KR101551777B1 - 노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법 - Google Patents

노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 노광 데이터를 재정렬하여 새로운 노광 데이터를 생성하고, 생성된 새로운 노광 데이터를 압축하는 노광 장치의 구성과 방법으로 노광 데이터의 압축 효율을 향상시켜 실시간으로 노광을 수행할 수 있다.

Description

노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법{EXPOSURE APPARATUS AND METHOD TO COMPRESS EXPOSURE DATA}
본 발명은 노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노광 데이터를 압축하는 노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법에 관한 것이다.
일반적으로 노광 데이터에 근거하여 원하는 2차원 화상을 노광면상에 형성하는 여러 가지 노광 장치가 알려져 있다.
이러한 노광 장치로서, 디지털 마이크로 미러 장치(Digital Micromirror Device: 이하 DMD라고 함) 등의 공간 광 변조 소자를 이용하여 노광 데이터에 따라 공간 광 변조 소자에 광 빔을 변조하여 노광을 행하는 노광 장치가 있다.
DMD는 실리콘 등의 반도체 기판 상에 형성된 다수의 메모리 셀에 미소한 마이크로 미러를 2차원상에 다수 배치하여 구성되며, 노광 데이터에 따라 각 메모리 셀에 축적된 전하의 정전기력에 의해 마이크로 미러의 반사면의 각도를 변화시키고, 이 반사면의 각도 변화에 의해 노광면상의 원하는 위치에 노광점을 형성하여 화상을 형성시킨다.
이러한 노광 장치를 이용하여 노광을 행할 때에는 마이크로 미러 각각에 대한 온/오프 정보인 노광 데이터를 생성할 필요가 있다.
그러나, 노광 면적이 큰 경우 또는 노광 화상의 해상도가 높은 경우에는 노광 데이터의 양도 방대해지기 때문에 노광 데이터를 전송하려고 할 때 처리 속도가 저하되는 문제가 있다.
또한, 일반적인 압축 알고리즘으로 노광 데이터를 압축하게 되면, 노광 데이터의 압축 효율이 떨어져 압축 해지시간이 오래 걸리기 때문에 실시간으로 노광 데이터를 전송하기 어려운 문제가 있다.
본 발명의 사상은 노광 데이터를 재정렬하여 압축하는 노광 데이터의 압축방법을 제공함에 있다.
이를 위해 본 발명의 일실시예에 의한 노광 데이터의 압축방법은 화상 데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하고, 복수의 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성하고, 새로운 노광 데이터를 압축한다.
또한, 본 발명은 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전시키는 것을 더 포함한다.
여기서, 소정 각도는 90°이다.
그리고, 새로운 노광 데이터는 복수의 노광 데이터 중 같은 위치에 있는 노광 데이터를 조합하여 생성된 데이터이며, 같은 위치에 있는 노광 데이터는 같은 열 또는 같은 행에 있는 데이터이다.
또, 복수의 노광 데이터는 시간의 순서에 따라 나열된 데이터이다.
이를 위해 본 발명의 다른 실시예에 의한 노광 데이터의 압축방법은 화상데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하고, 복수의 노광 데이터 중 일부를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성하고, 새로운 노광 데이터를 압축한다.
또한, 본 발명은 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러의 수를 산출하는 것을 더 포함하고, 사용 가능한 마이크로 미러의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성 한다.
여기서, 사용 가능한 마이크로 미러의 수는 아래의 식을 이용하여 산출된다.
K=N*tanθ
여기서, K는 반복 노광 횟수, N은 사용 가능한 Y축의 마이크로 미러의 수, θ는 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도이다.
이를 위해 본 발명의 일실시예에 의한 노광 장치는 화상 데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하는 변환부와, 복수의 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성하는 제어부와, 새로운 노광 데이터를 압축하는 압축부를 포함한다.
또, 제어부는 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전시킨다.
그리고, 제어부는 새로운 노광 데이터를 생성하기 전, 복수의 노광 데이터 중 일부를 제외한다.
구체적으로 제어부는 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러의 수를 산출하고, 사용 가능한 마이크로 미러의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 압축 대상에서 제외한다.
상술한 바와 같이 노광 장치 및 노광 데이터의 압축방법에 따르면, 복수의 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한 후에 압축하면, 노광 품질을 저해하지 않으면서도 노광 데이터의 압축 효율을 향상시킬 수 있다.
따라서, 실시간으로 노광을 수행할 수 있다.
또한, 이와 같은 압축 방식을 활용하여 디지털 노광을 하게 되면, LCD, 반도 체 등 아날로그 노광 시에 발생하는 마스크의 교체시간 및 노광 시간 등을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 장치의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 1에서, 노광 장치(10)는 플랫 베드타입으로 형성되어 4개의 지지부(12)에 의해 지지되는 두꺼운 판상의 설치대(14)와, 설치대(14)의 상부에 설치되어 노광하고자 하는 대상물 즉, 기판(16)을 Y축 방향으로 이동시키면서 스캔기능을 하는 스테이지(18)와, 설치대(14)의 상면에 설치되어 스테이지(18) 이동방향을 따라 연장된 2개의 가이드(20)를 포함한다. 스테이지(18)는 그 길이방향이 스테이지(18) 이동방향을 향하도록 설치됨과 동시에 가이드(20)에 의해 왕복 이동 가능하게 지지되어 있다.
설치대(14)의 중앙부에는 스테이지(18)의 이동경로에 걸쳐지도록 ㄷ자 형상의 게이트(22)가 설치되며, 게이트(22)의 단부 각각은 설치대(14)의 양 측면에 고정되어 있다. 이 게이트(22)를 사이에 두고 일측에는 기판(16)에 노광되는 빔을 생성하기 위한 광학유닛(24)이 설치되고, 타측에는 기판(16)에 노광되는 빔을 측정하는 복수(예를 들면, 2개)의 측정부(26)가 설치되어 있다. 광학유닛(24) 및 측정부(26)는 게이트(22)에 각각 부착되고 스테이지(18)의 이동경로의 상방에 고정 배치되어 있다.
광학유닛(24)은 광원(30)에서 출사되는 레이저 광을 원하는 패턴에 따라 공 간 변조하고, 노광면(17)을 갖는 기판(16)에 이 변조된 레이저 광을 노광 빔으로서 조사하여 기판(16)을 노광시키는 복수의 노광 헤드(28)를 구비하며, 각각의 노광 헤드(28)는 광원(30)으로부터 인출된 광섬유(32)에 접속되어 있다.
광원(30)은 반도체 레이저와 반도체 레이저에서 출사되는 광을 조절하는 광학계를 포함하고, 광섬유(32)를 이용하여 레이저 광을 광학유닛(24)의 노광 헤드(28)의 입사측에 제공한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 광학유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2에서, 광학유닛(24)은 m행 n열(예를 들면, 2행 5열)의 대략 매트릭스 상으로 배열된 복수의 노광 헤드(28)를 포함한다.
노광 헤드(28)에 의한 노광영역(34)은 주사방향을 단변으로 하는 직사각형 형상이며, 스테이지(18)의 이동에 따라 기판(16)에는 노광 헤드(28)마다 밴드 형상의 노광완료영역(36)이 형성된다.
또한, 밴드 형상의 노광완료영역(36)이 주사 방향과 직교하는 방향으로 간극 없이 늘어서도록 라인상으로 배열된 각 행의 노광 헤드(28)의 각각은 배열 방향으로 소정 간격 벗어나게 배치되어 있다. 예를 들면 제1 행의 노광영역(34)과 제2 행의 노광영역(34) 사이의 노광할 수 없는 부분은 제2 행의 노광영역(34)에 의해 노광된다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 헤드의 개략적인 구성을 나타낸 사시도이다.
도 3에서, 각 노광 헤드(28)는 광섬유(32)의 광 출사단(38)에서 출사된 광을 보정하여 미러(44)로 출사하는 보정 렌즈계(40)와, 보정 렌즈계(40)로부터 출사되는 광을 디지털 마이크로 미러 디바이스(46, Digital Micro-mirror Device : 이하, DMD라고 함)로 반사하는 미러(44)와, 미러(44)로부터 반사되는 광을 부분적으로 다른 반사각으로 변조하여 일정한 패턴을 갖는 광 빔이 조사되도록 하는 DMD46) 및 DMD(46)에서 변조된 광 빔이 기판(16)의 노광면(17)에 결상되도록 하는 집광 렌즈계(48)를 포함한다.
보정 렌즈계(40)는 광 출사단(38)에서 출사된 광이 균일해지도록 하는 제1 보정 렌즈(41)와, 제1 보정 렌즈(41)를 통과한 광이 미러(44)에 집광되도록 하는 제2 보정 렌즈(42)로 이루어져, 광 출사단(38)에서 출사된 광이 균일한 광량 분포를 가지고 미러(44)로 입사되도록 한다.
미러(44)는 일면이 반사면으로 형성되어 보정 렌즈계(40)를 통과한 광을 DMD(46)로 반사한다.
DMD(46)는 입사된 광을 원하는 패턴에 따라 각 화소마다 변조하는 공간 광 변조 소자로서 제어신호에 따라 반사면의 각도가 변화되는 다수의 마이크로 미러(45)를 실리콘 등의 반도체 기판상에 L행×M열의 2차원상으로 배열한 미러 디바이스이다. DMD(46)를 노광면(17)에 따른 일정방향으로 주사함으로서 일정한 패턴을 가지는 광 빔을 집광 렌즈계(48)로 반사한다.
집광 렌즈계(48)는 제1 집광 렌즈(49)와 제2 집광 렌즈(50)로 이루어져, 제1 집광 렌즈(49)와 제2 집광 렌즈(50)의 사이 거리가 조절됨으로써 집광 렌즈계(48)를 통과한 패턴 광의 결상 위치가 조절되도록 한다. 이러한 집광 렌즈계(48)는 DMD(46)에서 변조된 광 빔이 기판(16)의 노광면(17)에 입사되도록 한다. 이에 따라, 노광하고자 하는 기판(16)의 노광면(17)에 형성되는 감광 재료는 경화되거나 연화된다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 DMD의 구성을 나타내는 확대 사시도이다.
도 4에서, DMD(46)는 메모리 셀(43) 상에 화소를 구성하는 다수의 마이크로 미러(45)를 격자상으로 배열한 미러 디바이스로서 마이크로 미러(45)의 표면에는 알루미늄 등의 반사율이 높은 재료가 증착되어 있다.
DMD(46)의 메모리 셀(43)에 제어 신호가 기록되면 마이크로 미러(45)가 대각선을 중심으로 해서 DMD(46)가 배치된 기판(16) 측에 대하여 일정각도(예를 들면, ±12˚)의 범위에서 기울어지며, 각 마이크로 미러(45)의 온/오프 제어는 후술하는 마이컴(70)에 의해 각각 제어된다. 온 상태의 마이크로 미러(45)에 의해 반사된 광은 노광 상태로 변조되어 집광 렌즈계(48)를 통해 노광면(17)에 빔을 노광시키고, 오프 상태의 마이크로 미러(45)에 의해 반사된 광은 비노광 상태로 변조되어 노광면(17)에 빔을 노광시키지 않게 된다.
또한, DMD(46)는 그 단변 방향이 주사 방향과 소정 각도를 이루도록 약간 기울여서 배치할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시예에 의한 DMD의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는 마이크로 미러(45)가 온 상태인 일정각도(+12˚)로 기울어진 상태를 나타내고, 도 5b는 마이크로 미러(45)가 오프 상태인 일정각도(-12˚)로 기울어진 상태를 나타낸다. 따라서, 마이컴(70)의 제어 신호에 따라 DMD(46)의 각 화소에 있어서의 마이크로 미러(45)의 경사를 제어함으로써 DMD(46)로 입사된 광 빔(B)은 각각의 마이크로 미러(45)의 경사 방향으로 반사된다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 장치의 제어 구성도 및 도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 일실시예에 의한 새로운 노광 데이터를 생성하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 6에서, 노광 장치는 입력부(60), 마이컴(70) 및 구동부(80)를 포함하여 구성된다.
입력부(60)는 2차원의 화상을 비트맵(Bitmap) 형식으로 변환한 화상 데이터를 마이컴(70)에 입력한다.
마이컴(70)은 노광 장치(10)의 전반적인 동작을 제어하는 컨트롤러로서, 변환부(72), 제어부(74) 및 압축부(76)를 포함한다.
변환부(72)는 도 7a와 같이, 화상 데이터를 시간의 순서에 따라 나열된 복수의 노광 데이터(제1 노광 데이터 ~ 제768 노광 데이터)로 변환한다.
이와 같이, 변환부(72)에서 화상 데이터를 시간의 순서에 따라 나열된 복수의 노광 데이터로 변환하는 이유는 화상은 하나의 노광 데이터만으로는 형성이 불가능하고 시간의 순서에 따라 나열된 복수의 노광 데이터가 조합되어야만 노광 점이 결합되어 화상을 형성할 수 있기 때문이다.
본 발명의 일실시예에 의한 제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중에서 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한다. 즉, 제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중에서 같은 위치 즉, 같은 열 또는 같은 행에 있는 노광 데이터를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한다.
도 7b를 참조하여 설명하면, 제어부(74)는 시간의 순서에 따라 나열된 768개의 노광 데이터 중에서 Y = 0에 위치한 X = 0 ~ X = 1023 위치의 노광 데이터(D1-1 ~ D768-1)를 각 노광 데이터마다 추출하여 조합함으로써 하나의 새로운 노광 데이터를 생성하고, 이러한 과정을 Y = 0 ~ Y = 767까지 반복하여 도 7c와 같이, 총 768개의 새로운 노광 데이터를 생성한다.
또한, 제어부(74)는 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전한다. 여기서, 소정 각도는 90도일 수 있다.
도 7d에서, 제어부(74)는 새로운 노광 데이터를 X, 시간축 트랜스포즈(transpose)하는데, 이처럼 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전하면, 소정 각도 회전된 노광 데이터에 대하여 중복되는 코드를 줄이는 압축 기법을 사용하여 압축을 수행할 수 있게 된다. 즉, 소정 각도 회전된 노광 데이터에 대하여 연속되는 정보가 있을 경우, 이를 한꺼번에 하나로 줄이는 방법을 사용하여 압축을 수행할 수 있게 되는 것이다.
도 7e와 같이, 제어부(74)는 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전하는 과정을 768개의 노광 데이터에 대하여 반복함으로써 768개의 노광 데이터를 생성한다.
압축부(76)는 소정 각도 회전된 노광 데이터를 압축한다.
압축부(76)에서 LZW(Lrmpel-Ziv-Welch) 알고리즘과 같은 압축 알고리즘을 사용해서 압축하면, Scan 방향(좌측→우측)에 반복되는 데이터가 증가하기 때문에 압 축 효율이 올라간다. 즉, Index가 감소하는 효과가 발생하며, 예를 들어, 좌측에 있는 0000111100101010100100101001과 같은 노광 데이터(새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전하기 전의 노광 데이터)가 우측에 있는 111111111111111110000011111111111과 같은 노광 데이터(새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전한 후의 노광 데이터)로 바뀌기 때문에 압축 효율이 증가한다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 새로운 노광 데이터를 나타낸 도면이다.
본 발명의 다른 실시예에 의한 제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중 일부를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성한다.
도 8a 및 도 8b를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 제어부(74)는 DMD(46)의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수(N)를 산출한다. 여기서, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수란 Y축에 해당하는 마이크로 미러(45)의 수를 말한다.
즉, DMD(46)는 그 단변 방향이 주사 방향과 소정 각도를 이루도록 약간 기울여서 배치되어 있어 DMD(46)에서 노광면(17)으로 노광을 할 때, 일정한 위치를 기준으로 노광 횟수가 반복되기 때문에 DMD(46)의 회전각도를 조절하면, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수를 산출할 수 있다.
보다 구체적으로, 제어부(74)는 아래의 [수학식 1]을 이용하여 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수를 산출하는데, K를 일정하게 고정시키고, DMD(46)의 회전각도를 조절하면, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수를 산출할 수 있게 된다.
[수학식 1]
K=N*tanθ
여기서, K는 반복 노광 횟수, N는 사용 가능한 Y축의 마이크로 미러의 수, θ는 DMD의 회전각도이다.
제어부(74)는 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수를 산출한 후, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성한다.
보다 상세하게 설명하면, 제어부(74)는 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 이외에 해당하는 노광 데이터(A1 영역, A2 영역)를 0으로 마스킹 처리한다. 이때, 노광 데이터를 0으로 마스킹 처리한다는 것은 마이크로 미러(45)의 정보를 0으로 변환한다는 의미이다.
도 8a에서 DMD의 회전각도가 θ₁일 때, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 즉, 사용 가능한 노광 데이터 영역(N₁)은 6개이고, 그 외의 영역(A1)은 각각 2개로서, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 이외에 해당하는 노광 데이터 영역인 A1영역은 0으로 마스킹 처리하며, 도 8b에서 DMD의 회전각도가 θ₂일 때, 사용 가능한 마이크로 미러의 수(45) 즉, 사용 가능한 노광 데이터 영역(N₂)은 4개이고, 그 외의 영역(A2)은 각각 3개로서, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 이외에 해당하는 노광 데이터 영역인 A2영역은 0으로 마스킹 처리한다.
이와 같이, DMD(46)의 회전각도의 증감에 따라 노광 데이터의 마스크 영역도 증감하기 때문에 DMD(46)의 회전각도를 조절하여 노광 데이터의 마스크 영역을 조 절하면, 사용하지 않는 마스크 영역은 0으로 마스킹할 수 있기 때문에 전체 노광 데이터의 양이 줄어들어 압축 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
이때, 노광 데이터의 압축 효율을 좋게 하기 위해서 마스크 영역을 증가시켜서 발생하는 노광 품질 문제는 집광 렌즈계(48)의 배율과 레이저의 파워를 조절하여 보완할 수 있다.
상세하게 서술하면, 제어부(74)는 노광 데이터를 제어할 수 있는 파라미터로 집광 렌즈계(48)의 배율을 조절할 수 있는데, 집광 렌즈계(48)의 배율을 줄이면 마이크로 미러(45)의 노광 지점 사이의 간격이 줄어들기 때문에 전체 노광 데이터의 양이 줄어들어 압축 효율이 좋아진다.
한편, 제어부(74)는 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성하는 방식과 노광 데이터 중 일부를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성하는 방식을 병행하여 노광 데이터를 압축할 수 있다.
상세하게 설명하면, 제어부(74)는 노광 데이터 중 일부를 제외하여 새로운 제1 노광 데이터를 생성한 후, 이 새로운 제1 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 제2 노광 데이터를 생성하여 압축하면, 노광 데이터의 Y축이 감소하고, 노광 데이터는 X축에 대하여 선의 모양처럼 정렬되기 때문에 전체 노광 데이터의 양을 더욱 감소시켜 압축 효율을 향상시킬 수 있다.
구동부(66)는 마이컴(70)의 제어 신호에 따라 노광면(17)에 원하는 패턴의 빔을 노광하도록 DMD(46)를 온/오프 구동한다.
이하, 상기와 같이 구성된 노광 데이터의 압축과정에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 의한 노광 데이터의 압축과정을 설명하기 위한 동작 흐름도로서, 도 9를 참조하면, 화상 데이터를 입력부(60)를 통해 마이컴(70)에 입력한다(100).
마이컴(70)의 변환부(72)는 화상 데이터를 복수의 노광 데이터로 변환(110)하여 제어부(74)로 전달한다.
제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중 일부를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한다(120).
구체적으로 설명하면, 제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중 같은 위치(같은 열 또는 같은 행)에 있는 노광 데이터를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한다.
다음으로, 제어부(74)는 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전한다(130).
상술한 바와 같이 노광 데이터를 소정 각도 회전한 후, 압축부(76)에서는 노광 데이터를 압축한다(140).
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 의한 노광 데이터의 압축과정을 설명하기 위한 동작 흐름도를 나타낸다.
도 10에 도시된 바와 같이, 화상 데이터를 입력부(60)를 통해 마이컴(70)에 입력한다(200).
마이컴(70)의 변환부(72)는 화상데이터를 복수의 노광 데이터로 변환(210)하여 제어부(74)로 전달한다.
제어부(74)는 복수의 노광 데이터 중 일부를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성한다(220).
보다 구체적으로 설명하면, 제어부(74)는 DMD(46)의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수를 산출하고, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성한다.
이때, 사용 가능한 마이크로 미러(45)의 수는 아래의 [수학식 1]을 이용하여 산출된다.
[수학식 1]
K=N*tanθ
여기서, K는 반복 노광 횟수, N는 사용 가능한 Y축 마이크로 미러의 수, θ는 DMD의 회전각도이다.
다음으로, 생성된 새로운 노광 데이터를 압축부(76)에서 압축한다(230).
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 노광장치의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 광학유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 헤드의 개략적인 구성을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 DMD의 구성을 나타내는 확대 사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시예에 의한 DMD의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 장치의 제어 구성도이다.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 일실시예에 의한 새로운 노광 데이터를 생성하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 새로운 노광 데이터를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 의한 노광 데이터의 압축과정을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 의한 노광 데이터의 압축과정을 설명하기 위한 동작 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
16 : 기판 17 : 노광면
28 : 노광 헤드 45 : 마이크로 미러
46 : DMD 48 : 집광 렌즈계
72 : 변환부 74 : 제어부
76 : 압축부

Claims (13)

  1. 화상 데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하고,
    상기 복수의 노광 데이터를 시간 순서에 따라 나열하고,
    상기 시간 순서에 따라 나열된 복수의 노광 데이터 중 같은 열 또는 같은 행에 있는 노광 데이터를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성하고,
    상기 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전시키고,
    상기 새로운 노광 데이터를 압축하는 노광 데이터의 압축방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소정 각도는, 90°인 노광 데이터의 압축방법.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 화상데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하고,
    디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러의 수를 산출하고,
    상기 복수의 노광 데이터 중 상기 사용 가능한 마이크로 미러의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 제외하여 새로운 노광 데이터를 생성하고,
    상기 새로운 노광 데이터를 압축하되,
    상기 사용 가능한 마이크로 미러의 수는, 아래의 식을 이용하여 산출되는 노광 데이터의 압축방법.
    K=N*tanθ
    여기서, K는 반복 노광 횟수, N은 사용 가능한 Y축의 마이크로 미러의 수, θ는 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도이다.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 화상 데이터를 복수의 노광 데이터로 변환하는 변환부;
    상기 복수의 노광 데이터를 시간 순서에 따라 나열하고,
    상기 시간 순서에 따라 나열된 상기 복수의 노광 데이터 중 같은 열 또는 같은 행에 있는 노광 데이터를 조합하여 새로운 노광 데이터를 생성한 뒤, 상기 새로운 노광 데이터를 소정 각도 회전시키는 제어부;
    상기 새로운 노광 데이터를 압축하는 압축부를 포함하는 노광 장치.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 새로운 노광 데이터를 생성하기 전, 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도를 조절하여 사용 가능한 마이크로 미러의 수를 산출하고,
    상기 사용 가능한 마이크로 미러의 수 이외에 해당하는 노광 데이터를 압축 대상에서 제외하는 노광 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 사용 가능한 마이크로 미러의 수는,
    아래의 식을 이용하여 산출되는 노광 장치.
    K=N*tanθ
    여기서, K는 반복 노광 횟수, N은 사용 가능한 Y축의 마이크로 미러의 수, θ는 디지털 마이크로 미러 디바이스의 회전각도이다.
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