JP2007003861A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007003861A5
JP2007003861A5 JP2005184488A JP2005184488A JP2007003861A5 JP 2007003861 A5 JP2007003861 A5 JP 2007003861A5 JP 2005184488 A JP2005184488 A JP 2005184488A JP 2005184488 A JP2005184488 A JP 2005184488A JP 2007003861 A5 JP2007003861 A5 JP 2007003861A5
Authority
JP
Japan
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005184488A
Other versions
JP2007003861A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005184488A priority Critical patent/JP2007003861A/ja
Priority claimed from JP2005184488A external-priority patent/JP2007003861A/ja
Priority to KR1020077030218A priority patent/KR20080016883A/ko
Priority to CNA2006800228187A priority patent/CN101218544A/zh
Priority to US11/922,724 priority patent/US20090201482A1/en
Priority to PCT/JP2006/312937 priority patent/WO2006137582A1/en
Priority to TW095122598A priority patent/TW200707122A/zh
Publication of JP2007003861A publication Critical patent/JP2007003861A/ja
Publication of JP2007003861A5 publication Critical patent/JP2007003861A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2005184488A 2005-06-24 2005-06-24 露光方法および装置 Withdrawn JP2007003861A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005184488A JP2007003861A (ja) 2005-06-24 2005-06-24 露光方法および装置
KR1020077030218A KR20080016883A (ko) 2005-06-24 2006-06-22 노광방법 및 노광장치
CNA2006800228187A CN101218544A (zh) 2005-06-24 2006-06-22 曝光方法和设备
US11/922,724 US20090201482A1 (en) 2005-06-24 2006-06-22 Exposure Method and Apparatus
PCT/JP2006/312937 WO2006137582A1 (en) 2005-06-24 2006-06-22 Exposure method and apparatus
TW095122598A TW200707122A (en) 2005-06-24 2006-06-23 Exposure method and apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005184488A JP2007003861A (ja) 2005-06-24 2005-06-24 露光方法および装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007003861A JP2007003861A (ja) 2007-01-11
JP2007003861A5 true JP2007003861A5 (ja) 2008-03-27

Family

ID=37570588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005184488A Withdrawn JP2007003861A (ja) 2005-06-24 2005-06-24 露光方法および装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20090201482A1 (ja)
JP (1) JP2007003861A (ja)
KR (1) KR20080016883A (ja)
CN (1) CN101218544A (ja)
TW (1) TW200707122A (ja)
WO (1) WO2006137582A1 (ja)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4845757B2 (ja) * 2007-02-02 2011-12-28 富士フイルム株式会社 描画装置及び方法
JP5258226B2 (ja) * 2007-08-10 2013-08-07 株式会社オーク製作所 描画装置および描画方法
TWI332266B (en) * 2007-08-31 2010-10-21 Au Optronics Corp Method for manufacturing a pixel structure of a liquid crystal display
JP5743886B2 (ja) * 2008-06-04 2015-07-01 マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ． ターゲットを露光するための方法およびシステム
US8390781B2 (en) * 2008-09-23 2013-03-05 Pinebrook Imaging Technology, Ltd. Optical imaging writer system
US8395752B2 (en) * 2008-09-23 2013-03-12 Pinebrook Imaging Technology, Ltd. Optical imaging writer system
US8670106B2 (en) 2008-09-23 2014-03-11 Pinebrook Imaging, Inc. Optical imaging writer system
KR101551777B1 (ko) * 2008-11-06 2015-09-10 삼성전자 주식회사 노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법
JP5009275B2 (ja) * 2008-12-05 2012-08-22 富士フイルム株式会社 マルチビーム露光走査方法及び装置並びに印刷版の製造方法
JP5078163B2 (ja) * 2008-12-05 2012-11-21 富士フイルム株式会社 マルチビーム露光走査方法及び装置並びに印刷版の製造方法
SG173615A1 (en) * 2009-12-22 2011-09-29 Jx Nippon Mining & Metals Corp Method for producing laminate, and laminate
JP5220793B2 (ja) * 2010-03-31 2013-06-26 富士フイルム株式会社 マルチビーム露光走査方法及び装置並びに印刷版の製造方法
WO2011122703A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-06 Fujifilm Corporation Multibeam exposure scanning method and apparatus, and method of manufacturing printing plate
JP5220794B2 (ja) * 2010-03-31 2013-06-26 富士フイルム株式会社 マルチビーム露光走査方法及び装置並びに印刷版の製造方法
JP5433524B2 (ja) * 2010-08-03 2014-03-05 株式会社日立ハイテクノロジーズ 露光装置及び露光方法並びに表示用パネル基板製造装置及び表示用パネル基板の製造方法
US9568831B2 (en) * 2012-01-17 2017-02-14 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
KR20140018027A (ko) * 2012-08-03 2014-02-12 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법
TWI671796B (zh) * 2014-12-05 2019-09-11 日商奧克製作所股份有限公司 曝光裝置
JP6425521B2 (ja) * 2014-12-05 2018-11-21 株式会社オーク製作所 露光装置
JP6486167B2 (ja) * 2015-03-30 2019-03-20 株式会社オーク製作所 露光装置、露光装置用測光装置、および露光方法
JP6425522B2 (ja) * 2014-12-05 2018-11-21 株式会社オーク製作所 露光装置
KR102255033B1 (ko) * 2015-01-13 2021-05-25 삼성디스플레이 주식회사 마스크리스 노광 장치 및 이를 이용한 마스크리스 노광 방법
JP2016136200A (ja) 2015-01-23 2016-07-28 株式会社東芝 半導体装置及び半導体装置の製造方法
CN105278262B (zh) * 2015-11-20 2017-10-10 合肥芯碁微电子装备有限公司 一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法
JP7023601B2 (ja) * 2016-11-14 2022-02-22 株式会社アドテックエンジニアリング ダイレクトイメージング露光装置及びダイレクトイメージング露光方法
JP7196271B2 (ja) * 2016-11-14 2022-12-26 株式会社アドテックエンジニアリング ダイレクトイメージング露光装置及びダイレクトイメージング露光方法
CN106773543A (zh) * 2016-12-31 2017-05-31 俞庆平 一种数字微镜器件的倾斜扫描时的工作方法
JP2019096637A (ja) * 2017-11-17 2019-06-20 株式会社小糸製作所 レーザー光源ユニット
KR20230113395A (ko) * 2021-03-09 2023-07-28 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 노광 방법 및 노광 장치
KR102627988B1 (ko) * 2021-07-28 2024-01-23 유버 주식회사 주변 노광 장치 및 방법
TWI778784B (zh) * 2021-09-08 2022-09-21 諾沛半導體有限公司 用於印刷電路板光聚合層的二階照光聚合設備
TWI778783B (zh) 2021-09-08 2022-09-21 李蕙如 用於印刷電路板光聚合層的二階照光聚合方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE465271A (ja) * 1941-12-31 1900-01-01
US2448828A (en) * 1946-09-04 1948-09-07 Du Pont Photopolymerization
US2722512A (en) * 1952-10-23 1955-11-01 Du Pont Photopolymerization process
NL227834A (ja) * 1957-05-17
US3046127A (en) * 1957-10-07 1962-07-24 Du Pont Photopolymerizable compositions, elements and processes
US3549367A (en) * 1968-05-24 1970-12-22 Du Pont Photopolymerizable compositions containing triarylimidazolyl dimers and p-aminophenyl ketones
JPS5928328B2 (ja) * 1977-11-29 1984-07-12 富士写真フイルム株式会社 光重合性組成物
JPS58218119A (ja) * 1982-06-14 1983-12-19 Hitachi Ltd パタ−ン形成方法
JPS6159830A (ja) * 1984-08-31 1986-03-27 Fujitsu Ltd 半導体装置の製造方法
JPS6236823A (ja) * 1985-08-10 1987-02-17 Fujitsu Ltd レジストパタ−ン形成方法
JPH01273030A (ja) * 1988-04-26 1989-10-31 Fujitsu Ltd 半導体装置の製造方法
JPH02238457A (ja) * 1989-03-10 1990-09-20 Nec Corp 厚膜フォトレジストパターンの形成方法
JPH07321015A (ja) * 1994-05-26 1995-12-08 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法
US6287899B1 (en) * 1998-12-31 2001-09-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Thin film transistor array panels for a liquid crystal display and a method for manufacturing the same
JP4294140B2 (ja) * 1999-01-27 2009-07-08 有限会社アプライドダイヤモンド ダイヤモンド薄膜の改質方法及びダイヤモンド薄膜の改質及び薄膜形成方法並びにダイヤモンド薄膜の加工方法
JP2000275416A (ja) * 1999-03-25 2000-10-06 Canon Inc 光学素子及び該素子を用いた光学系
KR100686228B1 (ko) * 2000-03-13 2007-02-22 삼성전자주식회사 사진 식각용 장치 및 방법, 그리고 이를 이용한 액정 표시장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법
US6960035B2 (en) * 2002-04-10 2005-11-01 Fuji Photo Film Co., Ltd. Laser apparatus, exposure head, exposure apparatus, and optical fiber connection method
JP3938714B2 (ja) * 2002-05-16 2007-06-27 大日本スクリーン製造株式会社 露光装置
EP1372005A3 (en) * 2002-06-07 2004-11-17 Fuji Photo Film Co., Ltd. Optical integrated circuit and method of fabrication
JP2004012903A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Fuji Photo Film Co Ltd 露光装置
JP2004009595A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Fuji Photo Film Co Ltd 露光ヘッド及び露光装置
US7053985B2 (en) * 2002-07-19 2006-05-30 Applied Materials, Isreal, Ltd. Printer and a method for recording a multi-level image
JP4273006B2 (ja) * 2004-01-09 2009-06-03 富士フイルム株式会社 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BE2012C042I2 (ja)
BRPI0601358B8 (pt) Aplicador de clipe cirúrgico
BRPI0601402B8 (pt) Aplicador de grampos cirúrgicos
BR122017004707A2 (ja)
BRPI0609157A8 (ja)
BRPI0608519A2 (ja)
BR122020005056A2 (ja)
JP2007003861A5 (ja)
AP2140A (ja)
BR122016029989A2 (ja)
BRPI0604219A (ja)
JP2007040315A5 (ja)
JP2005334637A5 (ja)
JP2006302509A5 (ja)
BRPI0618215B8 (ja)
JP2006301395A5 (ja)
JP2006201212A5 (ja)
CN105122969C (ja)
CN300725990S (zh) 鞋帮
CN300726697S (zh) 调料瓶套装(b)
CN300725995S (zh) 鞋帮
CN300725996S (zh) 鞋帮
CN300725997S (zh) 鞋帮
CN300726004S (zh) 鞋帮
CN300726591S (zh) 冷冰食品制作器