JP2006330386A - パターン転写装置、転写方法及び基板 - Google Patents
パターン転写装置、転写方法及び基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板が載置されX、Y駆動源15,16によって駆動されるテーブル14と、光源2から出射された照明光をマスク7に入射させる第1のスキャニングミラー4と、第1のスキャニングミラーを回転させて照明光をマスクに走査させる第1のガルバノメータ5と、マスクから出射した照明光が入射する第2のスキャニングミラー11と、第2のスキャニングミラーを回転させてマスクから出射した照明光を基板に照射させる第2のガルバノメータ12と、X、Y駆動源を制御してテーブルを所定方向に一定速度で駆動するとともに、第1、第2のガルバノメータを制御して第1のスキャニングミラーと第2のスキャニングミラーとを、マスクのパターンが基板の所定方向に沿って一定間隔で転写されるよう、テーブルの動きに同期させて回転する制御装置とを具備する。
【選択図】 図1
Description
特許文献1にはそのような走査型露光装置が示されている。
上記基板が載置され第1の駆動手段によって駆動されるテーブルと、
転写用の照明光を出射する光源と、
上記光源から出射された照明光を上記マスクに入射させる第1のスキャニングミラーと、
この第1のスキャニングミラーを回転させて上記照明光を上記マスクに走査させる第2の駆動手段と、
上記マスクから出射した照明光が入射する第2のスキャニングミラーと、
この第2のスキャニングミラーを回転させて上記マスクから出射した照明光を上記基板に照射させる第3の駆動手段と、
上記第1の駆動手段を制御して上記テーブルを所定方向に一定速度で駆動するとともに、上記第2、第3の駆動手段を制御して上記第1のスキャニングミラーと上記第2のスキャニングミラーとを、上記マスクのパターンが上記基板の上記所定方向に沿って一定間隔で転写されるよう、上記テーブルの動きに同期させて回転する制御手段と
を具備したことを特徴とするパターン転写装置にある。
上記基板を所定方向に一定速度で駆動する工程と、
上記マスクに照明光を走査する工程と、
上記マスクを透過した照明光を上記基板に走査して上記マスクのパターンを上記基板に転写する工程と、
上記パターンを上記基板に転写するときに、上記基板の駆動速度に上記マスクに対する照明光の走査速度と上記基板に対する上記パターンの転写速度を同期させ、上記基板に上記パターンを一定間隔で転写する工程と
を具備したことを特徴とするパターンの転写方法にある。
図1はフラットディスプレイパネルに用いられるガラス製の基板Wにパターンを転写するパターン転写装置の転写光学系1を示す。この転写光学系1は転写用の照明光としてのレーザ光Lを出力する光源2を有する。光源2としてはYAGレーザなどの固体レーザ装置、半導体レーザ装置、炭酸ガスレーザなどのガスレーザ装置が用いられる。
まず、テーブル14をX、Y方向に駆動して基板Wを所定の位置に位置決めしたならば、光源2からレーザ光Lを出射する。それと同時に、テーブル14を図1に矢印で示す−X方向に一定の速度Vで駆動する。
Claims (7)
- マスクに形成されたパターンを基板に転写するパターン転写装置であって、
上記基板が載置され第1の駆動手段によって駆動されるテーブルと、
転写用の照明光を出射する光源と、
上記光源から出射された照明光を上記マスクに入射させる第1のスキャニングミラーと、
この第1のスキャニングミラーを回転させて上記照明光を上記マスクに走査させる第2の駆動手段と、
上記マスクから出射した照明光が入射する第2のスキャニングミラーと、
この第2のスキャニングミラーを回転させて上記マスクから出射した照明光を上記基板に照射させる第3の駆動手段と、
上記第1の駆動手段を制御して上記テーブルを所定方向に一定速度で駆動するとともに、上記第2、第3の駆動手段を制御して上記第1のスキャニングミラーと上記第2のスキャニングミラーとを、上記マスクのパターンが上記基板の上記所定方向に沿って一定間隔で転写されるよう、上記テーブルの動きに同期させて回転する制御手段と
を具備したことを特徴とするパターン転写装置。 - 上記制御手段は、上記テーブルを上記所定方向に対して往復動させるとともに、往動時に上記マスクのパターンを上記基板に上記一定間隔で転写させ、復動時には往動時に一定間隔で転写されたパターン間に上記マスクのパターンが転写されるよう上記テーブルの動きに上記第1、第2のスキャニングミラーの回転を同期させることを特徴とする請求項1記載のパターンの転写装置。
- 上記制御手段は、上記第2のスキャニングミラーを回転させて上記マスクのパターンを上記基板に転写させたならば、この第2のスキャニングミラーを元の回転位置に戻すとともに、その間に上記テーブルを上記基板に転写される上記マスクのパターンの1ピッチ分だけ駆動することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のパターン転写装置。
- マスクに形成されたパターンを基板に転写するパターン転写方法であって、
上記基板を所定方向に一定速度で駆動する工程と、
上記マスクに照明光を走査する工程と、
上記マスクを透過した照明光を上記基板に走査して上記マスクのパターンを上記基板に転写する工程と、
上記パターンを上記基板に転写するときに、上記基板の駆動速度に上記マスクに対する照明光の走査速度と上記基板に対する上記パターンの転写速度を同期させ、上記基板に上記パターンを一定間隔で転写する工程と
を具備したことを特徴とするパターンの転写方法。 - 上記基板を往復動させ、往動時には上記マスクのパターンを上記基板に一定間隔で転写し、復動時には往動時に転写されたパターン間に上記マスクのパターンを転写することを特徴とする請求項4記載のパターンの転写方法。
- マスクに形成されたパターンが転写される基板であって、
上記パターンは請求項1に記載されたパターン転写装置によって転写されることを特徴とする基板。 - マスクに形成されたパターンが転写される基板であって、
上記パターンは請求項4に記載されたパターン転写方法によって転写されることを特徴とする基板。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20150355553A1 (en) * | 2013-01-09 | 2015-12-10 | Prodways | Production of a volume object by lithography, having improved spatial resolution |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH07335516A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 走査型露光装置 |
JP2001205846A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-07-31 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ描画方法及び描画装置 |
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- 2005-05-26 JP JP2005154190A patent/JP4713223B2/ja active Active
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US9632420B2 (en) * | 2013-01-09 | 2017-04-25 | Prodways | Production of a volume object by lithography, having improved spatial resolution |
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