JP2007030051A - 研磨装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 31
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
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Abstract
【課題】 例えばガラス基板の辺縁を回転砥石により研磨する際の使用するクーラント水の飛散を防止する。
【解決手段】 ガラス基板などのワークＷと、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口１を有するボックス２とからなり、このボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石１４を設け、また上記ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズル２１を設け、さらに上記ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、上記ワーク或いはボックスのいずれか片方を走行手段Ａにより走行させるようにした構成を採用する。
【選択図】 図４
【解決手段】 ガラス基板などのワークＷと、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口１を有するボックス２とからなり、このボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石１４を設け、また上記ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズル２１を設け、さらに上記ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、上記ワーク或いはボックスのいずれか片方を走行手段Ａにより走行させるようにした構成を採用する。
【選択図】 図４
Description
この発明は、ワーク（例えば、ガラス基板）の辺を研磨する装置に関する。
ガラス基板の辺（縁の面や縁の両面コーナーの面取り）の研磨は、保持したガラス基板を走行させながら、走行途中に回転砥石により縁の面や面取り研磨する（特許文献１）。
なお、定位置にガラス基板を保持し、保持したガラス基板の辺縁に沿って回転砥石を移動させながら研磨することもある。
特開２００１−１３８１９５号公報
ところで、特許文献１のような研磨方式の際に研磨部分に向けてウエット式クーラント水を使用する。
その際、クーラント水がワーク（ガラス基板）全面或いは広範囲に飛散して、ワークによっては一定範囲以外にクーラント水が付着し、ワークのマスキングなどに悪影響を及ばし、又研磨付近が大幅に汚れて作業性が悪くなるなどの問題が発生した。
そこで、この発明は、ボックス内でワークの辺を研磨すると共に、研磨部位に噴射するクーラント水のボックス外への飛散を抑止した研磨装置を提供することにある。
上記の課題を解決するために、この発明は、ガラス基板などのワークと、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口を有するボックスとからなり、このボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石を設け、また上記ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズルを設け、さらに上記ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、上記ワーク或いはボックスのいずれか片方を走行手段により走行させるようにした構成を採用する。
すると、開口からボックス内に嵌入するワークの辺縁をボックス内の回転砥石により研磨すると共に、ノズルから研磨部位に噴射（供給）したクーラント水をボックス内に吸引し、排出する。
また、ボックス内にワークに付着したクーラント水の水切りエアナイフを設けた構成とする。
すると、ワークに付着したクーラント水をエアナイフにより水切りする。
以上のように、この発明の研磨装置によれば、周囲一面の開口からボックス内にワークの研磨辺を嵌入すると共に、ボックス内の回転砥石によりワークの上記嵌入した辺を研磨すると共に、研磨部位にノズルからクーラント水を噴射するようにしてあるので、クーラント水の飛散をボックスにより受け止めて防止し、ボックス内の吸引によってボックス外に流出しようとするクーラント水の略全量の強制的な回収ができる。
このため、研磨周囲の飛散クーラント水の汚れがなく、特にワークに対するクーラント水の付着が極力なくするため、ワークのマスキングに悪影響を及ぼすことがないと共に、クーラント水の侵蝕に問題があるワークについてもマスキングを行なったり加工工程の最後にするなど、加工工程の順位などの制約がなくなる。
また、エアナイフによってワークに付着したクーラント水の水切りもできる。
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
この発明の第１の実施形態では、図１から図４に示すように、ガラス基板などのワークＷと、周囲の一面にワークＷの研磨辺が嵌り込む開口１を有するボックス２とからなる。
上記のワークＷは、上側に、ボックス２は下側に位置する縦型を示し、ボックス２に設ける開口１は、ボックス２の上面壁のセンター線上と、ボックス２の両端壁の上端中央から下方に向け開放させて設けたが、限定されず、一側にワークＷを、他側にボックス２を配置した横型であってもよい。
そして、走行手段ＡによりワークＷ或いはボックス２のいずれか片方を走行させるようにしてある。
上記の走行手段Ａは、図示の場合二条の水平なレール３と、下面両側に設けてあるスライダ４をレール３にスライド自在に係合した走行体５と、両端を軸承してレール３に沿わせた雄ネジ６と、走行体５に取付けて雄ネジ６にねじ込んだ雌ネジ７と、雄ネジ６を可逆駆動するモーター８とで構成され、走行体５の側面に配置したプレート９の表面に設けてある吸盤１０により板面が垂直なワークＷの片面を吸引保持してワークＷを走行させるようにしてある。
勿論、定位置にワークＷを保持（クランプ）してボックス２を進退走行を介し走行させてもよい。
そして、走行体５に設けるプレート９も、モーター１１により可逆駆動する旋回軸１２を取付けて、旋回軸１２の旋回によりワークＷの辺縁の傾き調整や、研磨縁（辺）の変更など行なう。
また、ボックス２内には、モーター１３により一方向に駆動する回転砥石１４が設けてある。
すると、ボックス２の開口１内に辺縁が嵌入してワークＷがボックス２の部分を通過する際に、ワークＷの辺縁の面に回転砥石１４の周面（図示上周面）が接触して研磨する。
なお、研磨材は、入れ込み機（図示省略）を介しプレート９の吸盤１０にワークＷを保持させる際に研磨材を見込んで供給するか、或いはプレート９又はボックス２を図示上下方向に昇降装置（図示省略）を作用させて行なえばよい。
さらに、ボックス２内には、回転砥石１４による研磨部位にクーラント水を噴射するノズル２１が設けてある。
上記のノズル２１には、パイプ２２をへてクーラント水が圧送されるようになっている。
また、ボックス２内は、吸引パイプ２３によってクーラント水を吸引するようになっている。
上記の吸引パイプ２３は、吸引ポンプ（図示省略）に接続され、濾過されてクーラント水を再使用する。
勿論、吸引パイプ２３は、図示の場合、開口１の反対側、すなわち、ボックス２の図示底側に接続し、開口１から大気のエアを吸引する。
その要因は、ノズル２１から噴射したクーラント水が開口１から外側、すなわちボックス２外に飛散するのを防止することにある。
なお、図示のように、ボックス２の両端壁の開口１下縁に対する回転砥石１４の上周縁を極力近づけて（上方への突出度合いを小さくする）、回転砥石１４の回転にともなうクーラント水のボックス２外への（開口１から）飛散をなくする。
すると、研磨場所の付近がクーラント水で汚れるのを防止すると共に、ワークＷに対する一定範囲以外にクーラント水の付着（飛散にともなう）や研磨粉粒の付着による汚れがなくなる。勿論、マスキングに悪影響を及ぼすこともない。
この発明の第２の実施形態では、図２及び図５に示すように、ボックス２を通過したワークＷの研磨ずみ辺をボックス３１の開口１と同様の開口３２に嵌入させて通過させ、ボックス３１内に設けてあるエアナイフ３３（パイプ３４からエアナイフ３３の噴射孔にエアを圧送する）によってワークＷの両面に付着したクーラント水を吹き飛ばして水切りする。
勿論ボックス３１内の水はパイプ３５をへて排出する。
すると、クーラント水の付着しない研磨ずみワークＷを回収（取り出す）することができる。
Ｗ ワーク
Ａ 走行手段
１、３２ 開口
２、３１ ボックス
３ レール
４ スライダ
５ 走行体
６ 雄ネジ
７ 雌ネジ
８ モーター
９ プレート
１０ 吸盤
１１ モーター
１２ 旋回軸
１３ モーター
１４ 回転砥石
２１ ノズル
２２ パイプ
２３ 吸引パイプ
３３ エアナイフ
Ａ 走行手段
１、３２ 開口
２、３１ ボックス
３ レール
４ スライダ
５ 走行体
６ 雄ネジ
７ 雌ネジ
８ モーター
９ プレート
１０ 吸盤
１１ モーター
１２ 旋回軸
１３ モーター
１４ 回転砥石
２１ ノズル
２２ パイプ
２３ 吸引パイプ
３３ エアナイフ
Claims (2)
- ガラス基板などのワークと、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口を有するボックスとからなり、このボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石を設け、また上記ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズルを設け、さらに上記ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、上記ワーク或いはボックスのいずれか片方を走行手段により走行させるようにしたことを特徴とする研磨装置。
- 前記ボックス内にワークに付着したクーラント水の水切りエアナイフを設けたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2005212430A JP4745746B2 (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 研磨装置 |
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| JP4745746B2 JP4745746B2 (ja) | 2011-08-10 |
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2005
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