JP2007019239A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007019239A5
JP2007019239A5 JP2005198806A JP2005198806A JP2007019239A5 JP 2007019239 A5 JP2007019239 A5 JP 2007019239A5 JP 2005198806 A JP2005198806 A JP 2005198806A JP 2005198806 A JP2005198806 A JP 2005198806A JP 2007019239 A5 JP2007019239 A5 JP 2007019239A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
plate
tension
sticking
feeding unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005198806A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4441450B2 (ja
JP2007019239A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2005198806A external-priority patent/JP4441450B2/ja
Priority to JP2005198806A priority Critical patent/JP4441450B2/ja
Priority to CN2006800243238A priority patent/CN101213647B/zh
Priority to KR1020077030784A priority patent/KR101229856B1/ko
Priority to PCT/JP2006/312685 priority patent/WO2007007531A1/ja
Priority to US11/994,911 priority patent/US7789121B2/en
Priority to DE112006001813T priority patent/DE112006001813T5/de
Priority to TW095123387A priority patent/TWI395285B/zh
Publication of JP2007019239A publication Critical patent/JP2007019239A/ja
Publication of JP2007019239A5 publication Critical patent/JP2007019239A5/ja
Publication of JP4441450B2 publication Critical patent/JP4441450B2/ja
Application granted granted Critical
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2005198806A 2005-07-07 2005-07-07 シート貼付装置及び貼付方法 Expired - Fee Related JP4441450B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005198806A JP4441450B2 (ja) 2005-07-07 2005-07-07 シート貼付装置及び貼付方法
US11/994,911 US7789121B2 (en) 2005-07-07 2006-06-26 Sheet sticking apparatus and sticking method
KR1020077030784A KR101229856B1 (ko) 2005-07-07 2006-06-26 시트 첩부장치 및 첩부방법
PCT/JP2006/312685 WO2007007531A1 (ja) 2005-07-07 2006-06-26 シート貼付装置及び貼付方法
CN2006800243238A CN101213647B (zh) 2005-07-07 2006-06-26 薄片粘贴装置及粘贴方法
DE112006001813T DE112006001813T5 (de) 2005-07-07 2006-06-26 Folien-Anklebeeinrichtung und Anklebeverfahren
TW095123387A TWI395285B (zh) 2005-07-07 2006-06-28 Sheet attachment and attachment method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005198806A JP4441450B2 (ja) 2005-07-07 2005-07-07 シート貼付装置及び貼付方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2007019239A JP2007019239A (ja) 2007-01-25
JP2007019239A5 true JP2007019239A5 (enExample) 2009-11-05
JP4441450B2 JP4441450B2 (ja) 2010-03-31

Family

ID=37636928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005198806A Expired - Fee Related JP4441450B2 (ja) 2005-07-07 2005-07-07 シート貼付装置及び貼付方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7789121B2 (enExample)
JP (1) JP4441450B2 (enExample)
KR (1) KR101229856B1 (enExample)
CN (1) CN101213647B (enExample)
DE (1) DE112006001813T5 (enExample)
TW (1) TWI395285B (enExample)
WO (1) WO2007007531A1 (enExample)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4452691B2 (ja) 2005-08-04 2010-04-21 リンテック株式会社 シート切断装置及び切断方法
CN101238569B (zh) 2005-08-11 2010-04-07 琳得科株式会社 薄片粘贴装置及粘贴方法
JP4795772B2 (ja) 2005-10-24 2011-10-19 リンテック株式会社 シート切断用テーブル及びシート貼付装置
JP4868591B2 (ja) * 2007-02-23 2012-02-01 株式会社タカトリ 基板へのテープの貼付方法及び装置
JP4963613B2 (ja) * 2007-02-27 2012-06-27 リンテック株式会社 シート貼付装置、シート貼付方法
JP2008270543A (ja) * 2007-04-20 2008-11-06 Disco Abrasive Syst Ltd 接着フィルムの貼着方法
JP5113599B2 (ja) * 2008-04-08 2013-01-09 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法
JP4913772B2 (ja) * 2008-04-16 2012-04-11 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法
JP5596446B2 (ja) * 2010-07-12 2014-09-24 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法
JP5554166B2 (ja) * 2010-07-12 2014-07-23 リンテック株式会社 シート貼付装置
JP5261534B2 (ja) * 2011-05-18 2013-08-14 リンテック株式会社 検査装置
JP6002551B2 (ja) * 2012-11-14 2016-10-05 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法、並びに、押圧装置及び押圧方法
JP6148903B2 (ja) * 2013-05-28 2017-06-14 リンテック株式会社 シート貼付装置および貼付方法
JP6216582B2 (ja) * 2013-09-13 2017-10-18 リンテック株式会社 シート貼付装置および貼付方法
JP6543140B2 (ja) * 2015-08-31 2019-07-10 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7278930B2 (ja) * 2019-11-29 2023-05-22 川崎重工業株式会社 保持装置、ロボット、及びロボットシステム
JP7457524B2 (ja) * 2020-02-21 2024-03-28 株式会社ディスコ 剥離装置
JP6857763B2 (ja) * 2020-03-17 2021-04-14 リンテック株式会社 シート貼付装置および貼付方法
JP7490517B2 (ja) * 2020-09-29 2024-05-27 リンテック株式会社 貼付装置および貼付方法
CN112331589B (zh) * 2020-10-26 2023-08-22 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 一种辊压单元、划槽晶圆分离装置及划槽晶圆分离方法
KR102692146B1 (ko) * 2021-02-04 2024-08-06 한미반도체 주식회사 마스킹 테이프 박리장치
JP7682636B2 (ja) * 2021-02-05 2025-05-26 株式会社東京精密 ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06268047A (ja) 1993-03-16 1994-09-22 Sharp Corp 半導体レーザチップの供給方法及び供給装置
JP3447518B2 (ja) * 1996-08-09 2003-09-16 リンテック株式会社 接着シート貼付装置および方法
JP2004047976A (ja) 2002-05-21 2004-02-12 Nitto Denko Corp 保護テープ貼付方法およびその装置
ITFI20020088A1 (it) * 2002-05-29 2003-12-01 Perini Fabio Spa Dispositivo e metodo per il controllo della tensione di un materiale nastrifore
JP4444619B2 (ja) * 2003-10-10 2010-03-31 リンテック株式会社 マウント装置及びマウント方法
JP4276049B2 (ja) 2003-10-31 2009-06-10 リンテック株式会社 貼合装置及び貼合方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007019239A5 (enExample)
WO2009066703A1 (ja) 合紙除去装置、板取装置とその方法
CA2636928A1 (en) Press-forming device and press-forming method
TW200738084A (en) Method and device for sticking film
TW200738546A (en) Method for affixing adhesive tape to semiconductor wafer, and apparatus using the same
CN101213647B (zh) 薄片粘贴装置及粘贴方法
ATE387392T1 (de) Aufzeichnungsvorrichtung und verfahren zur erfassung der position der endkante eines aufzeichnungsmaterials& x9;& x9;& x9;
TW200640681A (en) Apparatus and method for coating a metal support material
TW200727329A (en) Sticking equipment
EP1914086A3 (en) A sheet feeding unit
TW200729322A (en) Sheet adhering apparatus and sheet adhering method
WO2009024739A3 (en) Method and apparatus for driving a pile into a substrate
JP2003192183A5 (enExample)
EP1914082A3 (en) Thermal printer
EP1721846A3 (en) Separation pad, and media separator and media separator mechanism using same
JP2006131349A5 (enExample)
EP1602500A3 (en) Thermal activation device and method of conveying sheet material
WO2008025479A3 (de) Vorhangbeschichtungsverfahren sowie eine dafür verwendete vorrichtung
JP2007019240A5 (enExample)
CA2627553A1 (en) Method and device for mounting soft member
TW200611817A (en) Adhesive film sticking apparatus
JP2007261694A5 (enExample)
CN101096217A (zh) 粘合带粘贴装置
EP1826017A3 (en) Head support structure, printing device, thermally activating device, and printer
EP1683643A3 (en) Read/write processing device with paper release on jam detection