JP5489534B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
<露光装置の構成>
まず、本実施例における露光装置の構成について説明する。図3は、本実施例における走査型露光装置100の概略構成図である。
<駆動プロファイル>
次に、本実施例の走査型露光装置100におけるステージ駆動方法について説明する。図1は、本実施例における走査露光時のステージ駆動プロファイルを示す図である。
Yステップの助走時間t1及びt5は、t6/2以上であればよいため、これらの時間t1、t5がt6/2と等しいとすると、式(2)のように表される。
t1=0.045〔sec〕
t2=0.051〔sec〕
t3/2= 0.006〔sec〕
となる。これらの値を用いて1ショットの露光時間taを算出すると、
ta=0.102〔sec〕
となる。
ta’=0.152〔sec〕
となる。このため、従来例でウエハ1枚を処理するためには、時間100×ta’+5=20.2秒を要することになる。本実施例の手法を従来例の手法と比較すると、処理時間が約25%短縮されている。
<露光量の制御>
次に、本実施例における露光量の制御について説明する。
<レチクルステージの構成>
次に、本実施例におけるレチクルステージの詳細な構成について説明する。
<ウエハへの露光順序>
次に、ウエハ上への露光について、図2を参照しながら説明する。
<遮光板の動作>
次に、走査に合わせて照明光を遮光する遮光板(マスキングブレード20〜23)の動作について説明する。
<レチクル間差の補正>
次に、2枚のレチクルを用いることで発生するレチクル間差を低減するための手法について説明する。
<加減速補正>
次に、本実施例の露光装置において、加速減速時に行う補正について説明する。
<露光情報の格納と掃きだし>
本発明の露光方法によれば、ウエハ上には、(1)Aレチクル/Bレチクル、(2)加速露光/減速露光、(3)アップ方向走査/ダウン方向走査、の各条件下で露光されたショットが混在して形成される。この条件差による誤差は、前述の補正によって最小化するものの、完全にゼロにすることはできない。
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。当該方法において、本発明を適用した露光装置を使用し得る。
2、3:レチクル
4、5:レチクルステージ
6:投影光学系
7:ウエハ
8:ウエハステージ
16:制御装置
100:走査型露光装置
Claims (10)
- 第1の原版のパターン及び第2の原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、
前記第1の原版及び前記第2の原版を走査方向に並べて保持し、前記走査方向に移動可能な原版走査手段と、
前記基板を保持して前記走査方向に移動可能な基板走査手段と、
前記原版走査手段及び前記基板走査手段を制御する制御手段と、を有し、
前記第2の原版のパターンが露光される第2のショットは、前記第1の原版のパターンが露光された第1のショットに対して前記走査方向に並ぶように配置され、
前記制御手段は、前記第1のショットの露光開始から前記第1のショットの露光終了までの第1の期間では、前記原版走査手段及び前記基板走査手段を互いに同期させながら加速させ、
前記第2のショットの露光開始から前記第2のショットの露光終了までの第2の期間では、前記原版走査手段及び前記基板走査手段を互いに同期させながら減速させ、
前記第1のショットの露光終了から前記第2のショットの露光開始までの期間では、前記原版走査手段及び前記基板走査手段の移動状態を加速状態から減速状態へ切り替えることを特徴とする露光装置。 - 前記第1のショットの露光終了から前記第2のショットの露光開始までの期間では、露光を行わないことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記第2のショットは、前記第1のショットに対して前記走査方向に1ショットに等しい間隔または2ショット以上の間隔を有する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記原版走査手段は、前記第1の原版を保持する第1の原版ステージと、前記第2の原版を保持する第2の原版ステージとを含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記第1のショットの露光と前記第2のショットの露光を順に行って、前記走査方向に垂直な方向に列替えをした後、前記第2の原版のパターンを露光してから前記第1の原版のパターンを露光することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記原版走査手段及び前記基板走査手段を、前記第1の期間では等加速度で加速させ、前記第2の期間では等加速度で減速させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記原版走査手段及び前記基板走査手段を、前記第1の期間では等加々速度で加速させ、前記第2の期間では等加々速度で減速させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記第1の原版及び前記第2の原版を照明する照明手段と、
前記原版走査手段及び前記基板走査手段の少なくとも一方の速度に応じて、前記照明手段からの照明光の強度を調整する調整手段と、をさらに有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。 - 前記第1の原版のパターン及び前記第2の原版のパターンは互いに異なり、
前記第1の原版のパターン及び前記第2の原版のパターンの一方が露光されたショットに重なるように、前記第1の原版のパターン及び前記第2の原版のパターンの他方を露光することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の露光装置。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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