JP2006337701A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を観察試料に集光する対物レンズと、前記観察試料からの反射光を受光して電気信号として出力する受光素子と、前記受光素子で検出したレーザ光の輝度情報を抽出し、観察試料の観察画像を構築する演算部と、前記演算部で構築された観察画像を記憶する画像記憶部と、前記観察画像を表示する表示部を有する走査型共焦点レーザ顕微鏡であって、
   前記画像記憶部に記憶されている複数の観察画像から、任意に選択した第一の観察画像と、前記第一の観察画像と異なる画像を少なくとも一つ選択し、前記選択した画像の一部を切り取り、前記第一の観察画像に重ね合わせて合成画像を作成する合成画像作成部、
   を備えることを特徴とする走査型共焦点レーザ顕微鏡。
2. 前記レーザ光源は、シリコンに対して高い透過率をもつ赤外レーザであることを特徴とする請求項１記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
3. 前記第一の観察画像と、前記第一の観察画像と異なる画像とは、前記レーザ光の光軸方向において異なる位置で取得された二次元観察画像であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
4. 前記第一の観察画像と前記第一の観察画像と異なる画像は、前記レーザ光の光軸方向において異なる位置で取得されたエクステンド画像であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
5. 更に、前記合成画像において任意の領域を三次元的に計測する計測部を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
6. 前記計測部は、前記合成画像上において少なくとも二点指定することにより、該二点間の距離及び段差を計測することを特徴とする請求項５記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。
7. 前記第一の観察画像と前記第一の観察画像と異なる画像は、それぞれ異なる撮像条件にて画像を取得したことを特徴とする請求項１記載の走査型共焦点レーザ顕微鏡。