JP2006337701A - 走査型共焦点レーザ顕微鏡 - Google Patents
走査型共焦点レーザ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006337701A JP2006337701A JP2005162025A JP2005162025A JP2006337701A JP 2006337701 A JP2006337701 A JP 2006337701A JP 2005162025 A JP2005162025 A JP 2005162025A JP 2005162025 A JP2005162025 A JP 2005162025A JP 2006337701 A JP2006337701 A JP 2006337701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- observation
- observation image
- confocal laser
- scanning confocal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を観察試料に集光する対物レンズと、前記観察試料からの反射光を受光して電気信号として出力する受光素子と、前記受光素子で検出したレーザ光の輝度情報を抽出し、観察試料の観察画像を構築する演算部と、前記演算部で構築された観察画像を記憶する画像記憶部と、前記観察画像を表示する表示部を有する走査型共焦点レーザ顕微鏡であって、前記画像記憶部に記憶されている複数の観察画像から、任意に選択した第一の観察画像と、前記第一の観察画像と異なる画像を少なくとも一つ選択し、前記選択した画像の一部を切り取り、前記第一の観察画像に重ね合わせて合成画像を作成する合成画像作成部、を備えた。
【選択図】図1
Description
レーザ光源1からの直線偏光の特性を持つレーザビーム2は、偏光ビームスプリッタ(PBS)3を通過して、対物レンズ9の瞳8と共役な位置に配置された2次元走査機構4に入射する。図7で示されるレーザビーム2の光路は、この2次元走査機構4にて偏向された場合の光路を示している。
図1に、本発明の一実施例を示す。図1は、本発明の走査型共焦点レーザ顕微鏡における光学系、およびシステム構成図を示したものであり、上述した従来の走査型共焦点レーザ顕微鏡(図7)と同一部分には同一符号を付してその説明は省略する。
受光素子13から出力される出力信号は、演算部31にて処理され、表示部34に観察試料10の観察画像として表示される。また、操作者は、指示部35により表示部34に表示されたGUI(Graphical User Interface)を介してシステムを操作する。ここで、表示部34としては例えばモニタなどで、指示部35としては例えばマウスやキーボードなどの入力デバイスを用いる。
観察試料10は、図2(a)、図2(b)、図2(c)に示すように、光軸方向に対して異なる位置に複数の観察面を持つ。観察試料構造物10dは赤外レーザビーム17を透過する、例えばシリコンウエハなどで構成されている。
まず、図2(a)で赤外レーザビームが観察面a(10a)上に結像されている。その後、図2(b)、図2(c)の順に対物レンズ9を光軸方向に移動させ、観察面b、観察面cの画像を取得する。
まず、ステップS1で観察面bの二次元観察画像50bが取得される。次にステップS2で観察面cの二次元観察画像50cが取得される。ステップS3で操作者は切り出し合成メニュー(ボタン)GUIを表示させる。ステップS4で、ベース画像となる観察面bの二次元観察画像50bを表示部34に表示させ、ステップS5で、切り出し合成メニューGUIのベース画像確定ボタン41をマウスでクリックするなどして、観察面bの二次元観察画像50bをベース画像として設定する。同様にステップS6、ステップS7で、切り出し元画像となる観察面cの二次元観察画像50cを表示部34に表示させ、切り出し合成メニューGUIの切り出し画像確定ボタン43をマウスでクリックするなどして、観察面cの二次元観察画像50cを切り出し元画像として設定する。その後、ステップS8で、観察面cの二次元観察画像50c上の切り出し領域を、マウスなどで選択し、切り出し枠設定ボタン45をクリックするなどして切り出し矩形領域を設定する。そして、合成実行ボタン46がマウスでクリックするなどして指定されると、合成処理が実行され(ステップS9)、ステップS10で表示部34に合成画像が表示される。また、その後、必要があれば二点間の距離計測などの処理を行う。(二点間の距離計測については後述する。)
2 レーザビーム
3 PBS
4 2次元走査機構
5 瞳投影レンズ
6 結像レンズ
7 1/4波長板
8 対物レンズの瞳
9 対物レンズ
10 観察試料
11 結像レンズ
12 ピンホール
13 受光素子
14 受光面
16 赤外レーザ光源
17 赤外レーザビーム
31 演算部
32 制御部
33 画像記憶部
34 表示部
35 指示部
36 合成画像作成部
37 計測部
40 切り出し合成メニューGUI
41 ベース画像確定ボタン
42 ベース画像名表示部
43 切り出し元画像確定ボタン
44 切り出し元画像名表示部
45 切り出し枠設定ボタン
46 合成実行ボタン
47 合成取り消しボタン
10a 観察面a
10b 観察面b
10c 観察面c
10d 観察試料構造物
50b 観察面bの二次元観察画像
50c 観察面cの二次元観察画像
50d 観察面bから観察面cの三次元観察画像
50e 切り出し領域指定ライン
50f 観察面bと観察面cの合成画像
50g 計測位置表示バー
91 Top位置指定ボタン
92 Top位置取込領域指定ボックス
93 Bottom位置指定ボタン
94 Bottom位置取込領域指定ボックス
95 取込開始ボタン
Claims (7)
- レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を観察試料に集光する対物レンズと、前記観察試料からの反射光を受光して電気信号として出力する受光素子と、前記受光素子で検出したレーザ光の輝度情報を抽出し、観察試料の観察画像を構築する演算部と、前記演算部で構築された観察画像を記憶する画像記憶部と、前記観察画像を表示する表示部を有する走査型共焦点レーザ顕微鏡であって、
前記画像記憶部に記憶されている複数の観察画像から、任意に選択した第一の観察画像と、前記第一の観察画像と異なる画像を少なくとも一つ選択し、前記選択した画像の一部を切り取り、前記第一の観察画像に重ね合わせて合成画像を作成する合成画像作成部、
を備えることを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。 - 前記レーザ光源は、シリコンに対して高い透過率をもつ赤外レーザであることを特徴とする請求項1記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
- 前記第一の観察画像と、前記第一の観察画像と異なる画像とは、前記レーザ光の光軸方向において異なる位置で取得された二次元観察画像であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
- 前記第一の観察画像と前記第一の観察画像と異なる画像は、エクステンド画像であることを特徴とする請求項1または請求項3記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
- 更に、前記合成画像において任意の領域を三次元的に計測する計測部を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
- 前記計測部は、前記合成画像上において少なくとも二点指定することにより、該二点間の距離及び段差を計測することを特徴とする請求項5記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
- 前記第一の観察画像と前記第一の観察画像と異なる画像は、それぞれ異なる撮像条件にて画像を取得したことを特徴とする請求項1記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005162025A JP2006337701A (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005162025A JP2006337701A (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006337701A true JP2006337701A (ja) | 2006-12-14 |
JP2006337701A5 JP2006337701A5 (ja) | 2008-07-10 |
Family
ID=37558310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005162025A Pending JP2006337701A (ja) | 2005-06-01 | 2005-06-01 | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006337701A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010071687A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Shinano Kenshi Co Ltd | 動画データ解析プログラム |
JP2010256358A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | F Hoffmann La Roche Ag | 物体を光学スキャンする方法及びその装置 |
WO2018030386A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | シャープ株式会社 | 位置指定装置および位置指定方法 |
WO2021033416A1 (ja) * | 2019-08-21 | 2021-02-25 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 顕微鏡画像測定装置及び顕微鏡画像測定方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06259533A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Olympus Optical Co Ltd | 光学像再構成装置 |
JPH08160311A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JPH08161530A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Olympus Optical Co Ltd | アイコン作成方法及び動画用のコマ作成方法 |
JPH11119106A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-04-30 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004109565A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Olympus Corp | 標本観察システム及び標本観察システムの調整方法 |
-
2005
- 2005-06-01 JP JP2005162025A patent/JP2006337701A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06259533A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Olympus Optical Co Ltd | 光学像再構成装置 |
JPH08160311A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JPH08161530A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Olympus Optical Co Ltd | アイコン作成方法及び動画用のコマ作成方法 |
JPH11119106A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-04-30 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2004109565A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Olympus Corp | 標本観察システム及び標本観察システムの調整方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010071687A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Shinano Kenshi Co Ltd | 動画データ解析プログラム |
JP2010256358A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | F Hoffmann La Roche Ag | 物体を光学スキャンする方法及びその装置 |
WO2018030386A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | シャープ株式会社 | 位置指定装置および位置指定方法 |
JPWO2018030386A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2019-07-18 | シャープ株式会社 | 位置指定装置および位置指定方法 |
WO2021033416A1 (ja) * | 2019-08-21 | 2021-02-25 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 顕微鏡画像測定装置及び顕微鏡画像測定方法 |
JP2021032628A (ja) * | 2019-08-21 | 2021-03-01 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 顕微鏡画像測定装置及び顕微鏡画像測定方法 |
CN114270134A (zh) * | 2019-08-21 | 2022-04-01 | 株式会社V技术 | 显微镜图像测定装置及显微镜图像测定方法 |
US11935259B2 (en) | 2019-08-21 | 2024-03-19 | V Technology Co., Ltd. | Microscope image measuring device and microscope image measuring method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4565115B2 (ja) | 多焦点撮像装置 | |
JP4469956B2 (ja) | 多焦点撮像装置 | |
KR102074838B1 (ko) | 삼차원 계측장치 | |
JP4922823B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2009078280A (ja) | レーザ加工装置、加工データ生成方法及びコンピュータプログラム | |
JP2010097768A (ja) | 複合型観察装置 | |
JP2015119395A (ja) | 情報処理装置、情報処理方法およびプログラム | |
JP2008210731A (ja) | 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 | |
JP2000283720A (ja) | 3次元データ入力方法及び装置 | |
JP2006337701A (ja) | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 | |
JP6716383B2 (ja) | 顕微鏡システム、情報提示方法、プログラム | |
CN109983766B (zh) | 图像处理装置、显微镜系统、图像处理方法、及程序 | |
JP2009300232A (ja) | マッピング分析装置 | |
JP2010151697A (ja) | 3次元形状計測装置および方法 | |
CN108700732A (zh) | 用于确定物体的高度位置的方法 | |
JP4716686B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2007140183A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡装置 | |
JP4410335B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2021165672A (ja) | レーザラスタ走査型3次元画像取得装置 | |
US7493039B2 (en) | Camera, method, and program for enhanced imaging using chromatic aberration | |
JP4221808B2 (ja) | 3次元データ入力方法及び装置 | |
JPH11231223A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
JP2005148584A (ja) | 共焦点レーザ顕微鏡 | |
JP2007071716A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
JP2008180530A (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080522 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080522 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110419 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110927 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120207 |