CN106141838B - 玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种可降低对环境施加的负载、且可抑制玻璃基板的表面污染的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。端面磨削装置(20)通过使倒角磨石(40)接触于玻璃基板(10)的端面(11a)且使倒角磨石(40)相对于玻璃基板(10)相对性地移动而对端面(11a)进行加工。端面磨削装置(20)对倒角磨石(40)与端面(11a)的接触部(13)供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对接触部(13)进行冷却。端面磨削装置(20)使收纳倒角磨石(40)的壳体(30)的内部空间(81)相对于外部空间(82)成为负压而从内部空间(81)抽吸冷却液，由此抑制冷却液流出至外部空间(82)而污染玻璃基板(10)。此外，端面磨削装置(20)降低冷却液的使用量而降低对环境施加的负载。

Description

玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。

背景技术

液晶显示器及等离子显示器等平板显示器(FPD，flat panel display)的制造中所使用的玻璃基板，通过例如溢流下拉法而制造。在溢流下拉法中，流入至成形体的上表面的槽中并溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下且在成形体的下端合流，由此连续地成形玻璃带。成形的玻璃带一面被向下方拉伸一面冷却，其后，进行切断而获得特定尺寸的玻璃基板。所获得的玻璃基板经过端面加工步骤、表面清洗步骤及检查步骤等后捆包而出货。

在将玻璃带切断为特定尺寸的玻璃基板的步骤中，一般而言使用利用切割器或激光的切断方法。在利用切割器的切断方法中，在玻璃带上机械性地形成裂缝而将其切断。因此，在玻璃基板的切断面上形成有数μm～100μm左右深度的裂痕。该裂痕导致玻璃基板的机械强度劣化。此外，在利用激光的切断方法中，利用热应力在玻璃带上形成裂缝而将其切断。因此，玻璃基板的切断面成为锐利且易于形成缺陷的状态。存在于玻璃基板的切断面上的形成有裂痕及锐利的部分的层被称为脆性破坏层，必须通过对切断面进行磨削及研磨而除去。即，为了提高玻璃基板的机械强度，抑制玻璃基板的缺陷的产生且使后步骤的处理变得容易，而进行玻璃基板的端面加工步骤。

以往，在玻璃基板的端面加工步骤中，进行将玻璃基板的端面(切断面)的角部倒角的倒角步骤。在倒角步骤中，使旋转的磨削轮接触于玻璃基板的端面且使磨削轮相对于玻璃基板而相对性地移动，由此对玻璃基板的端面进行磨削。磨削轮为金刚石轮等金属结合剂轮。磨削轮与玻璃基板的端面接触的部位即接触部的温度因摩擦热而上升。当玻璃基板的端面的温度因该摩擦热而上升时，存在端面附近的玻璃变质而对作为制品出货的玻璃基板的品质造成不良影响的顾虑。因此，以往在倒角步骤中，如专利文献1(日本专利特公昭62-43834号公报)所揭示般采用如下方法，即对磨削轮与玻璃基板的端面之间的接触部供给冷却液，而抑制玻璃基板的端面的温度上升。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特公昭62-43834号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在倒角步骤中使用的冷却液例如为纯水及包含有机物的水溶液。包含非离子系表面活性剂作为有机物的水溶液的冷却性能高于纯水。然而，在使用包含非离子系表面活性剂的水溶液作为冷却液的情况下，从降低对环境施加的负载的目的考虑，优选冷却液的使用量较少。

此外，在倒角步骤中，当包含非离子系表面活性剂的冷却液附着于玻璃基板的表面时，因以下理由而有玻璃基板的品质降低的顾虑。例如在FPD的制造中所使用的玻璃基板，在表面配置黑矩阵、及使红色(R)·绿色(G)·蓝色(B)的光透过的波长选择元件即RGB像素而形成有彩色滤光片。黑矩阵阻断未配置RGB像素的区域的背光源的漏光而防止相互邻接的RGB像素的混色，由此提高显示对比度。然而，当冷却液中所含的非离子系表面活性剂残留在玻璃基板的表面上时，黑矩阵有可能无法充分密接于玻璃基板的表面。因此，要求抑制由倒角步骤中所使用的冷却液所致的玻璃基板的表面污染。

本发明的目的在于提供可降低对环境施加的负载、且可抑制玻璃基板的表面污染的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的玻璃基板的制造方法是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使磨石相对于玻璃基板相对性地移动而对端面进行加工的方法。该玻璃基板的制造方法包括磨削步骤、冷却步骤、及抽吸步骤。磨削步骤是通过使收纳在壳体中的磨石旋转，且使旋转的磨石接触于端面而对端面进行磨削的步骤。冷却步骤为如下步骤，即对磨石与端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对接触部进行冷却。抽吸步骤为如下步骤，即通过使壳体的内部空间相对于壳体的外部空间成为负压，而从内部空间抽吸冷却液。壳体具有用以将玻璃基板插入至内部空间的狭缝。

在该玻璃基板的制造方法中，在使旋转的磨石接触于玻璃基板的端面而对端面进行磨削时，对磨石与端面相互接触的部位即接触部供给冷却液而使接触部的端面的温度降低。由此，抑制因磨石与端面之间的摩擦热而使接触部的端面的温度上升，从而端面附近的玻璃变质而玻璃基板的品质降低。此外，供给至接触部的冷却液被从收纳磨石的壳体的内部空间抽吸，因此可降低飞散至壳体的外部空间而附着于玻璃基板上的冷却液的量。因此，抑制由冷却液所致的玻璃基板的表面污染。此外，通过对从壳体的内部空间抽吸的冷却液加以回收并进行适当处理，而降低对环境施加的负载。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境造成的负载，且可抑制玻璃基板的表面污染。

此外，本发明的玻璃基板的制造方法优选还包括将在抽吸步骤中抽吸的冷却液回收的回收步骤。在冷却步骤中，使用回收步骤中所回收的冷却液的至少一部分对接触部进行冷却。

在该玻璃基板的制造方法中，对在供给至接触部之后被抽吸的冷却液进行回收，进而再利用所回收的冷却液，由此可降低冷却液的使用量。包含非离子系表面活性剂等有机物的冷却液如果被排出至外部则有对环境造成不良影响的顾虑。因此，优选该冷却液的使用量较少。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境施加的负载。

此外，在本发明的玻璃基板的制造方法中，优选壳体还包括抽吸内部空间的冷却液的抽吸口。抽吸口在内部空间中相对于磨石而形成于狭缝的相反侧。

在该玻璃基板的制造方法中，在供给至接触部的冷却液最难以被抽吸的位置，设置从内部空间抽吸冷却液的抽吸口。因此，抑制在通过供给至接触部的冷却液而将接触部的端面充分冷却之前抽吸冷却液。由此，该玻璃基板的制造方法可有效率地进行玻璃基板的端面的冷却。

此外，在本发明的玻璃基板的制造方法中，优选在冷却步骤中，相对于接触部而在磨石的旋转方向上游侧，通过将冷却液按压于磨石而对接触部供给冷却液。

在该玻璃基板的制造方法中，通过冷却液所按压的磨石与端面接触，而对接触部供给冷却液来对端面进行冷却。由此，不对接触部直接喷出冷却液即可对接触部有效率地供给冷却液。因此，可降低未供给至接触部而无助于端面的冷却的冷却液的量，因此降低冷却液的使用量。由此，该玻璃基板的制造方法可降低对环境施加的负载。

此外，在本发明的玻璃基板的制造方法中，优选在抽吸步骤中，通过调节狭缝的宽度而控制从外部空间经由狭缝流入至内部空间的气体的流速。

在该玻璃基板的制造方法中，例如，可通过使壳体的狭缝的宽度变窄而增加通过狭缝的气体的流速。通过狭缝的气体的流速越大，从壳体的内部空间经由狭缝流出至外部空间的冷却液的量越降低，因此可使供给至接触部的冷却液的量增加。由此，该玻璃基板的制造方法可通过调节狭缝的宽度而控制能供给至接触部的冷却液的量。

此外，在本发明的玻璃基板的制造方法中，优选狭缝包括用以夹持玻璃基板的一对毛刷。在抽吸步骤中，通过调节一对毛刷的间隔而控制从外部空间经由狭缝流入至内部空间的气体的流速。

在该玻璃基板的制造方法中，例如，通过使设置在狭缝的一对毛刷的间隔变窄而可增大通过狭缝的气体的流速。通过狭缝的气体的流速越大，从壳体的内部空间经由狭缝流出至外部空间的冷却液的量越降低。如果抑制冷却液向外部空间的流出，则可调整对接触部的冷却液的供给量，从而可使供给至接触部的冷却液的量增加。由此，该玻璃基板的制造方法可通过调节一对毛刷的间隔而控制能供给至接触部的冷却液的量。

此外，在本发明的玻璃基板的制造方法中，磨石优选为金属结合剂轮。

本发明的玻璃基板的制造装置是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使磨石相对于玻璃基板相对性地移动而对端面进行加工的装置。该玻璃基板的制造装置包括磨石、旋转部、冷却部、及抽吸部。磨石收纳在壳体中。旋转部为使磨石旋转的机构。冷却部为如下机构，即对磨石与端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对接触部进行冷却。抽吸部为如下机构，即，使壳体的内部空间相对于壳体的外部空间成为负压，而从内部空间抽吸冷却液。壳体具有用以将玻璃基板插入至内部空间的狭缝。

[发明的效果]

本发明的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置，可降低对环境施加的负载，且可抑制玻璃基板的表面污染。

附图说明

图1是玻璃基板制造步骤的流程图。

图2是用以对端面加工装置所进行的端面加工步骤进行说明的图。

图3是端面磨削装置的一部分的俯视图。

图4是从图3的箭头IV观察的端面磨削装置的侧视图。

图5是表示端面磨削装置的整体构成的概略图。

图6是壳体的外观图。

图7是冷却液供给装置的截面图。

具体实施方式

参照图式对作为本发明的实施方式的玻璃基板的制造方法进行说明。本实施方式的玻璃基板的制造方法使用对玻璃基板10的端面进行加工的端面加工装置100。

(1)玻璃基板的制造步骤的概要

首先，对通过端面加工装置100加工的玻璃基板10的制造步骤进行说明。玻璃基板10用于液晶显示器、等离子显示器及有机EL(electroluminescence，电致发光)显示器等平板显示器(FPD)的制造。玻璃基板10例如具有0.2mm～0.8mm的厚度，且具有纵680mm～2200mm及横880mm～2500mm的尺寸。

作为玻璃基板10的一例，列举具有以下(a)～(j)组成的铝硼硅酸盐玻璃即玻璃基板。

(a)SiO₂：50质量％～70质量％；

(b)Al₂O₃：10质量％～25质量％；

(c)B₂O₃：1质量％～18质量％；

(d)MgO：0质量％～10质量％；

(e)CaO：0质量％～20质量％；

(f)SrO：0质量％～20质量％；

(g)BaO：0质量％～10质量％；

(h)RO:5质量％～20质量％(R为从Mg、Ca、Sr及Ba中选择的至少1种)；

(i)R'₂O:0质量％～2.0质量％(R'为从Li、Na及K中选择的至少1种)；

(j)从SnO₂、Fe₂O₃及CeO₂中选择的至少1种金属氧化物。

再者，具有所述组成的玻璃于未达0.1质量％的范围容许其他微量成分的存在。

图1是表示玻璃基板10的制造步骤的流程图的一例。玻璃基板10的制造步骤主要包含成形步骤(步骤S1)、板状裁切步骤(步骤S2)、切断步骤(步骤S3)、粗面化步骤(步骤S4)、端面加工步骤(步骤S5)、清洗步骤(步骤S6)、检查步骤(步骤S7)、及捆包步骤(步骤S8)。

在成形步骤S1中，从对玻璃原料进行加热所获得的熔融玻璃利用溢流下拉法或浮式法连续地成形玻璃带。成形的玻璃带一面被以不产生应变及翘曲的方式控制温度，一面冷却至玻璃缓冷点以下。

在板状裁切步骤S2中，将在成形步骤S1中成形的玻璃带切断而获得具有特定尺寸的原板玻璃。

在切断步骤S3中，将在板状裁切步骤S2中所获得的原板玻璃切断而获得制品尺寸的玻璃基板10。

在粗面化步骤S4中，进行使在切断步骤S3中所获得的玻璃基板10的表面粗糙度增加的粗面化处理。玻璃基板10的粗面化处理为使用例如含有氟化氢的蚀刻液的湿式蚀刻处理。

在端面加工步骤S5中，对已在粗面化步骤S4中进行粗面化处理的玻璃基板10的端面进行倒角加工及研磨加工。端面加工步骤S5通过端面加工装置100进行。端面的倒角加工为将玻璃基板10的一对主表面与端面之间的角部磨削为R形状的加工。端面的研磨加工为使经倒角加工的端面的表面粗糙度降低的加工。

在清洗步骤S6中，对已在端面加工步骤S5中进行端面加工的玻璃基板10进行清洗。在玻璃基板10上附着有在切断步骤S3及端面加工步骤S5中产生的微小玻璃片、或环境中存在的有机物等异物。通过玻璃基板10的清洗而将该等异物除去。

在检查步骤S7中，对已在清洗步骤S6中进行清洗的玻璃基板10进行检查。具体而言，测定玻璃基板10的形状而光学性地侦测玻璃基板10的缺陷。玻璃基板10的缺陷例如为存在于玻璃基板10的表面上的伤痕及裂痕、附着于玻璃基板10的表面上的异物、及存在于玻璃基板10的内部的微小气泡等。

在捆包步骤S8中，将在检查步骤S7的检查中合格的玻璃基板10与用以保护玻璃基板10的间隔纸交替地积层在托板上并捆包。捆包的玻璃基板10出货至FPD的制造业者等。

(2)端面加工步骤的概要

其次，说明端面加工装置100对玻璃基板10的端面进行倒角加工及研磨加工的端面加工步骤S5。图2是用以说明端面加工装置100所进行的端面加工步骤S5的图。玻璃基板10以其主表面与水平面平行的状态在端面加工装置100的内部沿特定路径搬送。

通过端面加工装置100加工的玻璃基板10具有长方形的形状。玻璃基板10具有一对第1端面11a、11b、及一对第2端面12a、12b。第1端面11a、11b为与玻璃基板10的短边平行的端面。第2端面12a、12b为与玻璃基板10的长边平行的端面。

端面加工装置100主要包括第1倒角加工装置101、旋转装置102、第2倒角加工装置103、及切角装置104。第1倒角加工装置101、旋转装置102、第2倒角加工装置103及切角装置104依序从玻璃基板10的搬送路径的上游侧向下游侧配置。在端面加工装置100的内部搬送的玻璃基板10依序通过第1倒角加工装置101、旋转装置102、第2倒角加工装置103及切角装置104。

首先，第1倒角加工装置101使用设置于玻璃基板10的搬送路径两侧的一对第1金刚石轮111，对玻璃基板10的第1端面11a、11b的角部进行倒角。其后，第1倒角加工装置101使用设置于玻璃基板10的搬送路径两侧的一对第1研磨轮121，对玻璃基板10的第1端面11a、11b进行研磨。然后，将玻璃基板10搬送至旋转装置102。

其次，旋转装置102使玻璃基板10在水平面内旋转90°。其后，将玻璃基板10搬送至第2倒角加工装置103。

其次，第2倒角加工装置103使用设置于玻璃基板10的搬送路径两侧的一对第2金刚石轮112，对玻璃基板10的第2端面12a、12b的角部进行倒角。其后，第2倒角加工装置103使用设置于玻璃基板10的搬送路径两侧的一对第2研磨轮122，对玻璃基板10的第2端面12a、12b进行研磨。然后，将玻璃基板10搬送至切角装置104。

其次，切角装置104使用4个第3金刚石轮113，对玻璃基板10的主表面的4个角部进行倒角。然后，将玻璃基板10搬送至清洗步骤S6。

第1金刚石轮111、第2金刚石轮112及第3金刚石轮113，例如是利用含有铁的金属系结合剂固定有粒度为＃400的金刚石研磨粒的金属结合剂轮。第1金刚石轮111、第2金刚石轮112及第3金刚石轮113也可为相同种类的轮。

第1研磨轮121及第2研磨轮122例如是利用含有铁的金属系结合剂固定有粒度为＃400的碳化硅研磨粒的金属结合剂轮。第1研磨轮121及第2研磨轮122也可为相同种类的轮。再者，结合剂也可为钴系或铜系的结合材，也可为树脂系的结合材。

(3)端面磨削装置的构成

其次，说明对玻璃基板10的端面进行倒角加工的端面磨削装置20。端面磨削装置20相当于作为本发明的实施方式的玻璃基板的制造装置。第1倒角加工装置101具有对玻璃基板10的一对第1端面11a、11b的各者进行倒角加工的一对端面磨削装置20。同样地，第2倒角加工装置103具有对玻璃基板10的一对第2端面12a、12b的各者进行倒角加工的一对端面磨削装置20。

图3是端面磨削装置20的一部分的俯视图。图3中表示进行玻璃基板10的第1端面11a的倒角加工的第1倒角加工装置101的端面磨削装置20。图4是从图3所示的箭头IV方向观察的端面磨削装置20的侧视图。在图3、4中，表示壳体30的截面。图5是表示端面磨削装置20的整体构成的概略图。

以下，如图3、4所示般定义X轴、Y轴及Z轴。在与玻璃基板10的主表面平行的水平面上，设定包含X轴及Y轴的二维正交坐标系。X轴为与搬送玻璃基板10的方向平行的轴。Y轴为与搬送玻璃基板10的方向正交的轴。Z轴为与包含X轴及Y轴的平面正交的轴。

端面磨削装置20主要包括壳体30、倒角磨石40、电动机50、冷却液供给装置60、冷却液回收装置70、及控制部(未图示)。接下来，对端面磨削装置20的各构成要素进行说明。以下的说明也可应用于第2倒角加工装置103的端面磨削装置20。

(3-1)壳体

壳体30为由金属板组装而成的长方体容器。壳体30固定在第1倒角加工装置101的内部。壳体30收纳倒角磨石40及冷却液供给装置60。在壳体30安装有电动机50。图6为壳体30的外观图。在图6中省略一对毛刷32，而仅表示一对毛刷32突出的孔即毛刷孔32a。

壳体30具有狭缝31。狭缝31为形成于壳体30的外表面的与X轴平行的间隙。狭缝31连通壳体30的内部空间81与壳体30的外部空间82。狭缝31为用以将位于外部空间82的玻璃基板10的第1端面11a插入至内部空间81的间隙。狭缝31为相互对向的狭缝上表面33与狭缝下表面34之间的空间。

壳体30具有设置于狭缝31的一对毛刷32。一对毛刷32从狭缝上表面33及狭缝下表面34的各者的毛刷孔32a向Z轴方向突出。毛刷孔32a分别沿X轴及Y轴形成。一对毛刷32的材质例如为尼龙。一对毛刷32夹持插入至狭缝31中的玻璃基板10的端部。此外，一对毛刷32抑制下述的冷却液从内部空间81流出至外部空间82。

壳体30的外表面连接有金属管即抽吸管35。壳体30经由抽吸管35而连接于冷却液回收装置70。抽吸管35为安装于抽吸口36的配管，该抽吸口36为形成于壳体30的外表面的孔。抽吸口36于壳体30的内部空间81，隔着倒角磨石40而于狭缝31的相反侧开口。即，于内部空间81，抽吸口36与狭缝31对向。

(3-2)倒角磨石

倒角磨石40为用以对玻璃基板10的端面进行倒角加工的磨石。在第1倒角加工装置101的端面磨削装置20中，倒角磨石40为第1金刚石轮111。在第2倒角加工装置103的端面磨削装置20中，倒角磨石40为第2金刚石轮112。

倒角磨石40配置于壳体30的内部空间81。倒角磨石40相对于壳体30而位置固定。倒角磨石40具有圆筒形状。在倒角磨石40的侧面41，沿圆周方向形成有加工槽42。倒角磨石40经由向Z轴方向延伸的轴43而与电动机50连结。轴43贯通壳体30的上表面。

倒角磨石40通过轴43的轴旋转而绕与Z轴平行的旋转轴旋转。通过玻璃基板10的第1端面11a接触于旋转的倒角磨石40的加工槽42的表面(侧面41的一部分)，而对第1端面11a进行倒角加工。以下，将玻璃基板10的第1端面11a与倒角磨石40接触的部位称为接触部13。图3中，玻璃基板10向右侧搬送，且倒角磨石40逆时针旋转。如此，倒角磨石40于接触部13向与玻璃基板10的搬送方向相反的方向旋转。

(3-3)电动机

电动机50安装于壳体30的上表面。电动机50经由轴43而与倒角磨石40连结。电动机50为用以使轴43进行轴旋转而使倒角磨石40绕旋转轴旋转的动力源。

(3-4)冷却液供给装置

冷却液供给装置60主要包括冷却液供给管61、冷却液供给构件62、及冷却液贮存构件63。冷却液供给管61为贯通壳体30的配管。冷却液供给管61将配置于内部空间81的冷却液供给构件62、配置于外部空间82的冷却液贮存构件63、及下述的冷却液回收装置70相互连接。

冷却液供给构件62为用以将冷却液按压至旋转的倒角磨石40的侧面41的构件。冷却液为包含非离子系表面活性剂的水溶液。非离子系表面活性剂例如为磺基琥珀酸盐。包含非离子系表面活性剂的冷却液由于表面张力小，因此在接触部13易于进入倒角磨石40的侧面41(加工槽42的表面)与玻璃基板10的第1端面11a之间的间隙。冷却液具有将通过利用倒角磨石40对第1端面11a的磨削而产生的玻璃微粒子等异物冲走而除去的效果。此外，冷却液具有对易于因摩擦而成为高温的接触部13进行冷却的效果。再者，冷却液除包含非离子系表面活性剂以外，还可包含氨系成分或甘油等。氨系成分例如为二乙醇氨、三乙醇氨及烷醇氨。

冷却液供给构件62相对于接触部13而于倒角磨石40的旋转方向上游侧，与倒角磨石40邻接而配置。冷却液供给构件62相对于倒角磨石40而位置固定。

图7为冷却液供给构件62的截面图。冷却液供给构件62主要具有主体64、导入口65、贮存空间66、按压面67、及供给口68。导入口65为形成于主体64的外表面且连接有冷却液供给管61的孔。贮存空间66与导入口65及供给口68连通，且为主体64的内部空间。按压面67为与倒角磨石40的侧面41对向的面。供给口68为形成于按压面67的孔。在按压面67与侧面41之间形成有称为冷却液流路69的狭窄的间隙。冷却液流路69的宽度、即倒角磨石40的径向的冷却液流路69的尺寸，越向倒角磨石40的旋转方向下游侧越小。

冷却液贮存构件63为贮存冷却液的容器。贮存于冷却液贮存构件63中的冷却液在冷却液供给管61中流动，且通过冷却液供给构件62的导入口65而流入至贮存空间66。流入至贮存空间66的冷却液通过供给口68而供给至冷却液流路69。供给至冷却液流路69的冷却液流向倒角磨石40的侧面41与倒角磨石40的旋转方向下游侧。冷却液流路69的截面积越向倒角磨石40的旋转方向下游侧越小，因此在冷却液流路69中流动的冷却液的压力逐渐变高。其结果，在冷却液流路69中流动的冷却液被从冷却液供给构件62的按压面67向倒角磨石40的侧面41按压。由此，供给至冷却液流路69的冷却液切实地流入至形成于侧面41的加工槽42。

(3-5)冷却液回收装置

冷却液回收装置70经由抽吸管35而连接于壳体30。冷却液回收装置70主要具有冷却液抽吸部71、冷却液回收部72、冷却液清洗部73、及冷却液贮存部74。

冷却液抽吸部71抽吸壳体30的内部空间81的气体而使壳体30的内部空间81相对于壳体30的外部空间82成为负压。冷却液抽吸部71例如为可抽吸液体及气体的泵。通过冷却液抽吸部71使内部空间81相对于外部空间82成为负压，由此产生从外部空间82经由狭缝31而朝向内部空间81的气体的流动。

在倒角磨石40的表面附着有从冷却液供给构件62供给的冷却液。附着于倒角磨石40的冷却液的一部分通过利用倒角磨石40的旋转而产生的离心力，而从倒角磨石40的表面飞散。此外，在位于与狭缝31对向的位置的倒角磨石40的侧面41，大量附着有从冷却液供给构件62供给的冷却液。因此，从与狭缝31对向的侧面41、及接触部13向狭缝31飞散大量冷却液。然而，朝向狭缝31飞散的冷却液通过从外部空间82经由狭缝31而朝向内部空间81的气体的流动，而不会通过狭缝31流出至外部空间82。因此，冷却液抽吸部71不会使从倒角磨石40的表面飞散的冷却液流出至外部空间82而是将之预先留存于内部空间81，且可经由壳体30的抽吸口36而抽吸至抽吸管35。即，抽吸管35为通过冷却液抽吸部71抽吸的内部空间81的气体及冷却液流动的配管。

冷却液回收部72为从通过冷却液抽吸部71抽吸的气体与冷却液的混合物分离气体而回收冷却液的分离器。

冷却液清洗部73为用以将通过冷却液回收部72回收的冷却液中所包含的异物除去的机构。在回收的冷却液中有时混入有玻璃的微小片等异物。冷却液清洗部73例如为设置在回收的冷却液流动的流路上的过滤器。

冷却液贮存部74为贮存通过冷却液清洗部73除去了异物的冷却液的容器。冷却液贮存部74具有用以将贮存的冷却液排出的冷却液排出管75。此外，冷却液贮存部74经由冷却液再利用管76而连接于冷却液贮存构件63。贮存于冷却液贮存部74中的冷却液在冷却液再利用管76中流动而供给至冷却液贮存构件63，进而，在冷却液供给管61中流动而供给至冷却液供给构件62以供再利用。

(3-6)控制部

控制部为控制端面磨削装置20的电脑。例如，控制部控制电动机50及冷却液回收装置70。其次，对控制部的控制例进行说明。

控制部调节电动机50的输出而控制倒角磨石40的旋转速度。此外，控制部调节冷却液回收装置70的冷却液抽吸部71的输出，而控制通过狭缝31的气体的流速、或通过冷却液回收部72回收而贮存在冷却液贮存部74中的冷却液的量。

(4)端面加工装置的动作

其次，说明通过第1倒角加工装置101的一对端面磨削装置20对玻璃基板10的第1端面11a、11b进行倒角加工的步骤。以下的说明也可应用于通过第2倒角加工装置103的一对端面磨削装置20而对玻璃基板10的第2端面12a、12b进行倒角加工的步骤。

已在粗面化步骤S4进行表面处理的玻璃基板10，在端面加工装置100的内部沿X轴搬送。在搬送之前，预先以玻璃基板10的第1端面11a、11b与X轴平行的方式调节玻璃基板10的方向。此外，一对端面磨削装置20的位置预先根据玻璃基板10的尺寸而进行调节。

在玻璃基板10沿X轴搬送的过程中，玻璃基板10的第1端面11a、11b插入至端面磨削装置20的狭缝31。包含插入至狭缝31中的第1端面11a、11b的玻璃基板10的端部由一对毛刷32夹持。

其后，在玻璃基板10沿X轴搬送的过程中，玻璃基板10的第1端面11a、11b在接触部13与端面磨削装置20的倒角磨石40接触而进行倒角加工。在接触部13中，玻璃基板10的主表面与第1端面11a、11b之间的角部通过倒角磨石40的加工槽42的表面磨削而倒角为R形状。

此外，在接触部13中，通过利用冷却液供给装置60供给至加工槽42的冷却液对玻璃基板10的第1端面11a、11b进行冷却。其后，冷却液通过冷却液回收装置70回收。回收的冷却液的至少一部分被再利用于对玻璃基板10的第1端面11a、11b进行冷却。

(5)特征

(5-1)

本实施方式的端面加工装置100包括用以对玻璃基板10的第1端面11a进行倒角加工的端面磨削装置20。端面磨削装置20使旋转的倒角磨石40的侧面41(加工槽42的表面)接触于玻璃基板10的第1端面11a，且使倒角磨石40相对于玻璃基板10相对性地移动，由此对第1端面11a进行倒角加工。

在使用金属结合剂轮即倒角磨石40的第1端面11a的倒角加工中，第1端面11a的温度因倒角磨石40与玻璃基板10之间的摩擦热而上升。当第1端面11a成为高温时，有第1端面11a附近的玻璃变质而使作为最终制品的玻璃基板10的品质降低的顾虑。

然而，端面磨削装置20可对倒角磨石40的侧面41(加工槽42的表面)与玻璃基板10的第1端面11a相互接触的部位即接触部13供给冷却液，而抑制第1端面11a的温度上升。冷却液为包含非离子系表面活性剂的水溶液。该冷却液与纯水相比表面张力较小，因此也可容易地进入接触部13的微小间隙中。因此，该冷却液与纯水相比冷却性能较高。

此外，端面磨削装置20可通过冷却液回收装置70的冷却液抽吸部71而使壳体30的内部空间81相对于壳体30的外部空间82成为负压。由此，产生从外部空间82经由狭缝31而朝向内部空间81的气体的流动。因此，被按压至倒角磨石40的侧面41且通过离心力而从侧面41及接触部13向狭缝31飞散的冷却液，不会通过狭缝31流出至外部空间82。如果冷却液流出至外部空间82，则有冷却液附着于玻璃基板10的主表面而玻璃基板10的品质降低的顾虑。例如，在玻璃基板10用于FPD的制造的情况下，如果冷却液中所包含的非离子系表面活性剂残留在玻璃基板10的主表面上，则有黑矩阵无法充分密接于玻璃基板10的主表面的顾虑。然而，端面磨削装置20可防止冷却液流出至外部空间82，因此可抑制因冷却液中所包含的非离子系表面活性剂而污染玻璃基板10的主表面。

(5-2)

此外，在端面磨削装置20中，供给至接触部13的冷却液不会流出至外部空间82，而是通过冷却液回收装置70从内部空间81抽吸而回收。回收的冷却液被除去异物而再次供给至接触部13。即，端面磨削装置20可回收用于玻璃基板10的第1端面11a的冷却的冷却液，进而可再利用所回收的冷却液的一部分。因此，端面磨削装置20可降低冷却液的使用量。包含非离子系表面活性剂等有机物的冷却液当被排出至外部时有对环境造成不良影响的顾虑。此外，有因包含有机物的冷却液的飞散而产生设置有端面磨削装置20的设施内的环境污染的问题或端面磨削装置20的维护管理成本增加的问题。因此，优选冷却液的使用量较少。由此，端面磨削装置20通过冷却液回收装置70回收冷却液以供再利用，由此可降低冷却液的使用量，且可降低对环境施加的负载。

(5-3)

此外，在端面磨削装置20中，抽吸壳体30的内部空间81的冷却液的抽吸口36隔着倒角磨石40而在狭缝31的相反侧开口。即，抽吸口36设置在距接触部13最远的位置，换言之设置在供给至接触部13的冷却液最难以被抽吸的位置。因此，供给至接触部13的冷却液在将接触部13上的玻璃基板10的第1端面11a充分冷却之前，被抑制从内部空间81抽吸至抽吸口36。由此，端面磨削装置20可有效地利用冷却液进行玻璃基板10的第1端面11a的冷却。

(5-4)

此外，在端面磨削装置20中，冷却液供给装置60通过冷却液供给构件62而将冷却液按压至倒角磨石40的侧面41，由此对接触部13供给冷却液而对玻璃基板10的第1端面11a进行冷却。如此，冷却液供给装置60不直接对接触部13喷出冷却液即可对接触部13供给冷却液。因此，冷却液供给装置60可降低不供给至接触部13而无助于第1端面11a的冷却的冷却液的量，从而可降低冷却液的使用量。由此，端面磨削装置20可降低对环境施加的负载。

(6)变形例

以上，对本发明的玻璃基板的制造方法进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，也可在不脱离本发明的主旨的范围实施各种改良及变更。

(6-1)变形例A

在实施方式中，端面磨削装置20的壳体30具有设置在狭缝31之间的一对毛刷32。一对毛刷32夹持插入至狭缝31中的玻璃基板10的端部。一对毛刷32从狭缝上表面33及狭缝下表面34的各者向Z轴方向突出。

然而，端面磨削装置20也可具有用以调节从狭缝上表面33及狭缝下表面34的各者突出的一对毛刷32的长度的机构。在该情况下，端面磨削装置20的控制部可调节一对毛刷32的长度而控制一对毛刷32的间隔。一对毛刷32配置在狭缝上表面33与狭缝下表面34之间的空间。因此，通过调节一对毛刷32的长度，控制部可控制从壳体30的外部空间82经由狭缝31流入至壳体30的内部空间81的气体的流速。

在冷却液回收装置70的冷却液抽吸部71的抽吸力为固定的情况下，如果使一对毛刷32的间隔变狭，则通过狭缝31的气体的流速增加。通过狭缝31的气体的流速越大，则从内部空间81经由狭缝31流出至外部空间82的冷却液的量越减少，因此可使供给至接触部13的冷却液的量增加。此外，如果使一对毛刷32的间隔变狭，则从倒角磨石40向狭缝31飞散且流出至外部空间82的冷却液的量减少，因此可使供给至接触部13的冷却液的量增加。

由此，本变形例的端面磨削装置20通过根据玻璃基板10的厚度或冷却液抽吸部71的抽吸力而适当调节一对毛刷32的间隔，由此可使供给至接触部13的冷却液的量增加。

此外，本变形例的端面磨削装置20也可具有用以调节狭缝31的间隔的机构，而代替具有用以调节一对毛刷32的长度的机构。在该情况下，端面磨削装置20可通过调节狭缝31的间隔而调节一对毛刷32的间隔。

(6-2)变形例B

变形例A的端面磨削装置20可通过适当调节一对毛刷32的间隔，而使可供给至接触部13的冷却液的量增加。然而，端面磨削装置20的壳体30也可不具有设置于狭缝31之间的一对毛刷32。在该情况下，壳体30也可具有用以调节狭缝31的间隔的机构。

在本变形例中，与变形例A同样地，端面磨削装置20的控制部可通过调节狭缝31的间隔，而控制从壳体30的外部空间82经由狭缝31而流入至壳体30的内部空间81的气体的流速。

在冷却液回收装置70的冷却液抽吸部71的抽吸力为固定的情况下，如果使狭缝31的间隔变狭，则通过狭缝31的气体的流速增加。通过狭缝31的气体的流速越大，则从内部空间81经由狭缝31流出至外部空间82的冷却液的量越减少，因此可使供给至接触部13的冷却液的量增加。此外，如果使狭缝31的间隔变狭，则从倒角磨石40向狭缝31飞散且流出至外部空间82的冷却液的量减少，因此可使供给至接触部13的冷却液的量增加。

由此，本变形例的端面磨削装置20可通过根据玻璃基板10的厚度或冷却液抽吸部71的抽吸力来适当调节狭缝31的间隔，而使可供给至接触部13的冷却液的量增加。

(6-3)变形例C

实施方式的端面磨削装置20使用可将冷却液按压至倒角磨石40的侧面41的冷却液供给构件62，而对接触部13供给冷却液。然而，端面磨削装置20也可对倒角磨石40的侧面41或接触部13直接喷出冷却液而对接触部13供给冷却液。

(6-4)变形例D

在实施方式中，端面加工装置100包括用以对玻璃基板10的端面11a、11b、12a、12b进行磨削的倒角磨石40。倒角磨石40为金刚石轮，但也可为树脂结合轮。树脂结合轮例如为利用具有柔软性及弹性的树脂系的结合剂固定有通常使用的研磨粒的磨削轮。研磨粒的粒度例如为由JIS(Japanese Industrial Standards，日本工业标准)R6001-1987规定的＃300～＃500左右。即便在使用树脂结合轮的情况下，端面加工装置100也可对玻璃基板10的端面11a、11b、12a、12b进行磨削而进行倒角加工。

[符号的说明]

10 玻璃基板

11a 第1端面(端面)

11b 第1端面(端面)

12a 第2端面(端面)

12b 第2端面(端面)

13 接触部

20 端面磨削装置(玻璃基板的制造装置)

30 壳体

31 狭缝

32 一对毛刷

36 抽吸口

40 倒角磨石(磨石)

50 电动机(旋转部)

60 冷却液供给装置(冷却部)

70 冷却液回收装置(抽吸部)

81 内部空间

82 外部空间

Claims (7)

1.一种玻璃基板的制造方法，其是通过使磨石接触于玻璃基板的端面且使所述磨石相对于所述玻璃基板相对性地移动而对所述端面进行加工的方法，且包括：

磨削步骤，通过使收纳于壳体中的所述磨石旋转且使旋转的所述磨石接触于所述端面而对所述端面进行磨削；

冷却步骤，对所述磨石与所述端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对所述接触部进行冷却；及

抽吸步骤，通过使所述壳体的内部空间相对于所述壳体的外部空间成为负压，而从所述内部空间抽吸所述冷却液；

所述壳体具有用以将所述玻璃基板插入至所述内部空间的狭缝，

所述狭缝具有夹持所述玻璃基板的一对毛刷，

在所述抽吸步骤中，通过调节所述一对毛刷的间隔的机构，由此调节所述一对毛刷的间隔而控制从所述外部空间经由所述狭缝流入至所述内部空间的气体的流速，且

进而包括根据所述玻璃基板的厚度或所述冷却液的抽吸力调节所述一对毛刷的间隔的步骤。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其还包括将在所述抽吸步骤中抽吸的所述冷却液回收的回收步骤，且

在所述冷却步骤中，使用所述回收步骤中所回收的所述冷却液的至少一部分而对所述接触部进行冷却。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述壳体还具有抽吸所述内部空间的所述冷却液的抽吸口，且

所述抽吸口在所述内部空间相对于所述磨石而形成在所述狭缝的相反侧。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述冷却步骤中，相对于所述接触部而在所述磨石的旋转方向上游侧，通过将所述冷却液按压至所述磨石而对所述接触部供给所述冷却液。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述抽吸步骤中，通过调节所述狭缝的宽度而控制从所述外部空间经由所述狭缝流入至所述内部空间的气体的流速。

6.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述磨石为金属结合剂轮。

7.一种玻璃基板的制造装置，其是使磨石接触于玻璃基板的端面且使所述磨石相对于所述玻璃基板相对性地移动而对所述端面进行加工的装置，且包括：

磨石，收纳在壳体中；

旋转部，使所述磨石旋转；

冷却部，对所述磨石与所述端面的接触部供给包含非离子系表面活性剂的水溶液即冷却液而对所述接触部进行冷却；及

抽吸部，使所述壳体的内部空间相对于所述壳体的外部空间成为负压而从所述内部空间抽吸所述冷却液；

所述壳体具有用以将所述玻璃基板插入至所述内部空间的狭缝，

所述狭缝具有夹持所述玻璃基板的一对毛刷，且

通过调节所述一对毛刷的间隔的机构，由此根据所述玻璃基板的厚度或所述冷却液的抽吸力来调节所述一对毛刷的间隔，而控制从所述外部空间经由所述狭缝流入至所述内部空间的气体的流速。

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