DE102005029249A1

DE102005029249A1 - SAW-Struktur mit Stummelfingern

Info

Publication number: DE102005029249A1
Application number: DE200510029249
Authority: DE
Inventors: Werner Dr. Ruile; Markus Dr. Hauser; Ulrike Dr. Rösler
Original assignee: Epcos AG
Current assignee: TDK Electronics AG
Priority date: 2005-06-23
Filing date: 2005-06-23
Publication date: 2006-12-28
Also published as: WO2006136282A1

Abstract

Eine SAW-Struktur weist im seriellen Signalpfad zwischen Ein- und Ausgangstor einen seriellen Resonator mit Stummelfingern auf, die eine Stummelfingerlänge vom Vier- bis Achtfachen der Periode p des Wandlers aufweisen. Die SAW-Struktur kann einen in einem abzweigenden parallelen Pfad angeordneten parallelen Resonator aufweisen, der Stummelfinger besitzt, deren Länge das Vier- bis Sechsfache der Periode p des Wandlers beträgt.

Description

Die Erfindung betrifft eine SAW-Struktur, wie sie beispielsweise Teil eines HF-Filters ist. Eine SAW-Struktur weist zumindest einen interdigitalen Wandler auf. Dieser umfasst zwei ineinander geschobene Teilelektroden mit Elektrodenfingern. An der Stromsammelschiene (Busbar) einer Teilelektrode sind bei einem Wandler mit regelmäßiger Normalfingerstruktur an longitudinalen Positionen im Abstand einer Periode p Elektrodenfinger angeordnet. Jedem Finger an einer ersten Teilelektrode kann dabei ein an der zweiten Teilelektrode hängender, relativ dazu kurzer Stummelfinger entsprechen, der vom Elektrodenfinger durch ein Gap getrennt ist. Ein Wandler kann in einem Resonator angeordnet sein, dessen akustische Spur beidseitig von Reflektoren begrenzt ist.

Allgemeines Ziel von SAW-Strukturen, insbesondere von SAW-Filtern, ist es, Bauelemente mit hoher Güte und damit hoher Frequenzgenauigkeit zu schaffen, welche nur geringe Verluste zeigen und dabei eine nur geringe Chipfläche auf dem piezoelektrischen Substrat einnehmen.

Dies wird bei Resonatorfiltern insbesondere durch die Verwendung von Reflexionen erreicht, die innerhalb der SAW-Struktur auftreten. Durch diese Reflexionen kann die Chipfläche durch das akustische Signal mehrfach genutzt werden und gleichzeitig können unerwünschte akustische Verluste vermieden werden. Bei Transversalfiltern dagegen wird das Zeitsignal durch die Länge des Chips vorgegeben, sodass Reflexionen hier nur als Störfaktor auftreten, der durch geeignete Maßnahmen, wie z.B. Splitfinger, unterdrückt wird.

Es ist bekannt, dass in SAW Strukturen durch geeignete Wahl der Ausbreitungsbedingungen in transversaler Richtung Wellenleiter realisiert werden können, die die akustische Welle in einer Spur führen. Diese ausbreitungsfähige geführte Mode vermeidet folglich Beugungsverluste und ist deshalb anzustreben, um geringe Verluste zu erzielen.

Eine besondere Schwierigkeit bei der Realisierung eines Wellenleiters besteht jedoch bei Substraten mit Leckwellenschnitten, da eine akustische Welle, die einen zu großen von der Hauptausbreitungsrichtung abweichenden Winkel aufweist, erhöhte Leckwellenverluste erleidet. In der vorliegenden Erfindung wird gezeigt werden, wie durch Verwendung bestimmter Stummelfinger eine transversale Gestaltung des Wellenleiters für Leckwellen mit besonders niedrigen Ausbreitungsverlusten bei der Antiresonanzfrequenz realisiert werden kann.

Allgemein gilt, dass die Güte eines Wandlers mit internen Reflexionen, der zum Ein- oder Auskoppeln einer akustischen Oberflächenwelle dient, mit dessen Länge bzw. Elektrodenzahl zunimmt. Um gleichzeitig eine konstante statische Kapazität der Struktur zu erreichen, wird oft die Apertur reduziert, was zu zunehmenden Beugungsverlusten und damit zu unerwünschten Dämpfungen führt.

Die Beugung in einem Wandler kann dadurch verringert werden, indem dessen Apertur, also der transversale Bereich, in dem Überlappungen auftreten, vergrößert wird. Eine größere Apertur hat jedoch den Nachteil, dass sich mit zunehmender Apertur höhere Ausbreitungsmoden, so genannte Transversalmoden mit eigener Resonanzfrequenz, ausbilden können, die das Über tragungsverhalten negativ beeinflussen und insbesondere zu einem schlechten Passband mit Rippeln führen Mit steigender Apertur steigen aber auch – unabhängig von Transversalmoden – zusätzlich die elektrischen Verluste, und damit die Einfügedämpfung einer Filterstruktur.

Bekannt ist es, Stummelfinger einzusetzen, um bei der photolithographischen Erzeugung von SAW Wandlern vorteilhaft eine homogenere Belichtung im Randbereich zu erreichen.

Ebenso bekannt ist es, bei Wandlern die eingangs genannten Stummelfinger einzusetzen, um das Wellenleiterverhalten von Wandlern zu verbessern. Die Stummelfinger sind außerhalb des eigentlichen Anregungsbereichs, also außerhalb der Apertur, angeordnet, leiten die aus dem Anregungsbereich leckende Welle und vermindern so Verluste bei der Ausbreitung der SAW. Bekannt ist es, solche Stummelfinger bis zur Länge von ca. einer akustischen Wellenlänge auszuführen. Längere Stummelfinger werden vermieden, da sie zu zusätzlichen ohmschen Verlusten im Wandler führen.

Aus der DE10135871A ist es bekannt, Stummelfinger in einem Wandler zu verwenden, die eine über die Länge des Wandlers gesehen periodische Änderung der Länge aufweisen. Damit lässt sich im Wandler eine Sekundärwichtung erzeugen, die die eigentliche Übertragungsfunktion nicht beeinflusst, wohl aber störende Anregungen unterdrücken kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine SAW-Struktur mit einem Wandler anzugeben, die bezüglich geringer Beugung, hoher Güte und geringer Verluste verbessert ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine SAW-Struktur mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Es wird vorgeschlagen, im seriellen Signalpfad, der Ein- und Ausgangstor der SAW Struktur miteinander verbindet, einen seriellen Resonator mit Stummelfingern anzuordnen. Die Länge der Stummelfinger entspricht dem Vier- bis Achtfachen der Periode p des Wandlers. Unter Periode p wird hier und im Folgenden der Abstand zweier benachbarter Elektrodenfinger verstanden.

Überraschend hat sich gezeigt, dass mit so langen Stummelfingern dennoch ein verbessertes Gesamtverhalten der SAW-Struktur erhalten wird. Betrachtet man beispielsweise einen einzelnen Resonator, so wird mit den erfindungsgemäß verlängerten Stummelfingern eine begradigte Admittanzkurve erhalten, bei der gegenüber einem ansonsten gleich ausgebildeten Referenzresonator eine Unebenheit in der Admittanzkurve verschwunden ist. Die Güte der Resonanz dieses seriellen Resonators ist gegenüber dem Referenzresonator zwar leicht verschlechtert, doch erhöht sich die Güte der Antiresonanz, die für das Filterverhalten, insbesondere bei der Anwendung in einem Reaktanzfilter, von großer Bedeutung ist. Bezüglich der Antiresonanz ist es auch nicht von Nachteil, wenn sich mit längeren Stummelfingern der ohmsche Widerstand des Wandlers erhöht.

Die SAW-Struktur kann neben dem seriellen Resonator noch einen vom seriellen Pfad abzweigenden und gegen Masse geschalteten parallelen Pfad aufweisen, in dem ein paralleler Resonator angeordnet ist. Auch dieser kann im Vergleich zum Stand der Technik lange Stummelfinger aufweisen, deren Länge dem Vier- bis Sechsfachen der Periode p entspricht. Die optimale Stummelfingerlänge eines parallelen Resonators ist geringfügig kürzer als die eines seriellen Resonators, insbesondere der obere Grenzwert, bis zu dem noch Vorteile für das Gesamtverhalten der SAW-Struktur erwartet werden können. Vorteilhaft ist es also, in einer SAW-Struktur die Stummelfinger des parallelen Resonators kürzer zu machen als die Stummelfingerlänge im seriellen Resonator. Ein serieller Resonator und ein in direkter Nachbarschaft angeordneter paralleler Resonator bilden zusammen ein Grundglied eines Reaktanzfilters, welches bereits ein Passband aufweist und somit Filterverhalten zeigt. In einem solchen Reaktanzfilter lassen sich vorteilhaft sowohl im seriellen als auch im parallelen Resonator die langen Stummelfinger einsetzen, die das Gesamtfilterverhalten verbessern.

Es hat sich gezeigt, dass die großen Stummelfingerlängen insbesondere bei kleiner werdender Apertur des Wandlers von Vorteil sind. Dabei gelingt es, die negativen Auswirkungen von Beugungseffekten innerhalb des Wandlers zu reduzieren. Obwohl auch kleinere Aperturen möglich sind, ist es von Vorteil, die Apertur auf einen Wert einzustellen, der zumindest dem Neunzehnfachen der akustischen Wellenlänge und damit dem 38-fachen der Fingerperiode entspricht.

Es ist nun vorteilhaft, wenn in diese Mode, die sich bei dieser Wahl der Stummelfingerlängen ergibt, elektrisch gut eingekoppelt werden kann, um einerseits Beugungsverluste zu vermeiden und andererseits möglichst kleine statische Kapazitäten zu realisieren, was bezüglich der Bandbreite bzw. der Anpassbarkeit von Vorteil ist.

Um nun eine gute Ankopplung zu erzielen, sollte sich die Amplitude der Anregung in transversaler Richtung möglichst gut der Amplitude der sich ausbreitenden Mode in transversaler Richtung anschmiegen. Dies kann durch verschiedenen Maßnahmen erreicht werden, wie z.B. durch eine Variation der Finberbreite in transversaler Richtung, die z.B., zu einer hohen Anregung in der Mitte der Apertur und zu einer Abschwächung der Anregung am Rand führt. Bei hohen Frequenzen sind die Fingerbreiten jedoch so klein, dass eine solche Lösung technologisch nicht gut realisiert werden kann.

Die Lösung, die hier vorgeschlagen wird, erzielt eine Wichtung im Randbereich dadurch, dass mehrere Elektroden zusammen betrachtet werden und durch Zurücknehmen (Verkürzung oder transversale Verschiebung) einiger Finger eine transversale Wichtung erreicht wird, die die sich ausbreitende Mode in transversaler Richtung approximiert.

Eine weitere Verbesserung der SAW-Struktur wird also erhalten, wenn die transversale Position der Gaps über die in longitudinaler Richtung gemessene Länge des Wandlers vorzugsweise regelmäßig mit einer vom Doppelten der Periode p verschiedenen Gap-Periode gp variiert wird, sodass die Stummelfingerlänge an zumindest einer Teilelektrode entsprechend der eingestellten Variation verändert wird.

Die Variation der Gap-Position erfolgt vorzugsweise regelmäßig über die gesamte Wandlerlänge, wobei die Stärke der Variation, also die Abweichung von der durchschnittlichen Gap-Position, vorzugsweise ebenfalls über die gesamte Wandlerlänge gleich bleibt. Vorteilhaft variiert die Gap-Position an beiden Teilelektroden, wobei beide Gap-Perioden an den beiden Teilelektroden vorzugsweise gleich sind, aber auch unterschiedlich sein können.

Möglich ist es, die Gap-Variation an beiden Teilelektroden mit gleicher Phase vorzunehmen, wobei sich für jeden Elektrodenfinger eine gleich bleibende Überlappungslänge mit dem jeweils benachbarten, der anderen Teilelektrode zugehörigen Elektrodenfinger ergibt. Vorteilhaft ist es jedoch, die Periode der Gap-Variation an den beiden Teilelektroden des Wandlers phasenverschoben vorzunehmen, sodass dadurch gleichzeitig eine variierende Überlappungslänge der Elektrodenfinger erhalten wird. Die Abweichung der Überlappungslänge folgt dabei ebenfalls der Gap-Periode gp.

Eine weiter abgewandelte SAW-Struktur weist Kurzschlussstrukturen auf, mit denen jeweils mehrere benachbarte Stummelfinger der gleichen Teilelektrode kurzgeschlossen sind. Die Kurzschlussstruktur ist beispielsweise als Metallisierungsstreifen ausgebildet, der im Wesentlichen parallel oder schräg zur Stromsammelschiene, die die Elektrodenfinger einer Teilelektroden verbinden, verläuft. Eine solche Kurzschlussstruktur kann eine Anzahl von Stummelfingern miteinander verbinden, die geringer ist als die Anzahl einer innerhalb einer Gap-Periode angeordneter Stummelfinger. Mit diesen Kurzschlussstrukturen werden die ohmschen Verluste des Wandlers reduziert.

Die Variation der transversalen Gap-Position erfolgt vorzugsweise mit einer maximalen Amplitude bezüglich der transversalen Positionen ein Abstand von ca. ein bis drei Perioden p, was der Länge von ein bis drei halben akustischen Wellenlängen entspricht.

Die seriellen und parallelen Resonatoren können jeweils einen oder mehrere Wandler umfassen. Vorteilhaft sind die Wandler zwischen zwei Reflektoren angeordnet, die aus einem offenen oder elektrisch kurzgeschlossenen Streifenmuster bestehen können. Vorzugsweise werden die Reflektoren mit Masse oder einer der beiden Wandler-Stromschienen verbunden.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert. Diese dienen allein der Veranschaulichung der Erfindung und sind daher nur schematisch und nicht maßstabsgetreu ausgeführt. Gleiche oder gleich wirkende Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
1 zeigt einen Wandler mit langen Stummelfingern,
2 zeigt eine SAW-Struktur mit einem seriellen und einem parallelen Resonator,
3 zeigt ausschnittsweise einen Wandler mit variierter Lage der Gaps und die zugehörige Gap-Periode,
4 zeigt ausschnittsweise einen Wandler mit Gap-Periode und Kurzschlussstruktur,
5 zeigt einen Wandler mit Phasenversatz der an beiden Teilelektroden vorgenommenen Gap-Variation,
6 zeigt eine SAW-Struktur mit einem seriellen Resonator,
7 zeigt eine SAW-Struktur mit drei erfindungsgemäß ausgebildeten Resonatoren.
1 zeigt ausschnittsweise einen Interdigitalwandler, der Teil eines Resonators der erfindungsgemäßen SAW-Struktur ist. Der Wandler besteht aus zwei Teilelektroden TE1, TE2, von der aus sich Elektrodenfinger EF gegeneinander gerichtet erstrecken und wobei beide Teilelektroden kammartig ineinander geschoben sind. Jedem langen Elektrodenfinger an einer ersten Teilelektrode ist ein relativ dazu kurzer Stummelfinger SF an der gegenüberliegenden zweiten Teilelektrode zugeordnet und umgekehrt, wobei Elektrodenfinger und zugeordneter Stummelfinger die gleiche longitudinale Position entlang der x-Achse parallel zur Länge des Wandlers aufweisen. Elektrodenfinger und Stummelfinger sind durch ein Gap G voneinander getrennt. Sämtliche Gaps der einer Teilelektrode TE zugeordneten Stummelfinger sind in transversaler Richtung auf gleicher Höhe angeordnet, sodass sich für alle Stummelfinger einer Teilelektrode die gleiche Länge ergibt. Das Gleiche gilt für die zweite Teilelektrode, sodass sich bei unveränderter Gap-Größe für alle Elektrodenfinger die gleiche Elektrodenfingerlänge EFL und für zwei benachbarte, unterschiedlichen Teilelektroden zugeordnete Elektrodenfinger die gleiche Überlappungslänge ergibt. Die maximale Entfernung zweier Gaps in transversaler Richtung entspricht der Apertur Ap, die im dargestellten Ausführungsbeispiel der einheitlich gleichen Überlappungslänge UL entspricht.
Der Wandler ist als Normalfingerwandler ausgebildet, sodass die Periode p der Elektrodenfinger dem in Längsrichtung gemessenen halben Abstand zweier Stummelfinger an einer Teilelektrode entspricht.
Ein wie in 1 dargestellter Wandler kann direkt als Resonator in eine SAW-Struktur eingesetzt werden, ist jedoch vorzugsweise zwischen zwei Reflektoren angeordnet (in der 1 nicht dargestellt).
2 zeigt eine SAW-Struktur, in der ein serielle Resonator R_S zwischen zwei, dem Ein- und dem Ausgangstor der SAW-Struktur zugehörigen Anschlüssen im seriellen Pfad angeordnet ist, sowie einen parallelen Resonator R_P, der in einem vom seriellen Pfad abzweigenden Pfad angeordnet ist und hier beispielsweise gegen Masse geschaltet ist. Beide Resonatoren weisen lange Stummelfinger auf, wobei die Stummelfingerlänge des parallelen Resonators R_P kleiner gewählt wird als die des seriellen Resonators R_S.
3 zeigt ausschnittsweise einen Wandler, der Teil eines Resonators ist, bei dem die Gap-Position über die Länge des Wandlers variiert. Entsprechend variieren auch die Längen SFL der Stummelfinger SF. Eine Gap-Periode gp umfasst hier jeweils drei benachbarte Stummelfinger, wobei sich in jeder Gap-Periode das Variationsmuster wiederholt.
Die maximale Gap-Variation GV_max, also der maximale transversale Abstand zweier Gap-Positionen an einer Teilelektrode wurde hier zu drei Fingerperioden p entsprechend ein bis drei halben akustischen Wellenlängen des Wandlers gewählt. Vorteilhafterweise wird GV_max. Im Bereich zwischen 0.5 und 4 akustischen Wellenlängen des Wandlers gewählt (bzw. zu 1–8 Perioden p).
4 zeigt ausschnittsweise einen Wandler mit variierender Gap-Position, bei dem die einer Gap-Periode gp zugehörigen Stummelfinger SF über eine Kurzschlussstruktur KS miteinander verbunden sind. Diese ist hier als streifenförmige Metallisierung parallel zur Stromschiene SS1 der dazugehörigen Teil elektrode ausgerichtet. Möglich ist es auch, die Kurzschlussstruktur KS in spitzem Winkel zur Stromschiene SS zu führen. Die Anzahl der mit je einer Kurzschlussstruktur kurzgeschlossenen Stummelfinger entspricht hier der Anzahl der zu einer Gap-Periode gehörenden Stummelfinger, kann aber auch davon abweichen. Zwei Kurzschlussstrukturen können zueinander einen seitlichen Abstand aufweisen, transversal gegeneinander versetzt und sich gegenseitig auch überlappen. Bevorzugt ist es jedoch, die Kurzschlussstrukturen regelmäßig und vorzugsweise an beiden Teilelektroden anzuordnen.
5 zeigt ausschnittsweise einen Wandler mit an beiden Teilelektroden TE1, TE2 vorgenommener Variation der Gap-Position. Die Variation ist hier für beide Teilelektroden gegenläufig ausgeführt, sodass sich variierende Überlappungslängen UL ergeben, die jedoch mit der Gap-Periode gp variieren. Eine Gap-Periode umfasst hier je vier einer Teilelektrode TE zugehörige Elektrodenfinger EF bzw. vier benachbarte Stummelfinger SF.
6 zeigt eine SAW-Struktur, bei der ein erfindungsgemäß ausgebildeter serieller Resonator R_S in Serie zu einem Filter F geschaltet, welches in einer beliebigen Filtertechnik ausgeführt ist. Das Filter kann beispielsweise ein DMS-Filter sein, wobei der serielle Resonator im seriellen Pfad dem Filter vor- oder nachgeschaltet ist. Das Filter kann auch aus Resonatoren bestehen, die in Lattice- oder Ladder-Type Anordnung miteinander verbunden sind. Dabei können Filter oder die Resonatoren sowohl in SAW Technik als auch in anderen Techniken wie z.B. FBAR ausgeführt sein. Das Filter kann auch ein Mikrowellenkeramikfilter oder ein dielektrisches Filter sein.
7 zeigt eine weitere Variation, bei der ein erfindungsgemäß ausgebildeter Wandler Teil eines DMS- oder MPR-Filters (Multiportresonatorfilter) ist, bei dem innerhalb der akustischen Spur eine Mehrzahl von Resonatoren R1, R2, R3 nebeneinander angeordnet sind. Beiderseits ist die akustische Spur von Reflektoren RF1, RF2 begrenzt. Jeder der Resonatoren kann in gleicher Weise mit langen Stummelfingern ausgebildet sein. Möglich ist es jedoch auch, die Stummelfingerlängen in den unterschiedlichen Resonatoren unterschiedlich zu gestalten. Vorzugsweise sind die Resonatoren mit Gap-Variation ausgebildet.
Die beispielhaft dargestellte DMS-Struktur stellt bereits ein fertiges Filter dar, kann jedoch mit weiteren Filterteilstrukturen, die ebenfalls als SAW-Strukturen ausgebildet sind, verschaltet werden. Insbesondere können zwei DMS-Filter zu einem Zweispur-DMS-Filter kaskadenartig verschaltet werden. Weitere Resonatoren oder Ladder-Type Grundglieder können dem Filter vor- und nachgeschaltet sein.
Die Erfindung wurde nur anhand weniger Ausführungsbeispiele beschrieben und ist daher nicht auf diese begrenzt. Abweichend von den dargestellten Ausführungen sind viele weitere Variationen möglich, deren allgemeinste Ausbildung durch die Patentansprüche angegeben ist.

Claims

SAW Struktur – mit einem Eingangstor und einem Ausgangstor, zwischen denen ein serieller Signalpfad verläuft – mit einem im seriellen Zweig angeordneten seriellen Resonator (R_S), der einen Wandler mit zwei ineinander geschobenen Teilelektroden (TE1, TE2) mit in einer Periode p regelmäßig angeordneten Elektrodenfingern (EF) umfasst, wobei jedem Elektrodenfinger einer Teilelektrode ein relativ dazu kurzer Stummelfinger (SF) an der gegenüberliegenden Teilelektrode zugeordnet ist, der vom Elektrodenfinger durch ein Gap (G) getrennt ist, – bei dem die Stummelfingerlänge im seriellen Resonator dem drei- bis achtfachen der Periode p entspricht.
SAW Struktur nach Anspruch 1, bei der in einem vom Signalpfad abzweigenden und gegen Masse geschalteten parallelen Pfad ein paralleler Resonator (R_P) angeordnet ist, der eine Stummelfingerlänge vom vier- bis sechsfachen der Periode p aufweist.
SAW Struktur nach Anspruch 1 oder 2, bei der die Stummelfingerlänge des parallelen Resonators (R_P) kleiner als die des seriellen Resonators (R_S) ist.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die transversale Position der Gaps (G) über die in longitudinaler Richtung gemessene Länge des Wandlers regelmäßig mit einer von der Periode p verschiedenen Gap-Periode (gp) variiert ist, so dass die Stummelfingerlänge an zumindest einer Teilelektrode (TE) entsprechend variiert.
SAW Struktur nach Anspruch 4, bei der die Stummelfingerlänge auch an der zweiten Teilelektrode (TE) mit der Gap-Periode (gp) variiert ist.
SAW Struktur nach Anspruch 5, bei der die Gap-Periode gp, mit der die transversale Position der Gaps (G) variiert, an den beiden Teilelektroden (TE1, TE2) phasengleich oder phasenverschoben so vorgenommen ist, dass unterschiedlich lange Elektrodenfinger (EF) resultieren, deren Längen mit der Gap-Periode variieren.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der jeweils mehrere benachbarte Stummelfinger (SF) mit einer Kurzschlussstruktur (KS) kurzgeschlossen sind.
SAW Struktur nach Anspruch 7, bei der die Kurzschlussstrukturen (KS) regelmäßig über die Länge des Wandlers angeordnet sind und jeweils schräg oder parallel zu Stromschienen (SS) der Teilelektroden (TE) verlaufen.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei der die Apertur (Ap) des oder der Resonatoren (R) zumindest 19p beträgt, wobei p der Periode der Elektrodenfinger am entsprechenden Wandler entspricht.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 4 bis 9, bei dem eine Gap-Periode jeweils 2 bis 6 Stummelfinger (SF) umfasst.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 4 bis 10, bei der die Variation der Gap-Positionen und der dazugehörigen Stummelfingerlängen eine Längenänderung von 1p bis 3p umfasst.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei der zumindest einer der Resonatoren (R) beiderseits von einem offenen Reflektor (REF) begrenzt ist, umfassend elektrisch nicht verbundene Reflektorstreifen.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 2 bis 12, bei der die seriellen und die parallelen Resonatoren (R) der SAW Struktur zumindest ein Grundglied eines Reaktanzfilters darstellen.
SAW Struktur nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem ein paralleler Resonator vorgesehen ist, dessen Stummelfingerlänge dem zwei- bis achtfachen der Periode p entspricht.
SAW Struktur nach Anspruch 14, bei dem die Stummelfingerlänge des parallelen Resonators dem vier- bis sechsfachen der Periode p entspricht.