기 펌프 스테이터내에 축방향으로 삽입되어 상기 회전축의 상기 돌출한 축부에 설치되며, 원통형 나선홈식 펌프 임펠러와, 상기 원통형 나선홈식 펌프 임펠러의 하류측에서 직경이 하류측을 향해 계단상으로 작아지게 설치된 복수의 원주류 펌프 임펠러를 포함하는 펌프 로터와, 상기 각 복수의 원주류 펌프 임펠러를 포함하는 펌프 로터와, 상기 각 복수의 원주류펌프 임펠러는 원주류 펌프단을 형성하도록 상기 복수의 환상가스 통풍로 각각에 대면하게 배치되고; 상기 펌프스테이터에 제거가능하게 고정되어 원통형 내측면상에 나선홈식 펌프단이 상기 펌프 로터의 상기 나선홈식 펌프 임펠러와 소정의 간극을 가지고 설치되어 나선홈식 펌프단과 상기 나선홈식 펌프단과 연통되는 가스 흡입구를 형성하고 있는 흡입케이싱을 포함하는 것을 특징으로 하는 터보진공펌프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940021738A 1993-09-17 1994-08-31 개선된로터및스테이터구조를갖는터보진공펌프 KR970010510B1 (ko)

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