JP2006329840A - ハイブリッドセンサ部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサと集積回路を積層あるいはインターポーザーを介して組み合わせ、集積回路あるいはインターポーザーに加速度センサにおける規制板に代表されるような信頼性関わる機能を持たせて、高性能で超小型、高い信頼性を得ることができる。
【選択図】
図4
Description
Claims (7)
- 少なくとも1つ以上のセンサと少なくとも1つ以上の集積回路を積層することによって構成されるハイブリッドセンサ部品
- センサとセンサからの出力信号を処理するための集積回路と結合することを特徴とする請求項1記載のハイブリッドセンサ部品
- センサの信頼性に係る機能を有する構造が、少なくとも一方の面に形成される集積回路を含む請求項1〜2に記載のハイブリッドセンサ部品
- センサの信頼性に係る機能を有する凸構造が、少なくとも一方の面に形成されるパッケージあるいは回路基板を含む請求項1〜2に記載のハイブリッドセンサ部品
- 少なくとも1つ以上のセンサと少なくとも1つ以上の集積回路を接続するインターポーザーを含む構成による請求項1〜2記載のハイブリッドセンサ部品
- 電気的配線と機械的結合部を有する第1の表面と第2の表面によって構成され、第1の表面と第2の表面がビアによって電気的に結合されたインターポーザーとで構成される、請求項1〜4記載のハイブリッドセンサ部品
- センサの信頼性に係る機能を有する構造が、少なくとも一方の面に形成されるインターポーザーとともに構成される請求項1〜5記載のハイブリッドセンサ部品
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