JP2006333952A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006333952A5
JP2006333952A5 JP2005159582A JP2005159582A JP2006333952A5 JP 2006333952 A5 JP2006333952 A5 JP 2006333952A5 JP 2005159582 A JP2005159582 A JP 2005159582A JP 2005159582 A JP2005159582 A JP 2005159582A JP 2006333952 A5 JP2006333952 A5 JP 2006333952A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode pad
electrode
transducer
ultrasonic
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005159582A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006333952A (ja
JP4790315B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005159582A priority Critical patent/JP4790315B2/ja
Priority claimed from JP2005159582A external-priority patent/JP4790315B2/ja
Priority to EP20060746754 priority patent/EP1897498B1/en
Priority to PCT/JP2006/310270 priority patent/WO2006129525A1/ja
Publication of JP2006333952A publication Critical patent/JP2006333952A/ja
Priority to US11/942,364 priority patent/US7589455B2/en
Publication of JP2006333952A5 publication Critical patent/JP2006333952A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4790315B2 publication Critical patent/JP4790315B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2005159582A 2005-05-31 2005-05-31 静電容量型超音波振動子 Expired - Fee Related JP4790315B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005159582A JP4790315B2 (ja) 2005-05-31 2005-05-31 静電容量型超音波振動子
EP20060746754 EP1897498B1 (en) 2005-05-31 2006-05-23 Capacitive micromachined ultrasonic transducer and method for manufacturing the same
PCT/JP2006/310270 WO2006129525A1 (ja) 2005-05-31 2006-05-23 静電容量型超音波振動子とその製造方法
US11/942,364 US7589455B2 (en) 2005-05-31 2007-11-19 Capacitive micromachined ultrasonic transducer and production method of same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005159582A JP4790315B2 (ja) 2005-05-31 2005-05-31 静電容量型超音波振動子

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006333952A JP2006333952A (ja) 2006-12-14
JP2006333952A5 true JP2006333952A5 (https=) 2008-05-15
JP4790315B2 JP4790315B2 (ja) 2011-10-12

Family

ID=37481454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005159582A Expired - Fee Related JP4790315B2 (ja) 2005-05-31 2005-05-31 静電容量型超音波振動子

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7589455B2 (https=)
EP (1) EP1897498B1 (https=)
JP (1) JP4790315B2 (https=)
WO (1) WO2006129525A1 (https=)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7489593B2 (en) * 2004-11-30 2009-02-10 Vermon Electrostatic membranes for sensors, ultrasonic transducers incorporating such membranes, and manufacturing methods therefor
JP4880275B2 (ja) * 2005-10-03 2012-02-22 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 静電容量型超音波振動子装置
JP4294678B2 (ja) * 2006-10-30 2009-07-15 オリンパスメディカルシステムズ株式会社 超音波トランスデューサ、超音波トランスデューサの製造方法、及び超音波内視鏡
JP5226231B2 (ja) * 2007-03-13 2013-07-03 株式会社東芝 超音波診断装置
EP2152024A4 (en) * 2007-04-27 2017-01-04 Hitachi, Ltd. Ultrasonic transducer and ultrasonic imaging apparatus
EP2223654A4 (en) * 2007-12-13 2017-09-06 Hitachi, Ltd. Ultrasonic diagnostic equipment and ultrasonic probe
US20090182229A1 (en) * 2008-01-10 2009-07-16 Robert Gideon Wodnicki UltraSound System With Highly Integrated ASIC Architecture
WO2009154091A1 (ja) * 2008-06-17 2009-12-23 株式会社日立製作所 半導体装置の製造方法
JP5578836B2 (ja) 2008-12-25 2014-08-27 キヤノン株式会社 電気機械変換装置及びその作製方法
US8431420B2 (en) 2009-01-16 2013-04-30 Hitachi Medical Corporation Manufacturing method of ultrasonic probe and ultrasonic probe
US8251483B2 (en) * 2009-02-13 2012-08-28 Fujifilm Corporation Mitigation of shorted fluid ejector units
JP5851238B6 (ja) * 2009-03-05 2023-12-15 株式会社日立メディコ 超音波トランスデューサ、その製造方法、および、それを用いた超音波探触子
JP5377066B2 (ja) * 2009-05-08 2013-12-25 キヤノン株式会社 静電容量型機械電気変換素子及びその製法
JP5409138B2 (ja) 2009-06-19 2014-02-05 キヤノン株式会社 電気機械変換装置、電気機械変換装置の感度ばらつき検出方法、及び補正方法
JP2012005789A (ja) * 2010-06-28 2012-01-12 Toshiba Corp 超音波診断装置
US8498178B2 (en) * 2010-12-23 2013-07-30 Analog Devices, Inc. Acoustic transducer chip
US9642596B2 (en) 2011-04-20 2017-05-09 Hitachi, Ltd. Ultrasound imaging apparatus
JP5780857B2 (ja) * 2011-07-04 2015-09-16 オリンパス株式会社 超音波ユニットおよび超音波内視鏡
JP5855373B2 (ja) 2011-07-11 2016-02-09 オリンパス株式会社 超音波エレメントおよび超音波内視鏡
JP5924971B2 (ja) * 2012-02-16 2016-05-25 日立アロカメディカル株式会社 超音波診断装置
JP5978648B2 (ja) * 2012-02-24 2016-08-24 セイコーエプソン株式会社 超音波装置、プローブ、電子機器、診断装置及び処理装置
US20140058263A1 (en) * 2012-08-24 2014-02-27 Elwha LLC, a limited liability company of the State of Delaware Adaptive Ultrasonic Array
KR20140033992A (ko) 2012-09-11 2014-03-19 삼성전자주식회사 초음파 변환기
JP6011235B2 (ja) * 2012-10-17 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 超音波測定装置、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置
WO2014123922A1 (en) * 2013-02-05 2014-08-14 Butterfly Network, Inc. Cmos ultrasonic transducers and related apparatus and methods
CA2903479C (en) 2013-03-15 2023-10-10 Butterfly Network, Inc. Monolithic ultrasonic imaging devices, systems and methods
EP3079837B1 (en) 2013-12-12 2023-02-08 Koninklijke Philips N.V. Monolithically integrated three electrode cmut device
US9618561B2 (en) 2014-03-05 2017-04-11 Infineon Technologies Ag Semiconductor device and method for detecting damaging of a semiconductor device
JP2016039512A (ja) 2014-08-08 2016-03-22 キヤノン株式会社 電極が貫通配線と繋がったデバイス、及びその製造方法
KR20160090102A (ko) * 2015-01-21 2016-07-29 삼성전자주식회사 초음파 촬영 장치, 초음파 프로브 장치, 신호 처리 장치 및 초음파 촬영 장치의 제어 방법
JP2018523414A (ja) 2015-08-11 2018-08-16 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． 過電流保護付き容量性微細加工超音波トランスデューサ
GB2558008B (en) * 2016-12-20 2020-03-25 Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd MEMS device
US10284963B2 (en) * 2017-03-28 2019-05-07 Nanofone Ltd. High performance sealed-gap capacitive microphone
GB2565375A (en) * 2017-08-11 2019-02-13 Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd MEMS devices and processes
KR102019845B1 (ko) * 2017-10-30 2019-09-09 현대오트론 주식회사 초음파 처리 장치 및 방법
FR3077163B1 (fr) * 2018-01-22 2021-08-27 Soitec Silicon On Insulator Procedes de conception et de fabrication d'un dispositif comprenant un reseau d'elements micro-usines, dispositif obtenu a l'issu de tels procedes
JP7141868B2 (ja) 2018-06-29 2022-09-26 富士フイルム株式会社 超音波診断装置、及び超音波診断装置の作動方法
WO2020082256A1 (zh) * 2018-10-24 2020-04-30 深圳市汇顶科技股份有限公司 超声换能器及其制造方法
DE102021107559A1 (de) * 2021-03-25 2022-09-29 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Verfahren zur Qualitätsprüfung von Ultraschallwandlern
WO2022271169A1 (en) * 2021-06-23 2022-12-29 Exo Imaging, Inc. Systems and methods for testing mems arrays and associated asics
CN117066083B (zh) * 2023-07-24 2025-08-26 西南交通大学 一种可穿戴柔性近红外透明超声换能器及其制备方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000028595A (ja) * 1998-07-10 2000-01-28 Olympus Optical Co Ltd 圧電構造体の製造方法および複合圧電振動子
US6120449A (en) * 1998-11-25 2000-09-19 General Electric Company Method and apparatus for compensating for inoperative elements in ultrasonic transducer array
US6552471B1 (en) * 1999-01-28 2003-04-22 Parallel Design, Inc. Multi-piezoelectric layer ultrasonic transducer for medical imaging
US6246158B1 (en) * 1999-06-24 2001-06-12 Sensant Corporation Microfabricated transducers formed over other circuit components on an integrated circuit chip and methods for making the same
JP2002159492A (ja) * 2000-11-27 2002-06-04 Aloka Co Ltd 超音波診断装置及び素子試験方法
JP4109013B2 (ja) * 2002-05-10 2008-06-25 オリンパス株式会社 超音波トランスデューサ及び超音波トランスデューサの製造方法
JP4220723B2 (ja) * 2002-05-14 2009-02-04 アロカ株式会社 超音波探触子
AU2003263841A1 (en) * 2002-08-01 2004-02-23 Georgia Tech Research Corporation Piezo electric on seminconductor on- insulator resonator
US7053530B2 (en) * 2002-11-22 2006-05-30 General Electric Company Method for making electrical connection to ultrasonic transducer through acoustic backing material
US6865140B2 (en) * 2003-03-06 2005-03-08 General Electric Company Mosaic arrays using micromachined ultrasound transducers
JP4370120B2 (ja) * 2003-05-26 2009-11-25 オリンパス株式会社 超音波内視鏡および超音波内視鏡装置
JP2004350701A (ja) 2003-05-26 2004-12-16 Olympus Corp 超音波内視鏡装置
JP4733988B2 (ja) * 2005-01-21 2011-07-27 オリンパス株式会社 体腔内超音波診断システム
JP4624763B2 (ja) * 2004-10-27 2011-02-02 オリンパス株式会社 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法
US20070299345A1 (en) * 2004-10-27 2007-12-27 Hideo Adachi Capacitive Ultrasonic Transducer and Endo Cavity Ultrasonic Diagnosis System Using the Same
US7449821B2 (en) * 2005-03-02 2008-11-11 Research Triangle Institute Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with air-backed cavities

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006333952A5 (https=)
US8581598B2 (en) Method for inspecting electrostatic chuck, and electrostatic chuck apparatus
TWI396852B (zh) 觸控面板檢驗裝置
TWI496227B (zh) 用於測試電晶體陣列的改良方法及系統
JP2012508611A5 (https=)
JP5391869B2 (ja) 基板検査方法
JP4394980B2 (ja) 基板検査装置及び基板検査方法
WO2020059355A1 (ja) 容量検出エリアセンサ及び、その容量検出エリアセンサを有する導電パターン検査装置
JP2011090358A (ja) 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法
WO2005010600A1 (ja) 液晶表示パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法
CN112154333A (zh) 电阻测量装置以及电阻测量夹具
CN115803501A (zh) 泄漏检测系统和方法
CA3025405C (en) Testing device for checking at least one first medical electrode
TW201239375A (en) Circuit pattern inspection instrument
CN104095631B (zh) 一种基于四电极模型的生物阻抗测量探头
KR101933547B1 (ko) 비접촉 저항 검사기
JP6095735B2 (ja) プリント基板検査装置及び検査方法
JP2014202907A (ja) 平面表示装置及びその検査方法
CN105759139A (zh) 触摸屏的测试装置及测试方法
JP2836676B2 (ja) 半導体要素の試験方法及び装置
CN104090393A (zh) 一种液晶盒晶体管电性测试方法
JPH1123636A (ja) アレー型コンデンサの絶縁抵抗測定方法および装置
CN117572039A (zh) 片式三端子电容式滤波器的测试装置及其测试方法
JP4885765B2 (ja) 検査装置および検査方法
TW201000930A (en) Device and procedure for contactless forming a contact of conductive structures, in particular of thin film transistor liquid crystal displays