JP2007026575A - ヘッドスライダ用サスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】これまで以上に振動を抑制することができるヘッドスライダ用サスペンションを提供する。
【解決手段】板部材４２はステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される。ヘッドスライダ用サスペンション２２の重量は低減されることができる。その結果、ヘッドスライダ用サスペンション２２の固有振動数は高められることができる。しかも、板部材４２の表面およびフレキシャ４３の裏面の間には粘弾性部材５１が挟み込まれる。こうして板部材４２およびフレキシャ４３のうち、一方は基材として、他方は拘束材として機能することができる。すなわち、板部材４２、フレキシャ４３および粘弾性部材５１はいわゆる拘束型の制振材として機能することができる。粘弾性部材５１の働きで板部材４２やフレキシャ４３の振動はこれまで以上に抑制されることができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に組み込まれるヘッドスライダ用サスペンションに関する。

例えば特許文献１に開示されるように、ヘッドサスペンションアセンブリは、ベース板と、ベース板から前方に延びるロードビームとを備える。ロードビームの表面にはフレキシャが受け止められる。フレキシャは、ロードビームに固定される固定板と、表面でヘッドスライダを受け止める支持板とから構成される。支持板と固定板とはいわゆるジンバルばねで接続される。支持板の裏面は、ロードビームの表面に形成される突起に受け止められる。固定板は例えばレーザ溶接に基づきロードビームに固定される。ヘッドサスペンションアセンブリはアクチュエータアームの先端に取り付けられる。アクチュエータアームの揺動に基づきヘッドスライダは磁気ディスクの表面に向き合わせられる。
特開２００１−１５５４５８号公報 特開２００２−５０１４０号公報

こうしたヘッドサスペンションアセンブリではロードビームは例えばアルミニウムといった金属材料から形成される。ロードビームにステンレス鋼が用いられる場合に比べてロードビームは軽量化される。ヘッドサスペンションアセンブリの固有振動数は高められる。しかしながら、磁気ディスクが高速で回転すると、磁気ディスクの表面で生成される気流の流速は一層増大する。こうした気流に基づきヘッドサスペンションアセンブリは振動する。しかも、気流の流速の増大に基づき振動の周波数は固有振動数に近づく。ヘッドサスペンションアセンブリでは共振が引き起こされてしまう。ヘッドスライダの位置決めは阻害される。磁気情報の読み出しや書き込みは正確に実施されることができない。

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、これまで以上に振動を抑制することができるヘッドスライダ用サスペンションを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１発明によれば、ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、裏面で板部材の表面に固定されるフレキシャと、板部材の表面およびフレキシャの裏面の間に挟み込まれる粘弾性部材とを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンションが提供される。

こうしたヘッドスライダ用サスペンションでは、板部材は、ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される。ヘッドスライダ用サスペンションの重量は低減されることができる。その結果、ヘッドスライダ用サスペンションの固有振動数は高められることができる。しかも、板部材の表面およびフレキシャの裏面の間には粘弾性部材が挟み込まれる。こうして板部材およびフレキシャのうち、一方は基材として、他方は拘束材として機能することができる。すなわち、板部材、フレキシャおよび粘弾性部材はいわゆる拘束型の制振材として機能することができる。粘弾性部材の働きで板部材やフレキシャの振動はこれまで以上に抑制されることができる。

ヘッドスライダ用サスペンションは、フレキシャの裏面から立ち上がりつつ板部材の表面に沿って延び、先端で板部材の裏面に受け止められる板片をさらに備えてもよい。同様に、ヘッドスライダ用サスペンションは、板部材の表面から立ち上がりつつフレキシャの表面に沿って延び、先端でフレキシャの表面に受け止められる板片をさらに備えてもよい。こうしたヘッドスライダ用サスペンションでは、板片の働きで板部材および粘弾性部材の間、粘弾性部材およびフレキシャの間で引き剥がしは確実に回避される。ヘッドスライダ用サスペンションの破損は確実に回避されることができる。

ヘッドスライダ用サスペンションでは、板部材の表面およびフレキシャの裏面は粘弾性部材の外側で超音波接合に基づき接合されればよい。同様に、板部材の表面およびフレキシャの裏面は粘弾性部材の外側で溶接に基づき接合されればよい。こうして超音波接合や溶接に基づき板部材および粘弾性部材の間、粘弾性部材およびフレキシャの間で引き剥がしは確実に回避される。ヘッドスライダ用サスペンションの破損は確実に回避されることができる。

こういったヘッドスライダ用サスペンションでは、板部材には金属保護膜が形成されればよい。その一方で、板部材には炭素保護膜が形成されてもよい。金属保護膜や炭素保護膜の働きで板部材の表面の硬度は高められる。板部材とフレキシャとの間で摩耗は回避される。摩耗に基づく塵埃の発生は確実に回避されることができる。

ヘッドスライダ用サスペンションでは、板部材の先端にはステンレス鋼製のロードタブが固定されてもよい。周知の通り、ロードタブはランプ部材に受け止められる。ステンレス鋼製のロードタブよれば、ロードタブおよびランプ部材の間で摩耗は回避される。摩耗に基づく塵埃の発生は確実に回避される。その一方で、板部材の表面にはフレキシャの裏面を受け止めるステンレス鋼製の突起が固定されてもよい。こうしたステンレス鋼製の突起によれば、突起およびフレキシャの間で摩耗は回避される。摩耗に基づく塵埃の発生は確実に回避される。

第２発明によれば、ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、板部材の先端から前方に延びるロードタブと、ロードタブの付け根で所定の湾曲線に沿って立ち上がる２片の湾曲リブとを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンションが提供される。

こうしたヘッドスライダ用サスペンションでは重量は低減されることができる。その結果、ヘッドスライダ用サスペンションの固有振動数は高められることができる。板部材の振動はこれまで以上に抑制されることができる。しかも、前述されるように、ロードタブはランプ部材に受け止められる。ロードタブには大きな負荷が発生する。ロードタブの付け根には所定の湾曲線に沿って立ち上がる２片の湾曲リブが形成される。湾曲リブに基づきロードタブにはこれまで以上に十分な剛性が確保されることができる。ロードタブの破損は確実に回避されることができる。こうした湾曲リブは例えば絞り加工に基づき形成される。その一方で、例えばステンレス鋼といった金属材料の絞り加工は難しい。例えばステンレス鋼の板材に絞り加工が実施される場合、板材の形状や板厚は大きく制限されてしまう。その結果、ステンレス鋼の板材の絞り加工の実施にあたってコストは増大してしまう。

以上のように本発明によれば、これまで以上に振動を抑制することができるヘッドスライダ用サスペンションが提供されることができる。

以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。

図１は、記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は箱形の筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は、例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する箱形のベース１３を備える。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。ベース１３には蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。

収容空間には、記録ディスクとしての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。

収容空間にはヘッドアクチュエータ１６がさらに収容される。このヘッドアクチュエータ１６はアクチュエータブロック１７を備える。アクチュエータブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に装着される。アクチュエータブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる剛体のアクチュエータアーム１９が区画される。周知の通り、複数枚の磁気ディスク１４が筐体本体１２内に組み込まれる場合には、隣接する磁気ディスク１４同士の間に１つのアクチュエータアーム１９が配置される。アクチュエータブロック１７は例えば鋳造に基づきアルミニウム合金から成型されればよい。

アクチュエータアーム１９の先端にはヘッドサスペンションアセンブリ２１が取り付けられる。ヘッドサスペンションアセンブリ２１はヘッドスライダ用サスペンションすなわちヘッドサスペンション２２を備える。ヘッドサスペンション２２はアクチュエータアーム１９の先端から前方に向かって延びる。ヘッドサスペンション２２の前端には浮上ヘッドスライダ２３が支持される。浮上ヘッドスライダ２３は磁気ディスク１４の表面に向き合わせられる。

浮上ヘッドスライダ２３にはいわゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子（図示されず）が搭載される。この電磁変換素子は、例えば、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク１４から情報を読み出す巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった読み出し素子（図示されず）と、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁気ディスク１４に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子（図示されず）とで構成されればよい。

浮上ヘッドスライダ２３には、後述されるように、磁気ディスク１４の表面に向かってヘッドサスペンション２２から押し付け力が作用する。その一方で、磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で空気流が生成されると、浮上ヘッドスライダ２３には浮力が作用する。ヘッドサスペンション２２の押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２３は浮上し続けることができる。周知の通り、複数枚の磁気ディスク１４が筐体本体１２内に組み込まれる場合には、隣接する磁気ディスク１４同士の間に配置されるアクチュエータアーム１９には２つのヘッドサスペンションアセンブリ２１が取り付けられる。

アクチュエータブロック１７には動力源すなわちボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２４が接続される。このＶＣＭ２４の働きでアクチュエータブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたアクチュエータブロック１７の回転に基づきアクチュエータアーム１９およびヘッドサスペンション２２の揺動は実現される。浮上ヘッドスライダ２３の浮上中に支軸１８回りでアクチュエータアーム１９が揺動すると、浮上ヘッドスライダ２３は半径方向に磁気ディスク１４の表面を横切ることができる。こうした浮上ヘッドスライダ２３の半径方向移動に基づき電磁変換素子は目標の記録トラックに位置決めされる。

ヘッドサスペンション２２の先端には、ヘッドサスペンション２２の先端から前方に延びるロード部材すなわちロードタブ２５が区画される。ロードタブ２５はヘッドアクチュエータ１６の揺動に基づき磁気ディスク１４の半径方向に移動することができる。ロードタブ２５の移動経路上には磁気ディスク１４の外側でランプ部材２６が配置される。ロードタブ２５はランプ部材２６の表面に受け止められる。ランプ部材２６は、磁気ディスク１４の外側でベース１３の底板に例えばねじ留めされればよい。ランプ部材２６およびロードタブ２５は協働でいわゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材２６は例えば硬質プラスチック材料から成型されればよい。

図１から明らかなように、アクチュエータブロック１７上には、プリント基板すなわちフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）ユニット２７が配置される。ＦＰＣ基板ユニット２７にはヘッドＩＣ（集積回路）すなわちプリアンプＩＣ２８が実装される。磁気情報の読み出し時には、このプリンアンプＩＣ２８から電磁変換素子の読み出しヘッド素子に向けてセンス電流は供給される。同様に、磁気情報の書き込み時には、プリアンプＩＣ２８から電磁変換素子の書き込みヘッド素子に向けて書き込み電流は供給される。ＦＰＣ基板ユニット２７上のプリアンプＩＣ２８には、収容空間内に配置される小型の回路基板２９や、ベース１３の底板の裏側に取り付けられるプリント配線基板（図示されず）からセンス電流や書き込み電流は供給される。

こうしたセンス電流や書き込み電流の供給にあたってフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）３１が用いられる。ＦＰＣ３１は個々の浮上ヘッドスライダ２３ごとに配置される。ＦＰＣ３１は、例えばステンレス鋼といった金属薄板と、金属薄板上に順番に積層される絶縁層、導電層および保護層とを備える。導電層は、ＦＰＣ３１上で延びる配線パターンを構成する。導電層には例えばＣｕといった導電材料が用いられればよい。絶縁層および保護層には例えばポリイミド樹脂といった樹脂材料が用いられればよい。

ＦＰＣ３１上の配線パターンは浮上ヘッドスライダ２３に接続される。ＦＰＣ３１はヘッドサスペンション２２上に例えば接着剤に基づき貼り付けられればよい。ＦＰＣ３１はヘッドサスペンション２２からアクチュエータアーム１９の側面に沿って後方に延びる。ＦＰＣ３１は他端でＦＰＣ基板ユニット２７に連結される。配線パターンはＦＰＣ基板ユニット２７上の配線パターンに接続される。こうして浮上ヘッドスライダ２３およびＦＰＣ基板ユニット２７は電気的に接続される。

図２に示されるように、ヘッドサスペンションアセンブリ２１は、アクチュエータアーム１９の先端に受け止められるベース板４１と、ベース板４１から前方に所定の間隔で隔てられる板部材４２とを備える。ベース板４１は例えばかしめに基づきアクチュエータアーム１９に固定されればよい。ベース板４１および板部材４２はステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される。金属材料には例えばアルミニウムやマグネシウムが含まれる。ここでは、金属材料には例えばアルミニウム合金が用いられればよい。板部材４２は例えば絞り加工に基づき１枚の板材から一体成形される。ただし、ベース板４１はその他の金属材料から構成されてもよい。

ベース板４１の表面および板部材４２の表面にはフレキシャ４３が固定される。フレキシャ４３はベース板４１の前端および板部材４２の後端の間で弾性変形部４４を区画する。こうしてフレキシャ４３はベース板４１および板部材４２を連結する。フレキシャ４３はベース板４１の表面および板部材４２の表面の全面にわたって広がればよい。フレキシャ４３の表面には浮上ヘッドスライダ２３が固定される。同様に、フレキシャ４３の表面には前述のＦＰＣ３１が貼り付けられる。ここでは、ベース板４１、板部材４２およびフレキシャ４３がヘッドサスペンション２２を構成する。

板部材４２は、弾性変形部４４との境界から前端に向かって先細る本体４５と、本体４５の前端に区画されるロードタブ２５とから構成される。板部材４２には外縁から立ち上がるリブ４６が区画される。リブ４６は板部材４２の裏面からほぼ直立する。リブ４６は、本体４５を挟み込む２片の第１リブ４６ａ、４６ａと、ロードタブ２５を取り囲む第２リブ４６ｂとを区画する。第１および第２リブ４６ａ、４６ｂは２片の湾曲リブ４６ｃ、４６ｃで接続される。湾曲リブ４６ｃは、ロードタブ２５の付け根から所定の湾曲線に沿って立ち上がる。

図３を併せて参照し、フレキシャ４３は、ベース板４１および板部材４２の表面に固定される支持板４７と、表面で浮上ヘッドスライダ２３を受け止める固定板４８とを区画する。弾性変形部４４は支持板４７に区画される。浮上ヘッドスライダ２３は支持板３３の表面に接着されればよい。支持板４７と固定板４８とがいわゆるジンバルばね４９で接続される。支持板４７、固定板４８およびジンバルばね４９は１枚の板ばね材から形成されればよい。板ばね材は例えば均一な板厚のステンレス鋼から構成されればよい。

板部材４２およびフレキシャ４３の固定にあたって、板部材４２の表面およびフレキシャ４３の裏面の間には粘弾性部材５１が挟み込まれる。粘弾性部材５１は、フレキシャ４３上で弾性変形部４４の前端と支持板４８の間に配置される。ここでは、粘弾性部材５１には例えば両面テープが用いられればよい。両面テープは、例えば基材と、基材の表裏面に積層形成される接着層とを備えればよい。基材には例えばＶＥＭといった粘弾性材料が用いられればよい。

図４を併せて参照し、フレキシャ４３の弾性変形部４４はベース板４１の前端から板部材４２の後端に向かって湾曲する。こうしてベース板４１の表面に沿って規定される仮想平面は、板部材４２の表面に沿って規定される仮想平面に所定の交差角で交差する。こうして板部材４２はベース板４１から離れるにつれて磁気ディスク１４の表面に近づく。粘弾性部材５１に基づきフレキシャ４３が板部材４２の表面に固定されると、支持板４８の裏面は、板部材４２の表面に形成されるドーム状の突起５２に受け止められる。

こういったヘッドサスペンションアセンブリ２１では、フレキシャ４７の弾性変形部４４は湾曲に基づき所定の弾性力すなわち曲げ力を発揮する。この曲げ力の働きで板部材４２の前端には磁気ディスク１４の表面に向かう押し付け力が付与される。この押し付け力は突起５２の働きで支持板４８の背後から浮上ヘッドスライダ２３に作用する。浮上ヘッドスライダ２３は、気流の働きで生成される浮力に基づき姿勢を変化させることができる。突起５２は浮上ヘッドスライダ２３すなわち支持板４８の姿勢変化を許容する。

以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ２１では、ベース板４１や板部材４２は、ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される。ヘッドサスペンション２２の重量は低減されることができる。板部材４２に例えばアルミニウム合金が用いられれば、板部材４２にステンレス鋼が用いられる場合に比べて、弾性変形部４４の前端から前方の質量は半分に低減されることができる。その結果、ヘッドサスペンション２２の固有振動数は高められることができる。同時に、後述されるように、ヘッドサスペンションアセンブリ２１の慣性モーメントは低減される。浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は目標の記録トラックにこれまで以上に短時間で位置決めされることができる。同様に、質量が低減されれば、後述されるように、ヘッドサスペンションアセンブリ２１の耐衝撃性は高められることができる。

しかも、板部材４２の表面およびフレキシャ４３の裏面の間には粘弾性部材５１が挟み込まれる。こうして板部材４２およびフレキシャ４３のうち、一方は基材として、他方は拘束材として機能することができる。すなわち、板部材４２、フレキシャ４３および粘弾性部材５１はいわゆる拘束型の制振材として機能することができる。こうして、磁気ディスク１４の回転中に磁気ディスク１４の表面に沿って生成される気流の流速が増大しても、粘弾性部材５１の働きで板部材４２やフレキシャ４３の振動は抑制される。電磁変換素子は目標の記録トラックに正確に位置決めされることができる。磁気情報の読み出しや書き込みは正確に実施される。

加えて、ロードアンロード機構では、磁気ディスク１４の静止時、ロードタブ２５はランプ部材２６の表面に受け止められる。このとき、ロードタブ２６にはヘッドサスペンション２２の押し付け力が作用する。ロードタブ２５の付け根には大きな負荷が発生する。ロードタブ２５すなわち板部材４２にはリブ４６が形成される。特に、ロードタブ２５の付け根には例えば絞り加工に基づき所定の湾曲線に沿って立ち上がる２片の湾曲リブ４６ｃ、４６ｃが形成される。したがって、湾曲リブ４６ｃに基づきロードタブ２５にはこれまで以上に十分な剛性が確保されることができる。ロードタブ２５の破損は確実に回避されることができる。その一方で、例えばステンレス鋼といった金属材料の絞り加工は難しい。例えばステンレス鋼の板材に絞り加工が実施される場合、板材の形状や板厚は大きく制限されてしまう。その結果、ステンレス鋼の板材の絞り加工の実施にあたってコストは増大してしまう。

ここで、例えばアルミニウム合金の質量はステンレス鋼の質量に比べて３分の１程度に設定される。剛性の確保の観点から、ベース板４１や板部材４２の板厚は、ステンレス鋼製のベース板や板部材の板厚に比べて１．５倍程度に設定されればよい。こうしてベース板４１や板部材４２の質量はステンレス鋼製のベース板や板部材の質量に比べて２分の１程度に設定されることができる。同時に、ベース板４１や板部材４２の剛性はステンレス鋼製のベース板や板部材の剛性と同等に維持される。こうしてヘッドアクチュエータ１６の慣性モーメントはこれまでのヘッドアクチュエータに比べて１５％以上低減されることができる。浮上ヘッドスライダ２３上の電磁変換素子は目標の記録トラックにこれまで以上に短時間で位置決めされることができる。

本発明者は固有振動数を算出した。アルミニウム合金製のヘッドサスペンション２２とステンレス鋼製のヘッドサスペンションが比較された。その結果、ステンレス鋼製のヘッドサスペンションの固有振動数に比べて、アルミニウム合金製のヘッドサスペンション２２の固有振動数は２０％〜５０％程度高められることが確認された。こうした固有振動数は有限要素法に基づき算出された。

本発明者はシミュレーションに基づきヘッドサスペンションアセンブリ２１の耐衝撃性を検証した。検証にあたってアルミニウム合金製のヘッドサスペンションアセンブリ２１の離脱加速度とステンレス製のヘッドサスペンションアセンブリの離脱加速度とが比較された。浮上ヘッドスライダにこの離脱加速度以上の加速度の衝撃が作用すると、ヘッドサスペンションは磁気ディスクの表面から跳ね上がる。その反動で浮上ヘッドスライダは磁気ディスクに衝突する。したがって、離脱加速度が大きいほど、高い耐衝撃性は実現される。

離脱加速度の算出にあたって、アルミニウム合金製のヘッドサスペンションアセンブリでは、弾性変形部の前端から前方の質量すなわち等価質量は１．６８ｍｇに設定された。ステンレス鋼製のヘッドサスペンションアセンブリでは、弾性変形部の前端から前方の質量すなわち等価質量は３．０５ｍｇに設定された。いずれのヘッドサスペンションアセンブリでもヘッドサスペンションの押し付け力すなわち荷重は２ｇに設定された。

その結果、ステンレス鋼製のヘッドサスペンションでは６５６Ｇの離脱加速度が算出された。アルミニウム合金製のヘッドサスペンションアセンブリ２１では１１９０Ｇの離脱加速度が算出された。アルミニウム合金製のヘッドサスペンションアセンブリ２１では、ステンレス鋼製のヘッドサスペンションアセンブリに比べて２倍程度の離脱加速度が得られることが確認された。耐衝撃性の性能は向上することが確認された。

以上のようなヘッドサスペンションアセンブリ２１では、板部材４２の少なくとも表面に金属保護膜が形成されてもよい。形成にあたって例えば無電解めっきが実施されればよい。金属保護膜には例えばＮｉ膜が用いられればよい。同様に、板部材４２の少なくとも表面には例えば炭素保護膜が形成されてもよい。炭素保護膜には例えばＤＬＣ膜が用いられればよい。こういった金属保護膜や炭素保護膜の働きでロードタブ２５の表面や突起５２の表面の硬度は高められる。ランプ部材２６およびロードタブ２５の間や突起５２および支持板４８の間で摩耗は回避される。摩耗に基づく塵埃の発生は確実に回避されることができる。その他、金属保護膜や炭素保護膜は板部材４２の全面にわたって形成されてもよい。

その他、例えば図５に示されるように、前述のロードタブ２５や突起５２に代えて、板部材４２にはステンレス鋼製のロードタブ２５ａや突起５２ａが固定されてもよい。すなわち、ロードタブ２５ａや突起２５ａは本体４５と別体で構成されてもよい。ロードタブ２５ａや突起５２ａは板部材４２の表面に例えばレーザ（ＹＡＧ）溶接や超音波接合に基づき接合されればよい。こうしたステンレス鋼製のロードタブ２５ａや突起５２ａによればランプ部材２６や支持板４８との間で摩耗は回避されることができる。

図６に示されるように、フレキシャ４３にはその裏面から立ち上がる板片５３が形成されてもよい。板片５３はフレキシャ４３の裏面で粘弾性部材５１の外側に配置されればよい。こうした板片５３はフレキシャ４３に一体に形成されればよい。板片５３の先端は折れ曲がりに基づき板部材４２の表面に沿って延びる。ここでは、板片５３の先端は板部材４２の表面に平行に延びればよい。図７を併せて参照し、板片５３は、板部材４２に区画されて板部材４２を貫通する開口５４に受け入れられる。こうして板片５３の先端は板部材４２の裏面に受け止められる。

ヘッドアクチュエータ１６が磁気ディスク１４の外側に待避する際、ロードタブ２５はランプ部材２６の傾斜面を登っていく。ヘッドサスペンション２２には弾性復元力が蓄積されていく。こうしてロードタブ２５は磁気ディスク１４の表面から引き離される。このとき、板部材４２およびフレキシャ４３の間には引き剥がし力が働く。板片５３の働きで板部材４２および粘弾性部材５１の間、粘弾性部材５１およびフレキシャ４３の間で引き剥がしは確実に回避される。ヘッドサスペンションアセンブリ２１の破損は確実に回避される。

その他、図８に示されるように、板部材４２の表面に板片５５が形成されてもよい。板片５５の先端は折れ曲がりに基づきフレキシャ４３の表面に沿って延びる。ここでは、板片５５の先端はフレキシャ４３の表面に平行に延びればよい。板片５５は板部材４２に一体に形成されればよい。板片５５は、フレキシャ４３に区画されてフレキシャ４３を貫通する開口５６に受け入れられる。こうして板片５５の先端はフレキシャ４３の表面に受け止められる。こうした板片５５の働きで、前述と同様に、板部材４２および粘弾性部材５１の間、粘弾性部材５１およびフレキシャ４３の間で引き剥がしは確実に回避される。

図９に示されるように、板部材４２およびフレキシャ４３は、所定の領域５７で例えば超音波接合やレーザ（ＹＡＧ）溶接に基づき接合されてもよい。領域５７は板部材４２およびフレキシャ４３の間で粘弾性部材５１の外側に規定される。図１０を併せて参照し、接合にあたって、板部材４２の表面には突部５８が形成される。突部５８は板部材４２に一体に形成されればよい。突部５８の高さは粘弾性部材５１の厚みに一致すればよい。こうして突部５８の頂上面およびフレキシャ４３の裏面の間で接合が実施されればよい。こうした接合によれば、板部材４２および粘弾性部材５１の間、粘弾性部材５１およびフレキシャ４３の間で引き剥がしは確実に回避される。その他、突部５８はフレキシャ４３の裏面に形成されてもよい。

その他、板部材４１およびフレキシャ４３はいわゆるウナマウント（ｕｎａｍｏｕｎｔ）アームに取り付けられてもよい。ウナマウントアームは１枚のステンレス鋼板から形成される。ステンレス鋼板は前述のアクチュエータアームを区画する。ステンレス鋼板には貫通孔が形成される。ウナマウントアームは貫通孔で支軸を受け入れる。支軸には複数のウナマウントアームが回転自在に取り付けられる。隣接するウナマウントアーム同士の間には支軸回りにスペーサが挟み込まれる。こうしたウナマウントアームは例えば１インチや１．８インチタイプのＨＤＤに組み込まれる。

（付記１） ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、裏面で板部材の表面に固定されるフレキシャと、板部材の表面およびフレキシャの裏面の間に挟み込まれる粘弾性部材とを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記２） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記フレキシャの裏面から立ち上がりつつ前記板部材の表面に沿って延び、先端で前記板部材の裏面に受け止められる板片をさらに備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記３） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の表面から立ち上がりつつ前記フレキシャの表面に沿って延び、先端で前記フレキシャの表面に受け止められる板片をさらに備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記４） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の表面および前記フレキシャの裏面は前記粘弾性部材の外側で超音波接合に基づき接合されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記５） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の表面および前記フレキシャの裏面は前記粘弾性部材の外側で溶接に基づき接合されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記６） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材には金属保護膜が形成されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記７） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材には炭素保護膜が形成されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記８） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の先端にはステンレス鋼製のロードタブが固定されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記９） 付記１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の表面には前記フレキシャの裏面を受け止めるステンレス鋼製の突起が固定されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

（付記１０） ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、板部材の先端から前方に延びるロードタブと、ロードタブの付け根で所定の湾曲線に沿って立ち上がる２片の湾曲リブとを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の構造を概略的に示す平面図である。 本発明の一具体例に係るヘッドスライダ用サスペンションの拡大斜視図である。 本発明の一具体例に係るヘッドスライダ用サスペンションの拡大分解斜視図である。 本発明の一具体例に係るヘッドスライダ用サスペンションの側面図である。 本発明の一変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大側面図である。 本発明の他の変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大断面図である。 本発明の他の変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大平面図である。 本発明のさらに他の変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大断面図である。 本発明のさらに他の変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大平面図である。 本発明のさらに他の変形例に係るヘッドスライダ用サスペンションの部分拡大断面図である。

符号の説明

２２ ヘッドスライダ用サスペンション、２５ ロードタブ、２５ａ ロードタブ、４２ 板部材、４３ フレキシャ、４６ｃ 湾曲リブ、５１ 粘弾性部材、５３ 板片、５５ 板片、５２ａ 突起。

Claims (5)

1. ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、裏面で板部材の表面に固定されるフレキシャと、板部材の表面およびフレキシャの裏面の間に挟み込まれる粘弾性部材とを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。
2. 請求項１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記フレキシャの裏面から立ち上がりつつ前記板部材の表面に沿って延び、先端で前記板部材の裏面に受け止められる板片をさらに備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。
3. 請求項１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材の表面および前記フレキシャの裏面は前記粘弾性部材の外側で超音波接合に基づき接合されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。
4. 請求項１に記載のヘッドスライダ用サスペンションにおいて、前記板部材には金属保護膜が形成されることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。
5. ステンレス鋼より軽量の金属材料から構成される板部材と、板部材の先端から前方に延びるロードタブと、ロードタブの付け根で所定の湾曲線に沿って立ち上がる２片の湾曲リブとを備えることを特徴とするヘッドスライダ用サスペンション。

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