JP2006352058A - 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 - Google Patents
異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006352058A JP2006352058A JP2005254950A JP2005254950A JP2006352058A JP 2006352058 A JP2006352058 A JP 2006352058A JP 2005254950 A JP2005254950 A JP 2005254950A JP 2005254950 A JP2005254950 A JP 2005254950A JP 2006352058 A JP2006352058 A JP 2006352058A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive adhesive
- anisotropic conductive
- adhesive film
- circuit board
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/0781—Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
- H01L2924/07811—Extrinsic, i.e. with electrical conductive fillers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing Of Electrical Connectors (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
【課題】フレキシブル回路基板への異方導電接着フィルムの固定を短時間でかつ正確に実施することが可能な異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置の提供。
【解決手段】セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する方法であって、(i)上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する工程(区域D1)と、(ii)上記切断された上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程(区域E1)と、(iii)上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着層から上記セパレータを剥離させる工程(区域F1)とを有する。
【選択図】図9
【解決手段】セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する方法であって、(i)上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する工程(区域D1)と、(ii)上記切断された上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程(区域E1)と、(iii)上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着層から上記セパレータを剥離させる工程(区域F1)とを有する。
【選択図】図9
Description
本発明は、半導体実装技術の分野に関し、より詳細には、ICチップの搭載に先立ち、セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板に固定する方法および装置に関する。
近年、半導体実装技術の急速な進歩に従い、電子部品および電子機器の小型化、薄型化が進んでいる。ICチップの実装構造の代表例を図1に示す。図1(a)は、金属製リードフレームを用いたICチップの実装構造の一例を示す模式的断面図である。このような実装構造において、ICチップは半導体パッケージの形態で回路基板上に実装される。具体例として、SOP(Small Outline Package)およびQFP(Quad Flat Package)等が挙げられる。図1(a)に示すように、半導体パッケージにおいて、ICチップ100は接着剤110を介してリードフレーム120のダイパッド上に搭載され、ICチップ100の外部電極(不図示)とリードフレームの端子120とは金線等のボンディングワイヤ130によって接続され、さらにICチップ100の周囲は樹脂140によって封止されている。このような半導体パッケージの実装は、回路基板200の端子210とリードフレーム130とをはんだ等を使用して接続することによって実施されている。
図1(b)は、フリップチップ接続方式によるICチップの実装構造の一例を示す模式的断面図である。このような実装構造では、多くの場合、ICチップを回路基板に固定するために、異方導電接着剤が使用されている。近年、異方導電接着剤に関する様々な報告がなされている(例えば、特許文献1を参照)。図1(b)に示すように、ICチップ10は、基板20上に回路21を有してなる回路基板の上に、異方導電接着層30(導電粒子31とマトリックス樹脂32とを含む)を介して搭載されている。ICチップ10は、外部電極(不図示)上に形成された突起電極(バンプ)11と、異方導電接着層30中の導電粒子31とを介して、回路基板の回路21に電気的に接続され、異方導電接着層30中のマトリックス樹脂32によって回路基板に接着固定されている。
図1(a)および(b)から明らかなように、従来のワイヤボンディング接続方式と比較して、フリップチップ接続方式による実装構造は、実装面積が小さく、高さも低い。また、異方導電接着剤を使用するフリップチップ接続方式による実装では、ICチップを実装する回路基板上の所定の位置に異方導電接着層を形成した後に、その層の上からICチップを加熱圧着させることによって接続が完了するため、製造プロセスは非常に簡易である。さらに、ICチップと回路基板とは突起電極を介して直接接続されるため、電気特性にも優れている。したがって、異方導電接着剤を用いるフリップチップ接続方式は、電子部品の小型化ならびに薄型化、製造プロセスの簡易化、および電気特性の向上の観点から非常に好適である。
上述のように、異方導電接着剤を使用するフリップチップ接続方式は各種利点を有するが、その製造プロセスにおいて異方導電接着層の形成技術には改善の余地がある。
すなわち、液状の異方導電接着剤を使用する場合には、ディスペンス法や印刷法等に従い接着剤を回路基板上に塗布することによって、短時間で接着層を形成することが可能である。しかし、温度や湿度の変化または樹脂粘度の経時変化等によって、接着剤の吐出量や印刷性が変化し、回路基板上に一定量の接着剤を安定して供給することが困難となる傾向がある。一方、予め異方導電接着剤をフィルム状に加工し、セパレータに積層させたものを使用する場合には、回路基板上にフィルムを固定することによって一定量の接着剤を安定して供給することが可能となる。しかし、回路基板へのフィルムの固定、およびフィルムからのセパレータの剥離除去等に時間がかかる傾向がある。
図2は、回路基板上に異方導電性接着フィルムを固定するための従来法を説明するものであり、(a)〜(c)は各工程に対応する模式的断面図である。より詳細には、図2(a)は異方導電性接着フィルムの切断工程、図2(b)は異方導電性接着フィルムの固定工程、図2(c)はセパレータの剥離工程を示す。図2(a)に示すように、従来法では、最初に、異方導電性接着層30とセパレータ33とから構成される異方導電接着フィルム34に対して、切断刃40を当て、異方導電接着層30のみを切断する(所謂、「ハーフスリット」方式)。次に、図2(b)に示すように、ハーフスリットさせた異方導電接着フィルム34をセパレータ33側から圧着ヘッド50を用いて押圧し、基板20上に回路21を有してなる回路基板の上に、接続パッド(不図示)を介して異方導電接着層30を圧着および固定する。一般に、圧着による固定は、圧着ヘッド50を80℃程度に加熱し、回路21部に位置合せした接着層30aを圧着ヘッド50で押圧しながら2〜3秒程度保持し、接着層30aと接続パッドとを密着させることによって達成可能である。最後に、図2(c)に示すように、圧着ヘッド50を異方導電接着フィルム34のセパレータ33から離すことによって、回路21の上に異方導電接着層30aのみが固定され、セパレータ33が除去される。
図2に沿って説明したように、従来法による異方導電接着フィルムの固定には、回路基板の回路部(接続パッド)に対する接着層の位置決め時間に加え、圧着ヘッドの上下移動および接着層の圧着に3〜4秒程度の時間を要する。また、隣り合う接着層(例えば図2の30aおよび30b)はハーフスリットによって分割されているが、それら接着層間の空隙は切断刃の幅程度しかない。そのため、接着層30aを回路基板上に仮固定する際の加熱圧着によって、接着層30aが押し広げられ、隣接する接着層30bに付着しやすく、接着層30aと同時に接着層30bも回路基板に圧着される等の固定ミスが発生しやすい傾向がある。
特願2003−407182号明細書
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、フレキシブル回路基板上に異方導電接着剤層を形成するために、フレキシブル回路基板上に異方導電接着フィルムを短時間でかつ正確に固定する方法および装置を提供することを課題とする。
すなわち、本発明は以下に関する。
本発明による方法は、セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する方法であって、
(i)上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する工程と、
(ii)上記切断された上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程と、
(iii)上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着層から上記セパレータを剥離させる工程とを有することを特徴とする。
本発明による方法は、セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する方法であって、
(i)上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する工程と、
(ii)上記切断された上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程と、
(iii)上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着層から上記セパレータを剥離させる工程とを有することを特徴とする。
ここで、上記工程(i)において上記異方導電接着フィルムの搬送は、上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側に搬送テープを設けた後に、上記搬送テープの一部を上記異方導電接着層から剥がして剥離部位を形成し、引き続き上記剥離部位を上記異方導電接着フィルムの進行方向に対して90度以上の方向に引っ張ることによって実施されることが好ましい。
上記工程(i)の上記切断刃は、上記切断刃に係合し、かつ上記切断刃を上下に振幅運動させる第1のカム機構を有することが好ましい。
上記工程(i)の上記切断刃は、上記切断刃に係合し、かつ上記切断刃を上下に振幅運動させる第1のカム機構を有することが好ましい。
上記工程(ii)の上記圧着ヘッドは、上記圧着ヘッドに係合し、かつ上記圧着ヘッドを上下に振幅運動させる第2のカム機構を有することが好ましい。
上記第1のカム機構および上記第2のカム機構は、同期制御されることが好ましい。
上記第1のカム機構および上記第2のカム機構は、同期制御されることが好ましい。
上記工程(ii)の上記圧着ヘッドは、上記第2のカム機構、回転機構および真空機構を備えた円盤と、該円盤の側面に等間隔で設置された複数の圧着ヘッド部とから構成され、上記複数の圧着ヘッド部の各々には上記円盤の上記真空機構に連通する吸引口が設けられている回転式圧着ヘッドであり、
(iia)上記円盤を上記回転機構によって回転させて、上記圧着ヘッドの上記吸引口を、工程(i)の上記切断された異方導電接着フィルムに対向させる工程と、
(iib)上記円盤内を上記真空機構によって真空吸引し、上記吸引口に対向する上記切断された異方導電接着フィルムを、上記吸引口に吸着させる工程と、
(iic)上記円盤を上記回転機構によって回転させて、上記吸引口に吸着させた上記切断された異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板に対向させる工程と、
(iid)上記円盤の側面に設置された圧着ヘッド部を上記第2のカム機構によって降下させ、上記吸引口に吸着させた上記切断された異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に押圧し、固定する工程とを繰り返し実施するものであることが好ましい。
(iia)上記円盤を上記回転機構によって回転させて、上記圧着ヘッドの上記吸引口を、工程(i)の上記切断された異方導電接着フィルムに対向させる工程と、
(iib)上記円盤内を上記真空機構によって真空吸引し、上記吸引口に対向する上記切断された異方導電接着フィルムを、上記吸引口に吸着させる工程と、
(iic)上記円盤を上記回転機構によって回転させて、上記吸引口に吸着させた上記切断された異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板に対向させる工程と、
(iid)上記円盤の側面に設置された圧着ヘッド部を上記第2のカム機構によって降下させ、上記吸引口に吸着させた上記切断された異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に押圧し、固定する工程とを繰り返し実施するものであることが好ましい。
上記工程(iii)の上記屈曲させたフレキシブル回路基板の屈曲部における曲率半径は、3mm以下であることが好ましい。
上記工程(iii)において上記剥離されたセパレータは、真空吸引によって捕獲回収されることが好ましい。
上記工程(iii)において上記剥離されたセパレータは、真空吸引によって捕獲回収されることが好ましい。
上記工程(i)で搬送される上記異方導電接着フィルムはそれらを予め巻き取った第1のリールから巻き出され、上記工程(iii)で得られる上記異方導電接着層が固定されたフレキシブル回路基板が第2のリールに巻き取られることが好ましい。
上記セパレータは、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムからなることが好ましい。
上記セパレータは、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムからなることが好ましい。
本発明による固定装置は、セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定するものであり、フレキシブル回路基板を搬送する手段と、上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する手段と、上記切断された上記異方導電接着フィルムを、圧着ヘッドを使用して、上記搬送されたフレキシブル回路基板上に固定する手段と、上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルム面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着層から上記セパレータを剥離させる手段と、上記剥離されたセパレータを真空吸引によって捕獲回収する手段とを備えることを特徴とする。
本発明の異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置によれば、短時間でかつ正確に異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に固定することが可能となり、フレキシブル回路基板上に異方導電接着層を効率良く形成することが可能となる。
本発明による異方導電接着フィルムの固定方法は、(i)セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、上記切断刃を使用して上記異方導電接着フィルムを切断する工程と、(ii)上記切断された上記異方導電接着フィルムの上記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程と、(iii)上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着フィルムから上記セパレータを剥離させる工程とを有することを特徴とする。なお、本発明による固定方法では、作業の効率性の観点から、工程(i)で搬送される異方導電接着フィルムはそれらを予め巻き取った第1のリールから巻き出され、工程(iii)で得られる異方導電接着層が固定されたフレキシブル回路基板は第2のリールに巻き取られることが好ましい。以下、図面を参照しながら、各工程の詳細について説明する。
上記工程(i)において異方導電接着フィルムを搬送する方法の一例を図3に沿って説明する。図3に示すように、異方導電接着フィルム34は、セパレータ33と、セパレータ33の片面に設けられた異方導電接着層30を有してなる。このような異方導電接着フィルム34を搬送するために、本発明では異方導電接着層30側に搬送テープ35を設けることが好ましい。搬送は、搬送テープ35の一部を異方導電接着層30から剥がして剥離部位を形成し、引き続きその剥離部位を異方導電接着フィルム34の進行方向に対して90度以上の方法に引っ張ることによって達成される。
より具体的に、図3(a)では搬送テープ35を下方に引っ張った場合、図3(b)では搬送テープ35を上方に引っ張った場合を例示した。異方導電接着フィルムの異方導電接着層側に予め搬送テープが設けられた3層構造のフィルムを使用しても、工程(i)に先立って、セパレータと異方導電接着層とからなる2層構造の異方導電接着フィルムに、搬送用テープを貼り合わせて3層構造のフィルムを形成してもよい。このような3層構造のフィルムは、リールに予め巻き取られ、そのリールから巻き出されることが好ましい。
図3(a)では、リール(不図示)から巻き出された3層構造のフィルムにおける搬送用テープ35の一部を異方導電接着層30から剥がし、搬送ステージ60の先端を支点にして、他の2層からなる異方導電接着フィルム34の進行方向に対して90度以上の角度で下方に引っ張ることによって、異方導電接着フィルム34が前方に押し出される。ここで、搬送用テープ35を引っ張る方向は、異方導電接着フィルムを安定して前方に押し出すために、少なくとも90度以上、好ましくは135度以上とする。
また、別法として、図3(b)に示すように、搬送ステージ61上に図3(a)に示した3層構造のフィルムを上下反転させて配置し、搬送用テープ35を上方に引っ張ることによって、異方導電接着フィルム34を搬送してもよい。さらに、異方導電接着フィルム34が水平方向に押し出されるように、押さえ治具62を配置してもよい。以上説明した方法に従い、異方導電接着フィルムの先端が把持されていない状態でそれらを搬送することによって、セパレータを含む異方導電接着フィルム全体を切断することが可能となる。
上記工程(i)における異方導電接着フィルムの切断は、切断刃を使用して、異方導電接着フィルムの異方導電接着層だけでなく、セパレータも一緒に切断することを特徴とする。切断刃の駆動には、どのような機構を適用してもよいが、タクト時間を短縮することが可能であるカム機構を適用することが好ましい。図4は、異方導電接着フィルムの切断方法の一例を説明する模式的断面図である。図4に示すように、切断刃72は、切断刃72に係合する第1のカム機構を有することを特徴とする。ここで「第1のカム機構」とは、切断刃72に上下の振幅運動を与える第1の板カム70と、その板カム70を回転させる回転軸およびモータ(不図示)とを含む。特殊な形状を有する板カム70が回転することによって、切断刃72は異方導電接着フィルム34を連続的に切断することが可能となる。また、切断刃72の駆動に第1のカム機構を適用することによって、後述する工程(ii)における圧着ヘッドと同期させることも可能となる。図4(a)は切断刃72が上限の位置にある場合、図4(b)は切断刃72が下限の位置にある場合を示している。第1のカム機構によって板カム70が回転し、切断刃72が下限の位置まで降下した時、異方導電接着フィルム34は切断されることになる。
以上のようにして、工程(i)における異方導電接着フィルムの搬送、および異方導電接着フィルムの切断が実施される。工程(i)のタクト時間は、異方導電接着フィルムを搬送するために搬送用テープを引っ張る速度と、第1のカム機構による板カムの回転速度によって決定される。先に説明した方法に従えば、0.1秒程度のタクト時間が実現可能となる。
次に、工程(ii)の詳細について説明する。図5は、先に説明した工程(i)で切断された異方導電接着フィルムを、圧着ヘッドを用いて回路基板上の所定の位置に固定する方法の一例を示す模式的断面図である。圧着ヘッドの駆動には、どのような機構を適用してもよいが、タクト時間を短縮することが可能である第2のカム機構を適用することが好ましい。ここで「第2のカム機構」とは、圧着ヘッド73に上下の振幅運動を与える第2の板カム71と、その板カム71を回転させる回転軸およびモータ(不図示)とを含む。特殊な形状を有する板カム71が回転することによって、圧着ヘッド73は、切断された異方導電接着フィルム34をセパレータ33側から、フレキシブル基板22上に回路23を有してなるフレキシブル回路基板24の上に押圧し、それらを固定することが可能となる。第2のカム機構は、切断刃に係合する第1のカム機構と同期制御されることが好ましい。第1のカム機構と第2のカム機構との同期制御によって、異方導電接着フィルムの切断および回路基板への異方導電接着フィルムの固定を、より効率的に実施することが可能となる。
より具体的には、図5(a)に示すように圧着ヘッド73が上限の位置にある場合、切断刃72は下限の位置にあるように制御される。また、図5(b)に示すように圧着ヘッド73が下限の位置にある場合、切断刃72は上限の位置にあるように制御される。より詳細には、図5(a)に示すように、圧着ヘッド73が上限の位置にある場合、工程(i)において第1の板カム70を備えた第1のカム機構を有する切断刃72によって切断された異方導電接着フィルム34と、第1のカム機構に同期させた第2の板カム71を備えた第2のカム機構を有する圧着ヘッド73とは、フレキシブル回路基板24から離れた状態にある。
次いで、図5(b)に示すように、第1および第2のカム機構によって第1および第2の板カム70および71がそれぞれ回転するにつれて、切断刃72は上昇し、その一方で圧着ヘッド73は下降する。第2のカム機構によって第2の板カム71が回転し、圧着ヘッド73が下限の位置まで降下した時、工程(i)で切断された異方導電接着フィルム34はフレキシブル回路基板24上に押圧され固定されることになる。なお、図5(a)および(b)に示した固定工程において、異方導電接着フィルム34は、その異方導電接着層30側がフレキシブル回路基板24の表面(回路23)に対向する方向で搬送および切断され、直線的に上下に振幅運動する圧着ヘッド73によって回路23上に固定される。
別法として、異方導電接着フィルムを、そのセパレータ側がフレキシブル回路基板の表面に対向する方向で搬送および切断し、回転運動可能な圧着ヘッド(以下、「回転式圧着ヘッド」と称す)によってフレキシブル回路基板上に固定することも可能である。以下、回転式圧着ヘッドを適用する固定工程の一例について図6に沿って説明する。回転式圧着ヘッド75は、例えば、先に説明した第2のカム71を備える第2のカム機構、回転機構および真空機構(不図示)を備えた円盤75aと、該円盤75aの側面に等間隔で設置された複数の圧着ヘッド部75bとから構成され、複数の圧着ヘッド部75bの各々には上記円盤75aの上記真空機構に連通する吸引口75cが設けられている。このような回転式圧着ヘッド75を使用することによって、(iia)上記円盤75aを上記回転機構によって回転させて、上記圧着ヘッド75bの上記吸引口75cを、工程(i)の上記切断された異方導電接着フィルム34に対向させる工程と、(iib)上記円盤75a内を上記真空機構によって真空吸引し、上記吸引口75cに対向する上記切断された異方導電接着フィルム34を、上記吸引口75cに吸着させる工程と、(iic)上記円盤75aを上記回転機構によって回転させて、上記吸引口75cに吸着させた上記切断された異方導電接着フィルム34を、フレキシブル基板22上に回路23を有してなるフレキシブル回路基板24に対向させる工程と、(iid)上記円盤75aの側面に設置された圧着ヘッド部75bを上記第2のカム機構によって降下させ、上記吸引口75cに吸着させた上記切断された異方導電接着フィルム34をフレキシブル回路基板24上に押圧し、固定する工程とを連続的にかつ繰り返して実施することが可能である。
ここで「回転機構」とは、上記円盤75aに係合された回転軸およびモータ(不図示)から構成される。また、「真空機構」とは、上記吸引口75cが設けられた円盤75a、真空ポンプおよび接続チューブから構成され、吸引口75c内部の気圧を低下させることによって、異方導電接着フィルムを吸着するものである。
具体的に、図6(a)は、第1のカム70を備える第1のカム機構によって切断刃72が下降し、異方導電接着フィルム34を切断すると同時に、第1のカム機構に同期制御された第2のカム71を備える第2のカム機構によって回転式圧着ヘッド75が上昇し、回転式圧着ヘッド75の最上部に位置する吸着口75cに、切断された異方導電接着フィルム34が吸着された状態を示している。
図6(b)は、第1のカム機構に同期しながら第2のカム機構によって第2のカム71が数回転し、回転式圧着ヘッド75に設けられた複数の吸着口75cに異方導電接着フィルム34が順次吸着され、最初に吸着された異方導電接着フィルム34がフレキシブル回路基板24の表面(回路23)に対向した状態を示している。
図6(c)は、第2のカム71がさらに半回転し、切断刃70が上昇すると同時に回転式圧着ヘッド75が下降し、回転式圧着ヘッド75の最下部に位置する吸着口75cに吸着された異方導電接着フィルムが、フレキシブル回路基板の回路23上に押圧され、固定された状態を示している。
工程(iii)では、先の工程(i)および(ii)で搬送および切断され、フレキシブル回路基板24に固定された異方導電接着フィルム34からセパレータ33のみを除去する。セパレータ33の除去は、異方導電接着フィルム34が固定されたフレキシブル回路基板24をその裏面方向に屈曲させ、それに伴って異方導電接着フィルム34のセパレータ33のみを剥離させることによって実施される。以下、図7を参照しながら、工程(iii)の詳細について説明する。
図7(a)は、異方導電接着フィルム34が固定されたフレキシブル回路基板24が、搬送ステージ63に沿って前進し、搬送ステージ63の屈曲部にさしかかった状態を示している。すなわち、フレキシブル回路基板24が搬送ステージ63の屈曲部にさしかかると、異方導電接着層30からセパレータ33の先端が剥離し始める。図7(b)は、搬送ステージ63の屈曲部に沿ってフレキシブル回路基板24がさらに屈曲し、異方導電接着層30からセパレータ33が完全に剥離し除去された状態を示している。搬送ステージ63は、フレキシブル回路基板24を一定の角度に屈曲させる形状を有することが好ましい。また、工程(iii)におけるセパレータの除去によって得られる、異方導電接着層30を有するフレキシブル回路基板24は、リール(不図示)に連続的に巻き取られることが好ましい。
工程(iii)において、異方導電接着フィルム34の異方導電接着層30は、この段階では未硬化であるために柔軟性を有する。そのため、フレキシブル回路基板24を屈曲させた時、異方導電接着層30はフレキシブル回路基板24に密着したまま、回路基板24と一緒に屈曲することになる。一方、セパレータ33はその剛性が異方導電接着層30との密着力よりも勝るため、フレキシブル回路基板24の屈曲に伴ってセパレータ33の先端部から剥離が進行することになる。すなわち、セパレータの剥離をより効率的に実施するためには、接着層およびセパレータ間の密着力と比較して、セパレータの曲げ弾性をより大きくすることが好ましい。
セパレータの一例として、ポリエチレンテレフタレートからなるフィルムが挙げられる。そのようなフィルムの表面に、例えばシリコーンを塗布することによって、剥離処理が施すことが好ましい。セパレータの厚みは25μm以上、より好ましくは50μm以上とする。特に限定されるものではないが、実用面を考慮すると、セパレータの厚みは50μm〜100μmであることが好ましい。セパレータ33の厚みが25μm未満となると、セパレータに柔軟性が生じるため、剥離性が低下する傾向がある。一方、セパレータの厚みが100μmを超えると、1リール当たりの巻き長が短くなり、リールの交換頻度が高くなるため、作業効率が低下する傾向がある。
また、フレキシブル回路基板の曲率角度が小さくなると、セパレータの曲げ弾性は小さくなるため、剥離性が低下する傾向がある。そのため、フレキシブル回路基板の屈曲は、基板の裏面の方向に45度以上、好ましくは90度以上、より好ましくは120度以上の角度で実施することが望ましい。但し、角度をより大きくすると、フレキシブル回路基板に曲げ癖等の変形が生じやすくなる。したがって、実用面を考慮すると、屈曲角度は120度程度で十分である。フレキシブル回路基板の屈曲角度とセパレータの剥離率との関係を表1に示す。
さらに、フレキシブル回路基板の屈曲部における曲率半径が大きくなると、セパレータの曲げ弾性は小さくなり、剥離性が低下する傾向がある。そのため、搬送ステージの屈曲部における曲率半径は、3mm以下、好ましくは1〜2mmにすることが望ましい。曲率半径を1mmより小さくすると、フレキシブル回路基板に曲げ癖等の変形が生じやすくなる。したがって、実用面を考慮すると、曲率半径は1〜2mm程度で十分である。なお、「曲率半径」とは、曲面を円筒の一部と見なした時の円筒の半径を意味する。屈曲部における曲率半径とセパレータの剥離率との関係を表2に示す。
工程(iii)において除去されたセパレータは、図8に示すように、セパレータ吸引口80を有する真空吸引等の方法によって、吸引口80から容易に捕獲回収することが可能である。真空吸引によるセパレータの捕獲回収は、剥離されたセパレータが異方導電接着層またはフレキシブル回路基板上に再付着することがないため好適である。真空吸引は、例えばロータリー式真空ポンプを使用することによって実施することが可能である。以上のように工程(i)〜(iii)を順次実施することによって、短時間でかつ正確に異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に固定することができる。
本発明による異方導電接着フィルムの固定装置は、先に説明した本発明による固定方法に関連して使用するものである。本発明による固定装置は、セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に固定するためのものであり、フレキシブル回路基板を搬送する手段と、上記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、切断刃を使用して切断する手段と、上記切断された上記異方導電接着フィルムを、圧着ヘッドを使用して、上記搬送されたフレキシブル回路基板上に固定する手段と、上記異方導電接着フィルムが固定された上記フレキシブル回路基板を、上記異方導電接着フィルム面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、上記異方導電接着フィルムから上記セパレータのみを剥離させる手段と、上記剥離されたセパレータを、真空吸引によって捕獲回収する手段とを備えることを特徴とする。
図9に本発明による固定装置の一例を説明する概念図を示す。図中、フレキシブル回路基板を搬送する手段(図9中、区域「A1」で示される)は、フレキシブル回路基板用リールの巻き出し部と巻き取り部、および搬送用ローラーから構成される。フレキシブル回路基板は、上記巻き出し部と巻き取り部、及び搬送用ローラーをそれぞれ回転させることによって搬送される。
異方導電接着フィルムを搬送および切断する手段は、異方導電接着フィルムの異方導電接着層側に搬送テープを貼り付ける手段、搬送用テープを剥がし巻き取る手段、および異方導電接着フィルムを切断する手段(順に、図中区域「B1」、「C1」および「D1」で示される)から構成される。搬送テープを貼り付ける手段は、異方導電接着フィルム用リールの巻き出し部、搬送テープ用リールの巻き出し部と巻き取り部、および異方導電接着フィルムと搬送テープの圧着部から構成される。圧着部では、異方導電接着フィルムおよび搬送テープの両者を圧着ローラー等によって加圧することによって、搬送テープを貼り合わせた異方導電接着フィルムが得られる。
搬送用テープを剥がし巻き取る手段は、先に図3に沿って説明したように、搬送用テープを搬送ステージの先頭で剥がし、90度以上の角度で引っ張る手段を含めばよく、図9では押さえ治具と搬送用テープを巻き取るリールとから構成される。搬送用テープがリールに巻き取られるにつれて、異方導電接着フィルムは前進し、切断刃の位置まで搬送される。
異方導電接着フィルムを切断する手段は、先に図4に沿って説明したように、切断刃と、切断刃を駆動する第1の板カムを備えた第1のカム機構とを含む。切断刃が上下に往復運動することによって、切断刃の位置まで搬送された異方導電接着フィルムを連続的に所定の大きさに切断する。
異方導電接着フィルムを固定する手段(図9中、区域「E1」)は、先に図5または6に沿って説明したように、圧着ヘッドと、その圧着ヘッドを第1のカム機構と同期して駆動させる第2のカム機構とを含む。図9では、回転式圧着ヘッドを適用した場合を示している。切断された異方導電接着フィルムは、回転式圧着ヘッドの吸着口で吸着され、圧着ヘッドの回転によってフレキシブル回路基板に対向する位置まで搬送され、圧着ヘッドが下降することによってフレキシブル回路基板上に固定される。なお、図6に示した回転式圧着ヘッドの代わりに、図5に沿って先に説明した非回転式の圧着ヘッドを適用することも可能である。その場合、搬送用テープを貼り合わせた異方導電接着フィルムの向きを上下反転させ、搬送用テープを下方に剥がしながら巻き取る。詳細については図3および図4を参照されたい。
セパレータを剥離する手段(図9中、区域「F1」)は、先に図7に沿って説明したように、フレキシブル回路基板を45度以上の角度で屈曲する手段を含めばよく、図9では、フレキシブル回路基板を屈曲させるための搬送用ローラーの配置と、屈曲角度を一定にする搬送ステージとから構成されている。
剥離されたセパレータを捕獲回収する手段(図9中、区域「G1」)は、先に図8に沿って説明したように、セパレータを真空吸引してそれらを回収する手段を含めばよく、図9では、剥離したセパレータを吸引する吸引口と、真空源とから構成されている。真空ポンプ等の真空源を駆動することによって、セパレータは吸引口から捕獲回収される。セパレータの除去によって得られる、異方導電接着層を有するフレキシブル回路基板は、搬送ステージに沿って、引き続き実施されるチップ搭載工程および加熱圧着工程へと進められる。
以上、本発明による異方導電接着フィルムの固定装置の概略について説明したが、それらは独立して構成しても、あるいは引き続き実施されるチップ搭載工程および加熱圧着工程に適用される装置に接続させて構成してもよい。また、本発明による固定装置における各区域の構成は、特に限定されるものではなく、各区域において目的が達成可能な範囲において適宜変更することが可能である。
以下、実施例によって本発明をより具体的に説明するが、それらは本発明を限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
(実施例1)
本実施例では、本発明による固定方法および装置を適用し、無線通信用のICチップをアンテナ基板上に実装して構成されるICタグを製作した。まず、フレキシブル回路基板として、幅70mm、厚み50μmのポリエチレンテレフタレート基材と、厚み10μmのアルミニウム箔とを接着剤を用いて貼り合わせ、アルミニウム箔側をエッチングすることによってアンテナ回路を形成した後に、連続的にリールに巻き取った。なお、アンテナ回路は、縦2.5mmおよび横58mmの形状を有し、リールの進行方向とアンテナの縦方向とが一致する向きで、3.175mmピッチで連続的に形成された。
本実施例では、本発明による固定方法および装置を適用し、無線通信用のICチップをアンテナ基板上に実装して構成されるICタグを製作した。まず、フレキシブル回路基板として、幅70mm、厚み50μmのポリエチレンテレフタレート基材と、厚み10μmのアルミニウム箔とを接着剤を用いて貼り合わせ、アルミニウム箔側をエッチングすることによってアンテナ回路を形成した後に、連続的にリールに巻き取った。なお、アンテナ回路は、縦2.5mmおよび横58mmの形状を有し、リールの進行方向とアンテナの縦方向とが一致する向きで、3.175mmピッチで連続的に形成された。
次に、セパレータと異方導電接着層とからなる幅1.2mmの異方導電接着フィルム(日立化成工業(株)製、商品名「AC−2052P−45」)を準備した。異方導電接着層の厚みは45μm、セパレータの厚みは50μmであり、セパレータはポリエチレンテレフタレートフィルムをシリコーンで離型処理したものである。また、上記異方導電接着フィルムの搬送用テープとして、幅1.2mm、厚み50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを準備した。なお、このフィルムの表面はシリコーンで離型処理されている。
次に、先に準備したフレキシブル回路基板、異方導電接着フィルムおよび搬送テープを使用し、図9に示した本発明による固定装置によって、異方導電接着フィルムの固定を実施した。操作の詳細について、図9を参照しながら説明する。
まず、先に準備したフレキシブル回路基板、異方導電接着フィルムおよび搬送用テープを巻き取った各々のリールを、固定装置の所定の位置に装着した。フレキシブル回路基板を搬送する区域(図9中「A1」)において、フレキシブル回路基板を、搬送ステージに沿って、異方導電接着フィルムを固定する区域(図9「E1」)まで搬送させた。その一方で、固定装置の搬送テープ貼り合わせ区域(図9中「B1」)において、異方導電接着フィルムに搬送用テープを貼り合せ、搬送ステージに沿って搬送した。次に、搬送用テープを剥がし巻き取る区域(図9中「C1」)において、搬送された異方導電接着フィルムに貼り合わせた搬送用テープを剥離しながらリールに巻き取り、異方導電接着フィルムを前方に搬送した。このとき、搬送用テープの巻き取り速度、すなわち異方導電接着フィルムの搬送速度は21mm/秒であった。
次に、異方導電接着フィルムを切断する区域(図9中「D1」)において、異方導電接着フィルムを切断し、引き続き、異方導電接着フィルムを固定する区域(図中、「E1」)において、切断されたフィルムを回転式圧着ヘッドの吸着口に連続的に吸着させた。なお、回転式圧着ヘッドは、切断された異方導電接着フィルムを連続的に10枚把持することが可能なものであった。カムの回転速度は6.7回/秒とし、切断された異方導電接着フィルムの長さは3mmであった。回転式圧着ヘッドの吸着口に吸着された異方導電接着フィルムは、圧着ヘッドの回転にともない搬送され、フレキシブル回路基板に対向する位置になると、圧着ヘッドが下降して、それらがフレキシブル回路基板に押圧されることにより固定された。
次に、セパレータを除去する区域(図9中「F1」)において、フレキシブル回路基板が搬送ステージに沿って屈曲されることにより、セパレータが除去された。なお、フレキシブル回路基板の曲率半径は1mmであり、屈曲角度は120度であった。除去されたセパレータは、セパレータを捕獲回収する区域(図9中「G1」)において、真空吸引され、回収された。
以上のようにして、3.175mmピッチで形成されたICタグ用のアンテナ上に異方導電接着フィルムを固定することによって、異方導電接着層を形成した。このとき、ICタグ1個当たりのタクト時間は0.15秒であった。また、1000個の異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板に固定したところ、特に問題は発生せず、歩留りは100%であった。
(比較例1)
本比較例では、従来の固定方法および装置を適用し、無線通信用のICチップをアンテナ基板上に実装して構成されるICタグを製作した。まず、実施例1と同様にして、フレキシブル回路基板、および異方導電接着フィルムを準備した。すなわち、フレキシブル回路基板として、幅70mm、厚み50μmのポリエチレンテレフタレート基材と、厚み10μmのアルミニウム箔とを接着剤を用いて貼り合わせ、アルミニウム箔側をエッチングすることによってアンテナ回路を形成した後に、連続的にリールに巻き取った。なお、アンテナ回路は、縦2.5mmおよび横58mmの形状を有し、リールの進行方向とアンテナの縦方向とが一致する向きで、3.175mmピッチで連続的に形成された。また、異方導電接着フィルムとして、セパレータと異方導電接着層とからなる幅1.2mmの異方導電接着フィルム(日立化成工業(株)製、商品名「AC−2052P−45」)を準備した。異方導電接着層の厚みは45μm、セパレータの厚みは50μmであり、セパレータはポリエチレンテレフタレートフィルムをシリコーンで離型処理したものである。
本比較例では、従来の固定方法および装置を適用し、無線通信用のICチップをアンテナ基板上に実装して構成されるICタグを製作した。まず、実施例1と同様にして、フレキシブル回路基板、および異方導電接着フィルムを準備した。すなわち、フレキシブル回路基板として、幅70mm、厚み50μmのポリエチレンテレフタレート基材と、厚み10μmのアルミニウム箔とを接着剤を用いて貼り合わせ、アルミニウム箔側をエッチングすることによってアンテナ回路を形成した後に、連続的にリールに巻き取った。なお、アンテナ回路は、縦2.5mmおよび横58mmの形状を有し、リールの進行方向とアンテナの縦方向とが一致する向きで、3.175mmピッチで連続的に形成された。また、異方導電接着フィルムとして、セパレータと異方導電接着層とからなる幅1.2mmの異方導電接着フィルム(日立化成工業(株)製、商品名「AC−2052P−45」)を準備した。異方導電接着層の厚みは45μm、セパレータの厚みは50μmであり、セパレータはポリエチレンテレフタレートフィルムをシリコーンで離型処理したものである。
次に、先に準備したフレキシブル回路基板および異方導電接着フィルムを使用し、図10に示した従来の固定装置によって、異方導電接着フィルムの固定を実施した。操作の詳細について、図10を参照しながら説明する。図10に示すように、固定に使用する装置は、フレキシブル回路基板を搬送する区域「A2」と、異方導電接着フィルムを切断する区域「D2」と、切断された異方導電接着フィルムを固定する区域「E2」と、セパレータを巻き取る区域「F2」とから概略構成され、フレキシブル回路基板は巻き出しリールと巻き取りリールによって各工程間を搬送される。セパレータの除去後に得られる、異方導電接着層を有するフレキシブル回路基板は、搬送ステージに沿って、引き続き実施されるチップ搭載工程および加熱圧着工程へと進められる。
図10に示す従来の固定装置において、先に準備したフレキシブル回路基板、および異方導電接着フィルムを巻き取った各々のリールを、所定の位置に装着した。フレキシブル回路基板を搬送する区域(図10中「A2」)において、フレキシブル回路基板を、搬送ステージに沿って、異方導電接着フィルムを固定する区域(図10「E2」)まで搬送させた。その一方で、異方導電接着フィルムを搬送ステージに沿って搬送し、異方導電接着フィルムを切断する区域(図10中「D2」)において、ハーフスリット用切断刃を使用し、異方導電接着フィルムの異方導電接着層のみを切断および分離した。
次に、ハーフスリットにより接着層を分離させた異方導電接着フィルムを、異方導電接着フィルムを固定する区域(図10中「E2」)において、フレキシブル回路基板に押圧し、固定した。固定は、異方導電接着フィルムのセパレータ側から、80℃に加熱した固定用圧着ヘッドを降下させ、異方導電接着フィルムに押圧させた状態で2秒保持することによって実施した。次いで、圧着ヘッドを上昇させることによって、異方導電接着層からセパレータを除去した。除去されたセパレータは、セパレータを巻き取る区域(図10中「F2」)において、リールに巻き取った。
以上のようにして、3.175mmピッチで形成されたICタグ用のアンテナ上に異方導電接着フィルムを固定することによって、異方導電接着層を形成した。このとき、ICタグ1個当たりのタクト時間は2.5秒であった。また、1000個の異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板に固定したところ、ハーフスリットによる異方導電接着フィルムの分離不良が発生し、歩留りは98%であった。
10:ICチップ、11:突起電極(バンプ)
20:基板、21:回路、22:フレキシブル基板、23:回路、24:フレキシブル回路基板
30:異方導電接着剤、31:導電粒子、32:マトリックス樹脂、33:セパレータ、34:異方導電接着フィルム
40:切断刃
50:圧着ヘッド
60、61、63:搬送ステージ、62、64:押さえ治具
70、71:カム、72:切断刃、73:圧着ヘッド、75:回転式圧着ヘッド、75a:円盤、75b:圧着ヘッド部、75c:吸着口
80:セパレータ吸引口
100:ICチップ、110:接着剤、120:リードフレーム、130:ボンディングワイヤ
200:回路基板、210:端子
20:基板、21:回路、22:フレキシブル基板、23:回路、24:フレキシブル回路基板
30:異方導電接着剤、31:導電粒子、32:マトリックス樹脂、33:セパレータ、34:異方導電接着フィルム
40:切断刃
50:圧着ヘッド
60、61、63:搬送ステージ、62、64:押さえ治具
70、71:カム、72:切断刃、73:圧着ヘッド、75:回転式圧着ヘッド、75a:円盤、75b:圧着ヘッド部、75c:吸着口
80:セパレータ吸引口
100:ICチップ、110:接着剤、120:リードフレーム、130:ボンディングワイヤ
200:回路基板、210:端子
Claims (11)
- セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する方法であって、
(i)前記異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、前記切断刃を使用して前記異方導電接着フィルムを切断する工程と、
(ii)前記切断された前記異方導電接着フィルムの前記異方導電接着層側を、フレキシブル回路基板上に圧着ヘッドを使用して固定する工程と、
(iii)前記異方導電接着フィルムが固定された前記フレキシブル回路基板を、前記異方導電接着フィルムの面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、前記異方導電接着層から前記セパレータを剥離させる工程と
を有することを特徴とする、異方導電接着フィルムの固定方法。 - 前記工程(i)において前記異方導電接着フィルムの搬送が、前記異方導電接着フィルムの前記異方導電接着層側に搬送テープを設けた後に、前記搬送テープの一部を前記異方導電接着層から剥がして剥離部位を形成し、引き続き前記剥離部位を前記異方導電接着フィルムの進行方向に対して90度以上の方向に引っ張ることによって実施されることを特徴とする、請求項1に記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記工程(i)の前記切断刃が、前記切断刃に係合し、かつ前記切断刃を上下に振幅運動させる第1のカム機構を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記工程(ii)の前記圧着ヘッドが、前記圧着ヘッドに係合し、かつ前記圧着ヘッドを上下に振幅運動させる第2のカム機構を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記第1のカム機構および前記第2のカム機構が、同期制御されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記工程(ii)の前記圧着ヘッドが、前記第2のカム機構、回転機構および真空機構を備えた円盤と、該円盤の側面に等間隔で設置された複数の圧着ヘッド部とから構成され、前記複数の圧着ヘッド部の各々には前記円盤の前記真空機構に連通する吸引口が設けられている回転式圧着ヘッドであり、
(iia)前記円盤を前記回転機構によって回転させて、前記圧着ヘッドの前記吸引口を、工程(i)の前記切断された異方導電接着フィルムに対向させる工程と、
(iib)前記円盤内を前記真空機構によって真空吸引し、前記吸引口に対向する前記切断された異方導電接着フィルムを、前記吸引口に吸着させる工程と、
(iic)前記円盤を前記回転機構によって回転させて、前記吸引口に吸着させた前記切断された異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板に対向させる工程と、
(iid)前記円盤の側面に設置された圧着ヘッド部を前記第2のカム機構によって降下させ、前記吸引口に吸着させた前記切断された異方導電接着フィルムをフレキシブル回路基板上に押圧し、固定する工程と
を繰り返し実施することを特徴とする、請求項4または5に記載の異方導電接着フィルムの固定方法。 - 前記工程(iii)の前記屈曲させたフレキシブル回路基板の屈曲部における曲率半径が、3mm以下であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記工程(iii)において前記剥離されたセパレータを、真空吸引によって捕獲回収することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記工程(i)で搬送される前記異方導電接着フィルムがそれらを予め巻き取った第1のリールから巻き出され、前記工程(iii)で得られる前記異方導電接着層が固定されたフレキシブル回路基板が第2のリールに巻き取られることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- 前記セパレータが、ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムからなることを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載の異方導電接着フィルムの固定方法。
- セパレータの片面に異方導電接着層を有してなる異方導電接着フィルムを、フレキシブル回路基板上に固定する装置であって、
フレキシブル回路基板を搬送する手段と、
異方導電接着フィルムを切断刃の位置まで搬送し、前記切断刃を使用して前記異方導電接着フィルムを切断する手段と、
前記切断された前記異方導電接着フィルムを、圧着ヘッドを使用して、前記搬送されたフレキシブル回路基板上に固定する手段と、
前記異方導電接着フィルムが固定された前記フレキシブル回路基板を、前記異方導電接着フィルム面に対して45度以上の角度で屈曲させることによって、前記異方導電接着層から前記セパレータを剥離させる手段と、
前記剥離されたセパレータを、真空吸引によって捕獲回収する手段と
を備えることを特徴とする、異方導電接着フィルムの固定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005254950A JP2006352058A (ja) | 2005-05-20 | 2005-09-02 | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005148149 | 2005-05-20 | ||
JP2005254950A JP2006352058A (ja) | 2005-05-20 | 2005-09-02 | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006352058A true JP2006352058A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37647541
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005254950A Pending JP2006352058A (ja) | 2005-05-20 | 2005-09-02 | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006352058A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130157A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Panasonic Corp | ダイアタッチフィルム付きの半導体装置の製造方法 |
CN106785793A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-31 | 东莞市广信知识产权服务有限公司 | 一种连接器自动装配机 |
CN111886938A (zh) * | 2018-04-05 | 2020-11-03 | 株式会社村田制作所 | 树脂多层基板的制造方法以及制造装置 |
CN113840481A (zh) * | 2021-10-25 | 2021-12-24 | 东莞市吉宏五金科技有限公司 | 上pin针包胶机及其上pin针包胶工艺 |
WO2022239332A1 (ja) * | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 株式会社豊田自動織機 | 樹脂枠付き電極箔の製造装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01175748A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Canon Inc | 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 |
JPH05175258A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Rohm Co Ltd | 半導体実装装置 |
JPH07315682A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-05 | Sony Chem Corp | シート状接着材の剥離フィルムの剥離方法及び剥離装置 |
JPH09298386A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 異方性導電テープの貼着装置 |
JPH10178029A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Nec Kansai Ltd | 半田供給装置及びマウンタ |
JP2000151084A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着フィルム |
JP2003077957A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧着装置および圧着方法 |
-
2005
- 2005-09-02 JP JP2005254950A patent/JP2006352058A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01175748A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Canon Inc | 導電性接着膜の圧着装置および圧着方法 |
JPH05175258A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Rohm Co Ltd | 半導体実装装置 |
JPH07315682A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-05 | Sony Chem Corp | シート状接着材の剥離フィルムの剥離方法及び剥離装置 |
JPH09298386A (ja) * | 1996-05-07 | 1997-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 異方性導電テープの貼着装置 |
JPH10178029A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Nec Kansai Ltd | 半田供給装置及びマウンタ |
JP2000151084A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 異方導電性接着フィルム |
JP2003077957A (ja) * | 2001-09-06 | 2003-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧着装置および圧着方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130157A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Panasonic Corp | ダイアタッチフィルム付きの半導体装置の製造方法 |
CN106785793A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-31 | 东莞市广信知识产权服务有限公司 | 一种连接器自动装配机 |
CN106785793B (zh) * | 2016-12-12 | 2019-02-19 | 东莞市广信知识产权服务有限公司 | 一种连接器自动装配机 |
CN111886938A (zh) * | 2018-04-05 | 2020-11-03 | 株式会社村田制作所 | 树脂多层基板的制造方法以及制造装置 |
CN111886938B (zh) * | 2018-04-05 | 2024-05-14 | 株式会社村田制作所 | 树脂多层基板的制造方法以及制造装置 |
WO2022239332A1 (ja) * | 2021-05-13 | 2022-11-17 | 株式会社豊田自動織機 | 樹脂枠付き電極箔の製造装置 |
CN113840481A (zh) * | 2021-10-25 | 2021-12-24 | 东莞市吉宏五金科技有限公司 | 上pin针包胶机及其上pin针包胶工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5589045B2 (ja) | 半導体ウエハのマウント方法および半導体ウエハのマウント装置 | |
JP2000077432A (ja) | 半導体素子並びに半導体素子のダイ接着方法及び装置 | |
WO2011158476A1 (ja) | テープ貼付け装置およびテープ貼付け方法 | |
JP2008242400A (ja) | Acf貼り付け装置及びフラットディスプレイ装置 | |
JP2006352058A (ja) | 異方導電接着フィルムの固定方法および固定装置 | |
JP4417028B2 (ja) | ダイシングフレームへのダイシングテープの貼り付け装置 | |
JP3822043B2 (ja) | チップ部品組立体の製造方法 | |
JP6485597B2 (ja) | Rfidタグの製造装置及びrfidタグの製造方法 | |
JP3595125B2 (ja) | 貼着物の貼着装置 | |
JP5315273B2 (ja) | Fpdモジュールの組立装置 | |
JP4612450B2 (ja) | 積層型半導体装置の製造方法 | |
JPH11163006A (ja) | ペレットボンディング方法 | |
JP4589265B2 (ja) | 半導体接合方法 | |
JP4202376B2 (ja) | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP3765570B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2004017623A (ja) | キャリアフィルム剥離方法およびキャリアフィルム剥離装置 | |
JP6437343B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2004279698A (ja) | フィルム状媒体の貼付装置、フィルム状媒体の貼付方法、電気光学装置の製造装置及び電気光学装置の製造方法 | |
JP5056829B2 (ja) | テープ貼付け装置およびテープ貼付け方法 | |
JP5113273B2 (ja) | 補強板貼り付け装置、補強板型抜き用金型、補強板生成用裁断装置、フレキシブル基板及び電子機器 | |
JP4440455B2 (ja) | バンプボンド装置及びフリップチップボンド装置 | |
JP2006171666A (ja) | 液晶表示装置の製造システム及び製造方法 | |
KR101806408B1 (ko) | 연결필름 가공방법 및 연결필름 가공장치 | |
JP2007088136A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2013092569A (ja) | Fpdモジュール組立装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110224 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111011 |