JP2008180530A - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
形状測定装置及び形状測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008180530A JP2008180530A JP2007012526A JP2007012526A JP2008180530A JP 2008180530 A JP2008180530 A JP 2008180530A JP 2007012526 A JP2007012526 A JP 2007012526A JP 2007012526 A JP2007012526 A JP 2007012526A JP 2008180530 A JP2008180530 A JP 2008180530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- projection
- projection pattern
- test object
- pattern
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】常に合焦位置で被検物の撮像画像を取得し、三次元形状測定を行う測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成すると共に、互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し及び合成して合成投影パターンを生成する投影パターン生成部と、被検物に前記合成投影パターンを投影する投影部と、前記合成投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部と、合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算する形状演算部と、前記被検物の投影光軸方向の位置を、前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割し、前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を補正する形状補正部とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成すると共に、互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し及び合成して合成投影パターンを生成する投影パターン生成部と、被検物に前記合成投影パターンを投影する投影部と、前記合成投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部と、合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算する形状演算部と、前記被検物の投影光軸方向の位置を、前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割し、前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を補正する形状補正部とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、パターン投影法を用いて被検物の三次元形状を測定する装置及び測定方法に関する。
工業製品等の物体の表面形状を測定する技術は従来から種々提案されており、その一つに光学式の三次元形状測定装置がある。光学式の三次元形状測定装置も種々の方式、構成のものがあるが、被検物に所定の投影パターン(縞模様や、格子模様)の位相をシフトして複数回投影するとともに被検物を撮像し、その各撮像画像から画像位置毎(画素毎)での縞の位相を求めて画像位置毎の高さを算出し、被検物の三次元表面形状を測定するものがある。なお、被検物表面に投影された投影パターンを撮像する際、奥行き方向(投影光軸方向)の測定範囲を拡大するために、投影光学系及び撮像光学系のフォーカスをシフトして画像の撮像が行われる(特許文献1参照)。
このような装置においては、例えば、被検物を投影光学系及び撮像光学系のフォーカスをシフトするように移動させながら、被検物の表面に縞パターンからなる投影パターンの位相をシフトして複数回投影するとともに、投影方向と異なる角度から被検物に投影されたそれぞれの縞パターンを撮像し、撮像された各撮像画像から画素毎での縞の位相を算出し、三角測量の原理等を用いて被検物表面の三次元形状を求めるように構成されている。
その構成例を図5に示しており、光源51からの光が縞模様の投影パターンマスク52及び投影レンズ53(光源51、投影パターンマスク52、投影レンズ53を投影光学系とする)を通して被検物54の表面に投影される。被検物54の表面に投影された投影パターンマスク52の縞模様は、被検物54の表面三次元形状に応じて変形され、このように変形された被検物54の表面の縞パターンを投影方向と異なる角度から撮像レンズ55を介して撮像装置56(例えば、CCDセンサ)(撮像レンズ55、撮像装置56を撮像光学系とする)により撮像される。なお、被検物54は図示しない位置調整装置により、投影光学系及び撮像光学系のフォーカスをシフトするように移動させながら上記のように撮像装置56により撮像される。各撮像画像は演算処理装置57に送られ、ここで撮像画像データの演算処理が行われる。演算処理装置57においては、このように撮像された撮像画像データから画素毎での縞の位相を算出し、三角測量の原理等を用いて被検物表面の三次元形状を求める演算処理が行われる。
ところで、上述のよう三次元測定では、被検物の全体に撮像光学系のフォーカスを合わせるために、投影光学系及び撮像光学系のフォーカスをシフトしながら投影パターンの位相をシフトして各撮像画像を得ている。このために各撮像画像間の位相の対応をとるための補正を必要とするが、その位相間の対応がとれない場合があるという問題がある。すなわち、撮像光学系または被検物表面の状態(表面の傾斜等)によってテレセントリック光学系の結像が実質的に成されていない場合があり、このときに被検物の形状測定に誤差を有することになる。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、被検物の表面全域に撮像光学系のフォーカスが合うようにして常に合焦位置で撮像画像を取得し、正確な三次元形状測定を行うことができるような形状測定装置及び形状測定方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決して目的を達成するため、本発明に係る形状測定装置は、任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成すると共に、互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し、さらに前記ベース投影パターンを合成して合成投影パターンを生成する投影パターン生成部と、被検物に前記投影パターン生成部により生成された前記合成投影パターンを投影する投影部と、前記合成投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像して得られた合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算する形状演算部と、前記形状演算部により得られた前記被検物の投影光軸方向の位置を、前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割し、前記撮像部により撮像された前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を補正する形状補正部とを備えて構成される。
また、上記課題を解決して目的を達成するため、本発明に係る形状測定方法は、任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成する投影パターン生成部と、被検物に前記投影パターン生成部により生成された前記投影パターンを投影する投影部と、前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部とを備えた形状測定装置を用いて前記被検物の三次元形状を測定する方法であって、前記投影パターン生成部により互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し、さらに前記ベース投影パターンを合成して合成投影パターンを生成し、前記投影部により前記被検物に前記合成投影パターンを投影するステップと、前記撮像部により前記被検物に投影された前記合成投影パターンを撮像して合成投影パターン撮像画像を取得するステップと、前記撮像部により得られた前記合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算し、前記投影光軸方向の位置を前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割するステップと、前記撮像部により撮像された前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を演算するステップとを有して構成される。
以上説明したように構成される本発明によれば、互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンからなる合成投影パターンを投影した被検物に対して、軸上色収差の影響により各ベース投影パターンの合焦結像位置が異なることを利用して、各合焦結像位置を含む領域毎に各ベース投影パターンの撮像画像から三角測量の原理に基づいて被検物の三次元形状を求める構成であり、被検物の表面全域に撮像光学系のフォーカスが合うようにして常に合焦位置で撮像画像を取得でき、計測精度の高い三次元形状測定装置を提供することができる。
以下、本発明の好ましい実施形態について説明する。本発明に係る三次元形状測定装置の概略構成を図1に示しており、まず、この形状測定装置について、図1を参照して説明する。
この形状測定装置は、光源1と、光源1からの光に縞模様を与えるための投影パターンマスク2と、投影パターンマスク2を通過した光源1からの光を被検物20の表面に投影させる投影レンズ(群)3とからなるパターン投影部と、被検物20からの反射光を撮像レンズ(群)4を介して撮像する撮像装置5からなる撮像部と、を有して構成される。
パターン投影部において、投影パターンマスク2は例えば液晶素子により構成され、投影パターン生成装置6により任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターン(本実施形態では、正弦波状の赤色、緑色、青色縞パターンを生成する)を生成できる。これにより、光源1からの光をこの投影パターンマスク2を通過させ、投影レンズ3により集光させ、被検物20の表面に投影パターンマスク2により形成された所望の投影パターンを投影させることができる。
撮像部は、被検物20からの反射光を撮像レンズ4を介して被検物20を撮像する撮像装置5(例えば、CCDカメラ)を備えている。撮像装置5により撮像された被検物20の画像データは、演算処理装置7に送られ、ここで以下に説明する画像演算処理がなされ、被検物20の表面形状測定が行われる。なお、パターン投影部、撮像部は一つのフレームにより一体に固定されて構成されており、被検物20は図示しない支持台上に載置されて支持されている。
演算処理装置7は、撮像装置5により得られた撮像画像から被検物20の投影光軸方向の位置を演算する形状演算部8と、被検物20の投影光軸方向の位置毎において撮像装置5により得られた撮像画像内の最も合焦結像位置近くで撮像された画像データを用いて被検物20の投影光軸方向の位置を演算する形状補正部9とを備える。
以上のように構成された形状測定装置を用いて被検物20の形状測定を行う方法を、図2のフローチャートを参照して以下に説明する。
この測定に際しては、投影パターン生成装置6により投影パターンマスク2を、それぞれ異なる波長帯域を有し、それぞれ同じ位相の3つの投影パターン(正弦波状の赤色、緑色、青色投影パターン)を合成し3色合成投影パターンとして生成する(ステップS1)。光源1からの光を投影パターンマスク2(3色合成投影パターン)及び投影レンズ3を介して被検物20に照射させて被検物20の表面に3色合成投影パターンを投影する。このように投影されて発生する被検物20の表面からの反射光は撮像レンズ4を介して集光され、撮像装置5により被検物20の表面に投影された3色合成投影パターンを撮像する(ステップS2)。
これら撮像装置5による撮像は、投影パターンマスク2により形成された3色合成投影パターンの位相を変えて(例えば、図2に示すように0、90、180、270degずつ位相がシフトしている)複数回行われて、一組の撮像画像群を得る。このようにして得られた画像データは、撮像装置5から演算処理装置7に送られる。
ここで、図3に示すように、光源1からの光を投影パターンマスク2(3色合成投影パターン)及び投影レンズ3を介して被検物20に照射させて被検物20の表面に3色合成投影パターンを投影すると、投影レンズ3における軸上色収差(投影レンズ3の焦点距離が光の波長帯域によって異なる)の影響により、被検物20上の投影像面において各波長帯域の投影パターン(赤色、緑色、青色投影パターン)によって合焦結像位置が投影光軸方向(Z方向)にずれる。赤色投影パターンの合焦結像位置をZr,緑色投影パターンの合焦結像位置をZg、青色投影パターンの合焦結像位置をZbとする。
緑色光の波長帯域(約500〜560nm)は、赤色光の波長帯域(約610〜750nm)と青色光の波長帯域(約435〜480nm)の間の波長帯域にあり、被検物20上の緑色投影パターンの合焦結像位置Zgも、赤色投影パターンの合焦結像位置Zrと青色投影パターンの合焦結像位置Zbの間に位置する。
撮像装置5により得られた撮像画像データは、演算処理装置7内の形状演算部8において、画素毎に各波長帯域の光量を検出することができ、まず、緑色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から全画素毎に三角測量の原理を用いて被検物20の表面の基準平面(支持台表面)からの投影光軸方向の高さHを演算する(ステップS3)。
図4に示すように、上記で得られた被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さHは、赤色投影パターンの合焦結像位置Zrを含む領域(H<h1),緑色投影パターンの合焦結像位置Zgを含む領域(h1<H<h2)、青色投影パターンの合焦結像位置Zbを含む領域(H>h2)の3つの領域に分割することができる(ステップS4)。ここでh1=(Zr+Zg)/2、h2=(Zg+Zb)/2として求める。
演算処理装置7内の形状補正部9において、緑色投影パターンにより得られた画像データから求めた各画素の被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さHにおいて、H<h1の各画素では、赤色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から上記と同様にして各画素の被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さを再演算する(ステップS5)。
また、緑色投影パターンにより得られた画像データから求めた各画素の被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さHにおいて、H>h2の各画素では、青色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から上記と同様にして各画素の被検物20の表面の支持台表面の投影光軸方向の高さを再演算する(ステップS6)。
緑色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から求めた被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さHと、H<h1の各画素では赤色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から再演算した被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さと、H>h2の各画素では青色投影パターンにより得られた画像データ(0、90、180、270deg)から再演算した被検物20の表面の支持台表面からの投影光軸方向の高さにより、被検物20の形状を求めることができる(ステップS7)。
以上のようにして、3色合成投影パターンを投影した被検物20を撮像して得られた撮像画像群において、緑色投影パターンにより得られた画像データから求めた各画素の被検物20の投影光軸方向の高さHに対し、赤色投影パターンもしくは青色投影パターンの合焦結像位置を含む領域においては赤色投影パターンにより得られた画像データもしくは青色投影パターンにより得られた画像データにより被検物20の投影光軸方向の高さを再演算することで被検物20の形状測定が行われる。
したがって、被検物20の投影光軸方向の高さにおいて、各波長帯域の投影パターンの結像合焦位置に近い領域(被写界深度内)毎に、それぞれの波長帯域の投影パターンにより被検物20の投影光軸方向の高さを求めているので、合焦位置での画像データを取得することができ正確な被検物20の形状測定を行うことができる。
投影光軸方向(Z方向)に被検物20又は撮像部を光軸方向に走査を行って合焦位置での画像データを取得することもできるが、時間的な変化、可動部での振動等により測定精度の低下や測定時間がかかるなどの問題があり、本発明における軸上色収差よる各波長帯域の合焦結像位置のずれを利用して合焦位置での画像データを得し、精度の高い形状測定を行う方法は有効である。
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が可能である。
1 光源 2 投影パターンマスク
3 投影レンズ 4 撮像レンズ
5 撮像装置 6 投影パターン生成装置
7 演算処理装置 8 形状演算部
9 形状補正部 20 被検物
3 投影レンズ 4 撮像レンズ
5 撮像装置 6 投影パターン生成装置
7 演算処理装置 8 形状演算部
9 形状補正部 20 被検物
Claims (2)
- 任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成すると共に、互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し、さらに前記ベース投影パターンを合成して合成投影パターンを生成する投影パターン生成部と、
被検物に前記投影パターン生成部により生成された前記合成投影パターンを投影する投影部と、
前記合成投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像して得られた合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算する形状演算部と、
前記形状演算部により得られた前記被検物の投影光軸方向の位置を、前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割し、前記撮像部により撮像された前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を補正する形状補正部と、
を備える形状測定装置。 - 任意の波長帯域及び任意の位相の投影パターンを生成する投影パターン生成部と、被検物に前記投影パターン生成部により生成された前記投影パターンを投影する投影部と、前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部とを備えた形状測定装置を用いて前記被検物の三次元形状を測定する方法であって、
前記投影パターン生成部により互いに異なる波長帯域を有し同一位相の2つ以上のベース投影パターンを生成し、さらに前記ベース投影パターンを合成して合成投影パターンを生成し、前記投影部により前記被検物に前記合成投影パターンを投影するステップと、
前記撮像部により前記被検物に投影された前記合成投影パターンを撮像して合成投影パターン撮像画像を取得するステップと、
前記撮像部により得られた前記合成投影パターン撮像画像から前記被検物の投影光軸方向の位置を演算し、前記投影光軸方向の位置を前記投影部による軸上色収差の影響により前記各ベース投影パターンの異なる合焦結像位置を含む各領域に分割するステップと、
前記撮像部により撮像された前記合成投影パターン撮像画像から得られた前記各ベース投影パターンの撮像画像を用いて、前記領域毎に前記被検物の投影光軸方向の位置を演算するステップと、
を有し前記被検物の三次元形状を求めることを特徴とする形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007012526A JP2008180530A (ja) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007012526A JP2008180530A (ja) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008180530A true JP2008180530A (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=39724547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007012526A Pending JP2008180530A (ja) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008180530A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010243438A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
CN107532890A (zh) * | 2015-10-16 | 2018-01-02 | Ckd株式会社 | 三维测量装置 |
KR20180030322A (ko) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 주식회사 투아이스펙트라 | 삼각측량식 3차원 치아 이미지 획득 방법 및 시스템 |
CN114166149A (zh) * | 2020-09-10 | 2022-03-11 | 精工爱普生株式会社 | 三维形状测量方法以及三维形状测量装置 |
-
2007
- 2007-01-23 JP JP2007012526A patent/JP2008180530A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010243438A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 |
CN107532890A (zh) * | 2015-10-16 | 2018-01-02 | Ckd株式会社 | 三维测量装置 |
CN107532890B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-04-28 | Ckd株式会社 | 三维测量装置 |
KR20180030322A (ko) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 주식회사 투아이스펙트라 | 삼각측량식 3차원 치아 이미지 획득 방법 및 시스템 |
KR101859836B1 (ko) * | 2016-09-13 | 2018-06-07 | 주식회사 투아이스펙트라 | 삼각측량식 3차원 치아 이미지 획득 방법 및 시스템 |
CN114166149A (zh) * | 2020-09-10 | 2022-03-11 | 精工爱普生株式会社 | 三维形状测量方法以及三维形状测量装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6299111B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN107113370B (zh) | 图像记录设备及记录图像方法 | |
JP2009031150A (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法、三次元形状計測プログラム、および記録媒体 | |
JP6484706B2 (ja) | 画像を記録するための装置および方法 | |
JP7451120B2 (ja) | 画像処理装置および画像処理方法、撮像装置、プログラム | |
JP2011196732A (ja) | 波面収差測定方法及びその装置 | |
JP2008180530A (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
US10621694B2 (en) | Image processing apparatus, system, image processing method, calibration method, and computer-readable recording medium | |
JP2010151697A (ja) | 3次元形状計測装置および方法 | |
WO2013175816A1 (ja) | 距離測定装置 | |
JP6642998B2 (ja) | 像ズレ量算出装置、撮像装置、および像ズレ量算出方法 | |
JP2011130290A (ja) | カメラ画像の補正方法およびカメラ装置および座標変換パラメータ決定装置 | |
JP4197340B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP4218809B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2008154195A (ja) | レンズのキャリブレーション用パターン作成方法、レンズのキャリブレーション用パターン、キャリブレーション用パターンを利用したレンズのキャリブレーション方法、レンズのキャリブレーション装置、撮像装置のキャリブレーション方法、および撮像装置のキャリブレーション装置 | |
JP4985213B2 (ja) | 3次元形状計測方法および装置ならびにプログラム | |
JP2018017568A (ja) | 距離測定装置、撮像装置、および距離測定方法 | |
JP5843179B1 (ja) | 検査装置、及び波面収差補正方法 | |
JP2008170282A (ja) | 形状測定装置 | |
WO2023182095A1 (ja) | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | |
JP2009052989A (ja) | 微小物体の光学的計測装置 | |
JP6136364B2 (ja) | デフォーカス量検出装置およびカメラ | |
JP2008170280A (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP2009217112A (ja) | 測距装置および撮像装置 | |
JP4858842B2 (ja) | 形状測定装置 |