JP2006514486A - 表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器 - Google Patents

Abstract

本発明は、表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器を提案する。この変換器は、それぞれ電極レールに接続されており交互に配置されている２つのフィンガおよび残片フィンガを有し、相互に向かい合っているフィンガおよび残片フィンガは相互にギャップによって分離されている。縦方向のギャップの位置は有利には周期的な変化を有する。殊に変換器の端部領域における音響波の励起強度に影響を及ぼすギャップ位置の変化のパターンは、音響波の励起プロファイルが所定のエネルギ密度プロファイルに適合されているように選択されている。そのような適合によって共振周波数における信号損失が著しく低減される。

Description

本発明は、表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器に関する。

電気音響的な変換器の大部分は圧電性の基板上に配置されている２つの櫛状の電極を有し、これらの電極は大部分が周期的なパターンで配置されており相互にかみ合っているフィンガを備えている。電極に印加される電気信号は、信号周波数がフィンガ構造の周期に相当する場合には音響的な表面波を励起する。

電気音響的な変換器の特性は実質的に、フィンガの数、幅、接続順序および縦方向の位置（すなわち音響波の伝播に沿った位置）ならびにアパーチャ（すなわち異なる電極の相並んで配置されているフィンガのアクティブな重畳領域の長さ）によって設定される。これらは通常の場合、可能な限りただ１つの音響的な振動モードが励起されるように選択され、この振動モードについて設計ないし前述の可変のパラメータが最適化される。

表面波コンポーネントのための電気音響的な変換器は殊にリアクタンスフィルタを構成する際に使用される。

例えば、両側が反射器によって境界付けられている変換器を有する１ポート共振器が公知である。さらにはＤＭＳフィルタ（ダブルモード表面音響波フィルタ）ならびに音響的に相互に結合されている変換器を備えたマルチポート共振器が公知である。さらには、音響波の有利な放射方向を有するＳＰＵＤＴ変換器（単相型一方向性トランスデューサ）を備えたフィルタが公知である。

電極フィンガの横方向の重畳プロファイルを持つ変換器を有する重み付けされたトランスバーサル型のフィルタも公知である。この場合、重畳プロファイルが時間領域におけるパルス励起の形成に使用され、このパルス励起は周波数領域では理想的には伝達関数の矩形の通過域を供給すべきである。

リアクタンスフィルタの重要な特性量は、通過域内でフィルタを通過する信号の最大減衰に相当する挿入減衰である。挿入減衰を高める全てのことは全システムの伝達特性を劣化させるので、ここでもまた損失が可能な限り僅かになるよう努めるべきである。

したがってリアクタンスフィルタに使用される変換器または共振器は、その共振周波数において入力アドミタンスの可能な限り大きい実数部を有することが望ましい。もっとも従来から公知の変換器においては、音響波のエネルギの一部は殊に変換器内で近似的に矩形の励起プロファイルが波の既存のエネルギ密度プロファイルから偏差することによって失われ、この際電気的に励起される音響波は実際のエネルギ分布への励起の誤整合に基づき部分的にしか電気信号に変換することができず、これによって信号損失が生じる。

物理的な大きさの（横方向または縦方向の）プロファイルは相応の位置座標に依存するこの大きさの分布を表し、ここでｘ軸ないしｙ軸は水平方向ないし横方向として選択されている。エネルギ密度プロファイルとは、ここでは殊に、中央に配置されている領域と比較した周囲領域におけるエネルギ密度の減少と解される。

エネルギ密度プロファイルは変換器または共振器において例えば出力互換性の測定によって求めることができ、この際電極材料のマイグレーションは所定の箇所におけるエネルギ密度に対する尺度とすることができる。

縦方向の励起プロファイルをアパーチャの横方向の重み付けによって調節できることが公知であり、この際アパーチャは変換器の中央において最大となるように選択されており、外に向かって低減する。もっともアパーチャのそのような重み付けは、音響波が励起されるアクティブ領域を減少させる。さらには、特に端部効果によって惹起されるエネルギ密度プロファイルはむしろ横方向に現れる。何故ならば、共振器として構成されている変換器の縦方向の長さは通常の場合その横方向の長さよりも実質的に長いからである。端部効果およびそれに伴う損失は、ますます小さくなっているアパーチャにおいてはより一層重要になっている。

横方向の励起プロファイル、すなわち横方向の座標ｙに依存する音響波の振幅Ａ（ｙ）を、フィンガが電流レールに向かって細くされることによって横方向のエネルギプロファイルＥ（ｙ）に適合させることが可能であり、この場合端部領域において励起される波の振幅は中央に配置されているアクティブ領域のものに比べて低減する。この解決手段は、フィンガ抵抗がフィンガ幅の減少と共に高くなるという欠点を有する。さらには金属構造の最小幅は技術的に制限されており、殊にこのことは比較的高い周波数のために設計されている変換器または共振器では問題となる。

励起プロファイルをエネルギ密度プロファイルに適合させるための別の可能性は、フィンガを電流レールに向かうにつれ幅広にするように構成することであるが、もっともこの構成によっては妨害的なバルク波が励起されて損失が高まりかねない。

本発明の課題は、変換器の共振周波数における損失が少ない、表面波でもって動作するコンポーネントを備えた電気音響的な変換器を提供することである。

本発明の課題は、請求項１による電気音響的な変換器によって解決される。本発明の有利な実施形態は従属請求項から得られる。

本発明は、有利には交互にかみ合っているフィンガを備えた第１の電極と第２の電極を有する、表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器を提供する。第１の電極ないし第２の電極は、それぞれフィンガが接続されている第１の電流レールないし第２の電流レールを包含する。電極は殊に、変換器のアクティブ領域において音響波を励起するため使用される比較的長いフィンガならびにこの比較的長いフィンガよりも実質的に短い残片フィンガを有し、一方の電極の比較的長いフィンガは反対側の電極の残片フィンガと縦方向において対向しており、またフィンガないし残片フィンガの（それぞれの電流レール側とは反対側の）自由な終端部の間にはそれぞれギャップが設けられている。すなわちギャップはフィンガとこのフィンガに対向する残片フィンガとの間の中間空間である。ギャップの横方向の位置を以下では、電流レールのフィンガ側の内側の端部と一致していてもよい、横軸（ｙ軸）の座標原点に相対的なギャップ中央の位置と称する。

本発明によれば、ギャップ位置は変換器の長さ方向にわたって変化する。この変化は変換器の横方向の端部領域に制限される。端部領域の横方向の大きさは、殊にアクティブ領域の横方向の長さ（アパーチャ）が比較的短い場合にはこの長さと寸法的に比肩する。

変換器においては共振周波数で波長λの音響波が励起され、この音響波は一方では縦方向の励起プロファイルおよび横方向の励起プロファイルを有し、他方では縦方向のエネルギ密度プロファイルおよび横方向のエネルギ密度プロファイルを有する。エネルギ密度は電流レールに向かうにつれ減少する。縦方向の励起プロファイル、すなわち縦方向における波の振幅Ａ（ｘ）の経過は近似的に一定であり、外に向かうにつれ縦方向のエネルギ密度プロファイルｅ（ｘ）から偏差する。

本発明によれば、それぞれの電流レールの近傍に配置されているギャップの位置は横方向の励起プロファイルを調節するための変化を有し、この際横方向の励起プロファイルＡ（ｙ）および横方向のエネルギ密度プロファイルｅ（ｙ）は実質的に一致する。

本発明による変換器は、音響波でもって動作するコンポーネントのための従来から公知の変換器に比べ、ギャップ位置の変化を用いて励起プロファイルを既存のエネルギ密度プロファイルに適合させることによって最適なエネルギ伝達が達成させるという利点を有し、エネルギ密度が低い領域における波の励起によって惹起される損失は低減される。

本発明による変換器の有利な実施形態では、縦方向においては複数のフィンガグループが設けられており、横方向においてはギャップの無い横方向の長さＷ＞３λのアクティブ領域が設けられている。アクティブ領域と電流レールとの間には端部領域が配置されている。アクティブ領域および端部領域はそれぞれ励起ゾーンを有し、これらの励起ゾーンにおいては、極の異なるフィンガが縦方向において相互に向かい合っており、フィンガグループにおける励起ゾーンの数はフィンガの極反転の数に相当する。

フィンガグループのアクティブ領域は縦方向において相並んで配置されているＮ個の励起ゾーンを有し、ここでＮ≧２である。フィンガグループ内でそれぞれの電流レールの近傍に配置されているギャップの中央の相対的な横方向の位置ｙ_ｋはＭ個の異なる値を取ることができ、ここでｋは１からＭの整数であり、また２≦Ｍ≦Ｎ／２である。それぞれの端部領域は横方向の長さＤ＝ｙ_Ｍ−ｙ_１を有し、ここでλ＜Ｄ＜Ｍである。フィンガグループの端部領域は、横方向に隣接している２つのギャップ位置ｙ_ｋとｙ_ｋ＋１との間にそれぞれ配置されている複数（Ｍ−１）の端部トラックを有する。フィンガグループ内の端部トラックの励起ゾーンの数はＮよりも小さく、また端部トラックが複数設けられている場合には電流レールに向かうにつれ低減する。

フィンガグループ内の端部トラックの幅を変えることができる。ギャップ位置の変化の数Ｍ、端部領域の横方向の長さＤ、端部トラックの幅、フィンガの数、アクティブ領域ないし端部領域内の励起ゾーンの数はグループ毎に異なっていてもよい。付加的に、フィンガグループ内またはフィンガグループ毎のギャップの長さ、フィンガの幅およびギャップの形状を変えることができる。

ギャップの横方向の位置の変化は縦方向において有利には周期的に行われる。縦方向におけるギャップの大きさおよび／または形状の変化も周期的に行うことができる。

本発明の別の有利な変形形態においては、ギャップ内にそれぞれ有利には金属ストリップとして構成されている１つまたは複数の浮遊金属構造が配置されている。浮遊金属構造は有利には、変換器の両側の電流レールの近傍に設けられている。励起強度はそのように構成されている端部領域において、変換器の電極に印加される電圧が「容量カスケード（Kapazitaetkaskade）」を介して分けられることにより低減される。

本発明によれば、フィンガの少なくとも一部をそれぞれ少なくとも４つの所定数のフィンガを有するグループに統合することができ、その結果各フィンガグループは少なくとも２波長の長さにわたって広がっており、各フィンガグループはギャップおよび／またはギャップ内に配置されている金属構造の相対的な横方向の位置、大きさおよび／または形状に関してパターンを有する。全てのグループにおけるパターンは少なくとも十分に合致しているが、変換器内のその絶対的な横方向の配置構成に関しては相互にずれていてもよい。パターンをそれぞれグループ毎に変えることも可能であり、この場合変化は全てのグループにわたって周期的である。

ギャップの横方向の位置および／または大きさに関する周期的な変化は正弦波状、三角形状または半円状に実施することができる。

複数のフィンガグループをそれぞれが下位グループパターンを有する下位グループに分割することができ、この場合各フィンガグループ内では少なくとも２つの異なる下位グループパターンが交互に少なくともフィンガグループにつき１回現れる。

さらに、フィンガグループ内のギャップ位置のパターンまたは下位グループパターンは、ギャップの横方向の位置および／または大きさの波伝播方向において線形のバリエーションを包含するか、複数の線形のバリエーションからなる組合せを包含する。

電極は所定の個所においてスプリットフィンガを有することが可能である。個々のフィンガのための第１の電極および第２の電極へのフィンガの接続順序を取り替えることも可能である。この場合、アクティブ領域において相並んで配置されている個々のフィンガは同一の電極に接続されており、相応の励起ゾーンが欠落している。

本発明の別の実施形態においては、フィンガ幅および／またはフィンガ間隔を縦方向において増大することができる、および／または、横方向において規則的または非規則的に変更することができる。

相互に向かい合っているフィンガ終端部の領域におけるギャップの相対的な横方向の位置、大きさおよび／または形状を変換器の縦方向の長さにわたって相互に依存せずに変えることができる。

本発明による変換器を、部分変換器が直列に接続されているカスケード型の変換器として構成することができる。

本発明による変換器を、例えば水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたはランガサイトからなる圧電性の基板上に配置することができる。

本発明による変換器をＤＭＳフィルタ（ダブルモード表面音響波フィルタ）、ＴＭＲフィルタ（ＴＭＲ＝トランスバーサルモードフィルタ）またはＳＰＵＤＴフィルタ（ＳＰＵＤＴ＝単相型一方向性トランスデューサ）に使用することができる。

以下では本発明を概略的な、したがって縮尺通りではない図面に基づき詳細に説明する。ここで、
図１から図４はギャップの横方向の位置の変化を有する本発明による変換器の有利な実施形態を示し、
図５ａ，５ｂおよび６はギャップ内に浮遊金属構造が配置されている本発明による変換器の有利な実施形態を示す。

図１は本発明の簡単な実施形態を示す。第１の電流レール３の領域においてノーマルフィンガ変換器として実施されている変換器が部分的に示されている。第１の電流レール３には音響波を励起するために使用されるフィンガ３ｂおよび残片フィンガ３ａが接続されている。そのように形成された櫛状の構造は第１の電極を形成する。第１の電流電極のフィンガ３ｂはここでは部分的にしか示されていない第２の電極のフィンガ１３ｂと交互に配置されている。

この変換器は波長毎に２つのフィンガ３ｂ，１３ｂを有する。相並んで配置されている極が異なる２つの電極フィンガは（横方向の）重畳領域においてそれぞれ励起ゾーンを形成し、これらの励起ゾーンのうちの幾つかが図１において例示的に斜めの波線で表された領域として示唆されている。変換器は励起ゾーンの数によって相互に区分される横方向の領域において分割されている。１つのグループの選択された横方向の領域（端部領域またはアクティブ領域）における励起ゾーンの数Ｎはフィンガ毎の極反転の数に相当し、このことはノーマルフィンガ変換器の場合にはグループ内のフィンガの数に相当する。最も多くの（最大の）励起ゾーンを有するフィンガグループの横方向の領域はアクティブ領域ＡＢと称される。アクティブ領域ＡＢと第１および／または第２の電流レールとの間に配置されており、且つフィンガグループ毎に比較的少ない数の励起ゾーンを有する横方向の領域は端部領域と称される。端部領域を、横方向の長さが同じまたは異なる１つまたは複数の端部トラックから構成することができる。

アクティブ領域の横方向の長さＷは少なくとも３波長λである。端部領域の横方向の長さＤは有利にはλとＷの間である。

図示されている変換器は横方向のギャップ位置に関して長さにわたって変化し、ここでギャップ位置（すなわち第1の電流レール３の内側の縁から測定されたギャップ中央の位置）は２つの異なる値ｙ_１およびｙ_２を有する。ギャップ位置ｙ_１およびｙ_２はそれらの間で端部領域ＲＢの端部トラックを規定する。端部領域の横方向の長さＤ、すなわちギャップ４が相互にずらされている長さはここでＤ＝｜ｙ_２−ｙ_１｜である。それぞれ１０のフィンガが１つのグループＧ１，Ｇ２を形成する。

フィンガグループはギャップ位置の変化に関して１つのパターンを有し、この場合にはギャップ位置ｙ_１を有する４つのギャップとギャップ位置ｙ_２を有する１つのギャップが１つのパターンである。このパターンは横方向において周期的である。アクティブ領域ＡＢはフィンガグループ毎に１０の励起ゾーンを有し、端部領域ＲＢはフィンガグループ毎に８つの励起ゾーンを有する。したがってこの例では、端部領域ＲＢにおいて励起される波の振幅はアクティブ領域ＡＢにおいて励起される波の振幅の４／５である。ここに示されているギャップ位置の変化では、ごく僅かな周期的な変更を無視する場合には、横方向における励起プロファイルＡ（ｘ）は近似的に一定である。

図２は横方向のギャップ位置の変化を有する本発明による変換器の別の有利な実施形態を示す。各フィンガグループＧ１，Ｇ２は６つのフィンガを包含する。端部領域ＲＢ内の励起ゾーンの数は等しく４つであり、このことはアクティブ領域において励起される音響波の振幅の２／３に相当する。

図３に示されている本発明による変換器の変形形態の端部領域ＲＢは、フィンガグループＧ１，Ｇ２内に設けられているＭ＝３のギャップ、したがって２つの端部トラックＲＳないしＲＳ１を有する。ここでは端部トラックＲＳとＲＳ１の幅は異なるように選択されている。ここでは同様に構成されているフィンガグループＧ１，Ｇ２はそれぞれ６つのフィンガを包含する。端部領域ＲＳないしＲＳ１における励起ゾーンの数は４ないし２であり、このことはアクティブ領域において励起される音響波の振幅の２／３および１／３に相当する。

横方向のギャップ配置構成のパターンないしフィンガグループ内のフィンガの数はグループ毎に変化していてもよい。

所定のギャップ位置ｙ_ｋ（ここでｋは１からＭの整数）でのギャップの数は、図４に示されているように、１つのフィンガグループ内に１つ以上あってもよい。図４に部分的に示されている変換器は有利にはグループＧ１と同一のフィンガグループを複数有し、ここでは比較的大きなグループＧ１が横方向のギャップ配置構成の異なるパターンないし異なる数のフィンガを有する比較的小さい下位グループＧ１１，Ｇ１２およびＧ１３に分割されている。

フィンガグループＧ１ないし下位グループＧ１１，Ｇ１２およびＧ１３の端部領域ＲＢは３つの端部トラックＲＳ，ＲＳ１およびＲＳ２を有し、これらの端部トラックは横方向において近似的に同じ大きさに選択されている。相対的な励起強度は端部領域ＲＢの端部トラックＲＳ，ＲＳ１およびＲＳ２においては、アクティブ領域ＡＢから電流レール３に向かって５／６，３／６および１／６の比率で低減する。

図５ａないし図５ｂはギャップ４内に浮遊（すなわち電気的に接続されていない）金属構造２が配置されている本発明による変換器の有利な実施形態を部分的に示す、ないし関連する領域のみを示す。金属構造２は第１の電極のフィンガの終端部と第２の電極のフィンガの終端部との間の「容量カスケード」を形成し、これによって端部領域ＲＢにおける励起強度はアクティブ領域ＡＢに比べて低減する。

下位グループＧ１２におけるギャップ中央および金属構造２の横方向の配置構成は、横方向における並進変位（Translationsverschiebung）を除いて下位グループＧ１１におけるそのような配置構成と同じである。下位グループＧ１１ないしＧ１２は横方向において交互に配置されている。

本発明の有利な変形形態においては、アクティブ領域ＡＢと第２の電流レール１３との間に配置されている第２の端部領域ＲＢ１は上述の第１の端部領域ＲＢと同一であり、これについては５ｂを参照されたい。しかしながら、変換器環境が異なる側においては非常に異なる場合には、両側のギャップの変化を相応に異なるように構成することも可能である。

第２の電流レール１３にはフィンガ１３ｂおよび残片フィンガ１３ａが接続されている。第２の電流レール１３の近傍に配置されているギャップ１４内には浮遊金属構造１２が設けられている。

図６には本発明の別の実施例が示されている。ここではギャップ４内に複数の浮遊金属構造２，２ａおよび２ｂが示されている。下位グループＧ１１，Ｇ１２の配置は図５ａの配置と同一である。

明瞭にするために本発明を僅かな実施形態に基づくのみで説明したが、本発明はそれらの実施形態に制限されるものではない。さらなるバリエーションの可能性は殊に上記において説明した配置の考えられる組み合わせに関しても生じる。大きさ、形状および／または横方向のギャップ位置は相互に依存せずに変更することもできる。本発明は所定の周波数領域または所定の適用領域に制限されるものではない。

ギャップの横方向の位置の変化を有する本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップの横方向の位置の変化を有する本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップの横方向の位置の変化を有する本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップの横方向の位置の変化を有する本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップ内に浮遊金属構造が配置されている本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップ内に浮遊金属構造が配置されている本発明による変換器の有利な実施形態。 ギャップ内に浮遊金属構造が配置されている本発明による変換器の有利な実施形態。

Claims (20)

1. 表面波でもって動作するコンポーネントのための電気音響的な変換器において、
   −第１の電流レール（３）に接続されているフィンガ（３ｂ）を有する第１の電極を包含し、
   −第２の電流レール（１３）に接続されているフィンガ（１３ｂ）を有する第２の電極を包含し、
   −前記第１の電極のフィンガおよび前記第２の電極のフィンガは相互にかみ合っており、
   −前記フィンガの自由な終端部はそれぞれギャップ（４，１４）と接しており、
   −一方で縦方向の励起プロファイルおよび横方向の励起プロファイルを有し、他方で縦方向のエネルギ密度プロファイルおよび横方向のエネルギ密度プロファイルを有する波長λの音響波が励起され、
   −前記縦方向の励起プロファイルを調節する、それぞれの電流レール（３，１３）の近傍に配置されているギャップ（４，１４）の横方向の位置は種々のギャップにわたって変化し、
   −前記縦方向の励起プロファイルは近似的に一定であり、且つ縦方向のエネルギ密度プロファイルから偏差し、
   −前記横方向の励起プロファイルおよび前記横方向のエネルギ密度分布は実質的に一致することを特徴とする、変換器。
2. −縦方向に複数のフィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）が設けられており、
   −２つの電流レール（３，１３）の間に横方向の長さＷ＞３λのアクティブ領域（ＡＢ）が設けられており、該アクティブ領域（ＡＢ）と前記電流レール（３，１３）の一方との間にはそれぞれ端部領域（ＲＢ）が設けられており、
   −前記アクティブ領域（ＡＢ）および前記端部領域（ＲＢ）はそれぞれ励起ゾーンを有し、該励起ゾーン内には極が異なるフィンガが相互に縦方向に直接隣接しており、
   −フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）内の前記アクティブ領域（ＡＢ）は縦方向において相並んで配置されているＮ個の励起ゾーンを有し、ここでＮ≧２であり、
   −フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）内でそれぞれの電流レール（３，１３）の近傍に配置されている前記ギャップ（４，１４）の中央の相対的な横方向の位置はＭ個の異なる値ｙ_ｋを有し、ここでｋは１からＭの整数であり、また２≦Ｍ≦Ｎ／２であり、
   −それぞれの前記端部領域（ＲＢ）は横方向の長さＤ＝ｙ_Ｍ−ｙ_１を有し、ここでλ＜Ｄ＜Ｍであり、
   −フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）の前記端部領域（ＲＢ）は、ｙ_ｋ’とｙ_ｋ’＋１の間において横方向に配置されているＭ−１の端部トラック（ＲＳ，ＲＳ１，ＲＳ２）を包含し、ここでｙ_ｋ’は１からＭ−１の整数であり、
   −フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）内の端部トラック（ＲＳ，ＲＳ１，ＲＳ２）の前記励起ゾーンの数はＮよりも小さく、且つ端部トラックが複数設けられている場合には前記電流レール（３，１３）に向かうにつれ低減する、請求項１記載の変換器。
3. 前記ギャップ（４，１４）の横方向の位置の変化は縦方向において周期的に行われる、請求項３記載の変換器。
4. 前記ギャップ（４，１４）の大きさおよび／または形状の変化は縦方向において周期的に行われる、請求項３記載の変換器。
5. 前記ギャップ（４，１４）の大きさおよび／または形状の変化は縦方向において周期的に行われる、請求項３記載の変換器。
6. 複数の端部トラック（ＲＳ，ＲＳ１，ＲＳ２）を有し、該端部トラック（ＲＳ，Ｒ１，Ｒ２）は異なる幅を有する、請求項１から５までのいずれか１項記載の変換器。
7. 前記ギャップ（４，１４）内にそれぞれ少なくとも１つの浮遊金属構造（２，２ａ，２ｂ）が配置されている、請求項１から６までのいずれか１項記載の変換器。
8. １つまたは複数の浮遊金属構造が変換器の両側の前記電流レール（１，１３）の近傍における前記ギャップ（４，１４）内に配置されている、請求項７記載の変換器。
9. フィンガはそれぞれ少なくとも４つの所定数のフィンガを有するフィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）に統合されており、各フィンガグループは少なくとも２波長の長さにわたって広がっており、
   各フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）は前記ギャップ（４，１４）および／または前記浮遊金属構造（２，２ａ，２ｂ）の相対的な横方向の位置、大きさおよび／または形状に関して１つのパターンを有し、
   前記パターンは全てのフィンガグループにおいて少なくとも十分に合致しているが、変換器内の絶対的な横方向の配置構成に関しては相互にずれているか、前記パターンはそれぞれグループ毎に、全てのグループにわたって周期的である変化を示す、請求項１から８までのいずれか１項記載の変換器。
10. 前記ギャップ（４，１４）の横方向の位置および／または大きさに関する周期的な変化は正弦波状、三角形状または半円状に実施されている、請求項１から９までのいずれか１項記載の変換器。
11. 複数のフィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）はそれぞれが下位グループパターンを有する下位グループに分割されており、各フィンガグループ内では少なくとも２つの異なる下位グループパターンが交互に少なくともフィンガグループにつき１回現れる、請求項９または１０記載の変換器。
12. フィンガグループ（Ｇ１，Ｇ２）の前記パターンまたは前記下位グループパターンは、前記ギャップ（４，１４）の横方向の位置および／または大きさの縦方向における線形の変化または複数の線形の変化からなる組合せを包含する、請求項１１記載の変換器。
13. 電極が部分的にスプリットフィンガを有する、請求項１から１２までの少なくとも１項記載の変換器。
14. 個々のフィンガのための前記第１の電極および前記第２の電極における本来規則的且つ交番的なフィンガの接続順序は取り替えられており、前記アクティブ領域（ＡＢ）において相並んで配置されているフィンガは同一の電極に接続されている、請求項１から１３までの少なくとも１項記載の変換器。
15. 縦方向においてフィンガ幅および／またはフィンガ間隔が増大する、請求項１から１４までの少なくとも１項記載の変換器。
16. 横方向において規則的または非規則的に変化するフィンガ幅および／またはフィンガ間隔を有する、請求項１から１５までの少なくとも１項記載の変換器。
17. 相互に向かい合っているフィンガ終端部の領域内の前記ギャップ（４，１４）の相対的な横方向の位置、大きさおよび／または形状は種々に変化している、請求項１から１６までの少なくとも１項記載の変換器。
18. 部分変換器が直列に接続されているカスケード型の変換器として構成されている、請求項１から１７までのいずれか１項記載の変換器。
19. 水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたはランガサイトからなる圧電性の基板上に配置されている、請求項１から１８までの少なくとも１項記載の変換器。
20. ＤＭＳフィルタまたはＴＭＲフィルタに使用される、請求項１から１９までの少なくとも１項記載の変換器。

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