JP6425521B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
22 DMD(光変調素子アレイ)
27 演算部
28 光検出部(測光部)
30 コントローラ(露光制御部)
40 遮光部
PD フォトセンサ
Claims (10)
- 複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイと、
前記光変調素子アレイによる露光エリアを、被描画体に対し主走査方向に沿って相対移動させる走査部と、
前記露光エリアの相対位置に応じたパターンデータに基づいて、前記複数の光変調素子を制御する露光制御部と、
前記光変調素子アレイからのパターン光を、前記被描画体の被描画面に結像させる結像光学系と、
前記被描画面に沿って少なくとも1つのスリットを形成した遮光部と、
前記スリットを透過する光を受光する測光部と、
前記測光部の出力に基づいて、合焦状態を検出する合焦検出部とを備え、
前記露光制御部が、前記遮光部を前記露光エリアが相対移動する間、ライン&スペース(L/S)パターン光を投影させ、
前記合焦検出部が、L/Sパターン光の投影によって検出される波形状光量の振幅と、合焦範囲にあるときの基準振幅とに基づいて、前記被描画面が合焦範囲にあるか否かを検出することを特徴とする露光装置。 - 前記合焦検出部が、光量振幅と基準振幅との比である振幅比に基づいて、合焦範囲にあるか否かを判断することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記合焦検出部が、前記振幅比と前記結像光学系の焦点位置との対応関係に基づいて、合焦範囲にあるか否かを判断することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記合焦検出部が、L/Sパターン光の平均光量と、L/Sパターン光が投影されていないときのベース光量とに基づいて、基準振幅を算出することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記遮光部が、平均光量測定用の開口部を有し、
前記測光部が、前記平均光量測定用開口部を通るL/Sパターン光を受光する平均光量用受光部を有することを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記合焦範囲が、感光材料の感度特性、要求されるパターン精度の少なくともいずれか一つに基づいて定められることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 合焦範囲から外れる場合、合焦範囲から外れていることを報知する報知部をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記遮光部を前記露光エリアが相対移動する間、露光位置検出用のL/Sパターン光を投影させることによって前記測光部から出力される光量に基づいて、露光位置を検出する露光位置検出部をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。
- バー状パターンを複数並べたパターン列の光であるライン&スペース(L/S)パターン光を、被描画体の被描画面に沿って形成されたスリットに対して順に通過させたときに受光する測光部と、
前記測光部の出力に基づいて検出される波形状光量の振幅と、合焦範囲に応じた基準振幅とに基づいて、前記被描画面が合焦範囲にあるか否かを検出する合焦検出部と
を備えたことを特徴とする露光装置の焦点検出装置。 - バー状パターンを複数並べたパターン列の光であるライン&スペース(L/S)パターン光を、被描画体の被描画面に沿って形成されたスリットに対して順に通過させ、
前記スリットを順に通過する前記L/Sパターン光を測光部において受光し、
前記測光部の出力に基づいて検出される波形状光量の振幅と、合焦範囲に応じた基準振幅とに基づいて、前記被描画面が合焦範囲にあるか否かを検出することを特徴とする露光装置の焦点検出方法。
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