JP2006507197A5

JP2006507197A5 -

Info

Publication number: JP2006507197A5
Application number: JP2005507125A
Authority: JP
Filing date: 2003-11-10
Publication date: 2006-12-28

Claims

内表面を有する容器の保護バリヤーを製造するにあたり、
ａ）部分真空下、そして酸素リッチ雰囲気において、第一の有機ケイ素化合物を、均一な厚さのポリオルガノシロキサン層が容器の内表面上に付着するような条件下に、プラズマ重合させ、そして
ｂ）部分真空下に、第二の有機ケイ素化合物を、同一又は異なったポリオルガノシロキサン層に重ね合せて、均一な厚さの酸化ケイ素層が付着するような条件下に、プラズマ重合させる
工程を含んでなる保護バリヤーの製造方法。
ポリオルガノシロキサン層及び酸化ケイ素層の組合せ厚が４００Åより薄くなるような電力密度並び第一及び第二の有機ケイ素化合物の濃度で、そしてそのような時間で、プラズマ重合工程を実施する請求項１に記載の方法。
第一のプラズマ重合工程を１００Å／secより大きく、２００Å／secより小さい付着速度で実施し、そして第二のプラズマ重合工程を３０Å／sec以上で６０Å／sec以下の付着速度で実施し、かつ合計プラズマ重合付着時間が１０秒以下である請求項１又は２に記載の方法。
前記ポリオルガノシロキサンが式：
ＳｉＯ_xＣ_yＨ_z
（式中、ｘは１．０〜２．４の範囲であり、ｙは０．２〜２．４の範囲であり、そしてｚは４以下である）
によって表わされ、そして酸化ケイ素層が式：
ＳｉＯ_x
（式中、ｘは１．５〜２．０である）によって表わされ、かつ容器がポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン及びポリ乳酸からなる群から選ばれるプラスチックを含んでなる請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
酸素並びに第一及び第二の有機ケイ素化合物を、多孔性であるか、末端開放であるか、長手方向に往復動するか、回転するか、もしくは同軸であるか、又はこれらの組合せであるインジェクターを通して供給する請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
酸素並びに第一及び第二の有機ケイ素化合物を、容器内に位置し、かつほぼ容器長にのびる、末端開放で、孔度に勾配のある多孔インジェクターであって、その孔度が容器底部に向かって段階的又は連続的様式で増大する多孔インジェクターを通して供給する請求項５に記載の方法。
容器の内側及び外側の両方を部分真空に保持し、容器の内側の部分真空が２０μbar〜２００μbarであり、そして容器の外側の部分真空が２０mbar〜１００mbar又は１０μbarより低い請求項６に記載の方法。
容器の表面にプラズマ形成被覆を付着させる改良装置であって、その装置が
ａ）キャビティ、内部及び外部を有する外部導電性共鳴シリンダー、
ｂ）共鳴キャビティの外部に接続されたマイクロウェーブ域に電磁界を生ぜしめることのできる発電機、
ｃ）外部導電性共鳴シリンダーと発電機との間に位置して、マイクロ波を外部導電性共鳴シリンダーの内部に向けることができるウェーブガイド、
ｄ）外部導電性共鳴シリンダー内に配置した、マイクロウェーブに対して透明な円筒状チューブであって、容器を導入できるようにするために、一端が閉鎖され、そして他端が開放されたチューブ、
ｅ）共鳴キャビティに位置する少なくとも一つの電気的に導電性のプレート並びに
ｆ）開放端のカバー
を有し、そして改良点が、多孔性であるか、同軸であるか、長手方向に往復動するか、長手方向軸の周りに回転するか又はその組合せであり、そして少なくとも部分的に容器中に伸びるように容器中に挿入可能な、カバーに適合したインジェクターを含む装置。
インジェクターが孔度に勾配のある多孔性で末端開放であり、そしてその孔度がインジェクターの開放末端部分に対し段階的又は連続的様式で増大する請求項８に記載の装置。